專利名稱：一種氣體閥裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實用新型涉及半導(dǎo)體生產(chǎn)中工藝氣體供應(yīng)設(shè)備，尤其涉及一種氣體閥裝置。
背景技術(shù)：
在半導(dǎo)體生產(chǎn)工藝中需要大量的瓶裝特殊(有毒)高純氣體四十余種，由于傳統(tǒng) 的手動閥需要人工調(diào)節(jié)閥門開關(guān)，導(dǎo)致有毒氣體對人體產(chǎn)生危害；而電磁閥由電氣自動控 制系統(tǒng)控制閥門的開關(guān)，不需人工操作。因此，電磁閥在半導(dǎo)體生產(chǎn)工藝氣體供應(yīng)設(shè)備中得 到了廣泛的應(yīng)用。關(guān)于現(xiàn)有的電磁閥的結(jié)構(gòu)請參考圖1至圖2，其中，圖1為現(xiàn)有的電磁閥結(jié)構(gòu)的正 視圖，圖2為現(xiàn)有的電磁閥結(jié)構(gòu)的俯視圖，如圖1至圖2所示，現(xiàn)有的電磁閥包括閥座1、閥 芯以及電磁線圈4，所述閥座1上設(shè)有進氣口 2、出氣口 3以及通孔，所述進氣口 2與所述出 氣口 3以及所述通孔相互接通，所述閥芯通過所述通孔插入所述閥座1內(nèi)，隔斷所述進氣口 2與所述出氣口 3，并且所述閥芯與所述通孔之間保持密封，防止氣體通過所述通孔漏出， 所述進氣口 2通過進氣管接頭8與氣體鋼瓶相連，所述出氣管道3通過出氣管接頭9與用 氣設(shè)備相連；所述電磁線圈4的內(nèi)部設(shè)置有鐵芯5，所述鐵芯5與所述閥芯相連；并且，現(xiàn)有 的電磁閥還包括電線盒6與電源接線端7，所述電磁線圈4通過電線與所述電源接線端7相 連，所述電線置于所述電線盒6內(nèi)，所述電源接線端7與外部電源相連。現(xiàn)有的電磁閥的原理為當(dāng)所述電源接線端7接通電源時，所述電磁線圈4獲得電流，并產(chǎn)生磁力，從而驅(qū) 動所述鐵芯5向上運動，由于所述鐵芯5與所述閥芯是相連的，因而所述閥芯也向上移動， 這樣所述閥芯與電磁閥閥體1之間產(chǎn)生相對位置移動，從而所述進氣口 2與所述出氣口 3 接通，所述電磁閥打開，氣體鋼瓶內(nèi)的氣體通過所述進氣口 2及所述出氣口 3流入到所述用 氣設(shè)備內(nèi)；當(dāng)所述電源接線端7與所述電源斷開時，所述閥芯因重力作用而下降，隔斷所述 進氣口 2與所述出氣口 3，所述電磁閥關(guān)閉。然而，現(xiàn)有的電磁閥都沒有通電開關(guān)狀態(tài)的自動顯示裝置。當(dāng)供氣設(shè)備發(fā)生故障 需要檢修時，對于電磁閥的故障查找，只能通過查電路圖或憑經(jīng)驗拆開相關(guān)的蓋板，找到其 電路接線端子，再通過萬能表測量所述電磁線圈4是否有電壓存在的方法檢查其是否在正 常狀態(tài)。用這種方法檢查氣體供應(yīng)電磁閥的開關(guān)狀態(tài)即麻煩又浪費時間，而且很容易影響 半導(dǎo)體加工廠內(nèi)芯片的正常生產(chǎn)，造成經(jīng)濟損失。因此，有必要對現(xiàn)有的電磁閥進行改進。

實用新型內(nèi)容本實用新型的目的在于提供一種氣體閥裝置，以解決現(xiàn)的電磁閥沒有通電開關(guān)狀 態(tài)的自動顯示裝置，從而造成電磁閥的故障查找麻煩，浪費時間，并且很容易影響半導(dǎo)體加 工廠內(nèi)芯片的正常生產(chǎn)，造成經(jīng)濟損失的問題。[0010]為解決上述問題，本實用新型提出一種氣體閥裝置，用于控制半導(dǎo)體工藝氣體管 路的通斷，其中，所述工藝氣體管路分別連接氣體鋼瓶與用氣設(shè)備，該氣體閥裝置包括電磁 閥以及指示燈，所述指示燈與所述電磁閥電性串連?？蛇x的，所述電磁閥包括閥座，所述閥座上設(shè)有進氣口、出氣口以及通孔，所述進氣口與所述出氣口以及所 述通孔相互接通；閥芯，所述閥芯通過所述通孔插入所述閥座內(nèi)，隔斷所述進氣口與所述出氣口，并 且所述閥芯與所述通孔之間保持密封；電磁線圈，所述電磁線圈內(nèi)設(shè)置有鐵芯，所述鐵芯與所述閥芯相連，所述電磁線圈 與所述指示燈電性串連。可選的，所述電磁閥還包括電線盒與電源接線端，所述電磁線圈通過電線與所述 電源接線端相連，所述電線置于所述電線盒內(nèi)，所述電源接線端與外部電源相連。可選的，所述指示燈設(shè)置在所述電線盒上?？蛇x的，所述電磁閥還包括進氣管接頭與出氣管接頭，所述進氣管接頭連接所述 進氣口與所述氣體鋼瓶，所述出氣管接頭連接所述出氣口與所述用氣設(shè)備。可選的，所述電磁閥還包括燈罩，所述燈罩設(shè)置于所述指示燈的外面，包圍所述指 示燈?？蛇x的，所述燈罩的材料為透明材質(zhì)。與現(xiàn)有技術(shù)相比，本實用新型提供的氣體閥裝置包括電磁閥以及指示燈，所述指 示燈與所述電磁閥電性串連，當(dāng)所述電磁閥的電磁線圈在通電狀態(tài)時所述指示燈亮，當(dāng)所 述電磁線圈沒有在通電狀態(tài)時指示燈滅；從而可以直觀地看出所述電磁線圈的狀態(tài)變化是 否與半導(dǎo)體工藝氣體管路的動作要求一致；并且當(dāng)半導(dǎo)體工藝氣體管路發(fā)生故障需要檢修 時，電磁閥的狀態(tài)可以很直觀的通過所述指示燈的亮與不亮判斷出，簡單方便，提高了解決 問題和消除故障的工作效率，避免了因電磁閥檢修影響半導(dǎo)體加工廠內(nèi)芯片的正常生產(chǎn)而 造成的經(jīng)濟損失。

圖1為現(xiàn)有的電磁閥結(jié)構(gòu)的正視圖；圖2為現(xiàn)有的電磁閥結(jié)構(gòu)的俯視圖；圖3為本實用新型實施例提供的氣體閥裝置的正視圖；圖4為本實用新型實施例提供的氣體閥裝置的俯視圖；圖5為本實用新型實施例提供的氣體閥裝置中的電磁線圈與指示燈電性連接的 原理圖。
具體實施方式
以下結(jié)合附圖和具體實施例對本實用新型提出的氣體閥裝置作進一步詳細說明。 根據(jù)下面說明和權(quán)利要求書，本實用新型的優(yōu)點和特征將更清楚。需說明的是，附圖均采用 非常簡化的形式且均使用非精準(zhǔn)的比率，僅用于方便、明晰地輔助說明本實用新型實施例 的目的。[0027]本實用新型的核心思想在于，提供一種氣體閥裝置，用于控制半導(dǎo)體工藝氣體管 路的通斷，其中，所述工藝氣體管路分別連接氣體鋼瓶與用氣設(shè)備，該氣體閥裝置包括電磁 閥以及指示燈，所述指示燈與所述電磁閥電性串連，當(dāng)所述電磁閥的電磁線圈在通電狀態(tài) 時所述指示燈亮，當(dāng)所述電磁線圈沒有在通電狀態(tài)時指示燈滅；從而可以直觀地看出所述 電磁線圈的狀態(tài)變化是否與半導(dǎo)體工藝氣體管路的動作要求一致；并且當(dāng)半導(dǎo)體工藝氣 體管路發(fā)生故障需要檢修時，電磁閥的狀態(tài)可以很直觀的通過所述指示燈的亮與不亮判斷 出，簡單方便，提高了解決問題和消除故障的工作效率，避免了因電磁閥檢修影響半導(dǎo)體加 工廠內(nèi)芯片的正常生產(chǎn)而造成的經(jīng)濟損失。請參考圖3至圖4，其中，圖3為本實用新型實施例提供的氣體閥裝置的正視圖，圖 4為本實用新型實施例提供的氣體閥裝置的俯視圖，由圖3至圖4所示，所述氣體閥裝置包 括電磁閥以及指示燈900，所述指示燈900與所述電磁閥電性串連。進一步地，所述電磁閥包括閥座100，所述閥座100上設(shè)有進氣口 200、出氣口 300以及通孔，所述進氣口 200 與所述出氣口 300以及所述通孔相互接通；閥芯，所述閥芯通過所述通孔插入所述閥座100內(nèi)，隔斷所述進氣口 200與所述出 氣口 300，并且所述閥芯與所述通孔之間保持密封，防止氣體通過所述通孔漏出；電磁線圈400，所述電磁線圈400內(nèi)設(shè)置有鐵芯500，所述鐵芯500與所述閥芯相 連，所述電磁線圈400與所述指示燈900電性串連；對于所述電磁線圈400與所述指示燈 900的連接關(guān)系請參考圖5，圖5為本實用新型實施例提供的氣體閥裝置中的電磁線圈與指 示燈電性連接的原理圖，由圖5可知，所述電磁線圈400與所述指示燈900電性串連，使得 當(dāng)所述電磁線圈400在通電狀態(tài)時所述指示燈900亮，當(dāng)所述電磁線圈400沒有在通電狀 態(tài)時所述指示燈900滅；從而可以直觀地看出所述電磁線圈400的狀態(tài)變化是否與半導(dǎo)體 工藝氣體管路的動作要求一致；并且當(dāng)半導(dǎo)體工藝氣體管路發(fā)生故障需要檢修時，電磁閥 的狀態(tài)可以很直觀的通過所述指示燈900的亮與不亮判斷出。進一步地，所述電磁閥還包括電線盒600與電源接線端700，所述電磁線圈400通 過電線與所述電源接線端700相連，所述電線置于所述電線盒600內(nèi)，所述電源接線端700 與外部電源相連。進一步地，所述指示燈900設(shè)置在所述電線盒600上，從而節(jié)省空間，并且方便連線。進一步地，所述電磁閥還包括進氣管接頭800與出氣管接頭801，所述進氣管接頭 800連接所述進氣口 200與所述氣體鋼瓶，所述出氣管接頭801連接所述出氣口 300與所述 用氣設(shè)備。進一步地，所述電磁閥還包括燈罩901，所述燈罩901設(shè)置于所述指示燈900的外 面，包圍所述指示燈900，從而保護所述指示燈900，防止所述指示燈900因其它物體碰撞而損壞。進一步地，所述燈罩901的材料為透明材質(zhì)，以便清楚地觀察所述指示燈900的狀態(tài)。本實用新型實施例提供的氣體閥裝置的使用方法為當(dāng)用氣設(shè)備需使用氣體時，將所述電源接線端700與外部電源接通，所述電磁線圈400通電，并產(chǎn)生磁力，從而驅(qū)動所述鐵芯500向上運動，由于所述鐵芯500與所述閥芯 是相連的，因而所述閥芯也向上移動，這樣所述閥芯與所述閥座100之間產(chǎn)生相對位置移 動，從而所述進氣口 200與所述出氣口 300接通，所述電磁閥打開，氣體鋼瓶內(nèi)的氣體通過 所述進氣口 200及所述出氣口 300流入到所述用氣設(shè)備內(nèi)；當(dāng)用氣設(shè)備不需使用氣體時，將所述電源接線端700與外部電源斷開，所述閥芯 因重力作用而下降，隔斷進氣口 200與所述出氣口 300，所述電磁閥關(guān)閉；同時，當(dāng)所述電磁線圈400處于通電狀態(tài)時，所述指示燈900亮，當(dāng)所述電磁線圈 400處于斷電狀態(tài)時，所述指示燈900滅，從而可根據(jù)指示燈900的狀態(tài)來判斷所述電磁線 圈400的通斷電，并進一步判斷所述電磁線圈400的狀態(tài)變化是否與半導(dǎo)體工藝氣體管路 的動作要求一致；并且，當(dāng)半導(dǎo)體工藝氣體管路發(fā)生故障需要檢修時，所述電磁閥的狀態(tài)可以很直 觀的通過所述指示燈900的亮與滅判斷出，從而有利于判斷故障并消除。綜上所述，本實用新型提供一種氣體閥裝置，用于控制半導(dǎo)體工藝氣體管路的通 斷，其中，所述工藝氣體管路分別連接氣體鋼瓶與用氣設(shè)備，該氣體閥裝置包括電磁閥以及 指示燈，所述指示燈與所述電磁閥電性串連，當(dāng)所述電磁閥的電磁線圈在通電狀態(tài)時所述 指示燈亮，當(dāng)所述電磁線圈沒有在通電狀態(tài)時指示燈滅；從而可以直觀地看出所述電磁線 圈的狀態(tài)變化是否與半導(dǎo)體工藝氣體管路的動作要求一致；并且當(dāng)半導(dǎo)體工藝氣體管路發(fā) 生故障需要檢修時，電磁閥的狀態(tài)可以很直觀的通過所述指示燈的亮與不亮判斷出，簡單 方便，提高了解決問題和消除故障的工作效率，避免了因電磁閥檢修影響半導(dǎo)體加工廠內(nèi) 芯片的正常生產(chǎn)而造成的經(jīng)濟損失。顯然，本領(lǐng)域的技術(shù)人員可以對實用新型進行各種改動和變型而不脫離本實用新 型的精神和范圍。這樣，倘若本實用新型的這些修改和變型屬于本實用新型權(quán)利要求及其 等同技術(shù)的范圍之內(nèi)，則本實用新型也意圖包含這些改動和變型在內(nèi)。
權(quán)利要求1.一種氣體閥裝置，用于控制半導(dǎo)體工藝氣體管路的通斷，其中，所述工藝氣體管路分 別連接氣體鋼瓶與用氣設(shè)備，其特征在于，該氣體閥裝置包括電磁閥以及指示燈，所述指示 燈與所述電磁閥電性串連。
2.如權(quán)利要求1所述的氣體閥裝置，其特征在于，所述電磁閥包括閥座，所述閥座上設(shè)有進氣口、出氣口以及通孔，所述進氣口與所述出氣口以及所述通 孔相互接通；閥芯，所述閥芯通過所述通孔插入所述閥座內(nèi)，隔斷所述進氣口與所述出氣口，并且所 述閥芯與所述通孔之間保持密封；電磁線圈，所述電磁線圈內(nèi)設(shè)置有鐵芯，所述鐵芯與所述閥芯相連，所述電磁線圈與所 述指示燈電性串連。
3.如權(quán)利要求2所述的氣體閥裝置，其特征在于，所述電磁閥還包括電線盒與電源接 線端，所述電磁線圈通過電線與所述電源接線端相連，所述電線置于所述電線盒內(nèi)，所述電 源接線端與外部電源相連。
4.如權(quán)利要求3所述的氣體閥裝置，其特征在于，所述指示燈設(shè)置在所述電線盒上。
5.如權(quán)利要求2所述的氣體閥裝置，其特征在于，所述電磁閥還包括進氣管接頭與出 氣管接頭，所述進氣管接頭連接所述進氣口與所述氣體鋼瓶，所述出氣管接頭連接所述出 氣口與所述用氣設(shè)備。
6.如權(quán)利要求1所述的氣體閥裝置，其特征在于，所述電磁閥還包括燈罩，所述燈罩設(shè) 置于所述指示燈的外面，包圍所述指示燈。
7.如權(quán)利要求6所述的氣體閥裝置，其特征在于，所述燈罩的材料為透明材質(zhì)。
專利摘要本實用新型公開了一種氣體閥裝置，用于控制半導(dǎo)體工藝氣體管路的通斷，其中，所述工藝氣體管路分別連接氣體鋼瓶與用氣設(shè)備，該氣體閥裝置包括電磁閥以及指示燈，所述指示燈與所述電磁閥電性串連，當(dāng)所述電磁閥的電磁線圈在通電狀態(tài)時所述指示燈亮，當(dāng)所述電磁線圈沒有在通電狀態(tài)時指示燈滅；從而可以直觀地看出所述電磁線圈的狀態(tài)變化是否與半導(dǎo)體工藝氣體管路的動作要求一致；并且當(dāng)半導(dǎo)體工藝氣體管路發(fā)生故障需要檢修時，電磁閥的狀態(tài)可以很直觀的通過所述指示燈的亮與不亮判斷出，簡單方便，提高了解決問題和消除故障的工作效率，避免了因電磁閥檢修影響半導(dǎo)體加工廠內(nèi)芯片的正常生產(chǎn)而造成的經(jīng)濟損失。
文檔編號F16K37/00GK201858417SQ20102026454
公開日2011年6月8日 申請日期2010年7月20日 優(yōu)先權(quán)日2010年7月20日
發(fā)明者王東海 申請人:中芯國際集成電路制造(上海)有限公司