專利名稱：自動(dòng)調(diào)節(jié)閥的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實(shí)用新型涉及半導(dǎo)體生產(chǎn)中超純水供應(yīng)設(shè)備，尤其涉及一種自動(dòng)調(diào)節(jié)閥。
背景技術(shù)：
在半導(dǎo)體集成電路的制造工藝中，80%以上的工序都需要使用水進(jìn)行清洗，在清 洗過程中，晶片及工件與水直接接觸。并且在這些需使用水清洗的工序中，大約有一半以上 的工序在晶片與水接觸后緊接著就進(jìn)入高溫過程，若此時(shí)水中含有雜質(zhì)就會(huì)進(jìn)入硅片而導(dǎo) 致集成電路器件性能下降、成品率降低。確切一點(diǎn)說，向生產(chǎn)線提供穩(wěn)定優(yōu)質(zhì)的水將涉及到 企業(yè)的成本問題。為了解決因清洗而造成的污染問題，目前采用的辦法是將普通的水進(jìn)行純化，制 備成超純水。所謂超純水是指將水中的導(dǎo)電介質(zhì)幾乎全部去除，又將水中不離解的膠體物 質(zhì)、氣體和有機(jī)物均去除至很低程度的水。在25°C時(shí)，超純水的電阻率大于18ΜΩ. cm，或接 近18. 3ΜΩ.αιι的極限值。通常來說，超純水由廠務(wù)制備，再通過超純水輸送管路輸送至各個(gè)生產(chǎn)設(shè)備，以供 使用；并且，輸送到每個(gè)生產(chǎn)設(shè)備處的輸送管路分別由一個(gè)閥門控制。現(xiàn)有的閥門通常為手動(dòng)閥，請(qǐng)參考圖1至圖2，其中，圖1為現(xiàn)有的手動(dòng)閥處于關(guān)閉 狀態(tài)的結(jié)構(gòu)示意圖，圖2為現(xiàn)有的手動(dòng)閥處于開啟狀態(tài)的結(jié)構(gòu)示意圖，如圖1至圖2所示， 現(xiàn)有的手動(dòng)閥100包括閥殼110，所述閥殼110的頂部設(shè)置有第一通孔，所述閥殼110內(nèi)設(shè)置有管道120， 所述管道120上設(shè)有第二通孔，所述管道120的一端接進(jìn)水口接頭121，另一端接出水口接 頭 122 ；閥芯130，所述閥芯130通過所述第二通孔插入所述管道120內(nèi)，控制所述管道 102的通斷；以及閥控制件，所述閥控制件位于所述閥殼110內(nèi)，所述閥控制件包括活塞腔140、位 于所述活塞腔140內(nèi)的活塞143、彈簧141以及第一連接桿144 ；所述彈簧141連接所述活 塞腔140的頂部與所述活塞143，所述活塞143與所述活塞腔140之間密封；所述第一連接 桿144固定在所述活塞143上，并且所述第一連接桿144的一端與所述閥芯130連接，另一 端穿通所述活塞腔140的頂部，并通過所述第一通孔穿通所述閥殼110的頂部；所述活塞腔 140上設(shè)置有通氣孔142，并且所述通氣孔142位于所述活塞143的下方，所述通氣孔142 外接氣源?，F(xiàn)有的手動(dòng)閥100的工作原理為當(dāng)需使用超純水時(shí)，控制所述氣源通過所述通氣孔向所述活塞腔140內(nèi)通入氣 體，在氣體的壓力下，所述活塞143向上運(yùn)動(dòng)，壓縮所述彈簧141，并帶動(dòng)所述第一連接桿 144向上運(yùn)動(dòng)，進(jìn)一步帶動(dòng)所述閥芯130向上運(yùn)動(dòng)，使其通過所述第二通孔移出所述管道 120，從而使得手動(dòng)閥100處于開啟狀態(tài)，超純水從所述進(jìn)水口接頭121流入到所述管道120 內(nèi)，并通過所述出水口接頭122流出，以供使用；[0011]當(dāng)超純水使用完畢時(shí)，關(guān)閉氣源，在所述彈簧141的彈力作用下，所述活塞143向 下運(yùn)動(dòng)，并帶動(dòng)所述第一連接桿144向下運(yùn)動(dòng)，進(jìn)一步帶動(dòng)所述閥芯130向下運(yùn)動(dòng)，使其通 過所述第二通孔插入所述管道120內(nèi)，從而使得手動(dòng)閥100處于關(guān)閉狀態(tài)。然而，現(xiàn)有的手動(dòng)閥100存在如下問題(1)當(dāng)閥芯130移出所述管道120后，所述手動(dòng)閥100處于開啟狀態(tài)，當(dāng)閥芯130 插入所述管道120后，所述手動(dòng)閥100處于關(guān)閉狀態(tài)，即所述手動(dòng)閥100要么處于完全開啟 狀態(tài)，要么處于完全關(guān)閉，因而不能調(diào)節(jié)超純水的流速；(2)隨著使用時(shí)間的增長，所述閥控制件存在損耗，例如彈簧141的彈性變差，活 塞143與活塞腔140之間的密封性降低，因而手動(dòng)閥100可能處于不正常工作狀態(tài)，但是卻 沒有檢測(cè)裝置對(duì)其進(jìn)行檢測(cè)。而在半導(dǎo)體集成電路的制造工藝中，有的半導(dǎo)體制程要求超純水的流速不斷變 化，從而達(dá)到更好的效果，例如當(dāng)晶片從酸處理槽移至干燥槽后，先需大量的超純水進(jìn)行沖 洗，且超純水的流速要大，隨后再用少量的超純水進(jìn)行沖洗。并且有的制程需要超純水的流 速在短時(shí)間內(nèi)變化很多次，因而現(xiàn)有的手動(dòng)閥100不能滿足要求。因此，有必要對(duì)現(xiàn)有的手動(dòng)閥進(jìn)行改進(jìn)。

實(shí)用新型內(nèi)容本實(shí)用新型的目的在于提供一種自動(dòng)調(diào)節(jié)閥，以解決現(xiàn)有技術(shù)中的手動(dòng)閥沒有自 動(dòng)調(diào)節(jié)流量裝置，不能滿足某些半導(dǎo)體制程需不斷改變超純水的流速的要求，并且沒有檢 測(cè)裝置，不能檢測(cè)手動(dòng)閥工作狀態(tài)的問題。為解決上述問題，本實(shí)用新型提出一種自動(dòng)調(diào)節(jié)閥，該自動(dòng)調(diào)節(jié)閥包括手動(dòng)閥以 及分別與所述手動(dòng)閥相連的自動(dòng)調(diào)節(jié)流量裝置及檢測(cè)裝置。可選的，所述手動(dòng)閥包括閥殼，所述閥殼的頂部設(shè)有第一通孔，所述閥殼內(nèi)設(shè)置有管道，所述管道上設(shè)有第 二通孔，所述管道的一端接進(jìn)水口接頭，另一端接出水口接頭；閥芯，所述閥芯通過所述第二通孔插入所述管道內(nèi)，控制所述管道的通斷；以及閥控制件，所述閥控制件位于所述閥殼內(nèi)，所述閥控制件包括活塞腔、位于所述活 塞腔內(nèi)的活塞、彈簧以及第一連接桿；所述彈簧連接所述活塞腔的頂部與所述活塞，所述活 塞與所述活塞腔之間密封；所述第一連接桿固定在所述活塞上，并且所述第一連接桿的一 端與所述閥芯連接，另一端穿通所述活塞腔的頂部，并通過所述第一通孔穿通所述閥殼的 頂部；所述活塞腔上設(shè)置有通氣孔，并且所述通氣孔位于所述活塞的下方，所述通氣孔外接 氣源。可選的，所述自動(dòng)調(diào)節(jié)流量裝置包括流量調(diào)節(jié)裝置，所述流量調(diào)節(jié)裝置包括圓板、第二連接桿以及旋鈕，所述圓板位于 所述管道內(nèi)，所述圓板的直徑與所述管道的內(nèi)徑相等；所述旋鈕位于所述閥殼的頂部，所述 旋鈕上設(shè)有第一齒輪；所述第二連接桿的一端與所述圓板相連，另一端穿通所述閥殼后與 所述旋鈕相連；電動(dòng)機(jī)，所述電動(dòng)機(jī)上設(shè)有第二齒輪，所述第一齒輪與所述第二齒輪嚙合；編碼器，所述編碼器與所述電動(dòng)機(jī)相連；[0027]流量計(jì)，所述流量計(jì)與所述出水口接頭相連；以及等比例微分積分模塊，所述等比例微分積分模塊分別與所述流量計(jì)、電動(dòng)機(jī)及編 碼器相連?？蛇x的，所述檢測(cè)裝置包括光傳感器以及標(biāo)識(shí)裝置，所述光傳感器固定在所述閥 殼的頂部，所述標(biāo)識(shí)裝置與所述光傳感器相連；所述光傳感器包括光發(fā)射端及光接收端，所 述光發(fā)射端與所述光接收端之間設(shè)有一空隙，所述空隙位于所述第一通孔的上方?？蛇x的，所述標(biāo)識(shí)裝置包括第一燈泡及第二燈泡，所述第一燈泡與所述光發(fā)射端 相連，所述第二燈泡與所述光接收端相連。本實(shí)用新型由于采用以上的技術(shù)方案，使之與現(xiàn)有技術(shù)相比，具有以下的優(yōu)點(diǎn)和 積極效果(1)本實(shí)用新型提供的自動(dòng)調(diào)節(jié)閥包括流量調(diào)節(jié)裝置，所述流量調(diào)節(jié)裝置包括圓 板、第二連接桿以及旋鈕，所述第二連接桿連接所述旋鈕與所述圓板，所述圓板位于所述管 道內(nèi)，通過旋轉(zhuǎn)所述旋鈕，帶動(dòng)所述第二連接桿轉(zhuǎn)動(dòng)，并進(jìn)一步帶動(dòng)所述圓板轉(zhuǎn)動(dòng)，通過控 制所述圓板與所述管道的夾角來調(diào)節(jié)所述超純水的流速，當(dāng)所述圓板與所述管道平行時(shí)， 所述超純水的流速最大，當(dāng)所述圓板與所述管道垂直時(shí)，所述超純水的流速最小，從而實(shí)現(xiàn) 了流速的調(diào)節(jié)；(2)本實(shí)用新型提供的自動(dòng)調(diào)節(jié)閥包括自動(dòng)調(diào)節(jié)流量裝置，所述自動(dòng)調(diào)節(jié)流量裝 置可根據(jù)所述流量計(jì)的當(dāng)前流速和設(shè)定流速，自動(dòng)對(duì)所述流量調(diào)節(jié)裝置進(jìn)行調(diào)整，從而自 動(dòng)調(diào)節(jié)超純水的流速；(3)本實(shí)用新型提供的自動(dòng)調(diào)節(jié)閥包括檢測(cè)裝置，當(dāng)所述閥芯位于所述管道內(nèi)，所 述手動(dòng)閥處于關(guān)閉狀態(tài)時(shí)，所述光傳感器的光發(fā)射端發(fā)射的光線可以通過所述空隙傳送到 所述光接收端，所述光接收端接收到光線后，所述第二燈泡亮；當(dāng)所述閥芯移出所述管道， 所述手動(dòng)閥處于開啟狀態(tài)時(shí)，所述第一連接桿插入所述空隙內(nèi)，阻擋所述光發(fā)射端發(fā)射的 光線，使其不能傳送到所述光接收端，所述第二燈泡滅；從而可以通過所述檢測(cè)裝置判斷所 述手動(dòng)閥是否處于正確的狀態(tài)。

圖1為現(xiàn)有的手動(dòng)閥處于關(guān)閉狀態(tài)的結(jié)構(gòu)示意圖；圖2為現(xiàn)有的手動(dòng)閥處于開啟狀態(tài)的結(jié)構(gòu)示意圖；圖3為本實(shí)用新型實(shí)施例提供的自動(dòng)調(diào)節(jié)閥處于關(guān)閉狀態(tài)的結(jié)構(gòu)示意圖；圖4為本實(shí)用新型實(shí)施例提供的自動(dòng)調(diào)節(jié)閥處于開啟狀態(tài)的結(jié)構(gòu)示意圖。
具體實(shí)施方式
以下結(jié)合附圖和具體實(shí)施例對(duì)本實(shí)用新型提出的自動(dòng)調(diào)節(jié)閥作進(jìn)一步詳細(xì)說明。 根據(jù)下面說明和權(quán)利要求書，本實(shí)用新型的優(yōu)點(diǎn)和特征將更清楚。需說明的是，附圖均采用 非常簡化的形式且均使用非精準(zhǔn)的比率，僅用于方便、明晰地輔助說明本實(shí)用新型實(shí)施例 的目的。本實(shí)用新型的核心思想在于，提供一種自動(dòng)調(diào)節(jié)閥，該自動(dòng)調(diào)節(jié)閥包括手動(dòng)閥以 及分別與所述手動(dòng)閥相連的自動(dòng)調(diào)節(jié)流量裝置及檢測(cè)裝置，所述自動(dòng)調(diào)節(jié)流量裝置對(duì)所述手動(dòng)閥內(nèi)的超純水的流速進(jìn)行自動(dòng)調(diào)節(jié)，所述檢測(cè)裝置檢測(cè)所述手動(dòng)閥的開關(guān)狀態(tài)，從而 克服了現(xiàn)有的手動(dòng)閥不能自動(dòng)調(diào)節(jié)流速的缺點(diǎn)，并且通過所述檢測(cè)裝置可及時(shí)地判斷所述 手動(dòng)閥是否正常。請(qǐng)參考圖3至圖4，其中圖3為本實(shí)用新型實(shí)施例提供的自動(dòng)調(diào)節(jié)閥處于關(guān)閉狀態(tài) 的結(jié)構(gòu)示意圖，圖4為本實(shí)用新型實(shí)施例提供的自動(dòng)調(diào)節(jié)閥處于開啟狀態(tài)的結(jié)構(gòu)示意圖， 如圖3至圖4所示，本實(shí)用新型提供的自動(dòng)調(diào)節(jié)閥200包括手動(dòng)閥以及與所述手動(dòng)閥分別 相連的自動(dòng)調(diào)節(jié)流量裝置及檢測(cè)裝置。進(jìn)一步地，所述手動(dòng)閥包括閥殼210，所述閥殼210的頂部設(shè)置有第一通孔，所述閥殼210內(nèi)設(shè)置有管道220， 所述管道220上設(shè)有第二通孔，所述管道220的一端接進(jìn)水口接頭221，另一端接出水口接 頭 222 ；閥芯230，所述閥芯230通過所述第二通孔插入所述管道220內(nèi)，控制所述管道 220的通斷；以及閥控制件，所述閥控制件位于所述閥殼210內(nèi)，所述閥控制件包括活塞腔240、位 于所述活塞腔240內(nèi)的活塞243、彈簧241以及第一連接桿244 ；所述彈簧241連接所述活 塞腔240的頂部與所述活塞243，所述活塞243與所述活塞腔240之間密封；所述第一連接 桿244固定在所述活塞243上，并且所述第一連接桿244的一端與所述閥芯230連接，另一 端穿通所述活塞腔240的頂部，并通過所述第一通孔穿通所述閥殼210的頂部；所述活塞腔 240上設(shè)置有通氣孔242，并且所述通氣孔242位于所述活塞243的下方，所述通氣孔242 外接氣源。進(jìn)一步地，所述自動(dòng)調(diào)節(jié)流量裝置包括流量調(diào)節(jié)裝置，所述流量調(diào)節(jié)裝置包括圓板250、第二連接桿251以及旋鈕252，所 述圓板250位于所述管道220內(nèi)，所述圓板250的直徑與所述管道220的內(nèi)徑相等；所述旋 鈕252位于所述閥殼210的頂部，所述旋鈕上設(shè)有第一齒輪；所述第二連接桿251的一端 與所述圓板250相連，另一端穿通所述閥殼210后與所述旋鈕252相連；通過旋轉(zhuǎn)所述旋 鈕252，帶動(dòng)所述第二連接桿251轉(zhuǎn)動(dòng)，并進(jìn)一步帶動(dòng)所述圓板250轉(zhuǎn)動(dòng)，通過控制所述圓板 250與所述管道220的夾角來調(diào)節(jié)所述超純水的流速，當(dāng)所述圓板250與所述管道220平行 時(shí)，所述超純水的流速最大，當(dāng)所述圓板250與所述管道220垂直時(shí)，所述超純水的流速最電動(dòng)機(jī)290，所述電動(dòng)機(jī)290上設(shè)有第二齒輪，所述第一齒輪與所述第二齒輪嚙 合，所述電動(dòng)機(jī)290的旋轉(zhuǎn)運(yùn)動(dòng)帶動(dòng)所述旋鈕252旋轉(zhuǎn)；編碼器291，所述編碼器291與所述電動(dòng)機(jī)290相連，所述編碼器291控制所述電 動(dòng)機(jī)290的旋轉(zhuǎn)角度；流量計(jì)270，所述流量計(jì)270與所述出水口接頭222相連，所述流量計(jì)270可顯示 當(dāng)前流速，并可設(shè)定流速；以及等比例微分積分模塊280，所述等比例微分積分模塊280分別與所述流量計(jì)270、 電動(dòng)機(jī)290及編碼器291相連；所述等比例微分積分模塊280讀取所述流量計(jì)270的當(dāng)前 流速及設(shè)定流速，根據(jù)所述設(shè)定流速與所述當(dāng)前流速的差值計(jì)算出所述圓板250需旋轉(zhuǎn)的 方向及角度；并將所述圓板250需旋轉(zhuǎn)的方向發(fā)送給所述電動(dòng)機(jī)290，將所述圓板250需旋轉(zhuǎn)的角度發(fā)送給所述編碼器291 ；所述編碼器291根據(jù)所述圓板250需旋轉(zhuǎn)的角度計(jì)算出 所述電動(dòng)機(jī)290需旋轉(zhuǎn)的角度，并發(fā)送給所述電動(dòng)機(jī)290。進(jìn)一步地，所述檢測(cè)裝置包括光傳感器260以及標(biāo)識(shí)裝置，所述光傳感器260固定 在所述閥殼210的頂部，所述標(biāo)識(shí)裝置與所述光傳感器260相連；所述光傳感器260包括光 發(fā)射端261及光接收端262，所述光發(fā)射端261與所述光接收端262之間設(shè)有一空隙263， 所述空隙263位于所述第一通孔的上方。進(jìn)一步地，所述標(biāo)識(shí)裝置包括第一燈泡264及第二燈泡265，所述第一燈泡264與 所述光發(fā)射端261相連，所述第二燈泡265與所述光接收端262相連；當(dāng)所述閥芯230位于 所述管道220內(nèi)，所述手動(dòng)閥處于關(guān)閉狀態(tài)時(shí)，所述光傳感器260的光發(fā)射端261發(fā)射的光 線可以通過所述空隙263傳送到所述光接收端262，所述光接收端262接收到光線后，所述 第二燈泡265亮；當(dāng)所述閥芯230移出所述管道220，所述手動(dòng)閥處于開啟狀態(tài)時(shí)，所述第 一連接桿244插入所述空隙263內(nèi)，阻擋所述光發(fā)射端261發(fā)射的光線，使其不能傳送到所 述光接收端262，所述第二燈泡265滅；并且在所述光發(fā)射端261發(fā)射光線時(shí)，所述第一燈 泡264亮；從而可以通過所述第一燈泡264與所述第二燈泡265的狀態(tài)判斷所述手動(dòng)閥是 否處于正確的狀態(tài)。本實(shí)用新型實(shí)施例提供的手動(dòng)調(diào)節(jié)閥200的使用方法為當(dāng)需使用超純水時(shí)，設(shè)定所述流量計(jì)270的流速，所述等比例微分積分模塊280讀 取所述流量計(jì)270的當(dāng)前流速及設(shè)定流速，其中當(dāng)前流速為0，根據(jù)所述設(shè)定流速與所述當(dāng) 前流速的差值計(jì)算出所述圓板250需旋轉(zhuǎn)的方向及角度；并將所述圓板250需旋轉(zhuǎn)的方向 發(fā)送給所述電動(dòng)機(jī)290，將所述圓板250需旋轉(zhuǎn)的角度發(fā)送給所述編碼器291 ；所述編碼器 291根據(jù)所述圓板250需旋轉(zhuǎn)的角度計(jì)算出所述電動(dòng)機(jī)290需旋轉(zhuǎn)的角度，并發(fā)送給所述電 動(dòng)機(jī)290 ；所述電動(dòng)機(jī)290根據(jù)所述等比例微分積分模塊280發(fā)送的方向及所述編碼器291 發(fā)送的角度進(jìn)行旋轉(zhuǎn)，并帶動(dòng)所述旋鈕252旋轉(zhuǎn)，使得所述圓板250與所述管道220的夾角 達(dá)到所需值；控制所述氣源通過所述通氣孔向所述活塞腔240內(nèi)通入氣體，在氣體的壓力下， 所述活塞243向上運(yùn)動(dòng)，壓縮所述彈簧241，并帶動(dòng)所述第一連接桿244向上運(yùn)動(dòng)，進(jìn)一步帶 動(dòng)所述閥芯230向上運(yùn)動(dòng)，使其通過所述第二通孔移出所述管道220，從而使得手動(dòng)閥200 處于開啟狀態(tài)，超純水從所述進(jìn)水口接頭221流入到所述管道220內(nèi)，并通過所述出水口接 頭222流出，以供使用；當(dāng)需改變超純水的流速時(shí)，設(shè)定所述流量計(jì)270的流速，所述等比例微分積分模 塊280讀取所述流量計(jì)270的當(dāng)前流速及設(shè)定流速，根據(jù)所述設(shè)定流速與所述當(dāng)前流速的 差值計(jì)算出所述圓板250需旋轉(zhuǎn)的方向及角度；并將所述圓板250需旋轉(zhuǎn)的方向發(fā)送給 所述電動(dòng)機(jī)290，將所述圓板250需旋轉(zhuǎn)的角度發(fā)送給所述編碼器291 ；所述編碼器291根 據(jù)所述圓板250需旋轉(zhuǎn)的角度計(jì)算出所述電動(dòng)機(jī)290需旋轉(zhuǎn)的角度，并發(fā)送給所述電動(dòng)機(jī) 290 ；所述電動(dòng)機(jī)290根據(jù)所述等比例微分積分模塊280發(fā)送的方向及所述編碼器291發(fā)送 的角度進(jìn)行旋轉(zhuǎn)，并帶動(dòng)所述旋鈕252旋轉(zhuǎn)，使得所述圓板250與所述管道220的夾角達(dá)到 所需值；當(dāng)超純水使用完畢時(shí)，旋轉(zhuǎn)所述旋鈕252，使所述圓板250與所述管道220垂直； 并且關(guān)閉氣源，在所述彈簧241的彈力作用下，所述活塞243向下運(yùn)動(dòng)，并帶動(dòng)所述第一連接桿244向下運(yùn)動(dòng)，進(jìn)一步帶動(dòng)所述閥芯230向下運(yùn)動(dòng)，使其通過所述第二通孔插入所述管 道220內(nèi)，從而使得手動(dòng)閥200處于關(guān)閉狀態(tài)。本實(shí)用新型實(shí)施例提供的手動(dòng)調(diào)節(jié)閥200的狀態(tài)檢測(cè)方法為開啟所述光傳感器260的光發(fā)射端261，使其發(fā)射光線，此時(shí)第一燈泡264亮；若所述第二燈泡265亮，則所述手動(dòng)閥處于關(guān)閉狀態(tài)，若所述第二燈泡265滅，則 所述手動(dòng)閥處于開啟狀態(tài)；將所述第二燈泡265表示的手動(dòng)閥開關(guān)狀態(tài)與實(shí)際的手動(dòng)閥開關(guān)狀態(tài)相比較，判 斷所述手動(dòng)閥是否正常。在本實(shí)用新型的一個(gè)具體實(shí)施例中，所述標(biāo)識(shí)裝置為第一燈泡264及第二燈泡 265，然而應(yīng)該認(rèn)識(shí)到，根據(jù)實(shí)際情況，所述標(biāo)識(shí)裝置還可以為其它可標(biāo)識(shí)不同狀態(tài)的部件，
例如第一蜂鳴器及第二蜂鳴器等。綜上所述，本實(shí)用新型提供了一種自動(dòng)調(diào)節(jié)閥，該自動(dòng)調(diào)節(jié)閥包括手動(dòng)閥以及分 別與所述手動(dòng)閥相連的自動(dòng)調(diào)節(jié)流量裝置及檢測(cè)裝置，所述自動(dòng)調(diào)節(jié)流量裝置包括流量調(diào) 節(jié)裝置、電動(dòng)機(jī)、編碼器、流量計(jì)以及等比例微分積分模塊；所述流量調(diào)節(jié)裝置包括圓板以 及與所述圓板相連的旋鈕，所述圓板位于所述手動(dòng)閥的管道內(nèi)，所述圓板的直徑與所述管 道的內(nèi)徑相等；所述旋鈕與所述電動(dòng)機(jī)相連；所述等比例微分積分模塊與所述編碼器根據(jù) 流量計(jì)的當(dāng)前流速與設(shè)定流速控制所述電動(dòng)機(jī)需旋轉(zhuǎn)的方向及角度，所述電動(dòng)機(jī)旋轉(zhuǎn)帶動(dòng) 所述旋鈕旋轉(zhuǎn)，從而實(shí)現(xiàn)自動(dòng)調(diào)節(jié)流速。所述檢測(cè)裝置包括光傳感器以及標(biāo)識(shí)裝置，所述光 傳感器包括光發(fā)射端及光接收端，所述標(biāo)識(shí)裝置根據(jù)所述光傳感器的狀態(tài)及所述手動(dòng)閥的 狀態(tài)顯示不同的標(biāo)識(shí)狀態(tài)。從而可以調(diào)節(jié)所述手動(dòng)閥的流速并檢測(cè)所述手動(dòng)閥的工作狀 態(tài)。顯然，本領(lǐng)域的技術(shù)人員可以對(duì)實(shí)用新型進(jìn)行各種改動(dòng)和變型而不脫離本實(shí)用新 型的精神和范圍。這樣，倘若本實(shí)用新型的這些修改和變型屬于本實(shí)用新型權(quán)利要求及其 等同技術(shù)的范圍之內(nèi)，則本實(shí)用新型也意圖包含這些改動(dòng)和變型在內(nèi)。
權(quán)利要求一種自動(dòng)調(diào)節(jié)閥，其特征在于，包括手動(dòng)閥，以及分別與所述手動(dòng)閥相連的自動(dòng)調(diào)節(jié)流量裝置及檢測(cè)裝置。
2.如權(quán)利要求1所述的自動(dòng)調(diào)節(jié)閥，其特征在于，所述手動(dòng)閥包括閥殼，所述閥殼的頂部設(shè)有第一通孔，所述閥殼內(nèi)設(shè)置有管道，所述管道上設(shè)有第二通 孔，所述管道的一端接進(jìn)水口接頭，另一端接出水口接頭；閥芯，所述閥芯通過所述第二通孔插入所述管道內(nèi)，控制所述管道的通斷；以及閥控制件，所述閥控制件位于所述閥殼內(nèi)，所述閥控制件包括活塞腔、位于所述活塞腔 內(nèi)的活塞、彈簧以及第一連接桿；所述彈簧連接所述活塞腔的頂部與所述活塞，所述活塞與 所述活塞腔之間密封；所述第一連接桿固定在所述活塞上，并且所述第一連接桿的一端與 所述閥芯連接，另一端穿通所述活塞腔的頂部，并通過所述第一通孔穿通所述閥殼的頂部； 所述活塞腔上設(shè)置有通氣孔，并且所述通氣孔位于所述活塞的下方，所述通氣孔外接氣源。
3.如權(quán)利要求2所述的自動(dòng)調(diào)節(jié)閥，其特征在于，所述自動(dòng)調(diào)節(jié)流量裝置包括流量調(diào)節(jié)裝置，所述流量調(diào)節(jié)裝置包括圓板、第二連接桿以及旋鈕，所述圓板位于所述 管道內(nèi)，所述圓板的直徑與所述管道的內(nèi)徑相等；所述旋鈕位于所述閥殼的頂部，所述旋鈕 上設(shè)有第一齒輪；所述第二連接桿的一端與所述圓板相連，另一端穿通所述閥殼后與所述 旋鈕相連；電動(dòng)機(jī)，所述電動(dòng)機(jī)上設(shè)有第二齒輪，所述第一齒輪與所述第二齒輪嚙合；編碼器，所述編碼器與所述電動(dòng)機(jī)相連；流量計(jì)，所述流量計(jì)與所述出水口接頭相連；以及等比例微分積分模塊，所述等比例微分積分模塊分別與所述流量計(jì)、電動(dòng)機(jī)及編碼器 相連。
4.如權(quán)利要求2所述的自動(dòng)調(diào)節(jié)閥，其特征在于，所述檢測(cè)裝置包括光傳感器以及標(biāo) 識(shí)裝置，所述光傳感器固定在所述閥殼的頂部，所述標(biāo)識(shí)裝置與所述光傳感器相連；所述光 傳感器包括光發(fā)射端及光接收端，所述光發(fā)射端與所述光接收端之間設(shè)有一空隙，所述空 隙位于所述第一通孔的上方。
5.如權(quán)利要求4所述的自動(dòng)調(diào)節(jié)閥，其特征在于，所述標(biāo)識(shí)裝置包括第一燈泡及第二 燈泡，所述第一燈泡與所述光發(fā)射端相連，所述第二燈泡與所述光接收端相連。
專利摘要本實(shí)用新型公開了一種自動(dòng)調(diào)節(jié)閥，該自動(dòng)調(diào)節(jié)閥包括手動(dòng)閥及分別與所述手動(dòng)閥相連的自動(dòng)調(diào)節(jié)流量裝置及檢測(cè)裝置，所述自動(dòng)調(diào)節(jié)流量裝置包括流量調(diào)節(jié)裝置、電動(dòng)機(jī)、編碼器、流量計(jì)及等比例微分積分模塊；所述流量調(diào)節(jié)裝置包括圓板及與圓板相連的旋鈕，所述圓板位于所述手動(dòng)閥的管道內(nèi)，且其直徑與管道的內(nèi)徑相等；所述旋鈕與所述電動(dòng)機(jī)相連；所述等比例微分積分模塊與編碼器根據(jù)流量計(jì)的當(dāng)前流速與設(shè)定流速控制所述電動(dòng)機(jī)的旋轉(zhuǎn)方向與角度，所述電動(dòng)機(jī)旋轉(zhuǎn)帶動(dòng)所述旋鈕旋轉(zhuǎn)，從而實(shí)現(xiàn)自動(dòng)調(diào)節(jié)流速。所述檢測(cè)裝置包括光傳感器及標(biāo)識(shí)裝置，所述標(biāo)識(shí)裝置根據(jù)所述光傳感器的狀態(tài)及手動(dòng)閥的狀態(tài)顯示不同的標(biāo)識(shí)狀態(tài)，從而可以檢測(cè)所述手動(dòng)閥的工作狀態(tài)。
文檔編號(hào)F16K31/53GK201772119SQ20102050630
公開日2011年3月23日 申請(qǐng)日期2010年8月26日 優(yōu)先權(quán)日2010年8月26日
發(fā)明者劉本峰, 吳良輝, 朱小凡 申請(qǐng)人:武漢新芯集成電路制造有限公司;中芯國際集成電路制造(上海)有限公司