專利名稱：氣動排水閥以及溢水裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
氣動排水閥以及溢水裝置
技術(shù)領(lǐng)域：
本實用新型涉及一種閥門，尤其涉及一種氣動排水閥，本實用新型還涉及一種溢水裝置。
背景技術(shù)：
在半導(dǎo)體生產(chǎn)中，清洗間常常使用溢水槽對產(chǎn)品進行清洗。在清洗過程中或清洗完成后需要將溢水槽里的水排掉。傳統(tǒng)技術(shù)可以采用人工排水(例如用水杯將水菌出)，但人工排水操作不方便，且排水不完全，會引起溢水槽的污染，影響硅片的清洗質(zhì)量。

實用新型內(nèi)容基于此，有必要提供一種氣動排水閥。一種氣動排水閥，所述氣動排水閥包括閥芯、閥座以及排水擋板；所述閥芯包括相互連接的頭部和桿部，所述閥座內(nèi)開設(shè)有中空的氣腔以及與所述氣腔連通的通孔；所述頭部與所述氣腔緊密配合并可在所述氣腔內(nèi)滑動，所述桿部與所述通孔緊密配合并從所述通孔穿出，所述頭部的橫截面積大于所述桿部的橫截面積以與所述閥座相抵持；所述閥座還開設(shè)有與所述氣腔連通的第一進氣孔和第二進氣孔，所述第一進氣孔設(shè)于閥座靠近所述通孔的一端，所述第二進氣孔設(shè)于閥座沿所述氣腔的延伸方向背離所述通孔的一端；所述第一進氣孔和第二進氣孔分別與由電磁閥控制的兩條進氣通道相連；所述排水擋板與桿部固定連接，所述閥芯帶動排水擋板實現(xiàn)對排水口的打開與關(guān)閉，所述排水口關(guān)閉時所述頭部與閥座之間留有與所述第一進氣孔連通的空隙。優(yōu)選的，所述閥座為圓柱體，所述氣腔和通孔形成圓柱形階梯孔，所述閥芯的頭部和桿部均為圓柱體，所述頭部的直徑大于所述桿部的直徑。優(yōu)選的，采用聚丙烯制成的所述閥芯上開設(shè)有連接孔，所述連接孔的延伸方向垂直于所述桿部的延伸方向，所述連接孔用于固定與所述排水擋板連接的連接件。優(yōu)選的，所述第一進氣孔和第二進氣孔是螺紋孔。優(yōu)選的，所述閥座上開設(shè)有定位孔。優(yōu)選的，所述定位孔是延伸方向平行于所述氣腔的延伸方向的螺紋孔。優(yōu)選的，所述定位孔的數(shù)量為8個，均勻分布在圓柱狀的所述閥座上。優(yōu)選的，所述排水擋板面向排水口的一面設(shè)有密封片。還有必要提供一種溢水裝置。一種溢水裝置，包括溢水槽，所述溢水槽的底面開設(shè)有排水口，所述溢水槽的側(cè)面開設(shè)有溢水口，所述溢水裝置還包括氣動排水閥，所述氣動排水閥是上述的氣動排水閥。上述氣動排水閥和溢水裝置，第一進氣孔進氣、第二進氣孔關(guān)閉時，氣體將閥芯向下壓，排水擋板下降，排水閥打開，溢水槽內(nèi)的水從排水口排出；第一進氣孔關(guān)閉、第二進氣孔進氣時，氣體將閥芯向上頂，排水擋板上升將排水口堵住，排水閥關(guān)閉，溢水槽內(nèi)的水不會從排水口排出。進氣孔分別與由電磁閥控制的兩條進氣通道相連，通過電磁閥控制排水閥的打開和關(guān)閉，操作簡單，排水較徹底。

圖1是一實施例中閥座的示意圖；圖2是圖1所示閥座沿A-A向的剖面圖；圖3是圖1所示閥座沿B-B向的剖面圖；圖4是一實施例中閥芯的剖面圖；圖5是一實施例中溢水裝置的部分剖面圖。
具體實施方式為使本實用新型的目的、特征和優(yōu)點能夠更為明顯易懂，
以下結(jié)合附圖對本實用新型的具體實施方式
做詳細(xì)的說明。圖1是一實施例中閥座的示意圖，圖2是圖1所示閥座沿A-A向的剖面圖，圖3是圖1所示閥座沿B-B向的剖面圖。如圖5所示，氣動排水閥包括閥座10、閥芯20以及排水擋板30。在本實施例中，閥座10為圓柱體，且開設(shè)有中空的圓柱形氣腔12和圓柱形通孔 14，氣腔12和通孔14相互連通，形成圓柱形階梯孔并共同貫通閥座10。在本實施例中，閥座10、氣腔12和通孔14是同軸的。本說明書中，將通孔14貫穿的閥座10的一端底部定義為上底104，將氣腔12貫穿的閥座10的一端底部定義為下底102。在其它實施例中，閥座、 氣腔和通孔也可以是其它形狀，例如長方體。閥座10還開設(shè)有與氣腔12連通的第一進氣孔162和第二進氣孔164，第一進氣孔 162設(shè)于閥座10靠近通孔14的一端(即靠近上底104的一端)，第二進氣孔164設(shè)于閥座 10沿氣腔12的延伸方向背離通孔14的一端(即靠近下底102的一端)。在本實施例中， 第一進氣孔162和第二進氣孔164的延伸方向垂直于閥座10的延伸方向(即軸向)，將閥座10的側(cè)壁貫穿，使氣腔12與外界相通。在其它實施例中，第一進氣孔162和第二進氣孔 164也可設(shè)于其它位置，例如第一進氣孔162的延伸方向可以平行于閥座10的軸向，從上底 104穿入閥座10。第一進氣孔162和第二進氣孔164分別與由電磁閥控制的兩條進氣通道相連。通過電磁閥接入電路后開、關(guān)排水閥的操作非常簡單。在本實施例中，第一進氣孔162和第二進氣孔164是階梯圓柱孔，他們的形狀相同。以第一進氣孔162為例進行說明，第一進氣孔162包括相互連通的一個1/4英寸螺紋孔1622和一個孔徑為1. 5毫米的小孔1624，小孔1624與氣腔12相通，螺紋孔1622與外界相通。將進氣口設(shè)計為外大內(nèi)小是為了進氣時增大對閥芯20的壓強。在其它實施例中，第一進氣孔162和第二進氣孔164也可以直接采用螺紋孔。結(jié)合圖1和圖3，在本實施例中，閥座10上開設(shè)有定位孔16，定位孔16從下底102 穿入閥座10中且延伸方向平行于氣腔12的延伸方向。在本實施例中定位孔16是8個于一圓周上均勻分布的螺紋孔，顯然的，在其他實施例中定位孔16的數(shù)量可以不同。圖4是一實施例中閥芯的剖面圖；閥芯20和閥座10可以采用PP(聚丙烯)材料制造，包括相互連接的頭部22和桿部24。頭部22形狀與氣腔12形狀相適配，頭部22與氣腔12緊密配合并可在氣腔12內(nèi)滑動，桿部M與通孔14緊密配合并從通孔14穿出。在本實施例中，閥芯20的頭部22和桿部M均為圓柱體，頭部22的直徑與氣腔12的孔徑相等， 桿部M的直徑與通孔14的孔徑相等，且頭部22的直徑大于桿部24，以與閥座10相抵持。 在其它實施例中，閥芯20可以為其它的形狀(例如橫截面為長方形)，這時頭部22的橫截面積大于桿部M的橫截面積以與閥座10相抵持。聚丙烯材料能耐強酸強堿，可以在酸堿度很高的環(huán)境下使用，適合使用酸洗的半導(dǎo)體生產(chǎn)。在本實施例中，閥芯20的桿部M遠離頭部22的一端開設(shè)有連接孔25，連接孔25 的延伸方向垂直于桿部M的延伸方向，用于固定與排水擋板30連接的連接件。在本實施例中，該連接件是銷釘35，在其它實施例中也可以采用其它連接件。參見圖5，排水擋板30與閥芯20固定連接，排水擋板30與溢水槽40接觸的一面設(shè)有密封片，在本實施例中是密封硅膠片34。閥芯20帶動排水擋板30實現(xiàn)對排水口 42的打開與關(guān)閉。排水口 42關(guān)閉時頭部22與閥座10之間留有與第一進氣孔162連通的空隙。上述氣動排水閥，第一進氣孔162進氣、第二進氣孔164關(guān)閉時，氣體將閥芯20向下壓，排水擋板30下降，排水閥打開，溢水槽40內(nèi)的水從排水口 42排出；第一進氣孔162 關(guān)閉、第二進氣孔164進氣時，氣體將閥芯20向上頂，排水擋板30上升將排水口 42堵住， 排水閥關(guān)閉，溢水槽40內(nèi)的水不會從排水口 42排出。第一進氣孔162、第二進氣孔164分別與由電磁閥控制的兩條進氣通道相連，通過電磁閥控制排水閥的打開和關(guān)閉，操作簡單， 排水較徹底。在優(yōu)選的實施例中，氣動水閥還包括密封圈。圖3和圖4示出了用于安裝密封圈的密封槽。例如頭部22與閥座10的接觸面處設(shè)有密封圈，參見圖4中的密封槽232。本實用新型還提供一種溢水裝置。圖5是一實施例中溢水裝置的部分剖面圖，包括溢水槽40，溢水槽40的底面開設(shè)有排水口 42，溢水槽40的側(cè)面開設(shè)有溢水口 44。溢水裝置還包括氣動排水閥，該氣動排水閥就是前述的氣動排水閥。在本實施例中，溢水裝置還包括設(shè)于溢水槽40底部且與溢水槽40固定連接的排水閥支架50。排水閥支架50可以采用焊接的方式固定在溢水槽40上。氣動排水閥固定在排水閥支架50上，具體是通過螺釘與定位孔16配合形成固定連接。上述氣動排水閥和溢水裝置結(jié)構(gòu)較簡單，材料和加工成本較低。以上所述實施例僅表達了本實用新型的幾種實施方式，其描述較為具體和詳細(xì)， 但并不能因此而理解為對本實用新型專利范圍的限制。應(yīng)當(dāng)指出的是，對于本領(lǐng)域的普通技術(shù)人員來說，在不脫離本實用新型構(gòu)思的前提下，還可以做出若干變形和改進，這些都屬于本實用新型的保護范圍。因此，本實用新型專利的保護范圍應(yīng)以所附權(quán)利要求為準(zhǔn)。
權(quán)利要求1.一種氣動排水閥，其特征在于，所述氣動排水閥包括閥芯、閥座以及排水擋板；所述閥芯包括相互連接的頭部和桿部，所述閥座內(nèi)開設(shè)有中空的氣腔以及與所述氣腔連通的通孔；所述頭部與所述氣腔緊密配合并可在所述氣腔內(nèi)滑動，所述桿部與所述通孔緊密配合并從所述通孔穿出，所述頭部的橫截面積大于所述桿部的橫截面積以與所述閥座相抵持；所述閥座還開設(shè)有與所述氣腔連通的第一進氣孔和第二進氣孔，所述第一進氣孔設(shè)于閥座靠近所述通孔的一端，所述第二進氣孔設(shè)于閥座沿所述氣腔的延伸方向背離所述通孔的一端；所述第一進氣孔和第二進氣孔分別與由電磁閥控制的兩條進氣通道相連；所述排水擋板與桿部固定連接，所述閥芯帶動排水擋板實現(xiàn)對排水口的打開與關(guān)閉， 所述排水口關(guān)閉時所述頭部與閥座之間留有與所述第一進氣孔連通的空隙。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的氣動排水閥，其特征在于，所述閥座為圓柱體，所述氣腔和通孔形成圓柱形階梯孔，所述閥芯的頭部和桿部均為圓柱體，所述頭部的直徑大于所述桿部的直徑。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的氣動排水閥，其特征在于，采用聚丙烯制成的所述閥芯上開設(shè)有連接孔，所述連接孔的延伸方向垂直于所述桿部的延伸方向，所述連接孔用于固定與所述排水擋板連接的連接件。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的氣動排水閥，其特征在于，所述第一進氣孔和第二進氣孔是螺紋孔。
5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的氣動排水閥，其特征在于，所述閥座上開設(shè)有定位孔。
6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的氣動排水閥，其特征在于，所述定位孔是延伸方向平行于所述氣腔的延伸方向的螺紋孔。
7.根據(jù)權(quán)利要求5所述的氣動排水閥，其特征在于，所述定位孔的數(shù)量為8個，均勻分布在圓柱狀的所述閥座上。
8.根據(jù)權(quán)利要求1所述的氣動排水閥，其特征在于，所述排水擋板面向排水口的一面設(shè)有密封片。
9.一種溢水裝置，包括溢水槽，所述溢水槽的底面開設(shè)有排水口，所述溢水槽的側(cè)面開設(shè)有溢水口，其特征在于，所述溢水裝置還包括氣動排水閥，所述氣動排水閥是如權(quán)利要求 1-8中任意一項所述的氣動排水閥。
10.根據(jù)權(quán)利要求9所述的溢水裝置，其特征在于，還包括設(shè)于所述溢水槽底部與所述溢水槽固定連接的排水閥支架，所述氣動排水閥固定在所述排水閥支架上。
專利摘要本實用新型涉及一種氣動排水閥，氣動排水閥包括閥芯、閥座以及排水擋板；閥芯包括相互連接的頭部和桿部，閥座內(nèi)開設(shè)有中空的氣腔以及與氣腔連通的通孔；頭部與氣腔緊密配合并可在氣腔內(nèi)滑動，桿部與通孔緊密配合并從通孔穿出，頭部與所述閥座相抵持；閥座還開設(shè)有與所述氣腔連通的第一進氣孔和第二進氣孔，分別與由電磁閥控制的兩條進氣通道相連；排水擋板與桿部固定連接，閥芯帶動排水擋板實現(xiàn)對排水口的打開與關(guān)閉。本實用新型還涉及一種溢水裝置。本實用新型通過電磁閥控制是否對兩個進氣孔通氣，從而控制排水閥的打開和關(guān)閉，操作簡單，排水較徹底。
文檔編號F16K31/12GK202144871SQ20102069372
公開日2012年2月15日 申請日期2010年12月31日 優(yōu)先權(quán)日2010年12月31日
發(fā)明者林盛浩, 王友旺, 裴新 申請人:深圳深愛半導(dǎo)體股份有限公司