專利名稱：升降裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實(shí)用新型涉及設(shè)備的附屬裝置，特別涉及一種半導(dǎo)體硅片加工設(shè)備的升降裝置。
背景技術(shù)：
半導(dǎo)體硅片加工設(shè)備在進(jìn)行維護(hù)時(shí)，若是逐個(gè)裝拆零件會(huì)增大工作量，降低效率， 所以有時(shí)需要將某些部件整體移開，比如光刻機(jī)在工作一段時(shí)間以后，掩膜臺(tái)的承版臺(tái)和投影物鏡上部的鏡片需進(jìn)行擦洗清理等維修維護(hù)工作，此時(shí)為了給要進(jìn)行的維修維護(hù)工作留有足夠的工作空間，需要將光刻機(jī)中的照明頂部模塊移開，進(jìn)一步使掩膜臺(tái)能夠升起并橫向移走，使投影物鏡上部鏡片全部暴露在外，為要進(jìn)行的維修維護(hù)工作留有足夠的工作空間。目前，將光刻機(jī)的照明頂部模塊整體移開的安裝維護(hù)機(jī)構(gòu)大多采用起升旋轉(zhuǎn)結(jié)構(gòu)，所述起升旋轉(zhuǎn)結(jié)構(gòu)的底部需要有足夠剛度的支撐結(jié)構(gòu)以及其上部需要較大的活動(dòng)空間，而針對(duì)光刻機(jī)本身的機(jī)型體積大小，若給起升旋轉(zhuǎn)結(jié)構(gòu)的上部留有較大的旋轉(zhuǎn)活動(dòng)空間則間接地增大了光刻機(jī)的空間占用率；此外，起升旋轉(zhuǎn)結(jié)構(gòu)采用手動(dòng)回轉(zhuǎn)方式工作，自動(dòng)化程度低。

實(shí)用新型內(nèi)容本實(shí)用新型的目的在于提供一種升降裝置，以解決現(xiàn)有技術(shù)中起升旋轉(zhuǎn)結(jié)構(gòu)空間占用率高、自動(dòng)化程度低的問(wèn)題。本實(shí)用新型提供一種升降裝置，設(shè)置于設(shè)備部件內(nèi)，所述升降裝置包括蝸輪、蝸桿、絲桿、支撐架、啟動(dòng)元件以及升降控制單元，所述啟動(dòng)元件與所述蝸輪連接，所述蝸桿與所述絲桿嚙合，所述蝸輪與所述蝸桿嚙合并設(shè)置在所述支撐架內(nèi)，所述支撐架固定在所述絲桿上，所述升降控制單元與所述啟動(dòng)元件連接。優(yōu)選地，升降控制單元包括控制箱以及與所述控制箱連接的傳感器，所述控制箱與所述啟動(dòng)元件連接。優(yōu)選地，所述控制箱內(nèi)包括變頻器以及與變頻器連接的集成電路控制板卡。優(yōu)選地，所述升降控制單元還包括手持式線控盒，所述手持式線控盒與所述控制箱連接。優(yōu)選地，所述升降裝置還包括導(dǎo)軌和滑塊，所述滑塊與所述絲桿嚙合并與所述設(shè)備部件固定連接，所述滑塊由所述絲桿帶動(dòng)沿所述導(dǎo)軌滑動(dòng)。優(yōu)選地，所述啟動(dòng)元件通過(guò)齒形帶與所述蝸輪連接。優(yōu)選地，所述絲桿的數(shù)量為兩個(gè)，所述蝸桿的兩端分別與兩個(gè)絲桿嚙合。優(yōu)選地，所述啟動(dòng)元件是交流電機(jī)。優(yōu)選地，所述支撐架包括有支撐臂，所述支撐臂的數(shù)量為兩個(gè)。優(yōu)選地，所述蝸輪與所述蝸桿為一體傳動(dòng)機(jī)構(gòu)。[0015]由于采用了以上技術(shù)方案，與現(xiàn)有技術(shù)相比，本實(shí)用新型具有以下優(yōu)點(diǎn)本實(shí)用新型提供的升降裝置通過(guò)蝸輪、蝸桿帶動(dòng)絲桿運(yùn)動(dòng)，由于支撐架固定在所述絲桿上，從而使設(shè)置在支撐架上的設(shè)備部件完成提升或下降作業(yè)，所述提升或下降作業(yè)占用垂直空間，大大節(jié)省了水平空間的占用率。在整個(gè)作業(yè)過(guò)程中，升降控制單元為啟動(dòng)元件提供停止和減速信號(hào)，防止在提升或下降突然停止時(shí)對(duì)設(shè)備部件產(chǎn)生沖擊而損害設(shè)備部件，整個(gè)升降過(guò)程自動(dòng)化程度高。進(jìn)一步地，所述升降裝置包括導(dǎo)軌和滑塊，使滑塊由絲桿帶動(dòng)沿導(dǎo)軌滑動(dòng)，進(jìn)而帶動(dòng)設(shè)備部件上下移動(dòng)，能夠穩(wěn)定設(shè)備部件的升降。另外，所述升降控制單元的手持式線控盒可以在操作升降裝置時(shí)離開一定的距離，方便觀察升降裝置周圍的情況。

參照附圖閱讀了本實(shí)用新型的具體實(shí)施方式
以后，將會(huì)更清楚地了解本實(shí)用新型的各個(gè)方面。其中，圖1為本實(shí)用新型實(shí)施例提供的升降裝置的結(jié)構(gòu)示意圖。
具體實(shí)施方式
下面參照附圖，對(duì)本實(shí)用新型的具體實(shí)施方式
作進(jìn)一步的詳細(xì)描述。在整個(gè)描述中，相同的附圖標(biāo)記表示相同的部件。本實(shí)用新型提供的升降裝置通過(guò)蝸輪、蝸桿帶動(dòng)絲桿運(yùn)動(dòng)，由于支撐架固定在所述絲桿上，從而使設(shè)置在支撐架上的設(shè)備部件完成提升或下降作業(yè)，所述提升或下降作業(yè)占用垂直空間，大大節(jié)省了水平空間的占用率。在整個(gè)作業(yè)過(guò)程中，升降控制單元為啟動(dòng)元件提供停止和減速信號(hào)，防止在提升或下降突然停止時(shí)對(duì)設(shè)備部件產(chǎn)生沖擊而損害設(shè)備部件。整個(gè)升降過(guò)程自動(dòng)化程度高。圖1為本實(shí)用新型實(shí)施例提供的升降裝置的結(jié)構(gòu)示意圖。參照?qǐng)D1，升降裝置設(shè)置于設(shè)備部件內(nèi)，所述升降裝置包括蝸輪11、蝸桿12、絲桿13、支撐架14、啟動(dòng)元件15以及升降控制單元(圖中未示出)，所述啟動(dòng)元件15與所述蝸輪11連接，所述蝸桿12與所述絲桿13嚙合，所述蝸輪11與所述蝸桿12嚙合并設(shè)置在所述支撐架14內(nèi)，所述支撐架14固定在所述絲桿13上，所述升降控制單元與所述啟動(dòng)元件15連接。在本實(shí)施例中，所述絲桿13的數(shù)量為兩個(gè)，所述蝸桿12的兩端分別與兩個(gè)絲桿13 嚙合。所述蝸桿12同時(shí)驅(qū)動(dòng)兩個(gè)絲桿13運(yùn)動(dòng)。所述支撐架14包括有支撐臂141，所述支撐臂141的數(shù)量為兩個(gè)。當(dāng)然，上述絲桿13以及支撐臂141的數(shù)量并不用于限定本實(shí)用新型，本領(lǐng)域技術(shù)人員可以根據(jù)需要移動(dòng)的具體設(shè)備部件，設(shè)置符合機(jī)械結(jié)構(gòu)以及力學(xué)要求的絲桿13和支撐臂141的數(shù)量。具體地，所述升降控制單元包括控制箱(圖中未畫出)以及與所述控制箱連接的傳感器(圖中未畫出)，所述控制箱與所述啟動(dòng)元件15連接。所述控制箱內(nèi)包括變頻器以及與變頻器連接的集成電路控制板卡。與所述控制箱連接的傳感器檢測(cè)設(shè)備部件的行程位置，當(dāng)設(shè)備部件接近行程終點(diǎn)時(shí)，控制箱內(nèi)的變頻器驅(qū)動(dòng)啟動(dòng)元件15，使設(shè)備部件在接近行程終點(diǎn)時(shí)減速運(yùn)行，防止設(shè)備部件受到?jīng)_擊。[0026]在本實(shí)施例中，所述設(shè)備部件為光刻機(jī)中的頂部照明模塊，在對(duì)掩膜臺(tái)的承版臺(tái)和投影物鏡上部的鏡片進(jìn)行擦洗清理等維修維護(hù)工作之前，利用本實(shí)用新型實(shí)施例提供的升降裝置將頂部照明模塊提升，為后續(xù)的維修維護(hù)工作做準(zhǔn)備，在維修維護(hù)工作完成后，再利用本實(shí)用新型實(shí)施例提供的升降裝置將頂部照明模塊降至提升前的位置。進(jìn)一步地，所述升降控制單元還包括手持式線控盒(圖中未示出)，所述手持式線控盒和所述控制箱連接。利用手持式線控盒操控所述控制箱，可以在操作升降裝置時(shí)離開一定的距離，方便觀察升降裝置周圍的情況。進(jìn)一步地，所述升降裝置還包括導(dǎo)軌17和滑塊18，所述滑塊18與所述絲桿13嚙合并與所述設(shè)備部件固定連接，所述滑塊18由所述絲桿13帶動(dòng)沿所述導(dǎo)軌17滑動(dòng)，進(jìn)而使滑塊18帶動(dòng)設(shè)備部件上下移動(dòng)。所述升降裝置設(shè)置的導(dǎo)軌17和滑塊18能夠穩(wěn)定設(shè)備部件的升降。在本實(shí)施例中，所述啟動(dòng)元件15通過(guò)齒形帶16與所述蝸輪11連接。所述齒形帶 16帶動(dòng)蝸輪11轉(zhuǎn)動(dòng)，本領(lǐng)域的普通技術(shù)人員應(yīng)該理解，所述啟動(dòng)元件15不僅僅可以通過(guò)齒形帶16與所述蝸輪11連接，還可以是其他的傳動(dòng)媒介。在本實(shí)施例中，所述啟動(dòng)元件15是交流電機(jī)，所述交流電機(jī)連接有濾波器，本領(lǐng)域的普通技術(shù)人員應(yīng)該理解，所述啟動(dòng)元件15不僅僅局限為交流電機(jī)，還可以是其他的動(dòng)力源。在利用本實(shí)用新型提供的升降裝置來(lái)提升光刻機(jī)中的頂部照明模塊時(shí)，由于初始條件下，升降裝置設(shè)置在光刻機(jī)中，具體地，所述光刻機(jī)中的頂部照明模塊位于兩個(gè)支撐臂 141上，首先松開升降裝置固定于光刻機(jī)中的螺栓19，啟動(dòng)交流電機(jī)，使連接在交流電機(jī)上的齒形帶16轉(zhuǎn)動(dòng)，所述齒形帶16與渦輪11嚙合，因此整個(gè)蝸輪11、蝸桿12傳動(dòng)裝置轉(zhuǎn)動(dòng)， 而所述絲桿13與蝸桿12嚙合，當(dāng)絲桿13向上轉(zhuǎn)動(dòng)時(shí)，絲桿13驅(qū)動(dòng)滑塊18沿導(dǎo)軌17向上滑動(dòng)，由于滑塊18與頂部照明模塊固定連接，因此滑塊18帶動(dòng)頂部照明模塊向上移動(dòng)。在利用升降裝置提升頂部照明模塊的過(guò)程中，與所述控制箱連接的傳感器檢測(cè)頂部照明模塊的行程位置，并由集成電路控制板卡根據(jù)頂部照明模塊的行程位置調(diào)整其提升速度，并由控制箱內(nèi)的變頻器驅(qū)動(dòng)交流電機(jī)，使頂部照明模塊的運(yùn)行過(guò)程為啟動(dòng)、加速、勻速、減速、停止。具體地，在頂部照明模塊經(jīng)歷減速以及停止的過(guò)程中，即頂部照明模塊接近行程終點(diǎn)時(shí)，控制箱內(nèi)的變頻器驅(qū)動(dòng)交流電機(jī)，使頂部照明模塊在接近行程終點(diǎn)時(shí)減速運(yùn)行，防止頂部照明模塊受到?jīng)_擊。提升頂部照明模塊后進(jìn)行維修維護(hù)工作，而維修維護(hù)工作完畢后，照明頂部模塊需要復(fù)位，此時(shí)，啟動(dòng)交流電機(jī)，使連接在交流電機(jī)上的齒形帶16反方向轉(zhuǎn)動(dòng)，因此整個(gè)蝸輪11、蝸桿12傳動(dòng)裝置也反方向轉(zhuǎn)動(dòng)，進(jìn)一步使絲桿13向下轉(zhuǎn)動(dòng)，最終使頂部照明模塊向下移動(dòng)。當(dāng)頂部照明模塊下落至終點(diǎn)時(shí)，擰緊螺栓19使升降裝置固定于光刻機(jī)中。進(jìn)一步地，所述絲桿13具有自鎖功能，對(duì)于升降過(guò)程中的意外斷電，升降裝置可以原位停止而不會(huì)由于自身重量與設(shè)備部件的壓力作用而下墜。綜上所述，本實(shí)用新型提供的升降裝置通過(guò)蝸輪、蝸桿帶動(dòng)絲桿運(yùn)動(dòng)，由于支撐架固定在所述絲桿上，從而使設(shè)置在支撐架上的設(shè)備部件完成提升或下降作業(yè)，所述提升或下降作業(yè)占用垂直空間，大大節(jié)省了水平空間的占用率。在整個(gè)作業(yè)過(guò)程中，升降控制單元為啟動(dòng)元件提供停止和減速信號(hào)，防止在提升或下降突然停止時(shí)對(duì)設(shè)備部件產(chǎn)生沖擊而損
5害設(shè)備部件。整個(gè)升降過(guò)程自動(dòng)化程度高。 上文中，參照附圖描述了本實(shí)用新型的具體實(shí)施方式
。但是，本領(lǐng)域中的普通技術(shù)人員能夠理解，在不偏離本實(shí)用新型的精神和范圍的情況下，還可以對(duì)本實(shí)用新型的具體實(shí)施方式
作各種變更和替換。這些變更和替換都落在本實(shí)用新型權(quán)利要求書所限定的范圍內(nèi)。
權(quán)利要求1.一種升降裝置，設(shè)置于設(shè)備部件內(nèi)，其特征在于，包括蝸輪、蝸桿、絲桿、支撐架、啟動(dòng)元件以及升降控制單元，所述啟動(dòng)元件與所述蝸輪連接，所述蝸桿與所述絲桿嚙合，所述蝸輪與所述蝸桿嚙合并設(shè)置在所述支撐架內(nèi)，所述支撐架固定在所述絲桿上，所述升降控制單元與所述啟動(dòng)元件連接。
2.如權(quán)利要求1所述的升降裝置，其特征在于，所述升降控制單元包括控制箱以及與所述控制箱連接的傳感器，所述控制箱與所述啟動(dòng)元件連接。
3.如權(quán)利要求2所述的升降裝置，其特征在于，所述控制箱內(nèi)包括變頻器以及與變頻器連接的集成電路控制板卡。
4.如權(quán)利要求2所述的升降裝置，其特征在于，所述升降控制單元還包括手持式線控盒，所述手持式線控盒與所述控制箱連接。
5.如權(quán)利要求1所述的升降裝置，其特征在于，所述升降裝置還包括導(dǎo)軌和滑塊，所述滑塊與所述絲桿嚙合并與所述設(shè)備部件固定連接，所述滑塊由所述絲桿帶動(dòng)沿所述導(dǎo)軌滑動(dòng)。
6.如權(quán)利要求1至5中任一項(xiàng)的升降裝置，其特征在于，所述啟動(dòng)元件通過(guò)齒形帶與所述蝸輪連接。
7.如權(quán)利要求1至5中任一項(xiàng)的升降裝置，其特征在于，所述絲桿的數(shù)量為兩個(gè)，所述蝸桿的兩端分別與兩個(gè)絲桿嚙合。
8.如權(quán)利要求1至5中任一項(xiàng)的升降裝置，其特征在于，所述啟動(dòng)元件是交流電機(jī)。
9.如權(quán)利要求1至5中任一項(xiàng)的升降裝置，其特征在于，所述支撐架包括有支撐臂，所述支撐臂的數(shù)量為兩個(gè)。
10.如權(quán)利要求1至5中任一項(xiàng)的升降裝置，其特征在于，所述蝸輪與所述蝸桿為一體傳動(dòng)機(jī)構(gòu)。
專利摘要本實(shí)用新型提供了一種升降裝置，設(shè)置于設(shè)備部件內(nèi)，所述升降裝置包括蝸輪、蝸桿、絲桿、支撐架、啟動(dòng)元件以及升降控制單元，啟動(dòng)元件與蝸輪連接，蝸桿與絲桿嚙合，蝸輪與蝸桿嚙合并設(shè)置在支撐架內(nèi)，支撐架固定在絲桿上，升降控制單元與啟動(dòng)元件連接。本實(shí)用新型提供升降裝置通過(guò)蝸輪、蝸桿帶動(dòng)絲桿運(yùn)動(dòng)，由于支撐架固定在所述絲桿上，從而使設(shè)置在支撐架上的設(shè)備部件完成提升或下降作業(yè)，提升或下降作業(yè)占用垂直空間，大大節(jié)省了水平空間的占用率。在整個(gè)作業(yè)過(guò)程中，升降控制單元為啟動(dòng)元件提供停止和減速信號(hào)，防止在提升或下降突然停止時(shí)對(duì)設(shè)備部件產(chǎn)生沖擊而損害設(shè)備部件。整個(gè)升降過(guò)程自動(dòng)化程度高。
文檔編號(hào)F16H37/02GK202007097SQ20112009251
公開日2011年10月12日 申請(qǐng)日期2011年3月31日 優(yōu)先權(quán)日2011年3月31日
發(fā)明者張志鋼, 李平欣, 程德勝, 謝仁飚 申請(qǐng)人:上海微電子裝備有限公司