專利名稱：新型磁傳動(dòng)轉(zhuǎn)動(dòng)機(jī)構(gòu)的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實(shí)用新型涉及真空技術(shù)領(lǐng)域，具體是一種新型磁傳動(dòng)轉(zhuǎn)動(dòng)機(jī)構(gòu)。
背景技術(shù)：
隨著科學(xué)技術(shù)的發(fā)展，對(duì)真空系統(tǒng)的要求越來越高，這也意味著對(duì)包括真空轉(zhuǎn)動(dòng)傳動(dòng)機(jī)構(gòu)在內(nèi)的真空零部件的隙漏率要求越來越高。真空技術(shù)和真空零部件關(guān)鍵關(guān)鍵技術(shù)不僅僅是隙漏率，還在于它們高可靠性。傳統(tǒng)真空轉(zhuǎn)動(dòng)傳動(dòng)機(jī)構(gòu)的動(dòng)密封解決方案，包括骨架油封解決方案、ο型圈密封方案和磁流體解決方案等等。骨架油封解決方案和ο型圈密封方案存在隙漏率問題、可靠性問題。磁流體解決方案存在成本高，可靠性問題；尤其在潮濕地區(qū)和有水蒸氣的環(huán)境壽命很短。

實(shí)用新型內(nèi)容本實(shí)用新型所要解決的技術(shù)問題在于提供一種結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單、安裝維修方便、可靠性強(qiáng)、成本適中的新型磁傳動(dòng)轉(zhuǎn)動(dòng)機(jī)構(gòu)。為了實(shí)現(xiàn)上述目的，本實(shí)用新型采用如下技術(shù)方案一種新型磁傳動(dòng)轉(zhuǎn)動(dòng)機(jī)構(gòu)，其特征在于所述磁傳動(dòng)機(jī)構(gòu)包括隔板，所述隔板兩側(cè)設(shè)有上軸承和下軸承，所述上軸承設(shè)有上精密轉(zhuǎn)軸，所述下軸承設(shè)有下精密轉(zhuǎn)軸，所述上精密轉(zhuǎn)軸和下精密轉(zhuǎn)軸均設(shè)有磁性材料部件，利用磁性材料部件的吸引力或互斥力來傳動(dòng)扭力，轉(zhuǎn)動(dòng)扭力利用磁場(chǎng)從外面通過密封隔板傳到真空中來。所述隔板優(yōu)選不銹鋼爐體或不銹鋼板，還可選用其他金屬或非金屬材料。當(dāng)有轉(zhuǎn)動(dòng)動(dòng)作需要傳遞時(shí)，轉(zhuǎn)動(dòng)一側(cè)固定在上軸承上的上精密轉(zhuǎn)軸時(shí)，上精密轉(zhuǎn)軸所帶的磁性材料部件也跟隨轉(zhuǎn)動(dòng)，由于吸引力或排斥力的作用，沿著隔板對(duì)稱設(shè)置的磁性材料部件、下精密轉(zhuǎn)軸也跟隨轉(zhuǎn)動(dòng)，就可以帶動(dòng)下精密轉(zhuǎn)軸所連接的部件的轉(zhuǎn)動(dòng)。本實(shí)用新型所述的新型磁傳動(dòng)轉(zhuǎn)動(dòng)機(jī)構(gòu)可用于包括滾珠軸承結(jié)構(gòu)在內(nèi)的其他一切軸承結(jié)構(gòu)之中。本實(shí)用新型的有益效果是結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單合理，便于安裝維修，不存在動(dòng)密封的缺點(diǎn)、無隙漏可靠性高，成本適中。

圖1是本實(shí)用新型結(jié)構(gòu)示意圖。圖中1-隔板21-磁性材料部件22-磁性材料部件31-上軸承32-下軸承41-上精密轉(zhuǎn)軸42-下精密轉(zhuǎn)軸
具體實(shí)施方式
為了使本實(shí)用新型實(shí)現(xiàn)的技術(shù)手段、創(chuàng)作特征、達(dá)成目的與功效易于明白了解，下面結(jié)合具體圖示，進(jìn)一步闡述本實(shí)用新型。如圖1所示，一種新型磁傳動(dòng)轉(zhuǎn)動(dòng)機(jī)構(gòu)，所述磁傳動(dòng)機(jī)構(gòu)包括隔板1，所述隔板1兩側(cè)對(duì)稱設(shè)有上軸承31和下軸承32，所述上軸承31設(shè)有上精密轉(zhuǎn)軸41，所述下軸承32設(shè)有下精密轉(zhuǎn)軸42，所述上精密轉(zhuǎn)軸41和下精密轉(zhuǎn)軸42均設(shè)有磁性材料部件21、磁性材料部件22，利用磁性材料部件的吸引力或互斥力來傳動(dòng)扭力，轉(zhuǎn)動(dòng)扭力利用磁場(chǎng)從外面通過密封隔板傳到真空中來。所述隔板1選用不銹鋼爐體或不銹鋼板，對(duì)于隔板的選材不做任何限定，除示出的不銹鋼爐、不銹鋼板之外的其他金屬或者非金屬材料也可稱為隔板的替代方案。當(dāng)有轉(zhuǎn)動(dòng)動(dòng)作需要傳遞時(shí)，轉(zhuǎn)動(dòng)一側(cè)固定在上軸承31上的上精密轉(zhuǎn)軸41時(shí)，上精密轉(zhuǎn)軸41所帶的磁性材料部件21也跟隨轉(zhuǎn)動(dòng)，由于吸引力或排斥力的作用，沿著隔板1對(duì)稱設(shè)置的磁性材料部件22會(huì)帶動(dòng)下精密轉(zhuǎn)軸42轉(zhuǎn)動(dòng)，所述下精密轉(zhuǎn)軸42帶動(dòng)與下精密轉(zhuǎn)軸所連接的部件的轉(zhuǎn)動(dòng)。本實(shí)用新型的機(jī)構(gòu)設(shè)計(jì)成功應(yīng)用于離子鍍膜中磁傳動(dòng)高壓電極；成功應(yīng)用于硅單晶區(qū)熔設(shè)備的輔助家人裝置和廢料接料盒裝置。以上顯示和描述了本實(shí)用新型的基本原理和主要特征和本實(shí)用新型的優(yōu)點(diǎn)。本行業(yè)的技術(shù)人員應(yīng)該了解，本實(shí)用新型不受上述實(shí)施例的限制，上述實(shí)施例和說明書中描述的只是說明本實(shí)用新型的原理，在不脫離本實(shí)用新型精神和范圍的前提下，本實(shí)用新型還會(huì)有各種變化和改進(jìn)，這些變化和改進(jìn)都落入要求保護(hù)的本實(shí)用新型范圍內(nèi)。本實(shí)用新型要求保護(hù)范圍由所附的權(quán)利要求書及其等效物界定。
權(quán)利要求1.一種新型磁傳動(dòng)轉(zhuǎn)動(dòng)機(jī)構(gòu)，其特征在于所述磁傳動(dòng)機(jī)構(gòu)包括隔板，所述隔板兩側(cè)對(duì)稱設(shè)有上軸承和下軸承，所述上軸承設(shè)有上精密轉(zhuǎn)軸，所述下軸承設(shè)有下精密轉(zhuǎn)軸，所述上精密轉(zhuǎn)軸和下精密轉(zhuǎn)軸均設(shè)有磁性材料部件。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述新型磁傳動(dòng)轉(zhuǎn)動(dòng)機(jī)構(gòu)，其特征在于所述隔板為不銹鋼爐體或不銹鋼板。
專利摘要本實(shí)用新型公開了一種新型磁傳動(dòng)轉(zhuǎn)動(dòng)機(jī)構(gòu)，屬于真空技術(shù)領(lǐng)域。包括隔板、磁性材料部件、精密轉(zhuǎn)軸、軸承，所述精密轉(zhuǎn)軸設(shè)在隔板的兩側(cè)，轉(zhuǎn)動(dòng)扭力利用磁場(chǎng)從外面通過密封隔板傳到真空中來。本實(shí)用新型的有益效果是結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單合理，便于安裝維修，沒有隙漏發(fā)生，真空可以穩(wěn)定控制，可以采用無極調(diào)速、可以正反相旋轉(zhuǎn)。
文檔編號(hào)F16H49/00GK202118205SQ20112018757
公開日2012年1月18日 申請(qǐng)日期2011年6月3日 優(yōu)先權(quán)日2011年6月3日
發(fā)明者張玉春, 董湧法 申請(qǐng)人:上海涌真機(jī)械有限公司