專利名稱：一種硅片承載盒阻尼墊的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實(shí)用新型涉及一種硅片承載盒阻尼墊，特別是在需要進(jìn)行人工插片時(shí)的一種硅片承載盒阻尼墊。
背景技術(shù)：
硅片經(jīng)切割、脫膠、初洗后，要插入硅片承載盒，進(jìn)入下一清洗工序。而插入硅片承載盒階段，由于插入式靠水流的力量進(jìn)入硅片承載盒，硅片承載盒內(nèi)部，每片之間有隔槽， 隔槽之間有突出像鋸齒般的突出點(diǎn)，當(dāng)硅片借流水沖力進(jìn)入承載盒時(shí)，一旦有誤差易于落在槽齒上造成崩邊破損；為了克服這一問題的影響，操作者往往在底部放上一整塊泡沫墊， 但效果不是很好。一般情況下硅片采用插片機(jī)插片，當(dāng)硅片出現(xiàn)臟污或者插片機(jī)維修時(shí)，需要進(jìn)行人工插片，目前人工插片的做法有兩種，一種是自由掉下，另一種是承載器底部塞海面。硅片自由掉下，以一定速度撞擊承載器，會(huì)造成硅片亮邊，蹦邊甚至破片等缺陷， 缺陷率大概占人工插片總數(shù)的10%左右，造成經(jīng)濟(jì)損失。承載器底部塞海面，不方便作業(yè)，效率較低，且海綿進(jìn)水后如不烘干難存儲(chǔ)。
實(shí)用新型內(nèi)容本實(shí)用新型其目的就在于提供一種硅片承載盒阻尼墊，避免了損傷硅片，具有結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單、成本低的特點(diǎn)，且操作方便、快捷，提高了效率。實(shí)現(xiàn)上述目的而采取的技術(shù)方案，包括硅片承載盒，所述的硅片承載盒底部設(shè)有阻尼墊，所述的阻尼墊包括帶有邊框的橡膠墊板，橡膠墊板內(nèi)設(shè)有凸臺(tái)，凸臺(tái)外側(cè)與硅片承載盒內(nèi)腔相連接，所述的凸臺(tái)頂面不低于硅片承載盒撞擊面。與現(xiàn)有技術(shù)相比，本實(shí)用新型的有益效果在于，由于采用了帶有邊框的橡膠墊板的結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)，從而避免了損傷硅片，具有結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單、成本低的特點(diǎn)，且操作方便、快捷，提高了效率。
以下結(jié)合附圖對(duì)本實(shí)用新型作進(jìn)一步詳述。


圖1為本裝置立體結(jié)構(gòu)示意圖。圖2為本裝置結(jié)構(gòu)示意主視圖。圖3為本裝置結(jié)構(gòu)示意俯視圖。
具體實(shí)施方式
包括硅片承載盒1，如
圖1所示，所述的硅片承載盒1底部設(shè)有阻尼墊4，所述的阻尼墊4包括帶有邊框的橡膠墊板2，橡膠墊板2內(nèi)設(shè)有凸臺(tái)3，凸臺(tái)3外側(cè)與硅片承載盒1 內(nèi)腔相連接，所述的凸臺(tái)3頂面不低于硅片承載盒1撞擊面。[0014]所述的橡膠墊板2內(nèi)可以設(shè)有多個(gè)凸臺(tái)3，所述的凸臺(tái)3可以布置為方形或矩形， 相鄰?fù)古_(tái)之間設(shè)有間距，每個(gè)凸臺(tái)3連接一個(gè)硅片承載盒1。硅片承載盒放于一個(gè)橡膠制作的，帶有一定數(shù)量凸臺(tái)的阻尼墊。橡膠的硬度低于制作硅片承載盒的工程塑料硬度，能偶起到緩沖的作用。凸臺(tái)面高于硅片承載盒原有的撞擊面，硅片與橡膠面撞擊，避免損傷硅片，承載器可以順利提起，放下，方便快捷，提高效率。
權(quán)利要求1.一種硅片承載盒阻尼墊，包括硅片承載盒(1)，其特征在于，所述的硅片承載盒(1) 底部設(shè)有阻尼墊(4)，所述的阻尼墊(4)包括帶有邊框的橡膠墊板(2)，橡膠墊板(2)內(nèi)設(shè)有凸臺(tái)(3)，凸臺(tái)(3)外側(cè)與硅片承載盒(1)內(nèi)腔相連接，所述的凸臺(tái)(3)頂面不低于硅片承載盒(1)撞擊面。
2.根椐權(quán)利要求1所述的一種硅片承載盒阻尼墊，其特征在于，所述的橡膠墊板(2)內(nèi)可以設(shè)有多個(gè)凸臺(tái)(3)，所述的凸臺(tái)(3)可以布置為方形或矩形，相鄰?fù)古_(tái)之間設(shè)有間距， 每個(gè)凸臺(tái)(3)連接一個(gè)硅片承載盒(1)。
專利摘要一種硅片承載盒阻尼墊，包括硅片承載盒，所述的硅片承載盒底部設(shè)有阻尼墊，所述的阻尼墊包括帶有邊框的橡膠墊板，橡膠墊板內(nèi)設(shè)有凸臺(tái)，凸臺(tái)外側(cè)與硅片承載盒內(nèi)腔相連接，所述的凸臺(tái)頂面不低于硅片承載盒撞擊面。從而避免了損傷硅片，具有結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單、成本低的特點(diǎn)，且操作方便、快捷，提高了效率。
文檔編號(hào)F16F15/08GK202165512SQ20112022821
公開日2012年3月14日 申請(qǐng)日期2011年6月30日 優(yōu)先權(quán)日2011年6月30日
發(fā)明者劉菲菲, 張景林 申請(qǐng)人:江西旭陽(yáng)雷迪高科技股份有限公司