專利名稱：真空系統(tǒng)用的真空插板閥的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實(shí)用新型涉及玻璃真空鍍膜技術(shù)領(lǐng)域，特別涉及一種真空系統(tǒng)用的真空插板閥。
背景技術(shù)：
用于玻璃鍍膜工藝的真空設(shè)備中，真空插板閥是任意兩個相鄰真空室之間必不可少的組成部件，其作用是當(dāng)需要對單個真空室進(jìn)行維護(hù)或者在單個真空室內(nèi)更換材料時，將相鄰兩個真空室隔絕，使真空室內(nèi)的真空氣氛不被破壞。目前常用的真空插板閥為翻板式結(jié)構(gòu)，即在真空室內(nèi)的工件通孔處設(shè)置真空插板閥，該真空插板閥主要為一個擋板，擋板頂部與真空室內(nèi)的頂面鉸接，當(dāng)真空插板閥關(guān)閉時，擋板下翻，其側(cè)面擋住工件通孔而實(shí)現(xiàn)密封，當(dāng)真空插板閥打開時，擋板貼緊于真空室內(nèi)的頂面。然而，該結(jié)構(gòu)的真空插板閥由于擋板采用翻轉(zhuǎn)式，所占的空間較大，真空插板閥關(guān)閉時由于擋板靠自重?fù)踝」ぜ?，擋?底部沒有相應(yīng)的固定機(jī)構(gòu)，其密封效果不好；另外，該結(jié)構(gòu)的真空插板閥必須設(shè)于真空室內(nèi)部，其加工難度大，擋板易變形，日常的維護(hù)也相當(dāng)困難。為此，申請?zhí)枮?00610169213. 2的發(fā)明申請公開了一種擺閥和滑門真空閥，該結(jié)構(gòu)的真空閥克服了傳統(tǒng)真空插板閥氣密性差的缺陷，但其結(jié)構(gòu)復(fù)雜，各組成部件之間精度要求較高，因此其成本也較高。

實(shí)用新型內(nèi)容本實(shí)用新型的目的在于克服現(xiàn)有技術(shù)的不足，針對工件通孔口徑較小的真空室，提供一種密封性好、所占空間小、加工和日常維護(hù)都較方便的真空系統(tǒng)用的真空插板閥。本實(shí)用新型的技術(shù)方案為一種真空系統(tǒng)用的真空插板閥，包括驅(qū)動元件、閥體、閥芯和下清潔蓋板，閥體為中空的長方體結(jié)構(gòu)，閥體的左右兩側(cè)壁分別與位于其兩側(cè)的真空室固定連接，閥體的左右兩側(cè)壁上分別開有閥體通孔，閥體通孔與位于閥體兩側(cè)的真空室內(nèi)的工件通孔相通，閥芯設(shè)于閥體內(nèi)部，驅(qū)動元件末端穿過閥體頂部并與閥芯頂部固定連接，下清潔蓋板設(shè)于閥體底部。所述驅(qū)動元件與閥體頂部相接處設(shè)有密封件，可有效提高驅(qū)動元件運(yùn)行的可靠性和閥體內(nèi)部的密封性。根據(jù)實(shí)際需要，閥芯及閥體中部空間的結(jié)構(gòu)形式主要有2種(I)所述閥芯為四棱柱結(jié)構(gòu)，閥芯的徑向截面為第一梯形，閥芯位于第一梯形長底邊的側(cè)面為第一側(cè)面，閥芯位于第一梯形短底邊的側(cè)面為第二側(cè)面，閥芯位于第一梯形兩側(cè)腰上的兩側(cè)面分別為第三側(cè)面和第四側(cè)面，第一側(cè)面向上并與驅(qū)動元件末端固定連接，第二側(cè)面向下，第三側(cè)面和第四側(cè)面分別位于左右兩側(cè)；閥體中部空間的徑向截面為長方形和第二梯形組成的六邊形，長方形位于上部，第二梯形位于下部，第二梯形各邊尺寸與第一梯形各邊尺寸相同；閥芯下落至底部時，閥芯的第三側(cè)面和第四側(cè)面分別貼緊于閥體的內(nèi)側(cè)面；[0011]閥體的底部開有閥底通孔，閥底通孔的寬度與第一梯形短底邊的長度相等；下清潔蓋板設(shè)于閥底通孔下方。所述閥芯的第三側(cè)面和第四側(cè)面上還分別開有設(shè)置密封圈用的密封槽，在閥芯和閥體之間增設(shè)密封圈，可更好地提高其密封效果。(2)所述閥芯為三棱柱結(jié)構(gòu)，三棱柱的徑向截面為倒三角形，閥芯頂面與驅(qū)動元件末端固定連接；閥芯下落至底部時，閥芯的兩側(cè)面分別貼緊于閥體的內(nèi)側(cè)面；閥體的底部開有閥底通孔，下清潔蓋板設(shè)于閥底通孔下方。所述閥芯的兩側(cè)面上還分別開有設(shè)置密封圈用的密封槽，在閥芯和閥體之間增設(shè)密封圈，可更好地提高其密封效果。所述驅(qū)動元件為氣缸、電機(jī)或液壓傳動件。本真空系統(tǒng)用的真空插板閥使用時，其原理是當(dāng)需要關(guān)閉真空插板閥時，驅(qū)動元件運(yùn)行，其末端帶動閥芯在閥體中部空間內(nèi)向下運(yùn)動，閥芯下落至底部時，閥芯的左右兩側(cè)面貼緊于閥體的內(nèi)側(cè)面，此時將閥體左右兩側(cè)壁上的閥體通孔隔開，從而擋住閥體左右兩側(cè)真空室上的工件通孔，達(dá)到密封的目的；當(dāng)需要打開真空閥插板時，驅(qū)動元件運(yùn)行，其末端帶動閥芯在閥體中部空間內(nèi)向上運(yùn)動，閥芯上升到其末端高于閥體通孔所處的位置即可。本實(shí)用新型相對于現(xiàn)有技術(shù)，具有以下有益效果本真空系統(tǒng)用的真空插板閥采用驅(qū)動元件帶動閥芯上下運(yùn)動實(shí)現(xiàn)其啟閉，可有效克服傳統(tǒng)真空插板閥占用空間大的缺陷。同時，本真空插板閥關(guān)閉后，由于閥芯下部為錐形或接近錐形的結(jié)構(gòu)，所以閥芯下落后可貼緊于閥體的內(nèi)側(cè)壁，其密封效果好，閥芯結(jié)構(gòu)也較為穩(wěn)固，不易變形。本真空系統(tǒng)用的真空插板閥設(shè)于相鄰兩個真空室之間，即設(shè)于真空室外部，其加工及日常維護(hù)都較為方便。另外，本真空系統(tǒng)用的真空插板閥還具有以下優(yōu)點(diǎn)結(jié)構(gòu)簡單、加工制造容易，可靠性比翻板閥大為提高；同時，密封效果更好，也更加耐用，維護(hù)間隔時間長。

圖I為本真空插板閥的結(jié)構(gòu)示意圖。圖2為圖I的A向視圖。圖3為圖I的B向視圖。
具體實(shí)施方式
下面結(jié)合實(shí)施例及附圖，對本實(shí)用新型作進(jìn)一步的詳細(xì)說明，但本實(shí)用新型的實(shí)施方式不限于此。實(shí)施例I本實(shí)施例一種真空系統(tǒng)用的真空插板閥，其結(jié)構(gòu)如圖I 3所示，包括氣缸I、閥體3、閥芯4和下清潔蓋板5，閥體3為中空的長方體結(jié)構(gòu)，閥體的左右兩側(cè)壁分別與位于其兩側(cè)的真空室固定連接，閥體的左右兩側(cè)壁上分別開有閥體通孔6，閥體通孔6與位于閥體兩側(cè)的真空室內(nèi)的工件通孔相通，閥芯6設(shè)于閥體3內(nèi)部，氣缸I末端穿過閥體3頂部并與閥芯4頂部固定連接，下清潔蓋板5設(shè)于閥體3底部。氣缸I與閥體3頂部相接處設(shè)有密封件2，可有效提高氣缸運(yùn)行的可靠性和閥體內(nèi)部的密封性。如圖I所示，閥芯4為四棱柱結(jié)構(gòu)，閥芯的徑向截面為第一梯形，閥芯位于第一梯形長底邊的側(cè)面為第一側(cè)面7，閥芯位于第一梯形短底邊的側(cè)面為第二側(cè)面8，閥芯位于第一梯形兩側(cè)腰上的兩側(cè)面分別為第三側(cè)面9和第四側(cè)面10,第一側(cè)面7向上并與氣缸I末端固定連接，第二側(cè)面8向下，第三側(cè)面9和第四側(cè)面10分別位于左右兩側(cè)；閥體3中部空間的徑向截面為長方形和第二梯形組成的六邊形，長方形位于上部，第二梯形位于下部，第二梯形各邊尺寸與第一梯形各邊尺寸相同；閥芯4下落至底部時，閥芯的第三側(cè)面9和第四側(cè)面10分別貼緊于閥體3的內(nèi)側(cè) 面；閥體4的底部開有閥底通孔11，閥底通孔11的寬度與第一梯形短底邊的長度相等;下清潔蓋板5設(shè)于閥底通孔11下方。閥芯的第三側(cè)面9和第四側(cè)面10上還分別開有設(shè)置密封圈用的密封槽，在閥芯和閥體之間增設(shè)密封圈，可更好地提高其密封效果。本真空系統(tǒng)用的真空插板閥使用時，其原理是當(dāng)需要關(guān)閉真空插板閥時，氣缸I運(yùn)行，其末端帶動閥芯4在閥體3中部空間內(nèi)向下運(yùn)動，閥芯4下落至底部時，閥芯4的左右兩側(cè)面貼緊于閥體3的內(nèi)側(cè)面，此時將閥體3左右兩側(cè)壁上的閥體通孔6隔開，從而擋住閥體左右兩側(cè)真空室上的工件通孔，達(dá)到密封的目的；當(dāng)需要打開真空閥插板時，氣缸I運(yùn)行，其末端帶動閥芯4在閥體3中部空間內(nèi)向上運(yùn)動，閥芯4上升到其末端高于閥體通孔6所處的位置即可。實(shí)施例2本實(shí)施例一種真空系統(tǒng)用的真空插板閥，與實(shí)施例I相比較，其不同之處在于，閥芯為三棱柱結(jié)構(gòu)，三棱柱的徑向截面為倒三角形，閥芯頂面與氣缸末端固定連接；閥芯下落至底部時，閥芯的兩側(cè)面分別貼緊于閥體的內(nèi)側(cè)面；閥體的底部開有閥底通孔，下清潔蓋板設(shè)于閥底通孔下方。閥芯的兩側(cè)面上還分別開有設(shè)置密封圈用的密封槽，在閥芯和閥體之間增設(shè)密封圈，可更好地提高其密封效果。如上所述，便可較好地實(shí)現(xiàn)本實(shí)用新型，上述實(shí)施例僅為本實(shí)用新型的較佳實(shí)施例，并非用來限定本實(shí)用新型的實(shí)施范圍；即凡依本實(shí)用新型內(nèi)容所作的均等變化與修飾，都為本實(shí)用新型權(quán)利要求所要求保護(hù)的范圍所涵蓋。
權(quán)利要求1.真空系統(tǒng)用的真空插板閥，其特征在于，包括驅(qū)動元件、閥體、閥芯和下清潔蓋板，閥體為中空的長方體結(jié)構(gòu)，閥體的左右兩側(cè)壁分別與位于其兩側(cè)的真空室固定連接，閥體的左右兩側(cè)壁上分別開有閥體通孔，閥體通孔與位于閥體兩側(cè)的真空室內(nèi)的工件通孔相通，閥芯設(shè)于閥體內(nèi)部，驅(qū)動元件末端穿過閥體頂部并與閥芯頂部固定連接，下清潔蓋板設(shè)于閥體底部。
2.根據(jù)權(quán)利要求I所述真空系統(tǒng)用的真空插板閥，其特征在于，所述驅(qū)動元件與閥體頂部相接處設(shè)有密封件。
3.根據(jù)權(quán)利要求I所述真空系統(tǒng)用的真空插板閥，其特征在于，所述閥芯為四棱柱結(jié)構(gòu)，閥芯的徑向截面為第一梯形，閥芯位于第一梯形長底邊的側(cè)面為第一側(cè)面，閥芯位于第一梯形短底邊的側(cè)面為第二側(cè)面，閥芯位于第一梯形兩側(cè)腰上的兩側(cè)面分別為第三側(cè)面和第四側(cè)面，第一側(cè)面向上并與驅(qū)動元件末端固定連接，第二側(cè)面向下，第三側(cè)面和第四側(cè)面分別位于左右兩側(cè)； 閥體中部空間的徑向截面為長方形和第二梯形組成的六邊形，長方形位于上部，第二梯形位于下部，第二梯形各邊尺寸與第一梯形各邊尺寸相同； 閥芯下落至底部時，閥芯的第三側(cè)面和第四側(cè)面分別貼緊于閥體的內(nèi)側(cè)面； 閥體的底部開有閥底通孔，閥底通孔的寬度與第一梯形短底邊的長度相等； 下清潔蓋板設(shè)于閥底通孔下方。
4.根據(jù)權(quán)利要求3所述真空系統(tǒng)用的真空插板閥，其特征在于，所述閥芯的第三側(cè)面和第四側(cè)面上還分別開有設(shè)置密封圈用的密封槽。
5.根據(jù)權(quán)利要求I所述真空系統(tǒng)用的真空插板閥，其特征在于，所述閥芯為三棱柱結(jié)構(gòu)，三棱柱的徑向截面為倒三角形，閥芯頂面與驅(qū)動元件末端固定連接； 閥芯下落至底部時，閥芯的兩側(cè)面分別貼緊于閥體的內(nèi)側(cè)面； 閥體的底部開有閥底通孔，下清潔蓋板設(shè)于閥底通孔下方。
6.根據(jù)權(quán)利要求I所述真空系統(tǒng)用的真空插板閥，其特征在于，所述閥芯的兩側(cè)面上還分別開有設(shè)置密封圈用的密封槽。
7.根據(jù)權(quán)利要求I所述真空系統(tǒng)用的真空插板閥，其特征在于，所述驅(qū)動元件為氣缸、電機(jī)或液壓傳動件。
專利摘要本實(shí)用新型公開一種真空系統(tǒng)用的真空插板閥，包括驅(qū)動元件、閥體、閥芯和下清潔蓋板，閥體為中空的長方體結(jié)構(gòu)，閥體的左右兩側(cè)壁分別與位于其兩側(cè)的真空室固定連接，閥體的左右兩側(cè)壁上分別開有閥體通孔，閥體通孔與位于閥體兩側(cè)的真空室內(nèi)的工件通孔相通，閥芯設(shè)于閥體內(nèi)部，驅(qū)動元件末端穿過閥體頂部并與閥芯頂部固定連接，下清潔蓋板設(shè)于閥體底部。本真空插板閥有效克服傳統(tǒng)真空插板閥占用空間大的缺陷，其密封效果好，閥芯結(jié)構(gòu)也較為穩(wěn)固，不易變形；同時，本真空插板閥設(shè)于相鄰兩個真空室之間，即設(shè)于真空室外部，其加工及日常維護(hù)都較為方便。
文檔編號F16K27/04GK202520975SQ201120576488
公開日2012年11月7日 申請日期2011年12月31日 優(yōu)先權(quán)日2011年12月31日
發(fā)明者朱剛勁, 朱剛毅, 朱文廓 申請人:肇慶市騰勝真空技術(shù)工程有限公司