專利名稱：用于封閉開口的門的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及一種用于使真空腔室的腔室壁中的開口相對于大氣封閉的門，其包括封閉部件、門體以及至少一個傾翻執(zhí)行器，所述封閉部件安置在至少一個連桿上并且所述封閉部件可以在打開位置、中間位置與閉合位置之間調(diào)整，在所述打開位置中封閉部件釋放開口，在所述中間位置中封閉部件覆蓋開口但是從包圍開口的底座中升起來，在所述閉合位置中封閉部件壓緊在底座上；所述門體承載有至少一個連桿以及所述封閉部件，并且所述門體為了調(diào)整封閉部件在所述中間位置與閉合位置之間可以相對于腔室壁圍繞傾翻軸線傾翻；所述傾翻執(zhí)行器具有內(nèi)部的空腔，可以將壓縮氣體導(dǎo)入到所述空腔中以使門體圍繞傾翻軸線傾翻。
背景技術(shù)：
以不同的實施例已知用于真空密封地封閉真空腔室中的開口的門。這種門例如用于將工件引入到閘門室(Schleusenkammer)或者說裝載閘室(Load-Lock-Kammer)中，在抽空真空腔室后將工件從閘門室輸送到另一個腔室，在所述另一個腔室中在真空條件下執(zhí)行加工步驟。例如由US 6,056,266已知一真空門。為了使封閉部件壓緊到圍繞開口的底座上，從封閉部件的拉回的打開位置開始執(zhí)行L形運動，在該打開位置中封閉部件完全釋放開口。在此執(zhí)行的調(diào)整行程的第一區(qū)段中封閉部件通過第一驅(qū)動裝置平行于開口或底座的平面移動，直到封閉部件覆蓋開口，但是還從底座中升起。在調(diào)整行程的第二區(qū)段中封閉部件通過第二驅(qū)動裝置垂直于開口或底座的平面移動，直到封閉部件壓緊到底座上并且通過以密封面擠壓的密封部來真空密封地封閉開口。第一和第二驅(qū)動裝置由活塞氣缸單元形成。為了對于封閉部件的合乎邏輯的L形運動形成順序控制，活塞氣缸單元的在打開方向和閉合方向上作用的活塞面是不同大小的。在閉合方向上作用的活塞面持續(xù)地加載驅(qū)動活塞氣缸單元的壓縮空氣的系統(tǒng)壓力。當(dāng)門要從打開狀態(tài)開始關(guān)閉時，則第一和第二驅(qū)動裝置在打開方向上作用的活塞面處于無壓力狀態(tài)，也就是說相應(yīng)的氣缸室進行排氣。當(dāng)門要從其閉合位置開始打開時，則在打開方向上作用的活塞面加載壓縮空氣的系統(tǒng)壓力。為了順序正確地在打開和關(guān)閉門時執(zhí)行L形運動,只需唯一的分配閥(Schaltventil)。例如由US 6，899，316 B2, US 2007/0272888 Al 和 US 6，916，009 B2 已知其它的真空門，其中封閉部件在打開和關(guān)閉真空門時執(zhí)行L形運動。由DE 196 33 798 Al已知一種開頭提到的類型的真空門，其中同樣以上述方式實現(xiàn)沿著調(diào)整行程的第一區(qū)段的調(diào)整。為了使封閉部件從覆蓋開口的、但是從底座中升起的位置壓緊到底座上，在這里門的門體相對于真空腔室的具有開口的腔室壁可傾翻地支承，由門可移動地引導(dǎo)連桿，在連桿上固定封閉部件。利用活塞氣缸單元使門體圍繞傾翻軸線傾翻，以便使封閉部件壓緊到底座上并且從底座中升起。為了完全打開門，通過活塞氣缸單元軸向移動連桿這種方式，拉回在底座中升起的封閉部件。由WO 2009/070824 Al已知一種真空閥，其中也描述了作為真空門的使用。在此封閉部件也設(shè)置在真空腔室外部并且用于封閉腔室壁中的開口。僅僅利用一個驅(qū)動裝置(它作為執(zhí)行器可以具有兩個活塞氣缸單元)就可以打開和關(guān)閉封閉部件，由驅(qū)動裝置軸向移動連桿，在連桿上安置封閉部件。從釋放位置出發(fā)，在該位置中封閉部件完全釋放開口，封閉部件首先平行于開口或者說平行于包圍開口的底座的平面移動，直到封閉部件抵靠到導(dǎo)向部件上，所述導(dǎo)向部件布置在開口兩側(cè)并且具有與底座的平面成角度的導(dǎo)向面。通過這個導(dǎo)向面使封閉部件通過調(diào)整行程的末端區(qū)段在到達其閉合位置之前與底座的平面成角度地移動，直到封閉部件貼靠到底座上并且密封部壓緊到密封面上。由US 6，471，181 B2已知閥板在閥桿上的固定，其中閥板可以圍繞軸線傾翻，該軸線與閥桿軸線成直角。由US 2007/0290157 Al已知一種真空閥，其中封閉單元包括用于封閉閥孔的閥板。在封閉單元內(nèi)部布置調(diào)整活塞，在所述調(diào)整活塞上安置頂桿，所述頂桿支撐在閥殼體上以將閥板壓緊到閥座上。封閉單元的至少一個工作室由薄膜密封部限定，所述工作室可以加載壓縮氣體以移動調(diào)整活塞。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明的目的在于，提供一種開頭提到的類型的真空門，它簡單而且成本低廉地進行構(gòu)造。該目的按照本發(fā)明通過具有權(quán)利要求I的特征的門得以實現(xiàn)。 在按照本發(fā)明的門中存在至少一個傾翻執(zhí)行器以使門體圍繞傾翻軸線傾翻，所述傾翻執(zhí)行器具有內(nèi)部空腔，可以將壓縮氣體導(dǎo)入到所述內(nèi)部空腔中。傾翻執(zhí)行器的至少一個限定內(nèi)部空腔的壁首先局部彈性地和/或柔性地構(gòu)造并且支撐在門體的接觸面上和/或腔室壁或者固定在腔室壁的固定零件上的接觸面上。在將壓縮氣體充入到傾翻執(zhí)行器的內(nèi)部空腔中時，所述內(nèi)部空腔的容積擴大，其中至少局部地由彈性和/或柔性材料構(gòu)造的壁朝向接觸面伸展，所述壁支承在所述接觸面上，由此傾翻執(zhí)行器使門體圍繞傾翻軸線偏轉(zhuǎn)。這種傾翻執(zhí)行器總體上也可以被稱為“可充氣的單元”。在本發(fā)明的有利的實施方式中，所述傾翻執(zhí)行器的內(nèi)部空腔完全由彈性的和/或柔性的壁限定。這種可充氣的單元優(yōu)選以可充氣的軟管的形式構(gòu)造。優(yōu)選在傾翻軸線的對置側(cè)面上各布置一個傾翻執(zhí)行器，所述傾翻執(zhí)行器各具有一個至少在其伸展部的一部分上彈性的和/或柔性的壁，所述壁至少在其圓周的一部分上限定傾翻執(zhí)行器的內(nèi)部空腔，并且其支承在門體的接觸面上和/或腔室壁或者固定在腔室壁上的固定零件的接觸面上。位于傾翻軸線一側(cè)上的傾翻執(zhí)行器起到使閥體在偏轉(zhuǎn)方向上傾翻的作用，其中所述封閉部件從其打開位置調(diào)整到中間位置，并且位于傾翻軸線另一側(cè)上的傾翻執(zhí)行器起到使門體圍繞傾翻軸線在另一偏轉(zhuǎn)方向上傾翻的作用，其中所述封閉部件從其中間位置調(diào)整到其閉合位置。原則上可以考慮并且實現(xiàn)的是借助彈性的單元執(zhí)行在傾翻方向其中之一上的傾翻。本發(fā)明的一種有利的實施方式規(guī)定，所述門體圍繞傾翻軸線可傾翻地支承在有待固定在腔室壁上的固定零件上。為了使封閉部件在其打開位置與其中間位置之間進行調(diào)整，至少一個連桿有利地、可軸向移動地在門體中引導(dǎo)并且由連桿驅(qū)動裝置、優(yōu)選至少一個活塞氣缸單元在其縱軸線的方向上移動，所述封閉部件固定在所述連桿上。


下面借助于附圖詳細(xì)解釋本發(fā)明的其它優(yōu)點和細(xì)節(jié)。在附圖示出
圖I是按照本發(fā)明實施例的、安置在具有開口的真空腔室的腔室壁上的門在封閉部件的閉合位置中的斜視 圖2是根據(jù)圖I的、在封閉部件的中間位置中的斜視 圖3是根據(jù)圖I的、在封閉部件的打開位置中的斜視 圖4是由另一觀察方向看去的、在封閉部件的打開位置的斜視圖；、
圖5和圖6是在封閉部件的閉合位置中的視圖和俯視 圖7是沿著圖5的線AA的截面 圖8是沿著圖5的線BB的截面 圖9是根據(jù)圖7的、在封閉部件的中間位置中的截面 圖10是根據(jù)圖7的、在封閉部件的打開位置中的截面圖，其簡示出真空腔室的其它
壁；
圖11是在封閉部件的閉合位置中、去掉門體和固定零件的支承架的斜視 圖12是按照本發(fā)明的門的第二實施例的視 圖13是圖12所示的門的斜視圖，其為了簡化去掉了在圖12中示出的、用于供給壓縮空氣的連接管；
圖14是沿著圖12的線CC的截面 圖15是圖14的截取區(qū)段的放大 圖16是沿著圖12的線DD的截面 圖17是沿著圖12的線EE的截面 圖18是按照本發(fā)明的門的第三實施例的視 圖19是圖18所不的門的斜視 圖20是根據(jù)圖19的斜視圖，其去掉了用于門體的蓋板；
圖21是沿著圖18的線FF的截面 圖22是沿著圖18的線GG的截面 圖23是圖22的細(xì)節(jié)H的放大圖；以及
圖24是具有由門體支承的封閉部件和支承架的門體沿著圖21的觀察方向I的視圖。
具體實施例方式在圖I至11中示出了按照本發(fā)明的門的實施例。所述門包括板狀的封閉部件1，所述封閉部件在其閉合位置(參見圖I和圖5至8)中密封在真空腔室4的腔室壁3中的開口 2。為此所述封閉部件具有環(huán)形的密封部5，所述密封部壓緊到腔室壁3的密封面6上。因此在所示的實施例中由密封面6形成包圍開口 2的底座7，封閉部件I在其閉合位置中貼靠到所述底座上。也能夠?qū)⒚芊獠?布置在底座7上，并且將密封面6布置在封閉部件I上。封閉部件I通過連接零件8固定在連桿9上。連桿9在門體10中在其縱軸線11的方向上可移動地引導(dǎo)。連桿驅(qū)動裝置12用于使連桿9在其縱軸線11的方向上軸向地移動，所述連桿驅(qū)動裝置在這里實施為活塞氣缸單元12。所述活塞氣缸單元12由在門體10中構(gòu)造的氣缸孔13和布置在其中的活塞14構(gòu)成，在所述活塞上固定連桿9，連桿密封地由氣缸孔13中引導(dǎo)出來。在門體10的對置側(cè)面上同樣固定在活塞14上的導(dǎo)向連桿15密封地從氣缸孔13中引導(dǎo)出來。在導(dǎo)向連桿15的位于門體10外部的端部上固定磁軛(Joch) 16,在導(dǎo)向連桿15的兩側(cè)上防扭轉(zhuǎn)桿17，18安置在所述磁軛上，所述防扭轉(zhuǎn)桿在門體10的孔中可移動地引導(dǎo)。通過這種方式構(gòu)造用于連桿9進而用于封閉部件I的防扭轉(zhuǎn)裝置。也可以通過其它方式構(gòu)造防扭轉(zhuǎn)裝置，例如通過連桿9和/或?qū)蜻B桿15的非圓形的結(jié)構(gòu)和在門體10中的相應(yīng)的導(dǎo)向部。此外，封閉部件I也可以 安置在兩個或多個連桿9上，所述連桿在門體10中可移動地引導(dǎo)，并且可以分別被活塞氣缸單元或共同的活塞氣缸單元移動。在后一種情況下連桿可以穿過門體10引導(dǎo)并且在其離開封閉部件I的端部上通過磁軛來連接，在所述磁軛上、優(yōu)選在支承封閉部件I的兩個連桿之間在中心地也嵌接活塞氣缸單元的活塞桿。由腔室壁3支承的門體10與腔室壁3圍繞與開口 2的軸線19成直角或者說平行于底座7的平面放置的傾翻軸線20可偏轉(zhuǎn)或者說可傾翻地連接，其中所述門體布置在腔室壁3的大氣一側(cè)，也就是說布置在真空腔室4的真空范圍以外。在所示的實施例中，固定在腔室壁3上的固定零件21用于相對于腔室壁3可偏轉(zhuǎn)地支承門體10，固定零件圍繞傾翻軸線20可傾翻地支承門體10。例如固定零件21在此可以具有旋緊在支撐小板23上的支承架，所述支承架具有軸螺栓，軸螺栓伸入到門體10中的孔中(在圖8中可以看到這樣的孔或套筒24)。傾翻執(zhí)行器25，26支撐在固定零件21上，所述傾翻執(zhí)行器以軟管形的可充氣元件的形式構(gòu)造。這種軟管形的可充氣元件在其指向腔室壁3的側(cè)面上貼靠在固定零件21的接觸面37上，并且在其背離腔室壁3的側(cè)面上貼靠在門體10的接觸面38上。關(guān)于連桿9的縱軸線11的方向，傾翻執(zhí)行器25，26分別布置在傾翻軸線20的兩側(cè)。通過將壓縮空氣充入到兩個傾翻執(zhí)行器25，26其中之一中，當(dāng)另一個傾翻執(zhí)行器25，26保持無壓力時(相當(dāng)于與大氣連接)時，門體10圍繞傾翻軸線20在一個旋轉(zhuǎn)方向上偏轉(zhuǎn)，并且通過將壓縮空氣充入到另一個傾翻執(zhí)行器25，26中，而所述傾翻執(zhí)行器25，26保持無壓力，那么門體10在另一個旋轉(zhuǎn)方向上傾翻。原則上可以考慮并且能夠?qū)⑵渌畛浣橘|(zhì)作為用于傾翻執(zhí)行器25，26的壓縮空氣，但是其中壓縮空氣是優(yōu)選的。各個傾翻執(zhí)行器25，26具有內(nèi)部空腔27。在將壓縮空氣充入到各個傾翻執(zhí)行器25，26的內(nèi)部空腔27中時擴大了內(nèi)部空腔27的容積，其中傾翻執(zhí)行器25，26的尺寸關(guān)于開口 2的軸線19方向擴大。在壓縮空氣排氣時空腔27的容積或者說尺寸在各個傾翻執(zhí)行器25，26的軸線方向上又會縮小。在這個實施例中，各個傾翻執(zhí)行器25，26的內(nèi)部空腔27完全地或者說整個圓周地被彈性壁39包圍，當(dāng)將壓縮空氣充入到內(nèi)部空腔27中時，壁會伸展。彈性的壁39優(yōu)選由橡膠彈性的材料、例如氟橡膠(Viton)制成。代替由可彈性伸展的材料制成的壁39的結(jié)構(gòu)，也可以考慮并實現(xiàn)由柔性材料制成的壁39的結(jié)構(gòu)。為了傾翻門體10可以再將壓縮空氣充入到由柔性壁包圍的內(nèi)部空腔(其容積初始可能接近等于零)中，其中首先相互貼靠對置的壁區(qū)段在擴大內(nèi)部空腔27的容積的情況下可以相互折疊分開。也可以充分利用形成壁39的材料的可彈性伸展的和柔性的特性的組合。這種不僅可彈性伸展的而且柔性的壁例如可以由特氟龍(Teflon)制成。在這里也可以考慮并實現(xiàn)使用橡膠彈性的材料、例如氟橡膠。各個可充氣的軟管形的元件利用其兩個端部布置在托板22的孔中，其中所述元件在一端上封閉，并且在另一端上具有用于與壓縮空氣管道連接的接頭28。托板22在兩個孔之間的區(qū)域中具有凹部，軟管形的可充氣元件的端部布置在所述孔中，軟管形的可充氣元件的中間區(qū)域穿過所述凹部延伸。在門的打開狀態(tài)中，相對于傾翻軸線20接近開口 2的可充氣元件(相當(dāng)于傾翻執(zhí)行器25)充氣，并且另一個可充氣元件(相當(dāng)于傾翻執(zhí)行器26)無壓力，在所述打 開狀態(tài)中封閉部件I占據(jù)打開位置(參見圖4和10)。封閉部件I從開口 2拉回，從而所述封閉元件完全釋放所述開口，也就是說，沿著開口 2的軸線19的方向看不與所述開口重疊。為了關(guān)閉門首先借助連桿驅(qū)動裝置12使封閉部件I從其打開位置移動到其中間位置(參見圖2和9)，在所述中間位置中，所述封閉部件沿著軸線19的方向看覆蓋閥開口 2，但是從底座7中升起。接著圍繞傾翻軸線20偏轉(zhuǎn)門體10，其中將空氣從相對于傾翻軸線20接近開口 2的可充氣元件(相當(dāng)于傾翻執(zhí)行器25)中排出，也就是說，將這個可充氣元件設(shè)置成無壓力的或者說與大氣相連，而相對于傾翻軸線20進一步離開開口 2的可充氣元件(相當(dāng)于傾翻執(zhí)行器26)充氣，也就是說，處于壓力下。由此使封閉部件I貼靠在底座7上，其中彈性密封部5壓緊到密封面6上。封閉部件I占據(jù)其閉合位置并且門處于其關(guān)閉狀態(tài)。在相反的意義中將門打開。密封部5可以由傳統(tǒng)的、用于彈性的真空密封部的橡膠彈性的材料、例如氟橡膠制成。密封部5可以硫化到封閉部件I上。也能夠插入到安置在封閉部件I上的槽中，其中密封部5尤其能夠以0形環(huán)的形式構(gòu)造。在門的關(guān)閉狀態(tài)中，可以借助在圖10中示意性地示出的真空泵29泵空真空腔室4并且使其處于真空狀態(tài)下。通過使用可充氣元件作為傾翻執(zhí)行器25，26實現(xiàn)了簡單而成本低廉的結(jié)構(gòu)。因為避免了在門體10與固定零件21之間的金屬與金屬的接觸，所以可以產(chǎn)生少量的顆粒，這在許多應(yīng)用中是期望的。連接零件8可以彈性地構(gòu)造，從而實現(xiàn)封閉部件I圍繞垂直于至少一個連桿9的縱軸線11并且平行于底座7的平面放置的傾翻軸線的彈性傾翻。由此在封閉部件I關(guān)于該傾翻軸線不精確地定位時也可以實現(xiàn)均勻地擠壓密封部5。封閉部件I關(guān)于至少一個連桿9的可傾翻性也能夠以其它方式、例如根據(jù)在說明書導(dǎo)言中提到的、按照US 6,471,181B2的現(xiàn)有技術(shù)來實現(xiàn)。尤其對于封閉部件I安置在兩個或多個連桿上的這種結(jié)構(gòu)來說，連桿驅(qū)動裝置也可以具有兩個或多個執(zhí)行器、例如活塞氣缸單元，例如對于每個連桿來說具有自身的活塞氣缸單元。在圖12至17中示出了本發(fā)明的第二實施例。對于與第一實施例類似的零件來說使用相同的附圖標(biāo)記。下面描述與第一實施例的差別。在這個實施例中封閉部件I由三個連桿9，9’，9”支承，由所述三個連桿使封閉部件從其打開位置經(jīng)由其中間位置運動到其閉合位置，反之亦然。連桿9，9’，9”仍然可以在其相互平行的縱軸線11的方向上移動。布置在門體10的區(qū)域中的連桿驅(qū)動裝置12用于軸向移動。連桿的另一端與封閉部件I連接。仍然如此實現(xiàn)連接，從而使得板狀的封閉部件可以相對于連桿9，9’，9”的縱軸線11圍繞垂直于縱軸線11并且平行于封閉部件I的中間平面放置的軸線偏轉(zhuǎn)。為此支承零件30，31圍繞該軸線相對于封閉部件I可偏轉(zhuǎn)地支承。為此支承零件在橫截面中沿著垂直于封閉部件I的中間平面看去具有圓弧形支承面32，所述支承面與封閉部件I的相應(yīng)的圓弧形支承面共同作用。支承零件30，31具有帶有支承面32的蘑菇形頭部，所述頭部位于封閉部件I的凹部中，所述凹部具有支承面32。旋緊在封閉部件I上的、具有開口的蓋板33防止支承零件30，31被從封閉部件I中的凹部中拉出來，各個支承零件30，31的頸部穿過所述開口。在頭部與支承零件30,31的頸部之間的凸肩(Absatz)與蓋板33之間嵌入由彈性材料制成的環(huán)34。封閉部件I相對于支承零件30，31朝向這個環(huán)34偏轉(zhuǎn)，所述環(huán)施加彈性復(fù)位力到封閉部件I的中間位置中。
·
例如存在兩個支承零件30，31，它們在軸線方向上相互間隔距離地布置，圍繞所述軸線封閉部件I可以相對于支承零件30，31偏轉(zhuǎn)。可以考慮并實現(xiàn)僅僅一個支承零件或多于兩個支承零件。在支承零件30，31的、從蓋板33突出來的端部上固定連接零件8，在所述連接零件上還固定有連桿9，9’，9”。為此連接零件例如可以如圖所示在橫截面中構(gòu)造成L形，其中在兩個支腿其中之一上固定支承零件30，31并且在兩個支腿的另一個上固定連桿9，9 ’，9 ”。連桿驅(qū)動裝置12對于每個連桿9，9’，9”來說包括自身的執(zhí)行器，所述執(zhí)行器由活塞氣缸單兀構(gòu)成。為此門體10例如具有氣缸孔13,在所述氣缸孔中各布置一個活塞14。也可以設(shè)有單獨的、支撐在門體10上的氣缸。活塞14總是簡單作用地構(gòu)造，也就是說，其只在平行于各個連桿9，9’，9”的縱軸線11的方向上起作用。在此，例如與中間的連桿9共同作用的活塞14在閉合方向上起作用，也就是說，用于使封閉部件I從其打開位置移動到其中間位置，而兩個與側(cè)面的連桿9’，9”共同作用的活塞14在打開方向上起作用，也就是說，用于使封閉部件從其中間位置移動到其打開位置。因此在打開方向上作用的總活塞面(它是指與側(cè)面的連桿9’，9”共同作用的活塞14的活塞面的總和)大于在閉合方向上起作用的活塞面(它是指與中間連桿9共同作用的活塞14的活塞面)。傾翻執(zhí)行器25，26原則上能夠以與第一實施例相同的方式構(gòu)造，但是其中它們在這里固定在門體10上。在此以可充氣的軟管的形式構(gòu)造的傾翻執(zhí)行器的兩個端部布置在門體10的孔中并且在所述門體的凹部中的、位于這兩個端部之間的中間區(qū)域中延伸，其中它們在充氣時分別支承在該凹部的底部上，所述底部形成門體10的接觸面38。對于在打開方向上作用的傾翻執(zhí)行器25來說，在圖13中可以看到這個中間的、穿過凹部延伸的區(qū)域。傾翻執(zhí)行器還支撐在安置在腔室壁13上的固定零件21上，也就是支撐在固定零件21的支撐塊35，36的接觸面37上。可以如此考慮并實現(xiàn)該第二實施例的一種變型方案，從而使得傾翻執(zhí)行器25，26直接支撐在腔室壁3上。在這種情況下門體10可以通過直接固定在腔室壁3上的支承零件相對于腔室壁3可偏轉(zhuǎn)地構(gòu)造，并且可以省略在門體10與腔室壁3之間延伸的板狀的固定零件。另一方面該實施例也可以如此變型，從而使得傾翻執(zhí)行器25，26固定在固定零件21上。傾翻軸線20與兩個傾翻執(zhí)行器25，26不對稱，如同尤其由圖14看到的那樣。在此，在打開方向上起作用(也就是說使封閉部件I從其閉合位置調(diào)整到其中間位置)的傾翻執(zhí)行器25的杠桿臂大于在閉合方向上起作用(也就是說使封閉部件I從其中間位置調(diào)整到其閉合位置)的傾翻執(zhí)行器26的杠桿臂。通過在打開方向和閉合方向上的活塞面的不同大小并且通過傾翻執(zhí)行器25，26圍繞傾翻軸線20在打開方向和閉合方向上的不同轉(zhuǎn)矩，可以以簡單的方式在打開和關(guān)閉門時實現(xiàn)用于封閉部件的合乎邏輯的L形運動的順序控制(Folgesteuerung)。在此在閉合方向上起作用的活塞面和在閉合方向上起作用的傾翻執(zhí)行器26能夠持續(xù)地加載驅(qū)動執(zhí)行器的壓縮空氣的系統(tǒng)壓力。當(dāng)所述門要從其打開狀態(tài)出發(fā)而關(guān)閉時，則在打開方向上起 作用的活塞面和在打開方向上起作用的傾翻執(zhí)行器25處于無壓力狀態(tài)，也就是說與大氣壓力連接。當(dāng)所述門要從其關(guān)閉狀態(tài)出發(fā)而打開時，則在打開方向上起作用的活塞面和在打開方向上起作用的傾翻執(zhí)行器25加載壓縮空氣。由此分別產(chǎn)生封閉部件I合乎邏輯的L形運動，其中總共僅僅需要唯一的換向閥，所述換向閥使連接管道與壓縮空氣的系統(tǒng)壓力或者與大氣壓力連接，所述連接管道引導(dǎo)壓縮空氣到在打開方向上起作用的活塞面和在打開方向上起作用的傾翻執(zhí)行器25。這種順序控制與由現(xiàn)有技術(shù)已知的、根據(jù)在說明書導(dǎo)言中提到的US 6，056，266的順序控制類似。在打開方向和閉合方向上作用的、不同的活塞面在多于或少于三個用于連桿驅(qū)動裝置12的執(zhí)行器時也可以實現(xiàn)，或者說對于用于連桿驅(qū)動裝置12的雙重作用的活塞來說也可以實現(xiàn)，其中在這種情況下也可以僅僅使用唯一的活塞氣缸單元。前述的順序控制也可以在這些結(jié)構(gòu)中實現(xiàn)，例如也在首先描述的、本發(fā)明第一實施例中實現(xiàn)。封閉部件I也可以由多于或少于三個所示的連桿9，9’，9”支承。代替順序控制也可以通過單獨的、相應(yīng)地觸發(fā)的閥門實現(xiàn)L形運動。在圖18至24中示出的第三實施例與前述的第二實施例的不同之處基本上在于傾翻執(zhí)行器25’，26’的構(gòu)造。在這里傾翻執(zhí)行器25’，26’的內(nèi)部空腔27不是全圓周地而是只在一個側(cè)面上由具有彈性的和/或柔性的材料的壁39限定。其余的內(nèi)部空腔27由門體10的區(qū)段限定，因此由剛性壁限定。可局部地彈性伸展的和/或柔性的壁39與門體10密封地連接，其中壁跨過門體10的凹部。在所示實施例中環(huán)繞的框架40用于與門體10密封地連接，其中壁39的彈性膜在其邊緣區(qū)域中圓周地夾緊在門體10與框架40之間?？蚣?0為此借助螺栓41與門體10旋緊。為了改善門體10與彈性膜之間的密封可以使該膜在其圓周邊緣的區(qū)域中設(shè)有凸起形的加厚部，所述加厚部壓緊到門體10的表面上(在附圖中以未擠壓的狀態(tài)示出凸起形的加厚部，從而示出了所述加厚部伸入到門體10中)。同樣能夠?qū)崿F(xiàn)在膜與門體10之間的其它密封的連接，例如彈性膜可以硫化(anvulkanisieren)或粘接到門體10上。在彈性膜的背離內(nèi)部空腔27的外表面上安置、尤其是硫化或粘接支撐小板。通過所述支撐小板42的伸展抑制彈性的可伸展性進而由此抑制膜的柔性，因此限定內(nèi)部空腔27的壁39在這個區(qū)域中總體上是剛性的。通過支撐小板42使各個傾翻執(zhí)行器25’，26’的至少局部彈性和/或柔性地構(gòu)造的壁39支撐在固定零件21的各個支撐塊35，36的接觸面37上。為了操縱各個傾翻執(zhí)行器25’，26’，將壓縮空氣充入到內(nèi)部空腔27中。由此通過彈性膜的伸展擴大所述內(nèi)部空腔的容積，其中壁39朝向腔室壁3移動。傾翻執(zhí)行器26的內(nèi)部空腔27通過通道43與在連桿驅(qū)動裝置12閉合方向上起作用的氣缸室連接，由此可以構(gòu)成順序控制。也能夠?qū)崿F(xiàn)用于將壓縮空氣充入到傾翻執(zhí)行器
26的內(nèi)部空腔27中的單獨的通道。能夠?qū)崿F(xiàn)該第三實施例的不同變型方案。因此各個傾翻執(zhí)行器25’，26’的(至少局部地)彈性伸展的和/或柔性的壁39也可以直接支撐在腔室壁3上。
也可以省略支撐小板42，由此壁39在其整個伸長上是彈性的和/或柔性的。代替將傾翻執(zhí)行器25’，26’集成到門體10中也可以將傾翻執(zhí)行器25’，26’集成到固定零件21中，其中(至少局部地)彈性的和/或柔性的壁39支撐在門體10的接觸面37上。壁39也可以是不可伸展的并且僅僅(至少局部地)柔性地構(gòu)造。盡管連桿9優(yōu)選直線移動以使封閉部件從其打開位置調(diào)整到其中間位置，如在所述實施例中是這種情況，但是在所有所描述實施例中為了使封閉部件在其打開位置與其中間位置之間進行調(diào)整也可以實現(xiàn)門體上的連桿的可偏轉(zhuǎn)的支承，并且實現(xiàn)使連桿圍繞其旋轉(zhuǎn)軸線偏轉(zhuǎn)的連桿驅(qū)動裝置。例如通過將支承架23直接安置在腔室壁3上這種方式，也能夠以與所描述的不同的方式實現(xiàn)門體10的可傾翻的支承。因此也可以省略托板22并且構(gòu)造成可充氣元件的傾翻執(zhí)行器25，26能夠一方面支撐在門體10上、另一方面直接支撐在腔室壁3上。也可以僅僅設(shè)置一個在旋轉(zhuǎn)方向其中之一上圍繞傾翻軸線20作用的傾翻執(zhí)行器，其朝彈簧彈性的元件作用，所述彈簧彈性的元件在填充介質(zhì)從傾翻執(zhí)行器中排出時再將門體10翻回。代替壓縮空氣也可以使用其它的壓縮氣體、尤其是氮氣。附圖標(biāo)記清單 I封閉部件
2開口 3腔室壁 4真空腔室 5密封部 6密封面 7底座 8連接零件 9，9’，9” 連桿 10門體 11縱軸線 12連桿驅(qū)動裝置13氣缸孔14活塞15導(dǎo)向連桿16磁軛17防扭轉(zhuǎn)桿18防扭轉(zhuǎn)桿19軸線20傾翻軸線21固定零件22托板23支承架24孔
25，25’ 傾翻執(zhí)行器26，26’ 傾翻執(zhí)行器 27空腔28接頭29真空泵30支承零件31支承零件32支承面33蓋板
34環(huán)35支撐塊36支撐塊37接觸面38接觸面
39壁40框架41螺栓42支撐小板43通道
權(quán)利要求
1.用于使真空腔室(4)的腔室壁(3)中的開口(2)相對于大氣封閉的門，其包括 封閉部件(1)，所述封閉部件安置在至少一個連桿(9，9’，9”)上，并且所述封閉部件能夠在打開位置、中間位置以及閉合位置之間調(diào)整，在所述打開位置中所述封閉部件釋放開口( 2 )，在所述中間位置中所述封閉部件覆蓋開口( 2 )但是從包圍開口( 2 )的底座(7 )中升起來，在所述閉合位置中所述封閉部件壓緊到所述底座(7)上； 門體(10)，所述門體承載有至少一個連桿(9，9’，9”)和所述封閉部件(1)，并且所述門體為了在所述中間位置與所述閉合位置之間調(diào)整所述封閉部件(I)能夠相對于所述腔室壁(3)圍繞傾翻軸線(20)傾翻；以及 至少一個傾翻執(zhí)行器(25，25’，26，26’)，所述傾翻執(zhí)行器具有內(nèi)部空腔(27)，能夠?qū)嚎s氣體導(dǎo)入到所述空腔中，以使所述門體(10)圍繞傾翻軸線(20)傾翻， 其特征在于，所述傾翻執(zhí)行器(25，25’，26，26’)的至少一個限定所述傾翻執(zhí)行器(25，25’，26，26’)的內(nèi)部空腔(27)的壁(39)至少在其伸展部的區(qū)段上彈性地和/或柔性地構(gòu)造，并且支撐在所述門體(10 )的接觸面(38 )上和/或支撐在所述腔室壁(3 )或者固定在所述腔室壁(3)上的固定零件(21)的接觸面(37)上。
2.按權(quán)利要求I所述的門，其特征在于，所述傾翻執(zhí)行器(25，26)的內(nèi)部空腔完全由彈性地和/或柔性地構(gòu)造的壁(39)限定，所述壁一方面支撐在所述門體(10)的接觸面(38)上、并且另一方面支撐在所述腔室壁(3)或者固定在所述腔室壁(3)上的固定零件(21)的接觸面(37)上。
3.按權(quán)利要求2所述的門，其特征在于，所述傾翻執(zhí)行器(25，26)構(gòu)造成能夠充氣的軟管。
4.按權(quán)利要求3所述的門，其特征在于，所述以能夠充氣的軟管的形式構(gòu)造的傾翻執(zhí)行器(25，26)利用其兩個端部布置在所述固定零件(21)中的孔中或者布置在所述門體(10)中。
5.按權(quán)利要求4所述的門，其特征在于，所述固定零件(21)或所述門體(10)在兩個孔之間的區(qū)域中具有凹部，構(gòu)造成能夠充氣的軟管的傾翻執(zhí)行器(25，26)的端部布置在所述孔中，所述軟管的中間的區(qū)段在所述凹部的區(qū)域中支撐在所述固定零件(21)的接觸面(37)以及所述門體(10)的接觸面(38)上。
6.按權(quán)利要求I所述的門，其特征在于，所述至少在其結(jié)構(gòu)的一段上彈性和/或柔性構(gòu)成的壁(39)具有彈性的和/或柔性的薄膜，所述薄膜密封地與所述傾翻執(zhí)行器(25’，26’)的剛性的區(qū)段連接，其中所述傾翻執(zhí)行器(25，’26’)的內(nèi)部空腔(27)位于所述薄膜與所述傾翻執(zhí)行器(25 ’，26 ’)的剛性的區(qū)段之間。
7.按權(quán)利要求6所述的門，其特征在于，所述傾翻執(zhí)行器(25’，26’)的剛性的區(qū)段由所述門體(10)構(gòu)造。
8.按權(quán)利要求6或7所述的門，其特征在于，在背離所述內(nèi)部空腔(27)的薄膜表面上安置支撐小板(42 )，所述支撐小板支撐在所述接觸面(37，38 )上。
9.按權(quán)利要求I至8中任一項所述的門，其特征在于，所述門體(10)圍繞所述傾翻軸線(20 )可傾翻地支承在有待固定在所述腔室壁(3 )上的固定零件(21)上。
10.按權(quán)利要求I至9中任一項所述的門，其特征在于，在所述傾翻軸線(20)的對置的側(cè)面上各布置一個傾翻執(zhí)行器(25，26)，所述傾翻執(zhí)行器的至少一個限定所述內(nèi)部空腔(27)的壁(39)至少在其伸展部的區(qū)段上分別彈性地和/或柔性地構(gòu)造，所述壁支撐在所述門體(10)的接觸面(38)上和/或支撐在所述腔室壁(3)或者固定在所述腔室壁(3)上的固定零件(21)的接觸面(37)上
11.按權(quán)利要求I至10中任一項所述的門，其特征在于，所述連桿(9)或所述連桿(9，9’，9”)中的至少一個能夠軸向移動地在所述門體(10)中引導(dǎo)。
12.按權(quán)利要求I至11中任一項所述的門，其特征在于，所述至少一個連桿(9，9’，9”)能夠由連桿驅(qū)動裝置(12)在其縱軸線(11)的方向上移動以在所述打開位置與所述中間位置之間調(diào)整所述封閉部件(I)。
13.按權(quán)利要求12所述的門，其特征在于，所述連桿驅(qū)動裝置(12)包括至少一個布置在所述門體(10)的氣缸孔(13)中的活塞(14)，所述連桿(9)或者所述連桿(9，9’，9”)中的至少一個與所述活塞連接。
14.按權(quán)利要求I至13中任一項所述的門，其特征在于，所述封閉部件(I)布置在所述腔室壁(3)的大氣一側(cè)。
15.按權(quán)利要求I至14中任一項所述的門，其特征在于，所述連桿(9，9’，9”)防止相對于所述門體(10)、相對于圍繞連桿的縱軸線(11)的扭轉(zhuǎn)。
全文摘要
一種用于使真空腔室(4)的腔室壁(3)中的開口(2)相對于大氣封閉的門，其包括封閉部件(1)、門體(10)以及至少一個傾翻執(zhí)行器(25，25’，26，26’)，所述封閉部件安置在至少一個連桿(9，9’，9”)上，并且所述封閉部件能夠在打開位置、中間位置以及閉合位置之間調(diào)整，在所述打開位置中所述封閉部件釋放開口(2)，在所述中間位置中所述封閉部件覆蓋開口(2)但是從包圍開口(2)的底座(7)中升起來，在所述閉合位置中所述封閉部件壓緊到所述底座(7)上；所述門體承載有至少一個連桿(9，9’，9”)和所述封閉部件(1)，并且所述門體為了在所述中間位置與所述閉合位置之間調(diào)整所述封閉部件(1)能夠相對于所述腔室壁(3)圍繞傾翻軸線(20)傾翻；所述傾翻執(zhí)行器具有內(nèi)部空腔(27)，能夠?qū)嚎s氣體導(dǎo)入到所述空腔中，以使所述門體(10)圍繞傾翻軸線(20)傾翻。所述傾翻執(zhí)行器(25，25’，26，26’)的至少一個限定所述傾翻執(zhí)行器(25，25’，26，26’)的內(nèi)部空腔(27)的壁(39)至少在其伸展部的區(qū)段上彈性地和/或柔性地構(gòu)造。
文檔編號F16K51/02GK102713388SQ201180007474
公開日2012年10月3日 申請日期2011年1月18日 優(yōu)先權(quán)日2010年1月29日
發(fā)明者A.諾伊梅爾, C.瓦格納, F.蓋澤 申請人:Vat 控股公司