專利名稱：密封腔室的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及一種可以在半導(dǎo)體制造裝置、平板顯示器制造裝置、太陽(yáng)能電池板制造裝置等中利用的組裝式密封腔室。
背景技術(shù)：
以往，例如對(duì)半導(dǎo)體晶片或液晶顯示基板等的被處理體進(jìn)行成膜處理或蝕刻處理時(shí)，使用真空腔室或密封氣體的腔室等(下面總稱為“密封腔室”)。這種密封腔室一般使用鋁合金或不銹鋼等較大的模塊，通過(guò)切屑加工削掉其模塊的內(nèi)部進(jìn)行制造。因此，難以實(shí)現(xiàn)密封腔室的大型化。此外，由于制造時(shí)需要較大的加工設(shè)備，而且削掉的內(nèi)部材料被浪費(fèi)掉等的原因，存在制造成本變高的問(wèn)題。并且，還存在將框架式的腔體主體分割為多個(gè)構(gòu)成部件，對(duì)該分割的多個(gè)構(gòu)成部件進(jìn)行熔接而制造的結(jié)構(gòu)的密封腔室。然而，特別是在鋁合金的熔接中其熔接費(fèi)用高且熔接的難度較大，而且鋁合金、不銹鋼這兩者存在熔接后產(chǎn)生變形和破裂的問(wèn)題，而且因?yàn)闊o(wú)法使熔接部形成為平面而需要實(shí)施二次加工，因此成為提高成本的主要原因。并且，因?yàn)樵谑褂煤鬅o(wú)法拆卸各構(gòu)成部件，因此存在難以進(jìn)行維修工作的問(wèn)題，而且在熔接結(jié)構(gòu)的情況下，還存在因熔接部的疲勞引起的破裂等。此外，因?yàn)檫@些年基板等的被處理體也被大型化，因此如果不能拆卸各構(gòu)成部件，則也不方便搬運(yùn)，而且難以應(yīng)對(duì)腔室本身的大型化要求。因此，作為解決如上所述的問(wèn)題的腔室，還公開有專利文獻(xiàn)I中記載的真空用容器。該真空容器通過(guò)接合四張側(cè)面板的端面而形成中空框架體，而且在該中空框架體的上下開口面分別接合頂面板和底面板，從而構(gòu)成為箱形容器。并且，各板材的接合面設(shè)有密封槽，通過(guò)將一體成 型的密封部件嵌入到該密封槽中進(jìn)行密封，從而使其確保容器的密封性。然而，在具有這種接合結(jié)構(gòu)的真空容器中，實(shí)際上通過(guò)密封部件難以實(shí)現(xiàn)密封，會(huì)引起較大的滲漏，有時(shí)無(wú)法使容器的內(nèi)部保持真空。深究其原因后判斷出，對(duì)于一般的方形的密封槽與均勻的線形的密封部件之間的組合來(lái)說(shuō)，在箱形容器的拐角(頂部)，密封部件與密封槽之間發(fā)生微小的間隙。更詳細(xì)地講，在沿三個(gè)方向延伸的密封部件的分支部(T字形的部分)中，特別是在拐角密封面和邊線中，密封部件針對(duì)密封槽的擠推力不夠，在該分支部的拐角產(chǎn)生微小的間隙，從該處發(fā)生滲漏?，F(xiàn)有技術(shù)文獻(xiàn)專利文獻(xiàn)專利文獻(xiàn)I :日本特開2004-286165號(hào)公報(bào)

發(fā)明內(nèi)容
技術(shù)問(wèn)題本發(fā)明是為了解決如上所述的問(wèn)題而提出的，其目的在于穩(wěn)定地提供比現(xiàn)有的通過(guò)切屑加工或熔接結(jié)構(gòu)形成的密封腔室簡(jiǎn)單且能以低成本制造，而且使密封部件與密封槽之間可靠地貼緊而防止?jié)B漏的發(fā)生，氣密性極高的密封腔室。技術(shù)方案為了達(dá)到上述目的，本發(fā)明的組裝式密封腔室，通過(guò)接合多張板材在內(nèi)部設(shè)置密封空間，其特征在于，包含形成在相鄰的板材的接合面的密封槽和具有沿不同的方向分支的分支部的密封部件，在密封槽中安裝密封部件時(shí)，密封部件的分支部周邊向密封槽拐角方向產(chǎn)生壓縮變形，從而使密封部件分支部的拐角被擠壓到密封槽分支部的拐角而緊貼于密封槽分支部的拐角。并且，在本發(fā)明的密封腔室中，密封部件分支部的填充率優(yōu)選設(shè)定在100%左右。這里，將密封槽的截面積設(shè)為SI，將密封部件的截面積設(shè)為S2時(shí)，“填充率”是指相對(duì)于密封槽的截面積的密封部件的截面積的比率(S2/S1)。例如，作為具體的實(shí)施方式，可以采用密封部件分支部的截面積形成為大于線形部的截面積的結(jié)構(gòu)。如果將這種結(jié)構(gòu)的密封部件安裝于均勻的截面積的密封槽中，則密封部件分支部只能朝著與延伸方向相反的方向、即遠(yuǎn)離分支部的方向變形，能夠確保向密封槽分支部的拐角方向的擠壓力。并且，與此相反，也可以采用密封槽的分支部的截面積形成為小于線形部的截面積的結(jié)構(gòu)。如果在這種結(jié)構(gòu)的密封槽中安裝均勻的具有截面積的密封部件，則同樣能夠確保向密封槽分支部的拐角方向的擠壓力。并且，也可以代替這些結(jié)構(gòu)，使密封部件的長(zhǎng)度設(shè)定為小于密封槽的長(zhǎng)度。并且，為了防止接觸密封槽分支部的拐角的密封部件受損，可以將密封部件分支部的拐角與密封槽分支部的拐角之間的密封面變更為進(jìn)行了 R形狀(圓弧面)或C面形狀(45°傾斜面)等的倒角加工的形狀。發(fā)明效果根據(jù)本發(fā)明，通過(guò)接合多張板材而形成內(nèi)部設(shè)有密封空間的組裝式密封腔室，從而與通過(guò)不銹鋼的熔接結(jié)構(gòu)或鋁合金的切屑加工而制造的密封腔室相比，能夠大幅度地抑制材料費(fèi)和加工費(fèi)，能 夠以非常低的成本制造。并且，在密封槽中安裝了密封部件時(shí)，通過(guò)使密封部件的分支部周邊產(chǎn)生壓縮變形而使密封部件分支部的拐角擠壓密封槽分支部的拐角而被緊貼，從而提高針對(duì)密封槽分支部的拐角的密封性，防止?jié)B漏的發(fā)生，能夠穩(wěn)定地提供氣密性極高的密封腔室。


圖I是表示本發(fā)明的密封腔室的結(jié)構(gòu)的整體圖。圖2是表示側(cè)板的結(jié)構(gòu)的部件圖。圖3是表示帶有排氣口的側(cè)板結(jié)構(gòu)的部件圖。圖4是表示頂板和底板的結(jié)構(gòu)的部件圖。圖5是表示密封部件的結(jié)構(gòu)的部件圖。圖6是表示密封腔室的組裝方法的說(shuō)明圖。圖7是表示密封槽分支部的形狀的放大圖。圖8是表示一般的密封部件分支部的形狀的放大圖。圖9是表示在圖7的密封槽中安裝了圖8的密封部件時(shí)的作用的說(shuō)明圖。圖10是表示本發(fā)明中的密封部件分支部的形狀的放大圖。圖11是表示在圖7的密封槽中安裝了圖10的密封部件時(shí)的作用的說(shuō)明圖。
圖12是表示密封部件分支部的一個(gè)例子的放大圖。圖13是表示密封部件分支部的其他例子的放大圖。圖14是表示密封部件分支部的其他例子的放大圖。圖15是表示密封部件分支部的其他例子的放大圖。圖16是表示密封部件分支部的其他例子的放大圖。圖17是表示密封槽分支部的一個(gè)例子的放大圖。圖18是表示密封槽分支部的其他例子的放大圖。圖19是表示密封槽分支部的其他例子的放大圖。圖20是表示密封部件分支部和密封槽分支部之間的密封面的一個(gè)例子的放大圖。圖21是表示密封部件分支部和密封槽分支部之間的密封面的其他例子的放大圖。符號(hào)說(shuō)明C為密封腔室，I為側(cè)板，11為螺紋孔(用于帶排氣口的側(cè)板)12為螺紋孔(用于頂板)，13為螺紋孔(用于底板)，14為銷，15為銷孔，2為帶排氣口的側(cè)板，21為排氣端口，22為排氣口，23為螺紋孔(用于排氣端口)，24為螺紋孔(用于頂板)，25為螺紋孔(用于底板)，26為插通孔，27為臺(tái)階部,28為銷孔,3為頂板,31為插通孔,4為底板,41為插通孔,5為密封部件，51為頂部，52 為線形部，53為分支部，53a為拐角，6為密封槽，61為凹槽，62為環(huán)狀凹槽，63為彎曲部，64為分支部，64a為拐角，65為線形部，66為隆起部，7為螺栓，8為模殼。
具體實(shí)施例方式以下，參照附圖來(lái)說(shuō)明本發(fā)明的實(shí)施方式。 如圖I所示，本發(fā)明的密封腔室C是使用多張板材I、2、3、4、密封部件5、螺栓7進(jìn)行組裝的組裝式容器，例如在半導(dǎo)體制造裝置中，通過(guò)使內(nèi)部成為真空狀態(tài)而能夠作為進(jìn)行半導(dǎo)體晶片的成膜處理和蝕刻處理等的真空腔室來(lái)使用。在本實(shí)施方式中，該密封腔室C通過(guò)螺栓7固定相互面對(duì)設(shè)置的兩張側(cè)板1、1和兩張帶有排氣口的側(cè)板2、2而形成平面四邊形的模殼8，通過(guò)分別在該模殼8的上部開口面設(shè)置頂板3，并在下部開口面設(shè)置底板4后，利用螺栓7固定，由此構(gòu)成為內(nèi)部具有密封空間的長(zhǎng)方體型的中空容器。并且，模殼8與頂板3之間的接合面、模殼8與底板4之間的接合面以及相鄰的側(cè)板I與帶有排氣口的側(cè)板2之間的接合面分別設(shè)有密封槽6，通過(guò)在該密封槽6中安裝密封部件5而保持氣密性。此外，帶有排氣口的側(cè)板2上分別設(shè)有排氣端口21，該排氣端口 21上安裝用于對(duì)腔室內(nèi)的密封空間抽真空的真空泵(省略圖示)。如圖2所示，側(cè)板I由平面為長(zhǎng)方形的鋁合金板構(gòu)成，其上側(cè)面、下側(cè)面以及左右兩個(gè)側(cè)面上分別形成有直線狀的凹槽61、61···，這些凹槽61被連成一圈而形成圍繞整個(gè)側(cè)面的環(huán)狀凹槽62。并且，側(cè)板I的左右兩個(gè)側(cè)面上設(shè)有通過(guò)多個(gè)螺栓7、7…連接相鄰的帶排氣口的側(cè)板2的螺紋孔11、11···和用于插入對(duì)帶排氣口的側(cè)板2進(jìn)行定位的銷14的銷孔15。與此相同地，側(cè)板I的上側(cè)面設(shè)有用于連接頂板3的螺紋孔12、12···，下側(cè)面設(shè)有用于連接底板4的螺紋孔13、13···。如圖3所示，帶排氣口的側(cè)板2由平面為正方形的鋁合金板構(gòu)成，中央部貫通而形成有排氣口 22，該排氣口 22的周圍設(shè)有用于固定排氣端口 21的螺紋孔23、23···。并且，帶排氣口的側(cè)板2的上側(cè)面形成有在兩端具有彎曲部63的凹槽61，而且設(shè)有用于連接頂板3的螺紋孔24、24···。與此相同地，下側(cè)面設(shè)有具有彎曲部63的凹槽61和用于連接底板4的螺紋孔25、25···。并且，在左右兩個(gè)側(cè)面中與側(cè)板I的螺紋孔11對(duì)應(yīng)的位置設(shè)有用于插入螺栓的插通孔26。在此，帶排氣口的側(cè)板2的內(nèi)側(cè)面的左右兩側(cè)形成有臺(tái)階部27、27，在該臺(tái)階部27接合側(cè)板I的左右兩個(gè)端面后通過(guò)連接螺栓7來(lái)形成模殼8。如圖4所示，頂板3同樣由平面為正方形的鋁合金板構(gòu)成，沿著其周邊部設(shè)有用于插入連接于模殼8的螺栓的插通孔31、31···。并且，底板4上同樣設(shè)有用于插入螺栓的插通孔41、41···。在此，雖然在本實(shí)施方式中作為側(cè)板I、帶排氣口的側(cè)板2、頂板3以及底板4的材料而使用了鋁合金板，但也可以使用不銹鋼板或碳素鋼板等金屬板代替鋁合金板。如圖5所示，密封部件5通過(guò)由彈性體構(gòu)成的骨架密封部件構(gòu)成，輪廓成型為整體上具有八處頂部51的長(zhǎng)方體型。在本實(shí)施方式中，使用使氟樹脂硫化成型的圓棒狀的橡膠材料形成12條線形部52、52···，在各自的頂部51附近形成如放大圖中示出的那種T字形的分支部53，并通過(guò)粘結(jié)劑或硫化成型結(jié)合這些而一體成型。在此，密封部件5的材料和成型方法并不局限于此，只要能夠構(gòu)成為使板材的接合部分被密封，則其材料或成型方法可以米用任意一種。接著，參照?qǐng)D6說(shuō)明通過(guò)組裝如上所述地構(gòu)成的側(cè)板I、帶排氣口的側(cè)板2、頂板3、底板4以及密封部件5而制造本發(fā)明的密封腔室C的方法。在組裝時(shí)，首先針對(duì)一體成型的密封部件5安裝側(cè)板I。此時(shí)，針對(duì)在側(cè)板I的整個(gè)側(cè)面設(shè)置的環(huán)狀凹槽62，依次嵌入密封部件5的線形部52、52···。在密封部件5上安裝完側(cè)板I之后，在側(cè)板I的銷孔15中插入銷14。接著，在安裝了側(cè)板I的密封部件5上安裝帶排氣口的側(cè)板2。此時(shí)，針對(duì)在帶排氣口的側(cè)板2的上下側(cè)面上設(shè)置的凹槽61，嵌入密封部件5的剩余的線形部52、52···。如此，若在密封部件5上 嵌入帶排氣口的側(cè)板2，則側(cè)板I的左右兩個(gè)端面抵接于臺(tái)階部27，銷14被插入于帶排氣口的側(cè)板2的銷孔28中。接著，在使側(cè)板I和帶排氣口的側(cè)板2抵接而進(jìn)行了定位的狀態(tài)下，將從插通孔26插入的螺栓7螺紋固定于螺紋孔11中，由此固定側(cè)板I和帶排氣口的側(cè)板2。若通過(guò)上述方法固定兩張側(cè)板I、I和兩張帶排氣口的側(cè)板2、2，即可形成四周被板材包圍的筒型的模殼8。然后，在該模殼8的上表面配置頂板3，將插入到頂板3的插通孔31中的螺栓7分別螺紋固定于螺紋孔12、24中。此時(shí)，由于模殼8的上表面如圖6的俯視圖那樣嵌入有連接為環(huán)狀的密封部件5，因此模殼8與頂板3之間的接合面通過(guò)該環(huán)狀的密封部件5密封而確保氣密性。并且，關(guān)于底板4也同樣地，在插通孔41中插入螺栓7，并將其分別螺紋固定于螺紋孔13、25中而將底板4固定于模殼8的下表面，由此使模殼8與底板4的接合面通過(guò)環(huán)狀的密封部件5被密封。通過(guò)這種方法在模殼8上固定頂板3和底板4，即可完成密封腔室C的組裝。如此，根據(jù)本發(fā)明的密封腔室C，由于在一體成型的密封部件5上嵌入板材1、2、3、4之后僅用螺栓7固定即可完成組裝，因此與熔接結(jié)構(gòu)或?qū)υ牧系那行嫉鹊囊酝闹圃旆椒ㄏ啾龋軌蛟诙虝r(shí)間內(nèi)通過(guò)簡(jiǎn)單的作業(yè)(即，低成本)制造密封腔室C。并且，由于作為構(gòu)成部件的側(cè)板I、帶排氣口的側(cè)板2、頂板3以及底板4這些所有部件均由板材構(gòu)成，因此只要以大尺寸成型各板材，即可容易擴(kuò)大密封腔室C整體的尺寸。此外，還可以通過(guò)并排連接多個(gè)側(cè)板I、帶排氣口的側(cè)板2、頂板3以及底板4，由此能夠進(jìn)一步擴(kuò)大密封腔室C整體的尺寸。然而，本發(fā)明為了提高通過(guò)密封部件5進(jìn)行的板材1、2、3、4的接合面的密封性，其特征是改善了密封部件5與密封槽6之間的關(guān)系，下面對(duì)其詳細(xì)的結(jié)構(gòu)進(jìn)行說(shuō)明。圖7是關(guān)于一般的截面為方形的密封槽6A,將沿不同方向分支的密封槽分支部64附近進(jìn)行放大而表示的圖，圖8是關(guān)于一般的截面為圓形的密封部件5A，同樣將密封部件分支部53附近進(jìn)行放大而表示的圖。這里，在圖9中示出在圖7的密封槽6A中安裝了圖8的密封部件5A的狀態(tài)。在圖9中，在截面為方形的密封槽6A中嵌入了截面為圓形的密封部件5A的情況下，如圖所示，在密封槽底部的面A和面B上得到相對(duì)于板材引起的擠推力足夠大的密封部件5A的斥力。然而，在該密封部件5A中，由于沿三個(gè)方向分支的密封部件分支部53附近的延伸的合成力作用于圖的D方向和E方向，因此在密封槽分支部64的拐角64a對(duì)間隙進(jìn)行密封所需的C方向的密封部件5A的斥力不夠。因此，在密封槽分支部64的拐角(邊線)64a并未構(gòu)成幾乎完整的直線的情況下，存在通過(guò)密封部件5A很難密封角落64a的間隙的傾向。并且，即使進(jìn)行了密封，其密封性能(例如，氣體的通過(guò)時(shí)間的減少等)也不好，在用作真空腔室時(shí)存在實(shí)用性問(wèn)題。因此，在本實(shí)施方式的密封腔室C中，在密封槽6中安裝了密封部件5時(shí)，將分支部53的填充率(針對(duì)密封槽分支部53的截面積的密封部件分支部64的截面積的比率)設(shè)定為100%左右的較高值，以使密封部件分支部53的拐角53a以預(yù)定壓力壓入到密封槽分支部64的拐角64a。圖10為作為其一例，關(guān)于本發(fā)明的密封部件5B，對(duì)分支部53附近進(jìn)行了放大示出的圖。如圖10所示，在本實(shí)施方式的密封部件5B中，相對(duì)于線形部52的截面形狀為圓形，分支部53的截面 形狀形成為組合了半圓形和對(duì)拐角進(jìn)行倒圓處理的方形的復(fù)合形狀。因此，相比于線形部52的截面積，分支部53的截面積成型為較大。圖11為示出在圖7的密封槽6A中安裝了圖10的密封部件5B的狀態(tài)的圖。在圖11中，如果在截面為方形的密封槽6A中嵌入截面為復(fù)合型的密封部件5B，則由于密封部件分支部53的填充率設(shè)定為100%左右，因此密封部件5B不會(huì)朝D方向和E方向偏移，而只能朝著與密封部件5 B的延伸方向相反的方向、即遠(yuǎn)離密封槽分支部64的方向變形。因此,在密封槽分支部64的拐角64a，在間隙的密封所需的C方向，密封部件5B的擠壓力不會(huì)被抵消而能被確保。因此，根據(jù)本實(shí)施方式的密封部件5B，在密封槽分支部64的拐角64a能夠得到足夠的擠壓力，并提高密封部件5B與密封槽6A之間的緊貼性而充塞間隙，從而能夠可靠地防止?jié)B漏。并且，密封部件5的結(jié)構(gòu)并不局限于圖10中示出的形狀。圖12 圖16為在密封槽分支部64的拐角64a，為了確保朝圖11的C方向的密封部件5的斥力而使密封部件分支部53的截面積大于截面為圓形的密封部件5A (參照?qǐng)D8)的截面積的例子的圖。例如，圖12中示出的密封部件5C的線形部52的截面形狀為圓形，相對(duì)于此，分支部53的截面形狀成型為比線形部52的截面形狀大一圈的圓形。并且，圖13中示出的密封部件的線形部52的截面形狀為圓形，相對(duì)于此，分支部53的截面形狀被成型為上半部分的截面積擴(kuò)大為比半圓形大的半橢圓形。并且，圖14中示出的密封部件5E中，分支部53的截面形狀成型為對(duì)于圓形朝上下方向擴(kuò)大了截面積的橢圓形，在圖15中示出的密封部件5F中，分支部53的截面形狀成型為對(duì)于圓形朝左右方向擴(kuò)大了截面積的橢圓形。此外，圖16中示出的密封部件5G成型為分支部53的截面形狀比圓形大一圈，且對(duì)四個(gè)角進(jìn)行了倒圓處理的大致方形。如此，圖12 圖16中的任意一個(gè)密封部件5都被設(shè)定為分支部53的截面積相對(duì)大于線形部52的截面積。因此，當(dāng)在截面為方形的密封槽6A (參照?qǐng)D7)中安裝了這些密封部件5C 5G時(shí)，如圖11所示，密封部件5被板材壓縮，密封部件5欲伸展而導(dǎo)致朝向D方向的合力和朝向反方向的斥力增加。其結(jié)果，朝著圖11的C方向的擠壓力變大，因此能夠提高對(duì)于密封槽分支部64的拐角64a的緊貼性，充塞間隙而可靠地防止?jié)B漏。并且，雖然上述實(shí)施方式是對(duì)一般的截面為方形的密封槽分支部64安裝擴(kuò)大了截面積的密封部件分支部53的例子，但與其相反，也可以在縮小了截面積的密封槽分支部64安裝一般的截面為圓形的密封部件分支部53。例如，圖17中示出的密封槽6B通過(guò)在截面為方形的槽中設(shè)置向分支部64的內(nèi)壁面突出的隆起部66，從而將分支部64的截面積設(shè)定為比線形部65的截面積小。并且，圖18中示出的密封槽6C通過(guò)在截面為方形的槽中使分支部64的拐角附近的槽深度d較淺，從而同樣地將分支部64的截面積設(shè)定為小于線形部65的截面積。此外，圖19中示出的密封槽6D通過(guò)在截面為方形的槽中使分支部64的拐角附近的槽寬w較窄，從而同樣地將分支部64的截面積設(shè)定為小于線形部65的截面積。如此，圖17 圖19中的任意一個(gè)密封槽6都被設(shè)定為分支部64的截面積相對(duì)小于線形部65的截面積。因此，當(dāng)在縮小了截面積的密封槽6B (圖17)、圖6C (圖18)、圖6D(圖19)中安裝了截面為圓形的密封部件5A (圖8)時(shí)，與圖11中說(shuō)明的情況相同，密封部件5A被板材壓縮而使朝向D方向的合力和朝向反方向的斥力增大。因此，根據(jù)這些例子也能提高針對(duì)密封槽分支部64的拐角64a的緊貼性，充塞間隙而可靠地防止?jié)B漏。在上面說(shuō)明 的實(shí)施方式中，將密封部件分支部53的填充率設(shè)定為100%左右。將填充率設(shè)定為100%左右的理由在于，即使填充率小于100%，例如90%左右，當(dāng)密封部件5為彈性體時(shí)，在緊貼于密封面的部分，密封部件5在擠壓力方面顯示出接近液體的性質(zhì)。并且，填充率也可以超過(guò)100%。填充率超過(guò)100%的密封部件5在嵌入到密封槽6時(shí)分別朝遠(yuǎn)離分支部53的方向變形，而且由于密封部件被完全收容于槽內(nèi)部，因此抵接于密封槽分支部64的拐角64a的密封部件5也不會(huì)受損。并且，為了不致于使密封部件5受損，也可以將密封部件分支部53的拐角53a和密封槽分支部64的拐角64a之間的密封面變更為進(jìn)行了倒角加工的形狀。例如，可以采用如圖20所示的將密封面形成為R形狀(圓弧面)的結(jié)構(gòu)或者如圖21所示的將密封面形成為C面形狀(45°傾斜面)的結(jié)構(gòu)。在此，雖然沒(méi)有圖示，但可以將密封部件5的長(zhǎng)度設(shè)定為比密封槽6的長(zhǎng)度短。在這種情況下，因?yàn)樵诿芊獠?中嵌入了密封部件5時(shí)，密封部件5欲伸展而導(dǎo)致朝向D方向的合力和朝向反方向的斥力增加，因此能夠得到與上述的實(shí)施方式相同的效果。產(chǎn)業(yè)上的可利用性本發(fā)明的密封腔室并不局限于半導(dǎo)體制造裝置，還可以利用于平板顯示器制造裝置、太陽(yáng)能電池板制造裝置、有機(jī)EL面板制造裝置等廣泛的用途。
權(quán)利要求
1.一種密封腔室，其為通過(guò)接合多張板材而在內(nèi)部設(shè)置密封空間的組裝式密封腔室，其特征在于，包含形成在相鄰的板材的接合面的密封槽和具有沿不同的方向分支的分支部的密封部件，在密封槽中安裝密封部件時(shí)，密封部件的分支部周邊向密封槽拐角方向產(chǎn)生壓縮變形，從而使密封部件分支部的拐角被擠壓到密封槽分支部的拐角而緊貼于密封槽分支部的拐角。
2.根據(jù)權(quán)利要求I所述的密封腔室，其特征在于，密封部件分支部的填充率被設(shè)定在100%左右。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的密封腔室，其特征在于，在密封部件中分支部的截面積形成為 大于線形部的截面積。
4.根據(jù)權(quán)利要求2所述的密封腔室，其特征在于，在密封槽中分支部的截面積形成為小于線形部的截面積。
5.根據(jù)權(quán)利要求I所述的密封腔室，其特征在于，密封部件的長(zhǎng)度設(shè)定為小于密封槽的長(zhǎng)度。
6.根據(jù)權(quán)利要求I至5中的任意一項(xiàng)所述的密封腔室，其特征在于，密封部件分支部的拐角與密封槽分支部的拐角之間的密封面形成為R形狀。
7.根據(jù)權(quán)利要求I至5中的任意一項(xiàng)所述的密封腔室，其特征在于，密封部件分支部的拐角與密封槽分支部 的拐角之間的密封面形成為C形狀。
全文摘要
本發(fā)明的目的在于在組裝式密封腔室中，通過(guò)將板材的接合面上形成的發(fā)生于密封槽分支部的拐角的間隙填滿而提高密封性。在本發(fā)明中，在通過(guò)接合板材而進(jìn)行組裝的密封腔室(C)中，在相鄰的板材的接合面上形成的密封槽(6)中安裝了密封部件(5)時(shí)，密封部件(5)的分支部周邊(拐角(53a))向密封槽拐角(64a)方向產(chǎn)生壓縮變形，從而使密封部件分支部(53)的拐角(53a)能夠可靠地?cái)D壓到密封槽分支部(64)的拐角(64a)而緊貼于密封槽分支部(64)的拐角(64a)。
文檔編號(hào)F16J15/10GK103221723SQ20118005583
公開日2013年7月24日 申請(qǐng)日期2011年7月6日 優(yōu)先權(quán)日2011年7月6日
發(fā)明者吉田秀彥, 中川雅晴, 矢部學(xué), 齊藤宣和, 城戶信二 申請(qǐng)人:入江工研株式會(huì)社