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      真空設(shè)備的閘閥裝置的制作方法

      文檔序號(hào):5596485閱讀:98來源:國知局
      專利名稱:真空設(shè)備的閘閥裝置的制作方法
      技術(shù)領(lǐng)域
      本實(shí)用新型是一真空設(shè)備的閘閥裝置,其中,該閘閥裝置是以閘閥具有抵壓部,而閘閥裝置可上推一抵壓端子壓制抵壓部,用以輔助閘閥封閉導(dǎo)孔的技術(shù)領(lǐng)域。
      背景技術(shù)
      首先,請(qǐng)參閱圖I、圖2所示,為現(xiàn)有的真空設(shè)備示意、真空設(shè)備側(cè)視圖;指一真空設(shè)備10的閘閥裝置20。該真空設(shè)備10具有腔體101,以及銜接腔體101的閘閥裝置20, 閘閥裝置20設(shè)有一框座201,框座201具有腔接部202,腔接部202貫穿有腔接口 203。而框座201組接有閘閥30,閘閥30具透出框座201的軸端301,而框座201組接有驅(qū)動(dòng)軸端301與閘閥30上旋開啟與下旋封閉腔接口 203的第一動(dòng)力元件40。又閘閥30后側(cè)分布有補(bǔ)強(qiáng)桿302,補(bǔ)強(qiáng)桿302下端平凹有平壓面303。而框座201于閘閥30下方分布有樞接的平搖臂50,平搖臂50朝后銜接有平旋桿60,平旋桿60前緣樞設(shè)有抵壓端子601,并框座側(cè)面組接有第二動(dòng)力元件70,第二動(dòng)力元件70伸設(shè)有平移平旋桿60左、右平移的往復(fù)單元80 (第一動(dòng)力元件40與第二動(dòng)力元件70與往復(fù)單元80僅見于圖I所示)。但是,真空設(shè)備10是以下旋閘閥30封閉腔接口 203,而后,據(jù)平旋桿60推移抵壓端子601有壓制閘閥30的平壓面303,由壓制平壓面303達(dá)成補(bǔ)強(qiáng)閘閥30封閉腔接口 203的效益。然真空設(shè)備10的閘閥裝置20皆由金屬加工后組裝,而金屬加工是有一定的公差,組裝過程又有一定的誤差值與使用后磨損,致閘閥裝置20必須整體修正后方可讓閘閥30徹底封閉腔接口 203。同時(shí),平搖臂50也因公差與磨損常令抵壓端子601無法有效輔助壓制閘閥30封閉腔接口 203,且平壓面303與相配合的抵壓端子601構(gòu)件較多,且是極難調(diào)校的直線分布模式,故浪費(fèi)有補(bǔ)強(qiáng)閘閥30封閉腔接口 203美意,以及徒增閘閥裝置20使用有公差及調(diào)校成本偏高缺點(diǎn)。進(jìn)而為適合目前工業(yè)穩(wěn)定步調(diào),如能減化抵壓端子601組接,并設(shè)計(jì)出節(jié)省抵壓端子601相關(guān)零件校正比例,將是降低閘閥裝置20成本的最佳利器。鑒于以上所述,得知現(xiàn)有閘閥裝置有構(gòu)件較多及調(diào)校成本偏高缺點(diǎn),促使本發(fā)明人朝弭除此現(xiàn)有問題方向研發(fā),并經(jīng)由本發(fā)明人多方思考,遂而思及抵壓端子采上推模式是為最佳。

      實(shí)用新型內(nèi)容本實(shí)用新型所要解決的主要技術(shù)問題在于,克服現(xiàn)有技術(shù)存在的閘閥裝置有構(gòu)件較多及調(diào)校成本偏高缺點(diǎn),而提供一種真空設(shè)備的閘閥裝置,簡化輔助閘閥封閉導(dǎo)孔構(gòu)造,被驅(qū)動(dòng)的擺動(dòng)體令抵壓端子有壓制閘閥封閉導(dǎo)孔的效果功能,調(diào)校成本低。本實(shí)用新型解決其技術(shù)問題所采用的技術(shù)方案是一種真空設(shè)備的閘閥裝置,真空設(shè)備是用于腔體銜接的閘閥裝置,閘閥裝置具有操作區(qū)間,以及貫穿操作區(qū)間的導(dǎo)孔。而操作區(qū)間內(nèi)組接有可旋轉(zhuǎn)封閉導(dǎo)孔的閘閥,閘閥具橫向透出閘閥裝置的第一端軸,而閘閥裝置外組接有驅(qū)動(dòng)第一端軸與閘閥旋轉(zhuǎn)的第一動(dòng)力元件。其中,閘閥下側(cè)分布有朝后突出的抵壓部,而操作區(qū)間相對(duì)抵壓部位置設(shè)有支撐部,支撐部上方設(shè)置有引導(dǎo)塊,引導(dǎo)塊上方前突有端子頂部,而后,支撐部上方側(cè)設(shè)有樞軸,樞軸樞接有前伸的擺動(dòng)體,擺動(dòng)體前側(cè)具橫貫的第一長孔,擺動(dòng)體配置有依循第一長孔位移及臨接引導(dǎo)塊前緣的抵壓端子。并閘閥裝置底部接設(shè)有第二動(dòng)力元件,第二動(dòng)力元件上伸有閘閥封閉導(dǎo)孔后可驅(qū)動(dòng)樞軸旋轉(zhuǎn)擺動(dòng)體及抵壓端子迫緊于端子頂部及抵壓部之間的往復(fù)元件。該閘閥裝置由第二動(dòng)力元件以往復(fù)元件推動(dòng)擺動(dòng)體,令抵壓端子可旋轉(zhuǎn)朝上,同時(shí),可簡便調(diào)整的引導(dǎo)塊上方及端子頂部導(dǎo)引抵壓端子壓制抵壓部,據(jù)此強(qiáng)迫閘閥封閉導(dǎo)孔,用以簡化輔助閘閥封閉導(dǎo)孔構(gòu)造,以及摒除現(xiàn)有調(diào)校成本偏高缺點(diǎn),且樞軸樞接的擺動(dòng)體前側(cè)具橫貫的第一長孔,而抵壓端子可依循第一長孔臨接引導(dǎo)塊前緣,以此令抵壓端子控制帶來實(shí)質(zhì)簡化效益,以及市場競爭實(shí)力的提升;且該支撐部頂緣鎖定有可位移的引導(dǎo)塊,引導(dǎo)塊上方鎖固止擋抵壓端子的上靠板,而支撐部后緣設(shè)有立板,立板旋設(shè)有朝前抵接引導(dǎo)塊的調(diào)整螺絲,以此可位移引導(dǎo)塊配合立板的調(diào)整螺絲控制令抵壓端子迫緊抵壓部行程控制帶來實(shí)質(zhì)又一簡化及精準(zhǔn)效益。又于,該閘閥裝置于操作區(qū)間底側(cè)另等距分布有該支撐部,而左、右最末側(cè)的支撐部外增具第一端軸固接有該擺動(dòng)體,擺動(dòng)體朝后延伸及貫穿有第二長孔。另外,閘閥裝置底側(cè)相對(duì)擺動(dòng)體又分布有第二動(dòng)力元件,第二動(dòng)力元件的往復(fù)元件上端又下凹置有銜接擺動(dòng)體的剖槽,且支撐部又具穿接第二長孔的橫貫圓桿。另外,支撐部于操作區(qū)間底側(cè)等距分布,而各支撐部于第二長孔組接的抵壓端子之間串接連動(dòng)用的續(xù)接元件。但是,該支撐部頂緣增設(shè)有鎖定引導(dǎo)塊的滑接面,滑接面上突設(shè)有滑軌及下凹的螺孔,而引導(dǎo)塊上方另鎖固有一朝前延伸及止擋抵壓端子的上靠板,又引導(dǎo)塊另具有依據(jù)滑軌前、后滑移的滑槽,以及對(duì)應(yīng)螺孔的調(diào)整長孔,調(diào)整長孔插入有鎖接螺孔及夾固引導(dǎo)塊的螺接件。另支撐部后緣增設(shè)有立板,立板又旋設(shè)有朝前抵接引導(dǎo)塊的調(diào)整螺絲。另外,該操作區(qū)間于導(dǎo)孔上方的左、右側(cè)另各分布一對(duì)第一耳部,且每對(duì)第一耳部之間另配合有一固接閘閥的第二耳部,而左側(cè)第一耳部及第二耳部另插接有該第一端軸;另外,右側(cè)第一耳部及第二耳部又插接有一第二端軸。本實(shí)用新型的有益效果是,簡化輔助閘閥封閉導(dǎo)孔構(gòu)造,被驅(qū)動(dòng)的擺動(dòng)體令抵壓端子有壓制閘閥封閉導(dǎo)孔的效果功能,調(diào)校成本低。
      以下結(jié)合附圖
      和實(shí)施例對(duì)本實(shí)用新型進(jìn)一步說明。圖I為現(xiàn)有的真空設(shè)備示意圖。圖2為現(xiàn)有的真空設(shè)備側(cè)視圖。圖3為本實(shí)用新型真空設(shè)備的閘閥裝置示意圖。圖4為本實(shí)用新型的引導(dǎo)塊側(cè)視組合圖。圖5為本實(shí)用新型的閘閥裝置動(dòng)作圖。圖6為本實(shí)用新型的閘閥裝置第二側(cè)視剖面圖。圖7為本實(shí)用新型的閘閥裝置第二后視圖。圖8為本實(shí)用新型的閘閥裝置操作圖。[0023]圖9為本實(shí)用新型的閘閥組合圖。圖中標(biāo)號(hào)說明
      10 ft空設(shè)備101腔體
      20 W閨裝H201框座
      202肢■部203腔接U
      30鬧閥301軸端
      302補(bǔ)強(qiáng)桿303平£|1而
      40第 '動(dòng)力元件50 'P:揺臂
      60平機(jī)桿601抵應(yīng)端子
      70第二動(dòng)力元件80往復(fù)舉-元
      N螺彳孌件I真空S備
      U腔律2闡_裝背
      21操作|^:間22濘孔
      3 MW3 A第….IP部
      3B第二蹲部3C第二端軸
      31第.端軸32抵FR·
      34支擇部341 f#接Ι
      342潘軌343螺 L
      35核》36擺動(dòng)體
      361 % '長孔362抵IE端子
      363 111 :飯孔364續(xù)接元件
      37橫貫_桿4第一動(dòng)力元件
      5 Wya央51端子]!部
      52 if Il53調(diào)靈K孔
      5 J^IR6第二動(dòng)力元件
      61 ft復(fù)元件·62割槽
      8立極81調(diào)整_絲
      具體實(shí)施方式
      [0026]請(qǐng)參閱圖3、圖4所示,為本實(shí)用新型真空設(shè)備的閘閥裝置示意、引導(dǎo)塊側(cè)視組合圖;指本實(shí)用新型的一種真空設(shè)備的閘閥裝置,該真空設(shè)備I是用于腔體11銜接的閘閥裝置2,閘閥裝置2具有操作區(qū)間21,以及貫穿操作區(qū)間21的導(dǎo)孔22。而操作區(qū)間21內(nèi)組接有可旋轉(zhuǎn)封閉導(dǎo)孔22的閘閥3,閘閥3具橫向透出閘閥裝置2的第一端軸31,而閘閥裝置2外組接有驅(qū)動(dòng)第一端軸31與閘閥3旋轉(zhuǎn)的第一動(dòng)力元件4。其中,閘閥3下側(cè)分布有朝后突出的抵壓部32,而操作區(qū)間21相對(duì)抵壓部32位置設(shè)有支撐部34,支撐部34上方設(shè)置有引導(dǎo)塊5,引導(dǎo)塊5上方前突有端子頂部51,而后,支撐部34上方側(cè)設(shè)有樞軸35,樞軸35樞接有前伸的擺動(dòng)體36,擺動(dòng)體36前側(cè)具橫貫的第一長孔361,擺動(dòng)體36配置有依循第一長孔361位移及臨接引導(dǎo)塊5前緣的抵壓端子362。并閘閥裝置2底部接設(shè)有第二動(dòng)力元件6,第二動(dòng)力元件6上伸有閘閥3封閉導(dǎo)孔22后可驅(qū)動(dòng)樞軸35旋轉(zhuǎn)擺動(dòng)體36及抵壓端子362迫緊于端子頂部51及抵壓部32之間的往復(fù)元件61 (樞軸35及第一長孔361請(qǐng)參照?qǐng)D4所示)。是的,閘閥裝置2于操作區(qū)間21底側(cè)另等距分布有該支撐部34,而左、右最末側(cè)的支撐部34外增具第一端軸31固接有該擺動(dòng)體36,擺動(dòng)體36朝后延伸及貫穿有第二長 孔363。另外,閘閥裝置2底側(cè)相對(duì)擺動(dòng)體36又分布有第二動(dòng)力元件6,第二動(dòng)力元件6的往復(fù)元件61上端又下凹置有銜接擺動(dòng)體36的剖槽62,且支撐部34又具穿接第二長孔363的橫貫圓桿37。另外,支撐部34于操作區(qū)間21底側(cè)等距分布,而各支撐部34于第二長孔363組接的抵壓端子362之間串接連動(dòng)用的續(xù)接元件364。但是,真空設(shè)備I于閘閥裝置2旋轉(zhuǎn)閘閥3封閉導(dǎo)孔22時(shí),是以第二動(dòng)力元件6據(jù)往復(fù)元件61牽引擺動(dòng)體36,利用擺動(dòng)體36連動(dòng)樞軸35以第一長孔361上旋抵壓端子362臨接引導(dǎo)塊5,據(jù)引導(dǎo)塊5前突的端子頂部51迫緊抵壓端子362前壓抵壓部32 (如圖4所示)。請(qǐng)參閱圖5所示,為本實(shí)用新型的閘閥裝置動(dòng)作圖;其中,該真空設(shè)備I于閘閥裝置2旋轉(zhuǎn)閘閥3開啟導(dǎo)孔22時(shí),是以第二動(dòng)力元件6先據(jù)往復(fù)元件61上升牽引擺動(dòng)體36,利用擺動(dòng)體36連動(dòng)樞軸35以第一長孔361下旋抵壓端子362脫離迫緊狀態(tài),以此,閘閥3方可開啟導(dǎo)孔22。請(qǐng)參閱圖6、圖7所示,為本實(shí)用新型的閘閥裝置第二側(cè)視剖面、閘閥裝置第二后視圖;其中,該支撐部34頂緣增設(shè)有鎖定引導(dǎo)塊5的滑接面341,滑接面341上突設(shè)有滑軌342及下凹的螺孔343。而引導(dǎo)塊5另具有依據(jù)滑軌342前、后滑移的滑槽52,以及對(duì)應(yīng)螺孔343的調(diào)整長孔53,調(diào)整長孔53插入有鎖接螺孔343及夾固引導(dǎo)塊5的螺接件N。而后,支撐部34后緣增設(shè)有立板8,立板8又旋設(shè)有朝前抵接引導(dǎo)塊5的調(diào)整螺絲81,且引導(dǎo)塊5上方另鎖固有一朝前延伸及止擋抵壓端子362的上靠板54。請(qǐng)參閱圖8所示,為本實(shí)用新型的閘閥裝置操作圖;其中,該引導(dǎo)塊5調(diào)整以先螺接件N松弛,而后搭配立板8的調(diào)整螺絲81前、后旋移控制引導(dǎo)塊5位置調(diào)整,待引導(dǎo)塊5調(diào)整至合適位置時(shí)再螺接件N鎖緊引導(dǎo)塊5,以此輕松完成引導(dǎo)塊5及端子頂部51調(diào)整抵壓端子362迫接距離,以及可配合不同尺寸抵壓端子362位移修正相關(guān)位置。而后,引導(dǎo)塊5上方鎖固的上靠板54恰可止擋抵壓端子362朝上脫出迫緊范圍。請(qǐng)參閱圖9所示,為本實(shí)用新型的閘閥組合圖;其中,該操作區(qū)間21于導(dǎo)孔22上方的左、右側(cè)另各分布一對(duì)第一耳部3A,且每對(duì)第一耳部3A的間另配合有一固接閘閥3的第二耳部3B,而左側(cè)第一耳部3A及第二耳部3B另插接有該第一端軸31。另外,右側(cè)第一耳部3A及第二耳部3B又插接有一第二端軸3C,由分設(shè)的第一端軸31及第二端軸3C可有利于閘閥3調(diào)整與修正、調(diào)整抵壓部32至抵壓端子362適當(dāng)配合位置。是以,可知本實(shí)用新型的閘閥裝置2由第二動(dòng)力元件6以往復(fù)元件61推動(dòng)擺動(dòng)體36令抵壓端子362旋轉(zhuǎn)朝上,并以可簡便調(diào)整的引導(dǎo)塊5及端子頂部51導(dǎo)引抵壓端子362壓制抵壓部32,據(jù)此強(qiáng)迫閘閥3封閉導(dǎo)孔22,用以簡化輔助閘閥3封閉導(dǎo)孔22構(gòu)造,并用以引導(dǎo)塊5設(shè)置摒除有現(xiàn)有調(diào)校成本偏高缺點(diǎn),且樞軸35樞接的擺動(dòng)體36前側(cè)具橫貫的第一長孔361,而抵壓端子362可依循第一長孔361臨接于引導(dǎo)塊5前緣,以此令抵壓端子362控制簡單化來降低調(diào)校成本,并據(jù)的成為本實(shí)用新型在市場競爭實(shí)力提升的主要優(yōu)異處。且本實(shí)用新型在于該支撐部34頂緣鎖定有可位移的引導(dǎo)塊5,引導(dǎo)塊5上方鎖固有止擋抵壓端子362的上靠板54,利用上靠板54防止抵壓端子362朝上脫出迫緊使用范圍,而支撐部34后緣設(shè)有立板8,立板8旋設(shè)有朝前抵接引導(dǎo)塊5的調(diào)整螺絲81,以此可位移引導(dǎo)塊5配合立板8的調(diào)整螺絲81控制抵壓端子362迫緊抵壓部32行程,據(jù)此行程控制帶來本實(shí)用新型又一簡化調(diào)校成本的優(yōu)異處?!ひ陨纤?,僅是本實(shí)用新型的較佳實(shí)施例而已,并非對(duì)本實(shí)用新型作任何形式上的限制,凡是依據(jù)本實(shí)用新型的技術(shù)實(shí)質(zhì)對(duì)以上實(shí)施例所作的任何簡單修改、等同變化與修飾,均仍屬于本實(shí)用新型技術(shù)方案的范圍內(nèi)。綜上所述,本實(shí)用新型在結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)、使用實(shí)用性及成本效益上,完全符合產(chǎn)業(yè)發(fā)展所需,且所揭示的結(jié)構(gòu)亦是具有前所未有的創(chuàng)新構(gòu)造,具有新穎性、創(chuàng)造性、實(shí)用性,符合有關(guān)新型專利要件的規(guī)定,故依法提起申請(qǐng)。
      權(quán)利要求1.ー種真空設(shè)備的閘閥裝置,真空設(shè)備是用于腔體銜接的閘閥裝置,閘閥裝置具有操作區(qū)間,以及貫穿操作區(qū)間的導(dǎo)孔;而操作區(qū)間內(nèi)組接有可旋轉(zhuǎn)封閉導(dǎo)孔的閘閥,閘閥具橫向透出閘閥裝置的第一端軸,而閘閥裝置外組接有驅(qū)動(dòng)第一端軸與閘閥旋轉(zhuǎn)的第一動(dòng)カ元件;其特征在干閘閥下側(cè)分布有朝后突出的抵壓部,而操作區(qū)間相對(duì)抵壓部位置設(shè)有支撐部,支撐部上方設(shè)置有引導(dǎo)塊,引導(dǎo)塊上方前突有端子頂部,而后,支撐部上方側(cè)設(shè)有樞軸,樞軸樞接有前伸的擺動(dòng)體,擺動(dòng)體前側(cè)具橫貫的第一長孔,擺動(dòng)體配置有依循第一長孔位移及臨接引導(dǎo)塊前緣的抵壓端子;并閘閥裝置底部接設(shè)有第二動(dòng)カ元件,第二動(dòng)カ元件上伸有閘閥封閉導(dǎo)孔后可驅(qū)動(dòng)樞軸旋轉(zhuǎn)擺動(dòng)體及抵壓端子迫緊于端子頂部及抵壓部的間的往復(fù)元件。
      2.根據(jù)權(quán)利要求I所述的真空設(shè)備的閘閥裝置,其特征在于,所述閘閥裝置于操作區(qū)間底側(cè)另等距分布有該支撐部,而左、右最末側(cè)的支撐部外增具第一端軸固接有該擺動(dòng)體,擺動(dòng)體朝后延伸及貫穿有第二長孔;另外,閘閥裝置底側(cè)相對(duì)擺動(dòng)體又分布有第二動(dòng)カ元件,第二動(dòng)カ元件的往復(fù)元件上端又下凹置有銜接擺動(dòng)體的剖槽,且支撐部又具穿接第二長孔的橫貫圓桿。
      3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的真空設(shè)備的閘閥裝置,其特征在于,所述支撐部于操作區(qū)間底側(cè)等距分布,而各支撐部于第二長孔組接的抵壓端子之間串接連動(dòng)用的續(xù)接元件。
      4.根據(jù)權(quán)利要求I所述的真空設(shè)備的閘閥裝置,其特征在于,所述支撐部頂緣增設(shè)有鎖定引導(dǎo)塊的滑接面,滑接面上又突設(shè)有滑軌及下凹的螺孔;而引導(dǎo)塊另具依滑軌前、后滑移的滑槽,以及對(duì)應(yīng)螺孔的調(diào)整長孔,調(diào)整長孔插入有鎖接螺孔及夾固引導(dǎo)塊的螺接件。
      5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的真空設(shè)備的閘閥裝置,其特征在于,所述支撐部后緣增設(shè)有立板,立板又旋設(shè)有朝前抵接引導(dǎo)塊的調(diào)整螺絲。
      6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的真空設(shè)備的閘閥裝置,其特征在于,所述引導(dǎo)塊上方另鎖固有一朝前延伸及止擋抵壓端子的上靠板。
      7.根據(jù)權(quán)利要求I或2或3或4或5或6所述的真空設(shè)備的閘閥裝置,其特征在于,所述操作區(qū)間于導(dǎo)孔上方的左、右側(cè)另各分布ー對(duì)第一耳部,且每對(duì)第一耳部之間另配合有一固接閘閥的第二耳部,而左側(cè)第一耳部及第ニ耳部另插接有該第一端軸;另外,右側(cè)第一耳部及第ニ耳部又插接有一第二端軸。
      專利摘要一種真空設(shè)備的閘閥裝置,閘閥裝置具有操作區(qū)間及貫穿操作區(qū)間的導(dǎo)孔,操作區(qū)間組接有驅(qū)動(dòng)閘閥旋轉(zhuǎn)的第一動(dòng)力元件;閘閥下側(cè)分布有朝后突出的抵壓部,操作區(qū)間相對(duì)抵壓部位置設(shè)有支撐部,支撐部上方設(shè)置有引導(dǎo)塊,引導(dǎo)塊上方前突有端子頂部,支撐部上方側(cè)設(shè)有樞軸,樞軸樞接有前伸的擺動(dòng)體,擺動(dòng)體前側(cè)具橫貫的第一長孔,擺動(dòng)體配置有依循第一長孔位移及臨接引導(dǎo)塊前緣的抵壓端子;閘閥裝置底部接設(shè)有第二動(dòng)力元件,第二動(dòng)力元件上伸有閘閥封閉導(dǎo)孔后可驅(qū)動(dòng)樞軸旋轉(zhuǎn)擺動(dòng)體及抵壓端子迫緊于端子頂部及抵壓部的間的往復(fù)元件。本實(shí)用新型簡化輔助閘閥封閉導(dǎo)孔構(gòu)造,被驅(qū)動(dòng)的擺動(dòng)體令抵壓端子有壓制閘閥封閉導(dǎo)孔的效果功能,調(diào)校成本低。
      文檔編號(hào)F16K3/00GK202580071SQ201220096929
      公開日2012年12月5日 申請(qǐng)日期2012年3月15日 優(yōu)先權(quán)日2012年3月15日
      發(fā)明者余建志, 朱琪琳, 朱英珍, 王明德, 林賜民 申請(qǐng)人:日揚(yáng)科技股份有限公司
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