真空閥的制作方法
【專利摘要】本發(fā)明涉及一種真空閥，包括：帶有第一和第二閥開口的閥殼體，閥開口具有平行的軸線且相應(yīng)由閥座包圍；第一和第二閥板，其可在打開位置、中間位置與關(guān)閉之間調(diào)節(jié)；以及承載單元，由其來承載閥板且承載單元具有驅(qū)動(dòng)元件以用于在中間位置－在其中閥板覆蓋相應(yīng)的閥開口但從閥座提起－與閉合位置之間調(diào)節(jié)第一和第二閥板，驅(qū)動(dòng)元件相應(yīng)地包括具有至少一個(gè)氣缸室的氣缸和布置在氣缸室中的帶有活塞桿的至少一個(gè)活塞，活塞與閥板中的一個(gè)相連接。承載單元具有至少一個(gè)第一和第二支桿，驅(qū)動(dòng)元件的氣缸與支桿剛性地相連接，其中，氣缸相應(yīng)地跨越處在第一和第二支桿之間的中間腔，支桿在相對而置的側(cè)部上側(cè)向地布置在驅(qū)動(dòng)元件的活塞桿旁邊。
【專利說明】真空閥
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本發(fā)明涉及一種真空閥，包括:帶有第一和第二閥開口的閥殼體，該閥開口具有平行的軸線且相應(yīng)由閥座包圍；第一和第二閥板，其可在打開位置(在其中閥板開啟相應(yīng)的閥開口)、中間位置(在其中閥板覆蓋相應(yīng)的閥開口但從閥座提起)以及閉合位置(在其中閥板貼靠在相應(yīng)的閥座處)之間進(jìn)行調(diào)節(jié)；承載單元，由該承載單元來承載閥板且該承載單元具有驅(qū)動(dòng)元件以用于在中間位置與閉合位置之間調(diào)節(jié)第一和第二閥板，該驅(qū)動(dòng)元件相應(yīng)地包括具有至少一個(gè)氣缸室的氣缸和布置在氣缸室中的帶有活塞桿(其與閥板中的一個(gè)相連接)的至少一個(gè)活塞。
【背景技術(shù)】
[0002]從文件WO 2011/096613 Al、文件 KR I — 2010 — 0061214 以及文件 US2006/0225811 Al中已知一種帶有第一和第二閥板的真空閥，閥板在真空閥的閉合的狀態(tài)中封閉閥殼體的第一和第二閥開口。在其中，承載閥板的承載單元安裝在至少一個(gè)閥桿處，該閥桿可在其縱軸線的方向上移動(dòng)?？赏ㄟ^移動(dòng)閥桿在打開位置(在其中，閥板開啟相應(yīng)的閥開口)與中間位置(在其中，閥板覆蓋相應(yīng)的閥開口但從閥座提起)之間調(diào)節(jié)閥板。活塞一氣缸單元(在其活塞桿處安裝有閥板)集成到板狀或方形的承載單元中。借助于活塞一氣缸單元可在中間位置與閉合位置(在其中，閥板封閉相應(yīng)的閥開口)之間調(diào)節(jié)閥板。
[0003]從文件US 6 899 316 B2中得知一種真空閥，在其中，單個(gè)的閥板由承載單元來承載。作為用于閥板的驅(qū)動(dòng)元件的活塞一氣缸單元(在其活塞桿處安裝有閥板)集成到方形的承載單元中。承載單元安裝在在其縱軸線的方向上可調(diào)節(jié)的閥桿處。類似的真空閥已通過使用而變得已知。在其中，作為用于閥板的驅(qū)動(dòng)元件重新設(shè)置有活塞一氣缸單元，其在此固定在板狀的承載單元的外側(cè)處。活塞一氣缸單元的活塞桿在端側(cè)構(gòu)造成帶有擴(kuò)大的頭部?；钊麠U的頭部駛?cè)氲桨枷莸牟劭谥?，閥板設(shè)有該槽口。在閥板的表面處限制相應(yīng)的槽口的縱向邊緣因此形成容納切口以用于相應(yīng)的活塞桿以活塞桿的聯(lián)接到頭部區(qū)段處的頸部區(qū)段的駛?cè)?。固定螺?其穿過閥板旋入到活塞桿中)用于將頭部固定在槽口中。同樣在文件KR 10/2010 - 061214的真空閥中，閥板與承載單元的驅(qū)動(dòng)元件以類似的方式相連接。
[0004]文件US 2004/0079915 Al和文件US 6 561 484 B2顯示了真空閥，在其中，閥板和相對而置的支撐板由承載單元來承載并且可借助于活塞一氣缸單元相對于承載單元進(jìn)行調(diào)節(jié)。在閉合的狀態(tài)中，支撐板支撐在閥殼體處以便將閥板壓緊到閥座處。
[0005]在從文件US 2008/0066811 Al中已知的真空閥中，承載單元(在該承載單元處在相對而置的側(cè)部上安裝有第一和第二閥板)借助于推桿來移動(dòng)以便或者將第一閥板壓緊到閥座處或者將第二閥板壓緊到閥座處。推桿由布置在閥殼體處的活塞一氣缸單元來操縱。
[0006]從文件US 2011/0095218 Al中得知一種真空閥，在其中，第一和第二閥板不可運(yùn)動(dòng)地固定在承載單元處。為了將閥板中的一個(gè)交替地壓緊到閥座中的一個(gè)處，承載單元借助于閥桿來調(diào)節(jié)。閥板通過引導(dǎo)部推移到承載單元上，其中，承載單元的突出部接合到相應(yīng)的閥板的凹陷的槽口中。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0007]本發(fā)明的目的在于提供一種開頭所提到的類型的有利的且成本有利的真空閥。根據(jù)本發(fā)明,這通過帶有權(quán)利要求1的特征的真空閥來實(shí)現(xiàn)。
[0008]在根據(jù)本發(fā)明的真空閥中承載單元具有至少一個(gè)第一和第二支桿，驅(qū)動(dòng)元件的氣缸與支桿剛性地相連接。氣缸在此相應(yīng)地跨越處在第一和第二支桿之間的中間腔，其中，第一和第二支桿在相對而置的側(cè)部上側(cè)向地布置在驅(qū)動(dòng)元件的活塞桿旁邊。
[0009]由此可提供有利的且節(jié)省材料的結(jié)構(gòu)，其可以簡單的方式與真空閥的不同的尺寸相匹配。
[0010]優(yōu)選地，承載單元具有正好兩個(gè)支桿，其中，第一支桿在一側(cè)部上側(cè)向地布置在驅(qū)動(dòng)元件的活塞桿旁邊而第二支桿在相對而置的側(cè)部上側(cè)向地布置在驅(qū)動(dòng)元件的活塞桿旁邊。在此一種可能的構(gòu)造方案設(shè)置成氣缸在其周面中(其包圍氣缸的至少一個(gè)氣缸室的縱軸線)具有貫穿支桿的凹處。在此可存在用于每個(gè)支桿的單獨(dú)的凹處或者周面可具有圍繞的、環(huán)槽狀的凹處。
[0011]優(yōu)選地,在相應(yīng)的氣缸中一有利地相應(yīng)在自身的氣缸室中布置有第一和第二活塞，其中，第一活塞的活塞桿與第一閥板相連接而第二活塞與第二閥板相連接。驅(qū)動(dòng)元件中的相應(yīng)的一個(gè)因此用來調(diào)節(jié)兩個(gè)閥板。但還可考慮的和可能的是針對第一和第二閥板存在不同的驅(qū)動(dòng)元件，該驅(qū)動(dòng)元件相應(yīng)僅具有活塞，活塞的活塞桿與所關(guān)聯(lián)的閥板相連接。
[0012]在本發(fā)明的一有利的實(shí)施形式中，承載單元附加地具有至少一個(gè)引導(dǎo)元件，該引導(dǎo)兀件包括殼體和可從殼體移動(dòng)的至少一個(gè)引導(dǎo)桿，該引導(dǎo)桿與閥板中的一個(gè)相連接。引導(dǎo)元件的殼體在此固定在第一和第二支桿處并且跨越處在第一和第二支桿之間的中間腔。有利地，相應(yīng)的引導(dǎo)元件具有可移動(dòng)地支承的至少兩個(gè)引導(dǎo)桿，在其中，一個(gè)與第一閥板相連接而另一個(gè)與第二閥板相連接。但還可考慮且可能的是針對第一和第二閥板設(shè)置有不同的引導(dǎo)元件，即存在僅與第一閥板相關(guān)聯(lián)的至少一個(gè)引導(dǎo)元件和僅與第二閥板相關(guān)聯(lián)的至少一個(gè)引導(dǎo)兀件。
[0013]優(yōu)選地,至少一個(gè)引導(dǎo)兀件的殼體具有密封的內(nèi)腔，該內(nèi)腔由殼體和關(guān)于至少一個(gè)閥開口的軸線的方向在相對而置的側(cè)部上由與殼體密封地相連接的、柔性的膜片來限制，并且在該內(nèi)腔中可移動(dòng)地支承有至少一個(gè)引導(dǎo)桿。該密封的內(nèi)腔通過通入到其中的管路與環(huán)境相連接或抽空(=泵出)。
[0014]至少一個(gè)引導(dǎo)元件用來可移動(dòng)地引導(dǎo)閥板或者在該引導(dǎo)時(shí)至少支持驅(qū)動(dòng)元件以及至少部分地接收由于閥板的重量引起的力，即承載閥板或者在此至少支持驅(qū)動(dòng)元件。
[0015]因此總體上為承載單元構(gòu)造有框架結(jié)構(gòu)，其包括支桿和驅(qū)動(dòng)元件和如有可能至少一個(gè)引導(dǎo)元件。為了構(gòu)造不同大的真空閥的不同大的結(jié)構(gòu)單元可使用相同的驅(qū)動(dòng)元件和相同的引導(dǎo)元件(只要存在這樣的引導(dǎo)元件)，如有可能根據(jù)承載單元的尺寸以不同的數(shù)量且附加地相應(yīng)于長的支桿來使用。倘若支桿由擠壓型材(Strangpressprofile)來構(gòu)成,如其優(yōu)選地那樣，可簡單地將擠壓型材剪切(abgelhgt)到所希望的長度上。擠壓型材具有該優(yōu)點(diǎn)，即伸延通過支桿的通道可在制造時(shí)一同壓制，這允許高效的制造。因此在真空閥的閥開口的不同的縱向大小的情況下總體上可以簡單的方式實(shí)現(xiàn)用于不同尺寸的真空閥的承載單元。
[0016]優(yōu)選地，第一和第二支桿處在共同的平面中，該平面處在第一和第二閥板處于其中的第一和第二平面之間，其中，支桿處于其中的平面平行于與平行的第一和第二平面。
[0017]為了連接閥板中的相應(yīng)的一個(gè)與承載單元而有利地存在連接裝置，該連接裝置相應(yīng)地包括連接件和容納件。連接件具有喉部區(qū)段和擴(kuò)大的、相對于喉部區(qū)段向外突出的頭部區(qū)段，即構(gòu)造成蘑菇狀。相應(yīng)的容納件具有容納切口，連接件的喉部區(qū)段可在朝容納切口的縱向方向上取向的引入方向上引入到該容納切口中直至引入到連接件的終端位置中。容納切口的切口寬度至少在連接件在其終端位置中位于其中的區(qū)域中(優(yōu)選地在容納切口的整個(gè)縱向延伸上)小于連接件的頭部區(qū)段的在容納切口的寬度延伸的方向上測量的直徑，從而位于其終端位置中的連接件不可垂直于容納切口的縱向延伸部從容納切口中抽出。為了防止引入到容納切口中直至引入到其終端位置中的連接件可重新與引入方向相反地從容納切口中抽出，容納件中的至少一個(gè)可在引入位置與卡鎖位置之間旋轉(zhuǎn)。在引入位置中，所屬的連接件的喉部區(qū)段可推入到容納切口中直到連接件的終端位置中。在連接件的終端位置中將容納件旋轉(zhuǎn)到卡鎖位置中，優(yōu)選地旋轉(zhuǎn)90°。有利地，容納件中的至少兩個(gè)可在引入位置與卡鎖位置之間圍繞旋轉(zhuǎn)軸線旋轉(zhuǎn)，其中，旋轉(zhuǎn)軸線處于彼此平行。
[0018]至少一個(gè)可旋轉(zhuǎn)的容納件的旋轉(zhuǎn)軸線尤其處得垂直于引入方向且垂直于閥板處于其中的平行的平面。
[0019]通過所說明的閥板與承載單元的連接能夠?qū)崿F(xiàn)將閥板簡單且可靠地裝配在承載單元處。尤其為了執(zhí)行維修可以簡單的方式來拆卸相應(yīng)的閥板，即從承載單元拆除。
[0020]有利地，借助于所說明的連接裝置使驅(qū)動(dòng)元件的所有的活塞桿和引導(dǎo)元件的所有的引導(dǎo)桿(只要存在)與相應(yīng)相關(guān)聯(lián)的閥板相連接。在此優(yōu)選的是容納件安裝在閥板處，其中，容納件中的至少一個(gè)可相對于閥板(容納件直接或通過至少一個(gè)支承件安裝在該閥板處)圍繞旋轉(zhuǎn)軸線在引入位置與卡鎖位置之間旋轉(zhuǎn)，優(yōu)選地對于每個(gè)閥板容納件中的至少兩個(gè)可以這種方式旋轉(zhuǎn)。然后連接件與相應(yīng)的活塞桿或相應(yīng)的引導(dǎo)桿(倘若存在)剛性地相連接或構(gòu)造成與該活塞桿或引導(dǎo)桿成一體。在后面的情況中，連接件由此由活塞桿或引導(dǎo)桿(倘若存在)的區(qū)段形成。
【專利附圖】

【附圖說明】
[0021 ] 接下來借助于附圖來闡述本發(fā)明的其它的優(yōu)點(diǎn)和細(xì)節(jié)，其中，
圖1顯示了根據(jù)本發(fā)明的真空閥的實(shí)施例的斜視圖；
圖2在一視圖中顯示了真空閥，其中，真空閥處于閉合的狀態(tài)中，即閥板處于閉合位置
中；
圖3顯示了沿著圖2的線AA的截面；
圖4顯示了圖3的放大的細(xì)節(jié)P ;
圖5顯示了沿著圖2的線BB的截面；
圖6顯示了沿著圖2的線JJ的截面；
圖7顯示了圖6的放大的細(xì)節(jié)M ;
圖8顯示了真空閥的視圖，其中，閥板處于中間位置中； 圖9顯示了沿著圖8的線CC的截面；
圖10顯示了沿著圖8的線KK的截面；
圖11顯示了圖10的放大的細(xì)節(jié)N;
圖12顯示了真空閥的視圖，其中，真空閥處于開啟的狀態(tài)中，即閥板處于打開位置中； 圖13顯示了沿著圖12的線DD的截面；
圖14顯示了承載單元與安裝在承載單元處的閥板以及閥桿與閥桿驅(qū)動(dòng)裝置的斜視
圖；
圖15顯示了圖14的放大的細(xì)節(jié)Q ;
圖16顯示了承載單元與閥桿和閥桿驅(qū)動(dòng)裝置的斜視圖；
圖17顯示了圖16的放大的細(xì)節(jié)R ;
圖18顯示了驅(qū)動(dòng)元件與連接裝置的連接件的分解圖；
圖19顯不了相應(yīng)于圖18但基于另一視角的分解圖；
圖20顯示了驅(qū)動(dòng)元件與連接裝置的連接件的視圖；
圖21顯示了沿著圖20的線UU的截面；
圖22顯示了沿著圖20的線VV的截面；
圖23顯示了引導(dǎo)元件與連接裝置的連接件和容納件的分解圖；
圖24顯不了相應(yīng)于圖23但基于另一視角的分解圖；
圖25顯示了引導(dǎo)元件與連接裝置的連接件和容納件的視圖；
圖26顯示了沿著圖25的線SS的截面；
圖27顯示了承載單元和從承載單元中拆除的閥板的斜視圖，其中，對于前置的第一閥板僅示出安裝在其處的容納件；
圖28顯示了圖27的放大的細(xì)節(jié)W ;
圖29顯示了相應(yīng)于圖27的斜視圖，但閥板與容納件推移到連接件的頭部區(qū)段上，其中，可轉(zhuǎn)動(dòng)的容納件位于其引入位置中；
圖30顯示了圖29的放大的細(xì)節(jié)X ;
圖31顯示了相應(yīng)于圖29的圖示，其中，但可轉(zhuǎn)動(dòng)的容納件位于其卡鎖位置中；
圖32顯示了圖31的放大的細(xì)節(jié)Y ;
圖33在視圖中顯示了在圖31的狀態(tài)中圖31的零件。
[0022]附圖具有不同的比例。
[0023]參考標(biāo)號列表 I閥殼體
2第一閥開口 3第二閥開口 4軸線 5軸線 6閥座 7閥座 8容納腔 9承載單元10第一閥板IOa密封圈11第二閥板Ila密封圈12閥桿
13閥桿驅(qū)動(dòng)裝置14活塞一氣缸單元15活塞一氣缸單元16軛狀件17滾輪18導(dǎo)軌19第一支桿20第二支桿21中間腔22驅(qū)動(dòng)元件23引導(dǎo)元件24氣缸25第一氣缸室26第二氣缸室27第一活塞28第二活塞29壓縮空氣管路30壓縮空氣管路31氣缸體32氣缸蓋33氣缸蓋34活塞桿35活塞桿36中間壁37引導(dǎo)栓38引導(dǎo)栓39凹進(jìn)40凹進(jìn)41周面42凹處43凹處45連接件46，46’容納件47頸部區(qū)段 48頭部區(qū)段 49容納切口 50引入方向 51縱向孔 52縱向孔 53螺栓 54螺栓 55凸出部 56接合元件 57膜片 58膜片 59密封圈 60中間容積 61中間容積 62管路 63密封圈 64連接件 65殼體 66內(nèi)腔 67膜片 68膜片 69密封圈 70聯(lián)接件 71聯(lián)接件 72密封圈 73引導(dǎo)桿 74突出部 75引導(dǎo)襯套 76凹處 77凹處 78管路 79管路 80旋轉(zhuǎn)軸線。
【具體實(shí)施方式】
[0024]在附圖中示出了根據(jù)本發(fā)明的真空閥的實(shí)施例。真空閥包括帶有第一和第二閥開
口 2、3的閥殼體1，閥開口具有平行的軸線4、5。閥開口 2、3布置在閥殼體I的相對而置的
壁中并且彼此對準(zhǔn)。具有閥開口 2、3的壁在其彼此面向的內(nèi)側(cè)處具有包圍閥開口 2、3的閥
座 6、7。[0025]在處在閥殼體I的內(nèi)部的容納腔8中布置有承載單元9，由該承載單元來承載第一和第二閥板10、11。閥板10、11處在平行的平面中，該平面處于垂直于閥開口 2、3的軸線
4、5。閥板10、11用于在真空閥的完全閉合的狀態(tài)中密封閥開口 2、3。
[0026]承載單元9安裝在閥桿12處。為此在所顯示的實(shí)施例中在閥桿12的處在容納腔8的端部處固定有連接件64(參見圖16)，在該連接件處本身固定有承載單元9，特別固定有下面進(jìn)一步說明的承載單元9的支桿19。閥桿12可由閥桿驅(qū)動(dòng)裝置13在其縱軸線的方向上調(diào)節(jié)。閥桿驅(qū)動(dòng)裝置13在此由兩個(gè)活塞一氣缸單元14、15形成，在其中，氣缸或活塞桿與閥殼體I相連接，且活塞桿或氣缸與軛狀件16相連接,該軛狀件本身與閥桿12的處在閥殼體I的外部的區(qū)段相連接，優(yōu)選地與閥桿12的端部相連接。閥桿12通過密封的線性穿引部引入到容納腔8中。
[0027]借助于閥桿驅(qū)動(dòng)裝置13 (其還可以其其方式來構(gòu)造，例如僅可具有單個(gè)的活塞一氣缸單元)對閥板10、11在其打開位置(參見圖12和13，在其中，閥板10、11有利地完全開啟閥開口 2、3)與其中間位置(參見圖8至11，在其中，閥板10、11覆蓋閥開口 2、3(朝軸線4、5的方向上來觀看)但從閥座6、7提起)之間調(diào)節(jié)。
[0028]為了在在閥板的打開位置與閥板的中間位置之間調(diào)節(jié)閥板10、11時(shí)居中地在閥殼體I中引導(dǎo)承載單元9，可旋轉(zhuǎn)地支承在承載單元9處的滾輪17(其在兩側(cè)布置在閥殼體I的容納腔8中的、平行于閥桿12延伸的槽口狀的導(dǎo)軌18中行進(jìn))用于相對于閥殼體I引導(dǎo)承載單元9。相反的布置方案(即滾輪可旋轉(zhuǎn)地支承在閥殼體I處而槽口狀的導(dǎo)軌布置在承載單元9處)原則上也是可考慮的和可能的。
[0029]還可設(shè)置有平行的兩個(gè)或更多的閥桿12，在該閥桿處安裝有承載單元9。
[0030]至少一個(gè)閥桿12優(yōu)選地垂直于閥開口 2、3的軸線4、5延伸。
[0031]閥板10、11和閥開口 2、3構(gòu)造成矩形并且比起寬度優(yōu)選地具有超過兩倍的那樣大的長度。閥板10、11和閥開口 2、3的縱向延伸部在此處于垂直于閥桿12且垂直于閥開口
2、3的軸線4、5。
[0032]承載單元9具有第一和第二支桿19、20。處于彼此平行的支桿19、20處于垂直于閥開口 2、3的軸線4、5且垂直于閥桿12，即支桿具有處于垂直于閥開口 2、3的軸線4、5且垂直于閥桿12的縱向延伸部。第一和第二支桿19、20關(guān)于閥桿12的方向彼此間隔開且因此在支桿之間具有中間腔21。該中間腔由驅(qū)動(dòng)元件22和引導(dǎo)元件23跨越。驅(qū)動(dòng)元件22和引導(dǎo)元件23相應(yīng)地不僅固定在第一支桿19處而且固定在第二支桿20處，在本實(shí)施例中直接固定在支桿處。以這種方式構(gòu)造了一種用于承載單元9的自承載的框架結(jié)構(gòu)的類型。代替驅(qū)動(dòng)元件22和引導(dǎo)元件23直接固定在第一和第二支桿19、20處，固定還可通過處于支桿之間的至少一個(gè)零件來實(shí)現(xiàn)。
[0033]驅(qū)動(dòng)元件22處在共同的直線(其處于平行于第一和第二支桿19、20)上并且沿著該直線布置成彼此間隔開。引導(dǎo)元件23同樣處在該直線上。如下面還將進(jìn)一步補(bǔ)充說明的那樣，引導(dǎo)元件23還可在修改的實(shí)施形式中被取消或者可存在多于一個(gè)引導(dǎo)元件23。
[0034]在相鄰的驅(qū)動(dòng)元件22之間承載單元9具有貫穿承載單元9的自由腔。如果存在下面進(jìn)一步更精確地說明的至少一個(gè)引導(dǎo)元件23，那么在該引導(dǎo)元件23或相應(yīng)的引導(dǎo)元件23與相鄰的驅(qū)動(dòng)元件22之間存在承載單元9的自由腔，該自由腔貫穿承載單元9。
[0035]驅(qū)動(dòng)元件22相應(yīng)地包括帶有第一和第二氣缸室25、26的氣缸24。在第一氣缸室25中布置有與第一閥板10相連接的第一活塞27而在第二氣缸室中布置有與第二閥板11相連接的第二活塞28。借助于通過壓縮空氣管路29、30(其由氣缸24的孔形成)供給的壓縮空氣可使活塞27、28移動(dòng)到氣缸室25、26中。
[0036]氣缸24相應(yīng)地包括氣缸體31，該氣缸體在其相對而置的、朝待安裝在承載單元9處的兩個(gè)閥板10、11指向的側(cè)部上是開著的，其中，氣缸體31包圍第一和第二氣缸室25、26的處在共同的直線上的縱軸線。兩個(gè)氣缸蓋32、33密封地與氣缸體31相連接并且在相對而置的側(cè)部上封閉氣缸體，從開口來看，以活塞27、28為起點(diǎn)的活塞桿34、35密封地穿弓I通過該開口?；钊麠U34、35處于平行于閥開口 2、3的軸線4、5。氣缸體31的中間壁36使中間腔25、26彼此隔開。引導(dǎo)栓37、38在兩側(cè)以中間壁36為出發(fā)點(diǎn)，引導(dǎo)栓在氣缸室25、26的縱軸線的方向上延伸，即在活塞27、28在其中可移動(dòng)的方向上延伸，并且引導(dǎo)栓突起到活塞27、28和活塞桿34、35的中心的凹進(jìn)39、40中。由此來構(gòu)造用于活塞27、28和活塞桿34、35的引導(dǎo)部。
[0037]氣缸體31的包圍氣缸室25、26的周面41相對而置地設(shè)有凹處42、43，支桿19、20伸延通過該凹處。在該凹處42、43的區(qū)域中將支桿19、20旋緊到氣缸體31處。
[0038]可借助于驅(qū)動(dòng)元件22將閥板10、11平行于閥開口 2、3的軸線4、5從其中間位置(參見圖8至11)調(diào)節(jié)到其閉合位置(參見圖2至7)中，在該閉合位置中，閥板10、11壓緊到閥座6、7處且因此閉合真空閥。在閥板10、11的閉合位置中，閥板10、11的彈性的密封圈10a、lla壓緊在閥座6、7的密封面處。還可考慮且可能的是密封圈10a、lla布置在閥座
6、7處而密封面布置在閥板10、11處。
[0039]為了使閥板10、11從其中間位置行進(jìn)到其閉合位置中壓縮空氣管路30加載有壓縮空氣(而壓縮空氣管路29排氣)，而為了將閥板10、11從其閉合位置調(diào)節(jié)到其中間位置中壓縮空氣管路29加載有壓縮空氣(而壓縮空氣管路30排氣)。代替共同的壓縮空氣管路29和/或30還可為兩個(gè)活塞27、28設(shè)置單獨(dú)的壓縮空氣管路29和/或30，其中，活塞27、28可彼此獨(dú)立地來調(diào)節(jié)。
[0040]活塞桿34、35通過連接裝置與閥板10、11相連接。相應(yīng)的連接裝置包括與相應(yīng)的活塞桿34、35剛性地相連接的連接件45和安裝在相應(yīng)的閥板10、11處的容納件46、46’。相應(yīng)的連接件45具有帶有頸部區(qū)段47和擴(kuò)大的、相對于該頸部區(qū)段47關(guān)于連接件45的縱軸線向外突出的頭部區(qū)段48的蘑菇狀的構(gòu)造。相應(yīng)的容納件46、46’具有容納切口 49。相應(yīng)的連接裝置的連接件45的頸部區(qū)段47可在引入方向50上被推入到連接裝置的容納件46、46’的容納切口 49中直至推入到終端位置中。容納切口 49的切口寬度小于連接件45的頭部區(qū)段48的直徑，從而頭部區(qū)段48不可在連接件45的縱軸線的方向上從容納切口49中抽出。
[0041]容納件46、46’相應(yīng)地在其面向相應(yīng)的閥板10、11(容納件安裝在閥板處)的側(cè)部上具有凹處，通過該凹處來構(gòu)造容納切口 49的階梯狀的拓寬部。利用其頸部區(qū)段47推入到容納切口 49中的連接件的頭部區(qū)段48處在容納切口 49的該階梯狀的拓寬部中。通過相應(yīng)的容納件46、46’與閥板10、11(容納件46、46’安裝在閥板處)一起來由此在整體上構(gòu)造用于相應(yīng)的連接件45的凹陷的容納槽口。推入到凹陷的容納槽口中的連接件45的頭部區(qū)段48在此在連接件45的終端位置中處在容納槽口的凹陷的區(qū)域中。該容納槽口例如構(gòu)造成呈T形槽口的形式，如這在本實(shí)施例中為此種情況。[0042]代替所顯示的構(gòu)造方案還可設(shè)置成容納件本身設(shè)有凹陷的容納槽口。那么在相應(yīng)的容納件的表面處限制容納槽口的縱向邊緣形成容納切口以用于連接件的頸部區(qū)段的駛?cè)搿?br> [0043]在本實(shí)施例中，在容納件46、46’中處于外側(cè)的(相對于支桿19、20的縱向延伸部)兩個(gè)容納件可在引入位置與卡鎖位置之間旋轉(zhuǎn)，亦即相應(yīng)地圍繞旋轉(zhuǎn)軸線80旋轉(zhuǎn)，該旋轉(zhuǎn)軸線處于垂直于引入方向50并且處于平行于與容納件46’相連接的連接件45的縱軸線。旋轉(zhuǎn)軸線80處于垂直于這樣的平面，即通過連接裝置與承載單元9相連接的閥板10、11處于該平面中。容納件46’的可旋轉(zhuǎn)性在所顯示的實(shí)施例中通過縱向孔51、52來實(shí)現(xiàn)，該縱向孔圓弧形地圍繞與容納件46’相連接的連接件45的縱軸線伸延且由螺栓53、54貫穿(僅在圖27、28中標(biāo)明)，螺栓穿過縱向孔51、52被擰入到有關(guān)的閥板10、11中。代替直接可旋轉(zhuǎn)地支承在相應(yīng)的閥板10、11處，容納件46’還可可旋轉(zhuǎn)地支承在相應(yīng)的支承件處，該支承件本身固定在相應(yīng)的閥板10、11處。
[0044]其余的容納件46剛性地與相應(yīng)的閥板10、11相連接，其中，其容納切口 49處于彼此平行并且處于平行于位于其引入位置中的容納件46’的容納切口 49。如果可旋轉(zhuǎn)的容納件46’位于其引入位置中，所有的容納切口 49在朝相同的側(cè)部是開啟的，參見圖27和28。引入方向50處于平行于容納件46的容納切口 49且平行于位于其引入位置中的容納件46’的容納切口 49。如果相應(yīng)的閥板10、11與承載單元9相連接，越過容納切口 49的開啟的端部將頸部區(qū)段47引入到容納切口 49中直至引入容納件46、46’的終端位置中，參見圖29和30。原則上容納切口 49還可具有帶有擴(kuò)大的寬度的區(qū)域，頭部區(qū)段48可在連接件45的縱軸線的方向上(即垂直于容納切口 49的縱向延伸部)被引入到該區(qū)域中以便然后在容納切口 49的縱向方向上移動(dòng)到終端位置中。
[0045]在容納件46、46’的終端位置中將可旋轉(zhuǎn)的容納件46’從其引入位置旋轉(zhuǎn)到其卡鎖位置中，參見圖31至33。凸出部55用來旋轉(zhuǎn)相應(yīng)的容納件46’，該凸出部具有用于接合相應(yīng)的旋轉(zhuǎn)工具的接合元件56。相應(yīng)的容納件46’可通過摩擦連接保持在其卡鎖位置中。此外還可設(shè)置附加的固定件，例如螺栓。在本實(shí)施例中使可旋轉(zhuǎn)的容納件46’在其引入位置與其卡鎖位置之間旋轉(zhuǎn)了 90°。更大或更小的旋轉(zhuǎn)角原則上也是可能的。
[0046]還可考慮且可能的是所有存在的容納件可構(gòu)造成圍繞處于彼此平行的旋轉(zhuǎn)軸線80旋轉(zhuǎn)。
[0047]不可旋轉(zhuǎn)的容納件46還可構(gòu)造成與相應(yīng)的閥板10、11成一體。
[0048]在相對而置的側(cè)部上柔性的膜片57、58借助于彈性的密封圈63密封地與氣缸體31相連接，亦即在膜片57、58的外部的周緣的區(qū)域中。膜片57、58相應(yīng)地具有居中的開口，在開口的區(qū)域中膜片密封地與相應(yīng)的活塞桿34、35相連接。為了該目的，在本實(shí)施例中，相應(yīng)的膜片57、58由與相應(yīng)的活塞桿34、35相連接的連接件45壓向處于膜片57、58與活塞桿34、35之間的彈性的密封圈59 (參見圖22)。膜片57、58因此相應(yīng)地隔開密封的中間容積60、61。中間容積60、61通過管路62 (參見圖21)與環(huán)境相連接。中間容積60、61還可通過管路62被抽空(=泵出)。由于存在的中間容積60、61，利用壓縮空氣來加載的氣缸室25、26不必直接相對于真空閥的處于閥殼體I的容納腔8中的真空區(qū)域來密封。
[0049]承載單元9附加地包括引導(dǎo)元件23，其布置在關(guān)于支桿19、20的縱向延伸部的中間的區(qū)域中。引導(dǎo)元件23在此跨越在支桿19、20之間的中間腔21并且不僅固定在第一支桿19處而且固定在第二支桿20處。因此引導(dǎo)元件同樣有助于承載單元9的框架結(jié)構(gòu)且因此有助于承載單元9的總體的穩(wěn)定性。
[0050]弓I導(dǎo)元件23包括殼體65，其在相對而置的側(cè)部上朝待安裝在承載單元9處的兩個(gè)閥板10、11是開著的。為了朝該側(cè)部密封殼體的內(nèi)腔66而設(shè)置有柔性的膜片67、68，其在其外部的周向邊緣的區(qū)域中借助于彈性的密封圈69密封地與殼體65相連接。膜片67、68具有居中的開口，聯(lián)接件70、71穿引通過該開口。膜片67、68在圍繞其居中的開口的區(qū)域中借助于位于相應(yīng)的膜片67、68與相應(yīng)的聯(lián)接件70、71之間的密封圈72來密封地連接。
[0051]聯(lián)接件70、71與閥板10、11相連接，亦即同樣通過已經(jīng)說明的連接裝置。此外在本實(shí)施例中將連接件45固定在聯(lián)接件70、71處，其中，膜片67、68由連接件45壓向密封圈72。為固定在聯(lián)接件70、71處的連接件45相應(yīng)地關(guān)聯(lián)有安裝在相應(yīng)的閥板10、11處的容納件46。在連接閥板10、11與承載單元9時(shí)將固定在聯(lián)接件70、71處的連接件45的頸部區(qū)段47引入到容納件46的容納接口 49中。
[0052]在本實(shí)施例中連接裝置具有剛性地安裝在相應(yīng)的閥板10、11處的容納件46。這樣的實(shí)施例也是可考慮的和可能的，在其中，一個(gè)或多個(gè)引導(dǎo)元件23通過帶有可在引入位置與卡鎖位置之間轉(zhuǎn)動(dòng)的容納件46’的連接裝置與相應(yīng)的閥板10、11相連接。
[0053]相應(yīng)的聯(lián)接件70、71與兩個(gè)引導(dǎo)桿73剛性地相連接，該引導(dǎo)桿可移動(dòng)地支承在殼體65的內(nèi)腔66中。此外殼體65的外罩具有向內(nèi)凸起的突出部74，該突出部具有容納引導(dǎo)桿73的引導(dǎo)襯套75。引導(dǎo)桿73和引導(dǎo)襯套75處于平行于驅(qū)動(dòng)元件22的活塞桿34、35。引導(dǎo)桿73的可移動(dòng)的引導(dǎo)部還可以不同于所示出的方式來構(gòu)造。
[0054]在本實(shí)施例中存在的四個(gè)引導(dǎo)桿73 (每個(gè)閥板10、11兩個(gè))在殼體65的周向方向上彼此間隔開的部位處可移動(dòng)地被引導(dǎo)。
[0055]殼體65在相對而置的側(cè)部上在其包圍內(nèi)腔66的縱軸線的周面中具有凹處76、77。支桿19、20伸延通過該凹處76、77并且在凹處的區(qū)域中將支桿19、20旋緊到殼體65處。
[0056]通過引導(dǎo)元件23可移動(dòng)地引導(dǎo)與承載單元9相連接的閥板10、11，亦即在閥板的運(yùn)動(dòng)方向上在其相應(yīng)的中間位置與其相應(yīng)的終端位置之間可移動(dòng)地被引導(dǎo)。還可通過引導(dǎo)元件23接收相應(yīng)的閥板10、11的重力的至少一部分。
[0057]密封的內(nèi)腔66通過通入到其中的管路78(其由通過殼體65的孔形成)來排氣。除此之外，內(nèi)腔66還可通過該管路78抽空(=泵出)。在內(nèi)腔66中形成的顆粒一尤其由于滑動(dòng)引導(dǎo)的引導(dǎo)桿73的運(yùn)動(dòng)一因此未到達(dá)到真空閥的真空區(qū)域中。
[0058]除了關(guān)于支桿19、20的縱向延伸部居中地所處的引導(dǎo)元件23或代替該引導(dǎo)元件還可存在處在關(guān)于支桿19、20的縱向延伸部的中心的區(qū)域之外的一個(gè)或多個(gè)引導(dǎo)元件23，其以所說明的方式來構(gòu)造。相應(yīng)的引導(dǎo)元件23還可具有可移動(dòng)地支承在內(nèi)腔66中的或多或少的引導(dǎo)桿73。還可設(shè)置有用于兩個(gè)閥板10、11的單獨(dú)的引導(dǎo)元件，在其中，相應(yīng)地閥板10、11中的僅僅一個(gè)可移動(dòng)地被引導(dǎo)。聯(lián)接件70、71還可被取消并且引導(dǎo)桿73可直接與連接件45相連接或者構(gòu)造成與連接件成一體。
[0059]倘若閥板10、11僅通過可移動(dòng)地引導(dǎo)驅(qū)動(dòng)元件22的活塞27、28和/或活塞桿34、35便可足夠地可移動(dòng)地引導(dǎo)且承載，則還可取消附加的引導(dǎo)元件23。
[0060]承載單元9與閥板10、11通過連接裝置如此連接使得閥板10、11的熱膨脹可被充分地吸收。在執(zhí)行真空制造工藝時(shí)在相對于承載單元9的相應(yīng)的溫度差的情況下可產(chǎn)生閥板10、11的如有可能強(qiáng)烈的變熱。為了吸收閥板10、11的熱膨脹，連接裝置在支桿19、20的縱向延伸的方向上具有足夠的間隙。在此連接裝置中的一個(gè)(例如關(guān)于支桿19、20的縱向延伸部居中地所處的連接裝置)關(guān)于支桿19、20的縱向延伸的方向基本上構(gòu)造成無間隙(例如具有小于0.5mm優(yōu)選小于0.3mm的間隙)，而另外的連接裝置在支桿19、20的縱向延伸的兩個(gè)方向上具有間隙，其隨著與基本上無間隙的連接裝置的逐漸增加的間距而增加(例如增加到大于2mm)。在具有最小的與最大的這種間隙的連接裝置(其處在支桿19、20的縱向延伸部的不同的部位處)之間在與支桿19、20的縱向延伸有關(guān)的間隙方面的差別有利地為至少因子5，其中，例如差別可存在于因子20的范圍中。
[0061]如果應(yīng)執(zhí)行閥板10、11中的一個(gè)的維修，例如為了更換密封圈10a、lla，那么在此可有利地使閥板10、11中的另一個(gè)保留在其閉合位置中且密封處于真空下的真空腔。在此，如果使容納腔8和可通過另一閥板來封鎖的真空腔通風(fēng)且在該狀態(tài)中使壓縮空氣管路29通風(fēng)，則存在的壓差可將該閥板保持在閉合位置中。此外，利用滾輪17引導(dǎo)承載單元9可允許承載單元9從其中心的位置中的足夠的移動(dòng)，例如通過滾輪17的靈活性。還可考慮的是設(shè)置有用于兩個(gè)活塞27、28的單獨(dú)的壓縮空氣管路29，以便可單獨(dú)地操控活塞27、28。
[0062]壓縮空氣管路29、30與在支桿19中的通道相連接，支桿中的通道通過在連接件64中的通道與在閥桿12中的通道相連接，通過閥桿中的通道可供給壓縮空氣(在附圖中為了簡化的目的而省略在閥桿12的處在閥殼體的外部的區(qū)域中的壓縮空氣管路的相應(yīng)的接n)。
[0063]管路78與在支桿19中的通道相連接，支桿的通道通過在連接件64中的通道與在閥桿12中的通道相連接，閥桿中的通道在閥桿的處于閥殼體的外部的區(qū)域中與外腔相連接或者閥桿中的通道在閥桿12的處在閥殼體的外部的區(qū)域中與聯(lián)接到泵處的泵出管路相連接。
[0064]殼體65的內(nèi)腔66通過由在殼體65中的孔形成的管路79與在第二支桿20中的通道相連接，并且在第二支桿20中的該通道與管路62相連接。以這種方式實(shí)現(xiàn)中間容積60,61的通風(fēng)或泵出。
[0065]殼體I的容納腔8可通過在附圖中不可見的管路(其可由穿過閥殼體I引導(dǎo)到容納腔8中的孔形成)來抽空(=泵出)和通風(fēng)。由此可實(shí)現(xiàn)不必使閥板10、11克服壓差(其處于環(huán)境壓力的數(shù)量級中)從其閉合位置調(diào)節(jié)到其中間位置中。
[0066]在所顯示的實(shí)施例中，在相對而置的側(cè)部上在側(cè)向在驅(qū)動(dòng)元件22的活塞桿旁邊相應(yīng)地存在正好一個(gè)支桿19、20，從而總體上存在正好兩個(gè)支桿19、20。原則上還可考慮和可能的是至少在一側(cè)部上在側(cè)向在活塞桿旁邊或者在兩側(cè)部上在側(cè)向在活塞桿旁邊存在多于一個(gè)支桿19、20，其中，每個(gè)支桿有利地與所有驅(qū)動(dòng)元件22和所有的引導(dǎo)元件23 (倘若存在)剛性地相連接。
[0067]所顯示的實(shí)施例的不同的進(jìn)一步的修改是可能的，而未離開本發(fā)明的范圍。因此例如對于連接裝置來說相反的構(gòu)造是可能的，在其中，連接件45固定在閥板10、11處，而容納件46、46’與活塞桿34、35相連接或者至少不可旋轉(zhuǎn)的容納件46與活塞桿構(gòu)造成一體。相反的布置還可設(shè)置成僅用于連接裝置的一部分。同樣可為至少一個(gè)引導(dǎo)元件23 (倘若存在)以類似的方式設(shè)置這種相反的布置。
[0068]根據(jù)存在的驅(qū)動(dòng)元件22和如有可能存在的引導(dǎo)元件23的數(shù)量而可存在或多或少的連接裝置，以便所有的活塞桿和所有的如有可能存在的引導(dǎo)桿(直接或通過聯(lián)接件70)與閥板10、11相連接。在所顯示的實(shí)施例中，布置在外部的兩個(gè)連接裝置具有可旋轉(zhuǎn)的容納件46’。取而代之或附加地，驅(qū)動(dòng)元件22和/或如有可能存在的引導(dǎo)元件23中的至少另一個(gè)還可通過連接裝置(其容納件46’是可旋轉(zhuǎn)的)與相應(yīng)的閥板10、11相連接。在此還可總地僅設(shè)置有唯一的可旋轉(zhuǎn)的容納件46’，其例如與中間的引導(dǎo)元件23或代替其而設(shè)置的中間的驅(qū)動(dòng)元件22相關(guān)聯(lián)，而其其所有容納件46不可旋轉(zhuǎn)。但優(yōu)選地存在至少兩個(gè)可旋轉(zhuǎn)的容納件46’。
[0069]代替膜片57、58和/或67、68還可存在剛性的零件，活塞桿34、35或聯(lián)接件70、71密封地穿引通過該零件，例如借助于相應(yīng)的密封圈以滑動(dòng)穿引的方式或借助于波紋管以波紋管穿引的方式。
[0070]在根據(jù)本發(fā)明的真空閥中，閥板還可以其它方式通過所顯示的連接裝置與驅(qū)動(dòng)元件和至少一個(gè)引導(dǎo)元件(倘若存在)相連接。
【權(quán)利要求】
1.一種真空閥，包括: -帶有第一和第二閥開口(2，3)的閥殼體(1)，該閥開口具有平行的軸線(4，5)并且相應(yīng)地由閥座(6，7)包圍， -第一和第二閥板(10，11)，該閥板可在打開位置、中間位置以及閉合位置之間進(jìn)行調(diào)節(jié)，在該打開位置中所述閥板(10，11)開啟相應(yīng)的所述閥開口(2，3)，在該中間位置中所述閥板(10，11)覆蓋相應(yīng)的所述閥開口(2，3)但從相應(yīng)的所述閥座(6.7)提起，在該閉合位置中所述閥板(10，11)貼靠在相應(yīng)的所述閥座(6，7)處， -承載單元(9)，由該承載單元來承載所述閥板(10，11)且該承載單元具有驅(qū)動(dòng)元件(22)以用于在所述中間位置與所述閉合位置之間調(diào)節(jié)所述第一和第二閥板(10，11)，該驅(qū)動(dòng)元件相應(yīng)地包括具有至少一個(gè)氣缸室(25，26)的氣缸(24)和布置在所述氣缸室(25，26)中的帶有活塞桿(34，35)的至少一個(gè)活塞(27，28)，該活塞桿與所述閥板中的一個(gè)(10，11)相連接， 其特征在于，所述承載單元(9)具有至少一個(gè)第一和第二支桿(19，20)，所述驅(qū)動(dòng)元件(22)的氣缸(24)與該支桿剛性地相連接，其中，所述氣缸(24)相應(yīng)地跨越處在所述第一和第二支桿(19，20)之間的中間腔，該支桿在相對而置的側(cè)部上側(cè)向地布置在所述驅(qū)動(dòng)元件(22)的活塞桿 (34，35)旁邊。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的真空閥，其特征在于，所述支桿(19，20)具有處于垂直于所述閥開口(2，3)的軸線(4，5)的縱向延伸部。
3.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的真空閥，其特征在于，所述承載單元(9)安裝在至少一個(gè)閥桿(12)處，該閥桿可由閥桿驅(qū)動(dòng)裝置(13)在所述閥桿(12)的縱軸線的方向上進(jìn)行調(diào)節(jié)以用于在所述打開位置與所述中間位置之間調(diào)節(jié)所述第一和第二閥板(10，11)。
4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的真空閥，其特征在于，所述支桿(19，20)具有處于垂直于所述至少一個(gè)閥桿(12)的縱向延伸部的縱向延伸部。
5.根據(jù)權(quán)利要求1至4中任一項(xiàng)所述的真空閥，其特征在于，在所述相對而置的側(cè)部上側(cè)向地在所述驅(qū)動(dòng)元件(22)的活塞桿(34,35)旁邊相應(yīng)地布置有所述承載單元(9)的正好一個(gè)支桿(19，20)。
6.根據(jù)權(quán)利要求1至5中任一項(xiàng)所述的真空閥，其特征在于，相應(yīng)的支桿(19，20)接合到在相應(yīng)的所述氣缸(24)的周面(41)中的凹處(42，43)中。
7.根據(jù)權(quán)利要求1至6中任一項(xiàng)所述的真空閥，其特征在于，在相應(yīng)的氣缸(24)中布置有第一活塞(27)和第二活塞(28),該第一活塞的活塞桿(34)與所述第一閥板(10)相連接，該第二活塞的活塞桿(35)與所述第二閥板(11)相連接。
8.根據(jù)權(quán)利要求7所述的真空閥，其特征在于，相應(yīng)的活塞桿(34，35)密封地從相應(yīng)的所述氣缸室(25，26)中引出并且存在柔性的膜片(57，58)，該膜片在一側(cè)與相應(yīng)的所述氣缸(24)密封地相連接而在另一側(cè)與相應(yīng)的所述活塞桿(34，35)密封地相連接，其中，位于相應(yīng)的所述膜片(57，58)與相應(yīng)的所述氣缸(24)之間的中間容積(60，61)與環(huán)境相連接或者被抽空。
9.根據(jù)權(quán)利要求1至8中任一項(xiàng)所述的真空閥，其特征在于，相應(yīng)的所述閥板(10，11)與所述承載單元(9)通過至少兩個(gè)連接裝置來連接，該連接裝置相應(yīng)地具有連接件(45)和容納件(46，46’)，該連接件具有喉部區(qū)段(47)和擴(kuò)大的、相對于所述喉部區(qū)段(47)突出的頭部區(qū)段(48)，該容納件相應(yīng)地具有容納切口(49)，所述連接件(45)的喉部區(qū)段(47)可引入到該容納切口中直至引入到所述連接件(45)的終端位置中，并且該容納切口具有切口寬度，該切口寬度至少在所述連接件(45)在其終端位置中位于其中的區(qū)域中小于所述連接件(45)的頭部區(qū)段(48)的在所述切口寬度的方向上測量的直徑，其中，為了防止所述連接件(45)從所述容納切口(49)中移出，所述連接裝置的所述容納件(46’)中的至少一個(gè)可圍繞旋轉(zhuǎn)軸線(80)從引入位置旋轉(zhuǎn)到卡鎖位置中，在該引入位置中，所屬的所述連接件(45)可利用其喉部區(qū)段(47)引入到所述容納切口(49)中直至引入到所述終端位置中。
10.根據(jù)權(quán)利要求9所述的真空閥，其特征在于，為了通過連接裝置連接所述活塞桿(34，35)與所述閥板(10，11)，相應(yīng)的所述連接裝置的連接件(45)固定在相應(yīng)的所述活塞桿(34，35)處或者構(gòu)造成與該活塞桿成一體，而相應(yīng)的所述連接裝置的所屬的容納件(46，46’)安裝在相應(yīng)的所述閥板(10，11)處或者構(gòu)造成與該閥板成一體。
11.根據(jù)權(quán)利要求1至10中任一項(xiàng)所述的真空閥，其特征在于，所述承載單元(9)附加地具有至少一個(gè)引導(dǎo)元件(23)，該引導(dǎo)元件包括殼體(65)和由所述殼體(65)可移動(dòng)地引導(dǎo)的至少一個(gè)引導(dǎo)桿(73)，該引導(dǎo)桿與所述閥板中的一個(gè)(10，11)相連接，其中，所述殼體(65)固定在所述第一和第二支桿(19，20)處并且在此跨越處在所述第一和第二支桿(19，20)之間的所述中間腔(21)。
12.根據(jù)權(quán)利要求11所述的真空閥，其特征在于，所述引導(dǎo)元件(23)具有密封的內(nèi)腔(66),該內(nèi)腔由所述殼體(65)和關(guān)于所述閥開口(2,3)的軸線(4,5)的方向在相對而置的側(cè)部上由柔性的膜片(67，68)來限制，并且在該內(nèi)腔中可移動(dòng)地支承有所述至少一個(gè)引導(dǎo)桿(73)并且該內(nèi)腔通過管路(78)與環(huán)境相連接或被抽空。
13.根據(jù)權(quán)利要求9和權(quán)利要求11或12中任一項(xiàng)所述的真空閥，其特征在于，為了通過連接裝置來連接所述引導(dǎo)桿(73)與所述閥板(10，11)，相應(yīng)的所述連接裝置的連接件(45)與相應(yīng)的所述引導(dǎo)桿(73)剛性地相連接或者構(gòu)造成與該引導(dǎo)桿成一體，而相應(yīng)的所述連接裝置的所屬的容納件(46，46`’)安裝在相應(yīng)的所述閥板(10，11)處。
14.根據(jù)權(quán)利要求1至13中任一項(xiàng)所述的真空閥，其特征在于，所述支桿(19，20)為擠壓型材。
15.根據(jù)權(quán)利要求1至14中任一項(xiàng)所述的真空閥，其特征在于，所述承載單元(9)在相鄰的驅(qū)動(dòng)元件(22)之間具有自由空間，該自由空間貫穿所述承載單元(9)。
【文檔編號】F16K51/02GK103574139SQ201310304286
【公開日】2014年2月12日 申請日期:2013年7月19日 優(yōu)先權(quán)日:2012年7月19日
【發(fā)明者】F.埃爾內(nèi) 申請人:Vat 控股公司