一種嵌套式菱形放大二維精密定位平臺的制作方法
【專利摘要】本實(shí)用新型公開了一種嵌套式菱形放大二維精密定位平臺，通過在一個平面內(nèi)將第二軸定位平臺固定于第一軸定位平臺的運(yùn)動平臺上，采用嵌套結(jié)構(gòu)實(shí)現(xiàn)二維定位平臺的精密定位，且運(yùn)動方向呈90度分布，避免并聯(lián)時兩個軸運(yùn)動的耦合誤差，也在豎直方向上擁有更大的空間，結(jié)構(gòu)更加緊湊。且放大機(jī)構(gòu)采用菱形機(jī)構(gòu)，放大量可為壓電陶瓷變化量的3-5倍，有效地提高了運(yùn)動范圍的放大倍數(shù)，且避免其他放大機(jī)構(gòu)所帶來的累積誤差與角度誤差，實(shí)現(xiàn)定位平臺大范圍內(nèi)的精確定位。另外，通過采用平行板柔性鉸鏈對運(yùn)動平臺起到導(dǎo)向和輔助作用，并且在平行板柔性鉸鏈的保護(hù)下，運(yùn)動平臺保持運(yùn)動方向的一致性，避免出現(xiàn)垂直于運(yùn)動方向的任何運(yùn)動以及外力的破壞。
【專利說明】一種嵌套式菱形放大二維精密定位平臺
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本實(shí)用新型屬于微驅(qū)動應(yīng)用【技術(shù)領(lǐng)域】，具體涉及一種嵌套式菱形放大二維精密定位平臺。
【背景技術(shù)】
[0002]目前，二維精密微定位技術(shù)在微驅(qū)動各個領(lǐng)域，如微機(jī)電系統(tǒng)、光學(xué)調(diào)整、超精密加工、生物細(xì)胞操作、STM和AFM顯微鏡掃描平臺等方面都是必不可少的，有著廣闊的應(yīng)用前景，并能產(chǎn)生巨大的社會及經(jīng)濟(jì)效益，已成為微驅(qū)動精密定位領(lǐng)域中不可或缺的關(guān)鍵技術(shù)之一 O
[0003]二維精密定位平臺，主要功能是實(shí)現(xiàn)被操作樣件或被觀測樣件的二維精密運(yùn)動和定位，以及微探針的二維操作等。其二維精密定位技術(shù)的實(shí)現(xiàn)，主要是以壓電陶瓷材料作為驅(qū)動源，依靠壓電陶瓷驅(qū)動電源的電壓激勵，實(shí)現(xiàn)壓電陶瓷的微位移形變，通過柔性鉸鏈柔性機(jī)構(gòu)進(jìn)行無間隙的微位移傳動，從而實(shí)現(xiàn)被驅(qū)動樣件的二維精密定位。它相對于其他驅(qū)動方式的二維精密定位技術(shù)，如電機(jī)驅(qū)動、音圈電機(jī)驅(qū)動、記憶合金驅(qū)動及磁滯伸縮驅(qū)動方式等，其基本原理實(shí)現(xiàn)方便、控制簡單，并具有分辨率高、傳動無間隙、易微小化、運(yùn)動精度聞和重復(fù)定位精度聞等優(yōu)點(diǎn)。
[0004]目前根據(jù)二維運(yùn)動實(shí)現(xiàn)方式的不同，二維精密定位平臺主要分為串聯(lián)式二維精密定位平臺和并聯(lián)式二維精密定位平臺，根據(jù)位移放大方式的不同，又分為直接驅(qū)動和杠桿式放大方式的二維精密定位平臺。
[0005]串聯(lián)式二維精密定位平臺主要是利用兩個一維精密定位平臺的串聯(lián)實(shí)現(xiàn)二維精密定位，每個一維精密定位平臺均為壓電陶瓷驅(qū)動和柔性鉸鏈傳動，其中，第一個一維精密定位平臺做為基體，第二個一維精密定位平臺運(yùn)動方向與第一個一維精密定位平臺垂直，并且基座部分安裝在第一個一維精密定位平臺的運(yùn)動部分上，由第一個一維精密運(yùn)動平臺驅(qū)動使得第二個一維精密運(yùn)動平臺整體實(shí)現(xiàn)一個方向的運(yùn)動，從而通過串聯(lián)實(shí)現(xiàn)二維精密定位。此種方法實(shí)現(xiàn)二維精密定位簡單，而且沒有耦合，但是會累積誤差，定位精度較低。(如專利號為 2726829、101837586A 和 100999080 的專利)。
[0006]并聯(lián)式二維精密定位平臺主要是在一個平面內(nèi)實(shí)現(xiàn)兩個方向的運(yùn)動，其驅(qū)動源由兩個壓電陶瓷放在一個平面內(nèi)進(jìn)行驅(qū)動，方向互相垂直，依靠特殊設(shè)計(jì)的可以實(shí)現(xiàn)二維傳動的柔性鉸鏈機(jī)構(gòu)來實(shí)現(xiàn)并聯(lián)驅(qū)動，其柔性鉸鏈采用直角平行板結(jié)構(gòu)，可以實(shí)現(xiàn)X，Y兩個方向的運(yùn)動。此種方法可以在很小的豎直空間內(nèi)實(shí)現(xiàn)二維精密定位，是串聯(lián)型二維精密定位平臺無法實(shí)現(xiàn)的，但是由于采用直角形平行板鉸鏈，會在二維精密定位時，兩個軸運(yùn)動時出現(xiàn)耦合現(xiàn)象，從而影響定位精度。(如專利號為103056868A和DE10148267B4的專利)。
[0007]杠桿式放大機(jī)構(gòu)的主要目是將壓電陶瓷的運(yùn)動范圍進(jìn)行放大，通過杠桿放大原理，以及旋轉(zhuǎn)副的柔性鉸鏈機(jī)構(gòu)實(shí)現(xiàn)沿支點(diǎn)的旋轉(zhuǎn)，通過杠桿機(jī)構(gòu)進(jìn)行放大，其通常的放大倍數(shù)可以達(dá)到2-3倍，使得由壓電陶瓷驅(qū)動的精密定位平臺的運(yùn)動范圍有效得提高，但是在運(yùn)動范圍放大的同時，也由于杠桿式放大存在微小的角度變化，因此會對最終實(shí)現(xiàn)的放大位移帶來微小的角度誤差。(如專利號為2587600、103111990A、EP0624912A1和DE4315238A1 的專利)。
[0008]上述三種二維精密定位平臺雖然在二維實(shí)現(xiàn)結(jié)構(gòu)和位移放大方式上有所不同，但是其共同點(diǎn)在于利用壓電陶瓷的驅(qū)動，實(shí)現(xiàn)二維大行程的精密定位，在實(shí)現(xiàn)二維大行程精密定位的過程中都會因?yàn)闄C(jī)構(gòu)類型的原因在二維大行程精密定位中引起誤差，最終影響運(yùn)動精度，而且為二維大行程精密定位平臺帶來累積誤差和角度誤差等技術(shù)難題。
[0009]因此，鑒于以上問題，有必要提出一種新型的二維精密定位平臺，以解決現(xiàn)有技術(shù)中定位平臺所存在的累積誤差與角度誤差，提高定位平臺的輸出性能與定位精度，實(shí)現(xiàn)定位平臺大范圍內(nèi)的精確定位。
實(shí)用新型內(nèi)容
[0010]有鑒于此，本實(shí)用新型提供了一種嵌套式菱形放大二維精密定位平臺，以解決現(xiàn)有技術(shù)中定位平臺所存在的累積誤差與角度誤差，提高定位平臺的輸出性能與定位精度，實(shí)現(xiàn)定位平臺大范圍內(nèi)的精確定位。
[0011]根據(jù)本實(shí)用新型的目的提出的一種嵌套式菱形放大二維精密定位平臺，包括基座、與固定設(shè)置于所述基座上的第一軸定位平臺與第二軸定位平臺，所述第一軸定位平臺包括第一組動力機(jī)構(gòu)與第一運(yùn)動平臺，所述第一組動力機(jī)構(gòu)驅(qū)動所述第一運(yùn)動平臺水平移動；
[0012]所述第二軸定位平臺包括第二組動力機(jī)構(gòu)與第二運(yùn)動平臺，所述第二組動力機(jī)構(gòu)驅(qū)動所述第二運(yùn)動平臺水平移動，所述第二軸定位平臺固定設(shè)置于所述第一運(yùn)動平臺上，與所述第一運(yùn)動平臺同步移動；
[0013]所述第一、第二組動力機(jī)構(gòu)分別包括放大機(jī)構(gòu)與壓電陶瓷，所述放大機(jī)構(gòu)為菱形放大機(jī)構(gòu)，所述壓電陶瓷壓緊固定于所述放大機(jī)構(gòu)內(nèi)部，所述壓電陶瓷的兩端對應(yīng)于所述放大機(jī)構(gòu)對稱的兩個頂點(diǎn)。
[0014]優(yōu)選的，所述第一、第二組動力機(jī)構(gòu)中心線相互垂直。
[0015]優(yōu)選的，所述第一、第二軸定位平臺還包括平行板柔性鉸鏈，所述第一軸定位平臺上的平行板柔性鉸鏈的一端與所述基座固定，另一端與所述第一運(yùn)動平臺固定，所述平行板柔性鉸鏈位于所述第一運(yùn)動平臺移動方向的前后側(cè)；所述第二軸定位平臺上的平行板柔性鉸鏈的一端與所述第一運(yùn)動平臺固定，另一端與所述第二運(yùn)動平臺固定，所述平行板柔性鉸鏈位于所述第二運(yùn)動平臺移動方向的前后側(cè)。
[0016]優(yōu)選的，所述平行板柔性鉸鏈包括位于所述第一運(yùn)動平臺移動方向前后側(cè)對稱設(shè)置的4個，以及位于所述第二運(yùn)動平臺移動方向前后側(cè)對稱設(shè)置的4個。
[0017]優(yōu)選的，所述放大機(jī)構(gòu)的放大量為所述壓電陶瓷變化量的3-5倍。
[0018]優(yōu)選的，所述放大機(jī)構(gòu)上設(shè)置有預(yù)緊螺母。
[0019]優(yōu)選的，所述基座上還設(shè)置有裝飾封堵。
[0020]與現(xiàn)有技術(shù)相比，本實(shí)用新型公開的嵌套式菱形放大二維精密定位平臺的優(yōu)點(diǎn)是:通過在一個平面內(nèi)將第二軸定位平臺固定于第一軸定位平臺的運(yùn)動平臺上，采用嵌套結(jié)構(gòu)實(shí)現(xiàn)二維定位平臺的精密定位，并且運(yùn)動方向呈90度分布，當(dāng)?shù)谝贿\(yùn)動平臺運(yùn)動時，帶動整個第二軸定位平臺運(yùn)動，再由第二軸定位平臺實(shí)現(xiàn)另一個方向的運(yùn)動，這樣就避免了并聯(lián)時所帶來的兩個軸運(yùn)動的耦合誤差，也在豎直方向上擁有更大的空間，結(jié)構(gòu)更加緊湊。且放大機(jī)構(gòu)采用菱形放大機(jī)構(gòu)，放大量可為壓電陶瓷變化量的3-5倍，有效地提高了運(yùn)動范圍的放大倍數(shù)，而且避免其他放大機(jī)構(gòu)所帶來的累積誤差與角度誤差，實(shí)現(xiàn)定位平臺大范圍內(nèi)的精確定位。另外，通過采用平行板柔性鉸鏈對運(yùn)動平臺起到導(dǎo)向和輔助回復(fù)的作用，并且在平行板柔性鉸鏈的保護(hù)下，運(yùn)動平臺保持運(yùn)動方向的一致性，避免出現(xiàn)垂直于運(yùn)動方向的任何運(yùn)動以及外力的破壞。
【專利附圖】

【附圖說明】
[0021]為了更清楚地說明本實(shí)用新型實(shí)施例或現(xiàn)有技術(shù)中的技術(shù)方案，下面將對實(shí)施例或現(xiàn)有技術(shù)描述中所需要使用的附圖作簡單地介紹，顯而易見地，下面描述中的附圖僅僅是本實(shí)用新型的一些實(shí)施例，對于本領(lǐng)域普通技術(shù)人員來講，在不付出創(chuàng)造性勞動的前提下，還可以根據(jù)這些附圖獲得其他的附圖。
[0022]圖1為本實(shí)用新型公開的一種嵌套式菱形放大二維精密定位平臺的結(jié)構(gòu)示意圖。
[0023]圖2為第二軸定位平臺的結(jié)構(gòu)示意圖。
[0024]圖3為菱形放大機(jī)構(gòu)的結(jié)構(gòu)示意圖。
[0025]圖中的數(shù)字或字母所代表的相應(yīng)部件的名稱:
[0026]1、第一軸定位平臺2、第二軸定位平臺3、基座4、裝飾封堵
[0027]11、第一放大機(jī)構(gòu)12、第一壓電陶瓷13、第一運(yùn)動平臺14、第一平行板柔性鉸鏈15、第一預(yù)緊螺母
[0028]21、第二放大機(jī)構(gòu)22、第二壓電陶瓷23、第二運(yùn)動平臺24、第二平行板柔性鉸鏈25、第二預(yù)緊螺母
【具體實(shí)施方式】
[0029]現(xiàn)有技術(shù)中的幾類二維精密定位平臺如串聯(lián)式二維精密定位平臺使用時存在累積誤差，定位精度較低；并聯(lián)式二維精密定位平臺存在稱合現(xiàn)象，影響定位精度；杠桿式二維精密定位平臺的放大機(jī)構(gòu)存在位移的角度誤差，最終影響運(yùn)動精度。
[0030]本實(shí)用新型針對現(xiàn)有技術(shù)中的不足，本實(shí)用新型提供了一種嵌套式菱形放大二維精密定位平臺，以解決現(xiàn)有技術(shù)中定位平臺所存在的累積誤差與角度誤差等問題，提高定位平臺的輸出性能與定位精度，實(shí)現(xiàn)定位平臺大范圍內(nèi)的精確定位。
[0031]下面將通過【具體實(shí)施方式】對本實(shí)用新型的技術(shù)方案進(jìn)行清楚、完整地描述。顯然，所描述的實(shí)施例僅僅是本實(shí)用新型一部分實(shí)施例，而不是全部的實(shí)施例。基于本實(shí)用新型中的實(shí)施例，本領(lǐng)域普通技術(shù)人員在沒有作出創(chuàng)造性勞動前提下所獲得的所有其他實(shí)施例，都屬于本實(shí)用新型保護(hù)的范圍。
[0032]請一并參見圖1至圖3，圖1為本實(shí)用新型公開的一種嵌套式菱形放大二維精密定位平臺的結(jié)構(gòu)示意圖。圖2為第二軸定位平臺的結(jié)構(gòu)示意圖。圖3為菱形放大機(jī)構(gòu)的結(jié)構(gòu)示意圖。如圖所示，一種嵌套式菱形放大二維精密定位平臺，包括基座3、與固定設(shè)置于基座3上的第一軸定位平臺I與第二軸定位平臺2，第一軸定位平臺I包括第一組動力機(jī)構(gòu)與第一運(yùn)動平臺13，第一組動力機(jī)構(gòu)驅(qū)動第一運(yùn)動平臺13水平移動，以確定第一運(yùn)動平臺X方向的坐標(biāo)位置。[0033]第二軸定位平臺2包括第二組動力機(jī)構(gòu)與第二運(yùn)動平臺23，第二組動力機(jī)構(gòu)驅(qū)動第二運(yùn)動平臺23水平移動，第二軸定位平臺2固定設(shè)置于第一運(yùn)動平臺13上，與第一運(yùn)動平臺同步移動，隨第一運(yùn)動平臺產(chǎn)生X軸方向的位置變化。第二組動力機(jī)構(gòu)驅(qū)動第二運(yùn)動平臺23水平移動，以確定第二運(yùn)動平臺的Y軸方向的位置，實(shí)現(xiàn)精確的定位。
[0034]第一、第二組動力機(jī)構(gòu)中心線相互垂直設(shè)置，以精確定位。
[0035]第一組動力機(jī)構(gòu)包括第一放大機(jī)構(gòu)11與第一壓電陶瓷12,第一放大機(jī)構(gòu)為菱形放大機(jī)構(gòu)，第一壓電陶瓷12壓緊固定于第一放大機(jī)構(gòu)11內(nèi)部，第一壓電陶瓷12的兩端對應(yīng)于第一放大機(jī)構(gòu)11對稱的兩個頂點(diǎn)，通過第一放大機(jī)構(gòu)將第一壓電陶瓷壓緊固定。第一放大機(jī)構(gòu)剩余的兩個頂點(diǎn)一個與基座3固定，另一個與第一運(yùn)動平臺13固定，通過第一壓電陶瓷12的微量伸縮帶動第一放大機(jī)構(gòu)11產(chǎn)生變形，驅(qū)動第一運(yùn)動平臺13以及其上的第二軸定位平臺2移動。
[0036]第二組動力機(jī)構(gòu)包括第二放大機(jī)構(gòu)21與第二壓電陶瓷22，第二放大機(jī)構(gòu)21為菱形放大機(jī)構(gòu)，第二壓電陶瓷22壓緊固定于第二放大機(jī)構(gòu)21內(nèi)部，第二壓電陶瓷22的兩端對應(yīng)于第二放大機(jī)構(gòu)21對稱的兩個頂點(diǎn)，通過第二放大機(jī)構(gòu)將第二壓電陶瓷壓緊固定。第二放大機(jī)構(gòu)剩余的兩個頂點(diǎn)一個與第一運(yùn)動平臺13固定，以第一運(yùn)動平臺作為其移動的基座，另一個與第二運(yùn)動平臺23固定，通過第二壓電陶瓷22的微量伸縮帶動第二放大機(jī)構(gòu)21產(chǎn)生變形，驅(qū)動第二運(yùn)動平臺23移動。
[0037]其中第一、第二放大機(jī)構(gòu)的放大量為第一、第二壓電陶瓷變化量的3-5倍。
[0038]放大機(jī)構(gòu)上設(shè)置有預(yù)緊螺母，分別為第一預(yù)緊螺母15與第二預(yù)緊螺母25，通過預(yù)緊螺母為壓電陶瓷提供足夠的預(yù)緊力。
[0039]如圖3所示，第二放大機(jī)構(gòu)通過21d與第一運(yùn)動平臺13連接，通過第二放大機(jī)構(gòu)21的柔性臂21b將第二軸定位平臺中第二壓電陶瓷22的位移放大輸出到21a，并與第二運(yùn)動平臺23連接，將位移放大輸出給第二運(yùn)動平臺23，第二放大機(jī)構(gòu)的21c部分通過第二預(yù)緊螺母25a和25b為第二壓電陶瓷22提供足夠的預(yù)緊力，將壓電陶瓷夾緊于放大機(jī)構(gòu)中，避免壓電陶瓷在安裝過程中的間隙所造成的運(yùn)動誤差。
[0040]其中，放大機(jī)構(gòu)的一個頂點(diǎn)處可設(shè)置至少一個預(yù)緊螺母，通過設(shè)置兩個預(yù)緊螺母防止前一個預(yù)緊螺母長時間使用后的失效問題，保證具有足夠的預(yù)緊力固定壓電陶瓷。
[0041]第一放大機(jī)構(gòu)與第二放大機(jī)構(gòu)結(jié)構(gòu)相同,且工作原理一致。第一放大機(jī)構(gòu)11和第二放大機(jī)構(gòu)21放大倍數(shù)約為壓電陶瓷變化量的5倍，大大提高了原有杠桿式放大機(jī)構(gòu)的位移放大倍數(shù)，實(shí)現(xiàn)大范圍的定位。
[0042]第一、第二軸定位平臺還包括平行板柔性鉸鏈，包括第一平行板柔性鉸鏈14與第二平行板柔性鉸鏈24，第一軸定位平臺I上的平行板柔性鉸鏈的一端與基座3固定，另一端與第一運(yùn)動平臺13固定，平行板柔性鉸鏈位于第一運(yùn)動平臺13移動方向的前后側(cè)，為對稱設(shè)置的4個。第二軸定位平臺2上的平行板柔性鉸鏈的一端與第一運(yùn)動平臺13固定，另一端與第二運(yùn)動平臺23固定，平行板柔性鉸鏈位于第二運(yùn)動平臺23移動方向的前后側(cè)，為對稱設(shè)置的4個,如圖2所示,分別為24a、24b、24c、24d。通過設(shè)置平行板柔性鉸鏈為運(yùn)動平臺提供足夠的回復(fù)力與負(fù)載支撐力，并確保運(yùn)動方向的準(zhǔn)確性。
[0043]基座上還設(shè)置有裝飾封堵，裝飾封堵采用標(biāo)準(zhǔn)件。
[0044]放大機(jī)構(gòu)采用輕金屬材料制成，優(yōu)選為鋁合金、鈦合金等。[0045]預(yù)緊螺母采用重金屬材料制成。優(yōu)選為不銹鋼、銅等。
[0046]壓電陶瓷為硬壓電陶瓷材料制成。一般為PZT5類似的硬壓電陶瓷材料。
[0047]本實(shí)用新型公開了一種嵌套式菱形放大二維精密定位平臺，通過在一個平面內(nèi)將第二軸定位平臺固定于第一軸定位平臺的運(yùn)動平臺上，采用嵌套結(jié)構(gòu)實(shí)現(xiàn)二維定位平臺的精密定位，并且運(yùn)動方向呈90度分布，當(dāng)?shù)谝贿\(yùn)動平臺運(yùn)動時，帶動整個第二軸定位平臺運(yùn)動，再由第二軸定位平臺實(shí)現(xiàn)另一個方向的運(yùn)動，這樣就避免了并聯(lián)時所帶來的兩個軸運(yùn)動的耦合誤差，也在豎直方向上擁有更大的空間，結(jié)構(gòu)更加緊湊。且放大機(jī)構(gòu)采用菱形放大機(jī)構(gòu)，放大量可為壓電陶瓷變化量的3-5倍，有效地提高了運(yùn)動范圍的放大倍數(shù)，而且避免其他放大機(jī)構(gòu)所帶來的累積誤差與角度誤差，實(shí)現(xiàn)定位平臺大范圍內(nèi)的精確定位。另外，通過采用平行板柔性鉸鏈對運(yùn)動平臺起到導(dǎo)向和輔助回復(fù)的作用，并且在平行板柔性鉸鏈的保護(hù)下，運(yùn)動平臺保持運(yùn)動方向的一致性，避免出現(xiàn)垂直于運(yùn)動方向的任何運(yùn)動以及外力的破壞。
[0048]對所公開的實(shí)施例的上述說明，使本領(lǐng)域?qū)I(yè)技術(shù)人員能夠?qū)崿F(xiàn)或使用本實(shí)用新型。對這些實(shí)施例的多種修改對本領(lǐng)域的專業(yè)技術(shù)人員來說將是顯而易見的，本文中所定義的一般原理可以在不脫離本實(shí)用新型的精神或范圍的情況下，在其它實(shí)施例中實(shí)現(xiàn)。因此，本實(shí)用新型將不會被限制于本文所示的這些實(shí)施例，而是要符合與本文所公開的原理和新穎特點(diǎn)相一致的最寬的范圍。
【權(quán)利要求】
1.一種嵌套式菱形放大二維精密定位平臺，其特征在于，包括基座、與固定設(shè)置于所述基座上的第一軸定位平臺與第二軸定位平臺，所述第一軸定位平臺包括第一組動力機(jī)構(gòu)與第一運(yùn)動平臺，所述第一組動力機(jī)構(gòu)驅(qū)動所述第一運(yùn)動平臺水平移動； 所述第二軸定位平臺包括第二組動力機(jī)構(gòu)與第二運(yùn)動平臺，所述第二組動力機(jī)構(gòu)驅(qū)動所述第二運(yùn)動平臺水平移動，所述第二軸定位平臺固定設(shè)置于所述第一運(yùn)動平臺上，與所述第一運(yùn)動平臺同步移動； 所述第一、第二組動力機(jī)構(gòu)分別包括放大機(jī)構(gòu)與壓電陶瓷，所述放大機(jī)構(gòu)為菱形放大機(jī)構(gòu)，所述壓電陶瓷壓緊固定于所述放大機(jī)構(gòu)內(nèi)部，所述壓電陶瓷的兩端對應(yīng)于所述放大機(jī)構(gòu)對稱的兩個頂點(diǎn)。
2.如權(quán)利要求1所述的嵌套式菱形放大二維精密定位平臺，其特征在于，所述第一、第二組動力機(jī)構(gòu)中心線相互垂直。
3.如權(quán)利要求1所述的嵌套式菱形放大二維精密定位平臺，其特征在于，所述第一、第二軸定位平臺還包括平行板柔性鉸鏈，所述第一軸定位平臺上的平行板柔性鉸鏈的一端與所述基座固定，另一端與所述第一運(yùn)動平臺固定，所述平行板柔性鉸鏈位于所述第一運(yùn)動平臺移動方向的前后側(cè)；所述第二軸定位平臺上的平行板柔性鉸鏈的一端與所述第一運(yùn)動平臺固定，另一端與所述第二運(yùn)動平臺固定，所述平行板柔性鉸鏈位于所述第二運(yùn)動平臺移動方向的前后側(cè)。
4.如權(quán)利要求3所述的嵌套式菱形放大二維精密定位平臺，其特征在于，所述平行板柔性鉸鏈包括位于所述第一運(yùn)動平臺移動方向前后側(cè)對稱設(shè)置的4個，以及位于所述第二運(yùn)動平臺移動方向前后側(cè)對稱設(shè)置的4個。
5.如權(quán)利要求1所述的嵌套式菱形放大二維精密定位平臺，其特征在于，所述放大機(jī)構(gòu)的放大量為所述壓電陶瓷變化量的3-5倍。
6.如權(quán)利要求1所述的嵌套式菱形放大二維精密定位平臺，其特征在于，所述放大機(jī)構(gòu)上設(shè)置有預(yù)緊螺母。
7.如權(quán)利要求1所述的嵌套式菱形放大二維精密定位平臺，其特征在于，所述基座上還設(shè)置有裝飾封堵。
【文檔編號】F16M11/18GK203453727SQ201320519897
【公開日】2014年2月26日 申請日期:2013年8月23日 優(yōu)先權(quán)日:2013年8月23日
【發(fā)明者】鐘博文, 王振華, 孫立寧 申請人:蘇州大學(xué)