致動器和具備該致動器的精密機(jī)械的制作方法
【專利摘要】該發(fā)明的致動器具有驅(qū)動帶（1）、引導(dǎo)軌道（2）、滑動體（3）和直線引導(dǎo)裝置（4）。該致動器在以下狀態(tài)下使用：直線引導(dǎo)裝置（4）的軸承被固定在引導(dǎo)軌道（2）的長度方向一端即驅(qū)動帶輪（52）側(cè)的端部，基座（7）被固定于直線引導(dǎo)裝置（4）的導(dǎo)軌。
【專利說明】致動器和具備該致動器的精密機(jī)械

【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]該發(fā)明涉及致動器，所述致動器具備借助帶驅(qū)動而沿引導(dǎo)軌道往復(fù)運(yùn)動的滑動體。

【背景技術(shù)】
[0002]過去，在高精度的制造裝置、檢查裝置、搬送裝置等中使用致動器，該致動器的滑動體借助基于旋轉(zhuǎn)電機(jī)的帶驅(qū)動而沿引導(dǎo)軌道往復(fù)運(yùn)動。構(gòu)成該致動器的滑動體具備針對引導(dǎo)軌道的軸承。驅(qū)動帶繞掛于驅(qū)動帶輪和從動帶輪之間。作為這樣的致動器的現(xiàn)有例，列舉有專利文獻(xiàn)I和專利文獻(xiàn)2中記載結(jié)構(gòu)。
[0003]記載于專利文獻(xiàn)I和專利文獻(xiàn)2的致動器具有沿各自的引導(dǎo)軌道移動的主軸承(固定搭載物的滑動體)和副軸承(滑動體)。這些軸承具有靜壓墊，在所述靜壓墊和各引導(dǎo)軌道之間形成靜壓空氣軸承。
[0004]這樣的致動器通常在以下狀態(tài)下使用:引導(dǎo)軌道的長度方向一端利用螺栓被固定于基座的驅(qū)動帶輪側(cè)，另一端利用螺栓被固定于從動帶輪側(cè)。
[0005]由此，當(dāng)由于引導(dǎo)軌道與基座的材質(zhì)不同而熱膨脹系數(shù)的差較大時，由于溫度變化導(dǎo)致在引導(dǎo)軌道和基座之間產(chǎn)生伸縮差。而且，即便引導(dǎo)軌道與基座的材質(zhì)相同，當(dāng)兩者產(chǎn)生溫度差時也會產(chǎn)生伸縮差。并且，若在引導(dǎo)軌道和基座之間產(chǎn)生伸縮差，則會在引導(dǎo)軌道產(chǎn)生形變，因此，需要實(shí)施防止該情況的對策。
[0006]在專利文獻(xiàn)3中，作為其對策記載了下述內(nèi)容:在用于安裝直線引導(dǎo)裝置的軌道的底座(基座)設(shè)置插入軌道的底部的槽，將軌道的底部插入該槽中，并且，設(shè)置按壓部件，該按壓部件將軌道的至少一側(cè)面向槽內(nèi)側(cè)面按壓。
[0007]現(xiàn)有技術(shù)文獻(xiàn)
[0008]專利文獻(xiàn)
[0009]專利文獻(xiàn)1:日本特開2001-248703號公報(bào)
[0010]專利文獻(xiàn)2:日本特開2008-101642號公報(bào)
[0011]專利文獻(xiàn)3:日本特開2002-349564號公報(bào)


【發(fā)明內(nèi)容】

[0012]發(fā)明要解決的課題
[0013]但是，在記載于專利文獻(xiàn)3的對策中，直線引導(dǎo)裝置的運(yùn)動精度依賴于設(shè)置在基座的槽的底面以及側(cè)面的面精度，從而滑動體的直行精度(直線度)有可能降低。因此，不僅是基座的槽的底面以及側(cè)面，而且與這些面接觸的軌道的面也需要高精度地進(jìn)行加工，從而加工成本增高。此外,根據(jù)基座的材質(zhì)需要專用的軌道。
[0014]由此，對于記載于專利文獻(xiàn)3的對策，在成本方面尚有改善的余地。
[0015]該發(fā)明的課題在于，在具備借助帶驅(qū)動而沿引導(dǎo)軌道往復(fù)運(yùn)動的滑動體的致動器中，對于在與基座之間產(chǎn)生伸縮差時而使引導(dǎo)軌道產(chǎn)生形變的問題，能夠以比記載于專利文獻(xiàn)3的對策成本低的對策來防止。
[0016]用于解決課題的手段
[0017]為了解決上述課題，該發(fā)明的一個方式的致動器具有:(I)驅(qū)動帶，其繞掛于驅(qū)動帶輪和從動帶輪之間；(2)引導(dǎo)軌道，其與所述驅(qū)動帶并列配置；(3)滑動體，其具有靜壓墊，在所述靜壓墊和所述引導(dǎo)軌道之間形成靜壓空氣軸承，所述滑動體借助所述驅(qū)動帶的驅(qū)動而沿所述引導(dǎo)軌道往復(fù)運(yùn)動；以及(4)直線引導(dǎo)裝置，其具有軸承、導(dǎo)軌和滾動體，(5)所述致動器在以下狀態(tài)下使用:所述軸承被固定在所述引導(dǎo)軌道的長度方向一端即所述驅(qū)動帶輪側(cè)的端部，所述導(dǎo)軌被固定于基座。
[0018]即，該發(fā)明的一個方式的致動器根據(jù)具有所述要素(I)?(3 )的致動器，其特征在于，具有所述要素(4)并且滿足所述要素(5)。
[0019]在該發(fā)明的一個方式的致動器中，具有所述結(jié)構(gòu)(I)?(3)的致動器的引導(dǎo)軌道的長度方向一端即驅(qū)動帶輪側(cè)(發(fā)熱源側(cè))的端部經(jīng)由直線引導(dǎo)裝置而固定于基座，由此，通過直線引導(dǎo)裝置的軸承相對于導(dǎo)軌相對地進(jìn)行直線移動，在引導(dǎo)軌道和基座產(chǎn)生的伸縮差被吸收。由此，在引導(dǎo)軌道和基座產(chǎn)生伸縮差的情況下，防止了引導(dǎo)軌道產(chǎn)生形變。
[0020]在該發(fā)明的一個方式的致動器中，在引導(dǎo)軌道的長度方向一端即驅(qū)動帶輪側(cè)的端部設(shè)置一般的直線引導(dǎo)裝置，由此，實(shí)施防止由于與基座的伸縮差而在引導(dǎo)軌道產(chǎn)生形變的對策。該對策能夠以比記載于專利文獻(xiàn)3的對策低的成本實(shí)現(xiàn)。
[0021 ] 該發(fā)明的一個方式的致動器作為精密機(jī)械(精密加工機(jī)械、精密檢查機(jī)械、精密掃描裝置、半導(dǎo)體器件制造裝置、平板顯示器制造裝置等)的直線引導(dǎo)致動器是適宜使用的。
[0022]發(fā)明效果
[0023]該發(fā)明的致動器是比記載于專利文獻(xiàn)3的對策成本低的對策，在引導(dǎo)軌道與基座之間產(chǎn)生伸縮差的情況下，能夠防止在引導(dǎo)軌道產(chǎn)生形變。

【專利附圖】

【附圖說明】
[0024]圖1是表示實(shí)施方式中的致動器的俯視圖。
[0025]圖2是表示實(shí)施方式中的致動器的側(cè)視圖。
[0026]圖3是沿圖2中的A-A線的剖視圖。
[0027]圖4是沿圖2中的B-B線的剖視圖。

【具體實(shí)施方式】
[0028]下面，對該發(fā)明的實(shí)施方式進(jìn)行說明，但該發(fā)明不限于該實(shí)施方式。
[0029]如圖1和圖2所示，該實(shí)施方式中的致動器由以下部分構(gòu)成:驅(qū)動帶1、引導(dǎo)軌道
2、滑動體3、直線引導(dǎo)裝置4、從動帶輪51、驅(qū)動帶輪52、以及對驅(qū)動帶輪52進(jìn)行旋轉(zhuǎn)驅(qū)動的電機(jī)6。驅(qū)動帶I繞掛于從動帶輪51和驅(qū)動帶輪52。引導(dǎo)軌道2具有上側(cè)敞開的凹狀的截面形狀，引導(dǎo)軌道2由底板部22和對置的兩個側(cè)部件21構(gòu)成。
[0030]引導(dǎo)軌道2的長度方向一端固定于驅(qū)動側(cè)固定板25上,驅(qū)動帶輪25的殼體52a固定于該驅(qū)動側(cè)固定板25。引導(dǎo)軌道2的長度方向另一端固定于從動側(cè)固定板26上，從動帶輪51的殼體51a固定于該從動側(cè)固定板26。驅(qū)動側(cè)固定板25經(jīng)由直線引導(dǎo)裝置4安裝于基座7。引導(dǎo)軌道2例如為氧化鋁等陶瓷制成或鋼鐵制成，基座7例如為石材制成、鋼鐵制成或鋁合金制成。
[0031]如圖3所示，直線引導(dǎo)裝置4由導(dǎo)軌41、兩個軸承42、和滾珠(滾動體)43構(gòu)成，軸承42利用螺栓75固定于驅(qū)動側(cè)固定板25。導(dǎo)軌41利用螺栓76固定于基座側(cè)固定板71?；鶄?cè)固定板71利用螺栓77固定于基座7。另外，如圖4所示，從動側(cè)固定板26利用螺栓78固定于凸部7a，該凸部7a形成得比基座7的基線L高。
[0032]S卩，引導(dǎo)軌道2的長度方向一端即驅(qū)動帶輪52側(cè)的端部經(jīng)由驅(qū)動側(cè)固定板25、直線引導(dǎo)裝置4和基座側(cè)固定板71而安裝于基座7。并且，引導(dǎo)軌道2的長度方向另一端即從動帶輪51側(cè)的端部固定于形成得比基座7的基線L高的凸部7a。
[0033]如圖3和圖4所示，滑動體3由以下部分構(gòu)成:上板31，其配置于引導(dǎo)軌道2的上側(cè)；底板32，其配置于引導(dǎo)軌道2的底板部22的下側(cè)；以及一對側(cè)板33、34，它們配置于引導(dǎo)軌道2的各側(cè)部件21的外側(cè)。
[0034]并且，在上板31的下表面的兩端側(cè)(與引導(dǎo)軌道2的各側(cè)部件21的上表面對置的位置)、底板32的上表面的兩端側(cè)(與引導(dǎo)軌道2的各側(cè)部件21的上表面對置的位置)、以及一對側(cè)板33、34的內(nèi)表面的上部和下部，分別配置有由多孔石墨形成的靜壓墊31a?34a。在所述靜壓墊31a?34a與引導(dǎo)軌道2的各側(cè)部件21之間形成靜壓空氣軸承。
[0035]如圖2?圖4所示，驅(qū)動帶I的下側(cè)部配置于引導(dǎo)軌道2的凹部內(nèi)。驅(qū)動帶I的固定部(配置于下側(cè)部的滑動體3內(nèi)的中央的部分)10經(jīng)由安裝部件8固定于滑動體3的上板31。
[0036]如圖3所示，安裝部件8具備上板部件81、下板部件82以及板簧83，其中，上板部件81和下板部件82從上下方向夾著驅(qū)動帶I的固定部11。驅(qū)動帶I的固定部10配置于下板部件82的凹部82a中，上板部件81利用螺栓91固定于下板部件82。并且，板簧83的一對下端板83a利用螺栓92固定于上板部件81,板簧83的頂板83b利用螺栓93固定于滑動體3的上板31。
[0037]根據(jù)該實(shí)施方式中的致動器，通過直線引導(dǎo)裝置4的軸承42相對于導(dǎo)軌41相對地進(jìn)行直線移動，隨著材質(zhì)的不同或溫度差而在引導(dǎo)軌道2和基座7產(chǎn)生的伸縮差被吸收，因此，能夠防止在引導(dǎo)軌道2產(chǎn)生形變。
[0038]并且，通過設(shè)置一般的直線引導(dǎo)裝置4，來實(shí)施防止由于與基座7的伸縮差而在引導(dǎo)軌道2產(chǎn)生形變的對策。該對策能夠以比記載于專利文獻(xiàn)3的對策低的成本實(shí)現(xiàn)。
[0039]另外，在該實(shí)施方式中，使用具有兩個軸承42、且滾動體為滾珠的直線引導(dǎo)裝置作為直線引導(dǎo)裝置，但軸承的數(shù)量和滾動體的種類不限定于此。
[0040]標(biāo)號說明
[0041]1:驅(qū)動帶；
[0042]10:驅(qū)動帶的固定部；
[0043]2:引導(dǎo)軌道；
[0044]21:側(cè)部件；
[0045]22:底板部；
[0046]25:驅(qū)動側(cè)固定板；
[0047]26:從動側(cè)固定板；
[0048]3:滑動體；
[0049]31:滑動體的上板；
[0050]32:滑動體的底板；
[0051]33、34:滑動體的側(cè)板；
[0052]31a?34a:滑動體的靜壓墊；
[0053]4:直線引導(dǎo)裝置；
[0054]41:導(dǎo)軌；
[0055]42:軸承；
[0056]43:滾珠(滾動體)；
[0057]51:從動帶輪；
[0058]52:驅(qū)動帶輪；
[0059]6:電機(jī)；
[0060]7:基座；
[0061]71:基座側(cè)固定板；
[0062]8:安裝部件；
[0063]81:上板部件；
[0064]82:下板部件；
[0065]82a:下板部件的凹部；
[0066]83:板簧；
[0067]83a:板簧的下端板；
[0068]83b:板簧的頂板。
【權(quán)利要求】
1.一種致動器，其具有: 驅(qū)動帶，其繞掛于驅(qū)動帶輪和從動帶輪之間； 引導(dǎo)軌道，其與所述驅(qū)動帶并列配置； 滑動體，其具有靜壓墊，在所述靜壓墊和所述引導(dǎo)軌道之間形成靜壓空氣軸承，所述滑動體借助所述驅(qū)動帶的驅(qū)動而沿所述引導(dǎo)軌道往復(fù)運(yùn)動；以及直線引導(dǎo)裝置，其具有軸承、導(dǎo)軌和滾動體， 所述致動器在以下狀態(tài)下使用:所述軸承被固定在所述引導(dǎo)軌道的長度方向一端即所述驅(qū)動帶輪側(cè)的端部，所述導(dǎo)軌被固定于基座。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的致動器，其中， 所述引導(dǎo)軌道為陶瓷制成或鋼鐵制成， 所述基座為石材制成、鋼鐵制成或鋁合金制成。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的致動器，其中， 所述引導(dǎo)軌道的長度方向一端固定于驅(qū)動側(cè)固定板上，所述驅(qū)動帶輪的殼體固定于該驅(qū)動側(cè)固定板， 所述引導(dǎo)軌道的長度方向另一端固定于從動側(cè)固定板上，所述從動帶輪的殼體固定于該從動側(cè)固定板， 所述從動側(cè)固定板直接固定于所述基座， 所述驅(qū)動側(cè)固定板經(jīng)由所述直線引導(dǎo)裝置固定于所述基座。
4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的致動器，其中， 所述從動側(cè)固定板固定于凸部，所述凸部形成得比所述基座的基線高。
5.一種精密機(jī)械，其具備權(quán)利要求1?4中的任一項(xiàng)所述的致動器作為直線引導(dǎo)致動器。
【文檔編號】F16C32/06GK104246248SQ201380002394
【公開日】2014年12月24日 申請日期:2013年12月11日 優(yōu)先權(quán)日:2013年3月4日
【發(fā)明者】佐藤俊德 申請人:日本精工株式會社