閘閥的制作方法
【專利摘要】本發(fā)明涉及一種閘閥(100)，所述閘閥，包括：閥片(120)，在閥殼(110)能夠密封開口部(112)；閥桿(130)，連接于所述閥片(120)，能夠進(jìn)行上下及水平運(yùn)動(dòng)；導(dǎo)座(140)，連接于所述閥殼(110)的外側(cè)，在兩側(cè)內(nèi)面形成有L動(dòng)作塊導(dǎo)槽(142)；L動(dòng)作塊(L-Motion?Block)(150)，連接于所述閥桿(130)，在兩側(cè)面設(shè)置有插入于所述L動(dòng)作塊導(dǎo)槽(142)進(jìn)行驅(qū)動(dòng)的導(dǎo)輥(151)；驅(qū)動(dòng)塊(160)，分別通過一個(gè)以上連桿(155)連接于所述L動(dòng)作塊(150)的上側(cè)及下側(cè)；一個(gè)以上拉簧單元(170)，設(shè)置于所述L動(dòng)作快(150)和所述驅(qū)動(dòng)塊(160)之間；上下驅(qū)動(dòng)單元(180)，用于上下驅(qū)動(dòng)所述驅(qū)動(dòng)塊(160)。
【專利說明】
閘閥
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本發(fā)明涉及一種閘閥(100)，所述閘閥，其特征在于，包括:閥片(120)，在閥殼
(110)緊貼于形成在開口部(112)的周圍的閥座(Valve-Seat) (111)，可從內(nèi)側(cè)密封所述開口部(112);閥桿(130)，連接于所述閥片(120)，通過波紋管(131)能夠以保持氣密性的方式從所述閥殼(110)內(nèi)部向外部突出形成，并能夠進(jìn)行上下及水平運(yùn)動(dòng)；導(dǎo)座(140)，連接于所述閥殼(110)的外側(cè)，在兩側(cè)內(nèi)面形成有L動(dòng)作塊導(dǎo)槽(142)，所述L動(dòng)作塊導(dǎo)槽由朝上下方向形成的上下驅(qū)動(dòng)區(qū)間凹槽(143)及朝水平方向形成的開閉驅(qū)動(dòng)區(qū)間凹槽(144)而構(gòu)成，所述開閉驅(qū)動(dòng)區(qū)間凹槽朝向密封方向(c)并連續(xù)形成于所述上下驅(qū)動(dòng)區(qū)間凹槽
(143)的上側(cè)；L動(dòng)作塊(L-Mot1n Block) (150)，連接于所述閥桿(130)，在兩側(cè)面設(shè)置有插入于所述L動(dòng)作塊導(dǎo)槽(142)進(jìn)行驅(qū)動(dòng)的導(dǎo)輥(151);驅(qū)動(dòng)塊(160)，分別通過一個(gè)以上連桿(155)連接于所述L動(dòng)作塊(L-Mot1n Block) (150)的上側(cè)及下側(cè)；一個(gè)以上拉簧單元(170)，設(shè)置于所述L動(dòng)作塊(L-Mot1n Block) (150)和所述驅(qū)動(dòng)塊(160)之間；上下驅(qū)動(dòng)單元(180)，用于上下驅(qū)動(dòng)所述驅(qū)動(dòng)塊(160)。
【背景技術(shù)】
[0002]本發(fā)明涉及一種閘閥(gate valve),其用于打開或關(guān)閉將集成電路(IC)或其零件等加工物從某一真空處理室傳送至其他真空處理室的傳送路徑，或者打開或關(guān)閉壓縮流體或氣體等流體流動(dòng)路徑或排氣流動(dòng)路徑。
[0003]通常，例如在處理半導(dǎo)體晶片或液晶基板的裝置中，半導(dǎo)體晶片或液晶基板通過連通通道(communicat1n passageways)插入于多個(gè)處理室或從多個(gè)處理室撤回，在該連通通道設(shè)置有用于打開或關(guān)閉通道的閘閥。
[0004]作為閘閥的實(shí)施例，提出過各種各樣的實(shí)施例，其中，作為現(xiàn)有發(fā)明有如大韓民國授權(quán)專利第10-0338164號(hào)(專利文獻(xiàn)1:發(fā)明名稱為“閘閥”)的構(gòu)成。
[0005]所述專利文獻(xiàn)I的閘閥，通過設(shè)置在閥箱外的操作手段并通過氣密地突出于閥箱外的閥桿自如移動(dòng)閥箱內(nèi)的閥桌(valve desk)使得離開或接觸于閥座，當(dāng)所述閥桿的移動(dòng)結(jié)束時(shí)，所述閥桿進(jìn)行傾斜運(yùn)動(dòng)，使所述閥箱內(nèi)的閥桿按壓所述閥桌，所述操作手段通過輥輪以及引導(dǎo)該輥輪的傾斜的長孔連接活塞氣缸裝置的活塞桿和閥桿之間，或者在兩者之間連接傾斜連桿而使兩端部自如旋轉(zhuǎn)。
[0006]但是，如圖1的(a)所示，現(xiàn)有閘閥，由于閥桌相對(duì)于上下方向及水平方向成緩慢的傾斜進(jìn)行動(dòng)作，因此，與設(shè)置于閘閥內(nèi)部的各種構(gòu)成要素發(fā)生干擾或產(chǎn)生機(jī)械磨損等，而導(dǎo)致異物混入所述處理室內(nèi)的問題。
[0007]對(duì)此，專利文獻(xiàn)2提出了一種真空閥(大韓民國公開專利第10-2011-0073476號(hào))，所述真空閥改善了移動(dòng)路徑傾斜的閘閥的構(gòu)成，如圖1的(b)所示，在進(jìn)行密封動(dòng)作時(shí)，先朝上方驅(qū)動(dòng)，然后朝密封位置水平移動(dòng)。
[0008]所述專利文獻(xiàn)2的真空閥，包括:壁，具有由閥座圍繞的閥開口部；至少一個(gè)閥片，配置于真空閥的真空區(qū)域(所述閥片可從開放位置縱向移動(dòng)到中間位置，然后，從該中間位置朝相對(duì)于縱向垂直的橫向移動(dòng)到密封位置)；至少一個(gè)閥桿，具備閥片(所述閥桿被引導(dǎo)至真空閥的真空區(qū)域外，相對(duì)于壁可朝縱向(所述縱向與閥桿的縱軸平行)或橫向移動(dòng))；縱向驅(qū)動(dòng)裝置及橫向驅(qū)動(dòng)裝置，配置于真空閥的真空區(qū)域的外部(閥桿可朝縱向或橫向移動(dòng)使得通過所述裝置移動(dòng)閥板)。
[0009]但是，所述專利文獻(xiàn)2的真空閥，雖其動(dòng)作路徑非常有效，但是，為了驅(qū)動(dòng)閥門，需要縱向驅(qū)動(dòng)裝置及橫向驅(qū)動(dòng)裝置，因此，其構(gòu)成非常復(fù)雜、且制造費(fèi)用高。并且，為正確地進(jìn)行打開或關(guān)閉動(dòng)作，所述縱向驅(qū)動(dòng)裝置及橫向驅(qū)動(dòng)裝置應(yīng)按照動(dòng)作順序在正確的時(shí)間內(nèi)互相聯(lián)動(dòng)動(dòng)作，所述聯(lián)動(dòng)動(dòng)作需要非常復(fù)雜的構(gòu)成要素。
【發(fā)明內(nèi)容】
[0010]本發(fā)明的目的在于，解決現(xiàn)有發(fā)明所存在的問題，提供一種閥門，所述閥門僅使用一個(gè)驅(qū)動(dòng)單元，其結(jié)構(gòu)不僅簡單又可靠，而且也能進(jìn)行密封動(dòng)作或開放動(dòng)作，從而，防止與設(shè)置于閘閥內(nèi)部的各種構(gòu)成要素發(fā)生干擾，或者因機(jī)械磨損而產(chǎn)生的污染物質(zhì)進(jìn)入所述處理室內(nèi)的問題，從而，能有效進(jìn)行動(dòng)作，其中，進(jìn)行所述密封動(dòng)作時(shí)，所述閥板從開放位置縱向移動(dòng)到中間位置之后，從該中間位置朝垂直于縱向的橫向移動(dòng)到密封位置進(jìn)行密封，所述開放動(dòng)作以與密封動(dòng)作相反順序進(jìn)行。
[0011]為達(dá)成所述目的，本發(fā)明的閘閥，其特征在于，包括:閥片(120)，在閥殼(110)緊貼于形成在開口部(112)的周圍的閥座(Valve-Seat) (111)，可從內(nèi)側(cè)密封所述開口部
(112);閥桿(130)，連接于所述閥片(120)，通過波紋管(131)能夠以保持氣密性的方式從所述閥殼(110)的內(nèi)部向外部突出形成，并能夠進(jìn)行上下及水平運(yùn)動(dòng)；導(dǎo)座(140)，連接于所述閥殼(110)的外側(cè)，在兩側(cè)內(nèi)面形成有L動(dòng)作塊導(dǎo)槽(142)，所述L動(dòng)作塊導(dǎo)槽由朝上下方向形成的上下驅(qū)動(dòng)區(qū)間凹槽(143)及朝水平方向形成的開閉驅(qū)動(dòng)區(qū)間凹槽(144)而構(gòu)成，所述開閉驅(qū)動(dòng)區(qū)間凹槽朝向密封方向(c)并連續(xù)形成于所述上下驅(qū)動(dòng)區(qū)間凹槽(143)的上側(cè)山動(dòng)作塊(L-Mot1n Block) (150)，連接于所述閥桿(130)，在兩側(cè)面設(shè)置有插入于所述L動(dòng)作塊導(dǎo)槽(142)進(jìn)行驅(qū)動(dòng)的導(dǎo)輥(151);驅(qū)動(dòng)塊(160)，分別通過一個(gè)以上連桿(155)連接于所述L動(dòng)作塊(L-Mot1n Block) (150)的上側(cè)及下側(cè)；一個(gè)以上拉簧單元(170)，設(shè)置于所述L動(dòng)作塊(L-Mot1n Block) (150)和所述驅(qū)動(dòng)塊(160)之間；上下驅(qū)動(dòng)單元(180)，用于上下驅(qū)動(dòng)所述驅(qū)動(dòng)塊(160)。
[0012]本發(fā)明進(jìn)一步包括:下側(cè)突出部(161)，形成于所述驅(qū)動(dòng)塊(160)的下側(cè)，在密封狀態(tài)下接觸并支撐所述L動(dòng)作塊(L-Mot1n Block) (150)的下表面；驅(qū)動(dòng)塊引導(dǎo)件(166)，設(shè)置于所述驅(qū)動(dòng)塊(160)，并結(jié)合于設(shè)置在所述導(dǎo)座(140)的內(nèi)側(cè)的驅(qū)動(dòng)塊導(dǎo)軌(165)，從而使所述驅(qū)動(dòng)塊(160)僅朝上下方向驅(qū)動(dòng)。
[0013]另外，其特征在于，所述拉簧單元(170)包括:第一彈簧銷(154)，設(shè)置于彈簧銷通孔(153)，所述彈簧銷通孔分別形成于所述L動(dòng)作塊(L-Mot1n Block) (150)的上側(cè)及下側(cè)的2個(gè)以上部位；第二彈簧銷(164)，設(shè)置于彈簧銷結(jié)合孔(163)，所述彈簧銷結(jié)合孔分別形成于所述驅(qū)動(dòng)塊(160)的上側(cè)及下側(cè)的2個(gè)以上部位；彈簧(171)，分別設(shè)置于所述第一彈簧銷(154)的兩末端和所述第二彈簧銷(164)的兩末端，其特征還在于，在連接所述上下驅(qū)動(dòng)區(qū)間凹槽(143)和所述開閉驅(qū)動(dòng)區(qū)間凹槽(144)的區(qū)間的外周緣還形成有具有曲率的彎曲部。
[0014]另外，所述上下驅(qū)動(dòng)單元(180)進(jìn)一步包括活塞(182)，所述活塞設(shè)置于氣缸(181)的內(nèi)部，通過空壓朝上下方向驅(qū)動(dòng)，在上側(cè)設(shè)置有連接于所述驅(qū)動(dòng)塊(160)的驅(qū)動(dòng)桿(183)。
[0015]根據(jù)本發(fā)明的閥門，僅使用一個(gè)驅(qū)動(dòng)單元，其結(jié)構(gòu)不僅簡單又可靠，而且也能進(jìn)行密封動(dòng)作或開放動(dòng)作，從而，防止與設(shè)置于閘閥內(nèi)部的各種構(gòu)成要素發(fā)生干擾，或者因機(jī)械磨損而產(chǎn)生的污染物質(zhì)進(jìn)入所述處理室內(nèi)的問題，從而，能有效進(jìn)行動(dòng)作，其中，進(jìn)行所述密封動(dòng)作時(shí)，所述閥板從開放位置縱向移動(dòng)到中間位置之后，從該中間位置朝垂直于縱向的橫向移動(dòng)到密封位置進(jìn)行密封，所述開放動(dòng)作以與密封動(dòng)作相反順序進(jìn)行。
【專利附圖】
【附圖說明】
[0016]圖1的(a)和(b)是比較現(xiàn)有閘閥的動(dòng)作路徑的模式圖；
[0017]圖2是示出根據(jù)本發(fā)明的一實(shí)施例的閘閥的外形和內(nèi)部的側(cè)面投影圖；
[0018]圖3是示出根據(jù)本發(fā)明的一實(shí)施例的閘閥的外形及內(nèi)部的正面投影圖；
[0019]圖4的(a)、(b)、及(C)是示出根據(jù)本發(fā)明的一實(shí)施例的閘閥的各部分的側(cè)截面圖；
[0020]圖5是示出根據(jù)本發(fā)明的一實(shí)施例的閘閥的主要構(gòu)成要素的結(jié)合關(guān)系的分解立體圖；
[0021]圖6的(a)、(b)、(C)、及⑷是示出根據(jù)本發(fā)明的一實(shí)施例的閘閥的動(dòng)作過程圖；
[0022]圖7的(a)和(b)是示出根據(jù)本發(fā)明的一實(shí)施例的閘閥的驅(qū)動(dòng)塊和L動(dòng)作塊的動(dòng)作過程以及密封狀態(tài)下的立體圖。
【具體實(shí)施方式】
[0023]以下，參照附圖詳細(xì)說明根據(jù)本發(fā)明的一實(shí)施例的閘閥。首先，應(yīng)注意在圖中對(duì)相同的構(gòu)成要素或零件標(biāo)注相同的符號(hào)。在說明本發(fā)明時(shí)，省略對(duì)相關(guān)公知功能或構(gòu)成的詳細(xì)說明以防本發(fā)明的要旨不明確。
[0024]如圖2及圖5所示，本發(fā)明的閘閥大致包括:閥片(120)、閥桿(130)、導(dǎo)座(140)、L動(dòng)作塊(L-Mot1n Block) (150)、驅(qū)動(dòng)塊(160)、拉簧單元(170)以及上下驅(qū)動(dòng)單元(180)。
[0025]首先，對(duì)閥片(120)進(jìn)行說明。如圖5所示，所述閥片在閥殼(110)緊貼于形成在開口部(112)的周圍的閥座(Valve-seat) (111)，可從內(nèi)側(cè)密封所述開口部(112)。通過所述閥片(120)開放或密封所述開口部(112)，從而，實(shí)現(xiàn)本發(fā)明的閘閥(100)的開放及密封動(dòng)作。
[0026]接著，對(duì)閥桿(130)進(jìn)行說明。如圖5所示，所述閥桿(130)連接于所述閥片
(120)，如圖2及圖4的(a)、(b)、(c)所示，所述閥桿通過波紋管(131)以保持氣密性的方式從所述閥殼(110)的內(nèi)部向外部突出形成，并能夠進(jìn)行上下及水平運(yùn)動(dòng)。
[0027]接著，對(duì)導(dǎo)座(140)進(jìn)行說明。如圖2及圖4的(a)、(b)、(C)所示，所述導(dǎo)座(140)連接于所述閥殼(110)的外側(cè)，在內(nèi)部安裝所述L動(dòng)作塊(150)及所述驅(qū)動(dòng)塊(160)等主要?jiǎng)幼鲉卧?，以進(jìn)行保護(hù)。如圖5所示，在所述導(dǎo)座(140)的兩側(cè)內(nèi)面形成有L動(dòng)作塊導(dǎo)槽(142)，所述L動(dòng)作塊導(dǎo)槽由朝上下方向形成的上下驅(qū)動(dòng)區(qū)間凹槽(143)及朝水平方向形成的開閉驅(qū)動(dòng)區(qū)間凹槽(144)而構(gòu)成，所述開閉驅(qū)動(dòng)區(qū)間凹槽朝向密封方向(c)并連續(xù)形成于所述上下驅(qū)動(dòng)區(qū)間凹槽(143)的上側(cè)。此處，所述L動(dòng)作塊導(dǎo)槽(142)整體呈倒“L”字型，即具有類似“?！钡男螤睢Ａ硗?，在連接所述L動(dòng)作塊導(dǎo)槽(142)的所述上下驅(qū)動(dòng)區(qū)間凹槽(143)和所述開閉驅(qū)動(dòng)區(qū)間凹槽(144)的區(qū)間的外周緣，如圖4的(c)所示，優(yōu)選形成具有曲率的彎曲部r，使得能柔和地進(jìn)行動(dòng)作。
[0028]一方面，作為構(gòu)成所述導(dǎo)座(140)的實(shí)施例，可通過一體成型等各種實(shí)施例體現(xiàn)，但是，一般優(yōu)選構(gòu)成為，如圖5所不,包括側(cè)面導(dǎo)向板(141)、殼體上板(146)以及殼體下板(147)，并將這些相結(jié)合制造。此時(shí)，所述L動(dòng)作塊導(dǎo)槽(142)優(yōu)選形成于所述側(cè)面導(dǎo)向板
(141)的內(nèi)面。
[0029]接著,對(duì)L動(dòng)作塊(150)進(jìn)行說明。如圖4的(a)、(b)、(C)及5所示,所述L動(dòng)作塊(150)連接于所述閥桿(130)，在兩側(cè)面設(shè)置有插入于所述L動(dòng)作塊導(dǎo)槽(142)而驅(qū)動(dòng)的導(dǎo)棍(151) ο
[0030]接著，對(duì)驅(qū)動(dòng)塊(160)進(jìn)行說明。如圖5及圖7的(a)、(b)所示，所述驅(qū)動(dòng)塊(160)分別通過一個(gè)以上連桿(155)連接于所述L動(dòng)作塊(150)的上側(cè)及下側(cè)，由此，由于通過所述連桿(155)分別連接于所述L動(dòng)作塊的上側(cè)及下側(cè)的構(gòu)成，如圖6的(a)、(b)、(C)、(d)及圖7的(a)、(b)所示，所述L動(dòng)作塊(150)和所述驅(qū)動(dòng)塊(160)能夠以相互保持平衡的狀態(tài)下進(jìn)行互相緊貼或隔開的動(dòng)作。
[0031]此時(shí)，作為構(gòu)成所述連桿(155)的實(shí)施例可以有很多實(shí)施例。作為構(gòu)成所述連桿
(155)的一實(shí)施例，優(yōu)選為，如圖5及圖7的(a)、(b)所示，在分別朝側(cè)面方向貫穿形成于所述L動(dòng)作塊(150)的上側(cè)及下側(cè)的連桿銷通孔(152)分別插入連桿銷(156)，并在朝側(cè)面方向分別貫穿形成在所述驅(qū)動(dòng)塊(160)的上側(cè)及下側(cè)的連桿銷結(jié)合孔(162)也插入連桿銷
(156)，然后，在處于分別對(duì)應(yīng)于所述L動(dòng)作塊(150)的所述連桿銷(156)的位置的所述驅(qū)動(dòng)塊(160)的所述連桿銷(156)設(shè)置連桿(155)。
[0032]另外，如圖4的(a)、(b)、(c)及圖5所示，優(yōu)選為，在所述驅(qū)動(dòng)塊(160)的下側(cè)形成有下側(cè)突出部(161)，在密封狀態(tài)下，所述下側(cè)突出部接觸并支撐所述L動(dòng)作塊(150)的下表面，從而，在密封狀態(tài)下，確實(shí)地支撐所述L動(dòng)作塊(150)而能穩(wěn)定地保持密封狀態(tài)。
[0033]在進(jìn)行開放動(dòng)作時(shí)，在所述L動(dòng)作塊(150)和所述驅(qū)動(dòng)塊(160)之間也會(huì)通過所述連桿(155)產(chǎn)生很強(qiáng)的拉力，此時(shí)，所述驅(qū)動(dòng)塊(160)朝所述L動(dòng)作塊(150)的方向移動(dòng)而有可能發(fā)生動(dòng)作不良。為防止所述動(dòng)作不良，如圖4的(b)或圖5所示，優(yōu)選為，在所述驅(qū)動(dòng)塊(160)進(jìn)一步設(shè)置驅(qū)動(dòng)塊引導(dǎo)件(166)，所述驅(qū)動(dòng)塊引導(dǎo)件結(jié)合于設(shè)置在所述導(dǎo)座
(140)的內(nèi)側(cè)的驅(qū)動(dòng)塊導(dǎo)軌(165)，以使所述驅(qū)動(dòng)塊僅朝上下方向驅(qū)動(dòng)，從而，徹底防止因所述驅(qū)動(dòng)塊(160)移動(dòng)到側(cè)方而導(dǎo)致的動(dòng)作不良。
[0034]接著，對(duì)拉簧單元(170)進(jìn)行說明。如圖6的(a)、(b)、(c)、(d)及圖7的(a)、(b)所示，具備有一個(gè)以上的所述拉簧單元(170)，其設(shè)置于所述L動(dòng)作塊(150)和所述驅(qū)動(dòng)塊(160)之間，并向所述L動(dòng)作塊(150)和所述驅(qū)動(dòng)塊(160)之間提供拉力。在通過所述拉簧單元(170)開始開放動(dòng)作的階段，通過所述驅(qū)動(dòng)塊(160)的下降動(dòng)作，所述L動(dòng)作塊(150)朝所述驅(qū)動(dòng)塊(160)的方向水平移動(dòng)的動(dòng)作更加順利。
[0035]此時(shí)，體現(xiàn)所述拉簧單元(170)的實(shí)施例有很多。作為體現(xiàn)所述拉簧單元(170)的一實(shí)施例，如圖6的(a)、(b)、(c)、(d)及圖7的(a)、(b)所示，優(yōu)選包括:第一彈簧銷(154)，設(shè)置于彈簧銷通孔(153)，所述彈簧銷通孔分別形成于所述L動(dòng)作塊(150)的上側(cè)及下側(cè)的2個(gè)以上部位；第二彈簧銷(164)，設(shè)置于彈簧銷結(jié)合孔(163)，所述彈簧銷結(jié)合孔分別形成于所述驅(qū)動(dòng)塊(160)的上側(cè)及下側(cè)的2個(gè)以上部位；彈簧(171)，分別設(shè)置于所述第一彈簧銷(154)的兩末端和所述第二彈簧銷(164)的兩末端。
[0036]接著，說明上下驅(qū)動(dòng)單元(180)。所述上下驅(qū)動(dòng)單元(180)具有上下驅(qū)動(dòng)所述驅(qū)動(dòng)塊(160)的功能。體現(xiàn)所述上下驅(qū)動(dòng)單元(180)的實(shí)施例可以有很多。作為體現(xiàn)所述上下驅(qū)動(dòng)單元(180)的一實(shí)施例，如圖4的(a)、(b)、(c)及圖5所示，優(yōu)選為，可進(jìn)一步包括活塞(182)，所述活塞設(shè)置于氣缸(181)的內(nèi)部，通過空壓上下驅(qū)動(dòng)，在上側(cè)設(shè)置有連接于所述驅(qū)動(dòng)塊(160)的驅(qū)動(dòng)桿(183)。一般，優(yōu)選為，所述氣缸(181)結(jié)合于所述殼體下板(147)，使得在維修本發(fā)明的閘閥(100)時(shí)容易分解及結(jié)合，并制作成一體。
[0037]以下，說明根據(jù)本發(fā)明的一實(shí)施例的閘閥(100)的動(dòng)作。
[0038]首先說明所述閘閥(100)的密封過程。
[0039]在如圖7的(a)所示的開放狀態(tài)(圖7的(a)和(b)中，為明確表示動(dòng)作的主要部分，省略了閥殼(110)的圖示)下開始密封過程，如圖7的(b)所示，所述上下驅(qū)動(dòng)單元(180)上升的同時(shí)所述驅(qū)動(dòng)塊(160)進(jìn)行上升。此時(shí)，所述L動(dòng)作塊(150)的導(dǎo)輥(151)位于所述L動(dòng)作塊導(dǎo)槽(142)的所述上下驅(qū)動(dòng)區(qū)間凹槽(143)，因此，通過所述連桿(155)接受所述驅(qū)動(dòng)塊(160)的驅(qū)動(dòng)力，從而朝上側(cè)進(jìn)行上升動(dòng)作。
[0040]接著，如圖6的(C)所示，當(dāng)所述L動(dòng)作塊上升到最高上升位置(中間位置)而所述導(dǎo)輥(151)到達(dá)所述L動(dòng)作塊導(dǎo)槽(142)的所述彎曲部!■時(shí)，所述驅(qū)動(dòng)塊(160)進(jìn)一步進(jìn)行上升動(dòng)作。
[0041]通過所述驅(qū)動(dòng)塊(160)進(jìn)一步進(jìn)行上升動(dòng)作，如圖6的(d)所示,所述L動(dòng)作塊(150)隨著所述導(dǎo)輥(151)在所述L動(dòng)作塊導(dǎo)槽(142)的所述開閉驅(qū)動(dòng)區(qū)間凹槽(144)移動(dòng)，通過所述連桿(155)與所述驅(qū)動(dòng)塊(160)保持平衡狀態(tài)的同時(shí)，遠(yuǎn)離所述驅(qū)動(dòng)塊(160)，最終進(jìn)行朝圖6的(d)的密封方向(c)水平移動(dòng)的密封動(dòng)作。
[0042]通過所述整體的密封過程，如圖1的(b)所示，所述L動(dòng)作塊(150)經(jīng)過倒“L”字型的形狀，即具有類似“?！毙螤畹穆窂竭M(jìn)行動(dòng)作，通過所述閥桿(130)連接于所述L動(dòng)作塊(150)的所述閥片(120)，也如圖1的(b)所示，經(jīng)過倒“L”字型的形狀，即具有類似“?！毙螤畹穆窂竭M(jìn)行動(dòng)作，由此，能防止與設(shè)置于閘閥的內(nèi)部的各種構(gòu)成要素發(fā)生干擾或因機(jī)械磨損等而產(chǎn)生的異物進(jìn)入所述處理室內(nèi)的問題，從而，能有效進(jìn)行動(dòng)作。
[0043]另外，所述閘閥(100)的開放過程以與所述閘閥(100)的密封過程相反順序進(jìn)行。此時(shí)，在通過所述拉簧單元(170)開始開放動(dòng)作的階段，通過所述驅(qū)動(dòng)塊(160)的下降動(dòng)作，所述L動(dòng)作塊(150)朝所述驅(qū)動(dòng)塊(160)的方向水平移動(dòng)的動(dòng)作變得更加順利。
[0044]附圖及說明書公開了最佳實(shí)施例。在此雖使用了特定術(shù)語，但是，這些只是說明本發(fā)明的目的而使用的，并不是用來限定含義或者限制權(quán)利要求范圍所記載的本發(fā)明的范疇。因此，本發(fā)明所屬領(lǐng)域的技術(shù)人員可由此進(jìn)行各種變形及均等的其他實(shí)施例。并且，本發(fā)明的真正的技術(shù)保護(hù)范圍應(yīng)由權(quán)利要求范圍的技術(shù)思想而決定。
【權(quán)利要求】
1.一種閘閥(100)，其特征在于，包括: 閥片(120)，在閥殼(110)中，緊貼于形成在開口部(112)的周圍的閥座(Valve-Seat)(111)，可從內(nèi)側(cè)密封所述開口部(112)； 閥桿(130)，連接于所述閥片(120)，通過波紋管(131)以保持氣密性的方式從所述閥殼(110)內(nèi)部向外部突出形成，并能夠進(jìn)行上下及水平運(yùn)動(dòng)； 導(dǎo)座(140)，連接于所述閥殼(110)的外側(cè)，在兩側(cè)的內(nèi)面上形成有L動(dòng)作塊導(dǎo)槽(142)，所述L動(dòng)作塊導(dǎo)槽是由朝上下方向形成的上下驅(qū)動(dòng)區(qū)間凹槽(143)及朝水平方向形成的開閉驅(qū)動(dòng)區(qū)間凹槽(144)來構(gòu)成，所述開閉驅(qū)動(dòng)區(qū)間凹槽朝向密封方向(c)并連續(xù)形成于所述上下驅(qū)動(dòng)區(qū)間凹槽(143)的上側(cè)； L動(dòng)作塊(L-Mot1n Block) (150)，連接于所述閥桿(130)，在兩個(gè)側(cè)面上設(shè)置有插入于所述L動(dòng)作塊導(dǎo)槽(142)并進(jìn)行驅(qū)動(dòng)的導(dǎo)輥(151)； 驅(qū)動(dòng)塊(160)，分別通過一個(gè)以上連桿(155)連接于所述L動(dòng)作塊(L-Mot1n Block)(150)的上側(cè)及下側(cè)； 一個(gè)以上拉簧單元(170)，設(shè)置于所述L動(dòng)作塊(L-Mot1n Block) (150)和所述驅(qū)動(dòng)塊(160)之間；以及 上下驅(qū)動(dòng)單元(180)，用于上下驅(qū)動(dòng)所述驅(qū)動(dòng)塊(160)。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的閘閥(100)，其特征在于，進(jìn)一步包括: 下側(cè)突出部(161)，還形成于所述驅(qū)動(dòng)塊(160)的下側(cè)，在密封狀態(tài)下接觸并支撐所述L動(dòng)作塊的下表面； 驅(qū)動(dòng)塊引導(dǎo)件(166)，還設(shè)置于所述驅(qū)動(dòng)塊(160)，并結(jié)合于設(shè)置在所述導(dǎo)座(140)的內(nèi)側(cè)的驅(qū)動(dòng)塊導(dǎo)軌(165)，從而使所述驅(qū)動(dòng)塊(160)僅在朝向上下方向驅(qū)動(dòng)。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的閘閥(100)，其特征在于，所述拉簧單元(170)還包括: 第一彈簧銷(154)，設(shè)置于彈簧銷通孔(153)，所述彈簧銷通孔分別形成于所述L動(dòng)作塊(L-Mot1n Block) (150)的上側(cè)及下側(cè)的2個(gè)以上部位； 第二彈簧銷(164)，設(shè)置于彈簧銷結(jié)合孔(163)，所述彈簧銷結(jié)合孔分別形成于所述驅(qū)動(dòng)塊(160)的上側(cè)及下側(cè)的2個(gè)以上部位；以及 彈簧(171)，分別設(shè)置于所述第一彈簧銷(154)的兩末端和所述第二彈簧銷(164)的兩末端， 其中，在連接所述上下驅(qū)動(dòng)區(qū)間凹槽(143)和所述開閉驅(qū)動(dòng)區(qū)間凹槽(144)的區(qū)間的外周緣形成有具有曲率的彎曲部。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的閘閥(100)，其特征在于，所述上下驅(qū)動(dòng)單元(180)進(jìn)一步包括活塞(182)，所述活塞設(shè)置于氣缸(181)的內(nèi)部，通過空壓朝上下方向驅(qū)動(dòng)，在上側(cè)設(shè)置有連接于所述驅(qū)動(dòng)塊(160)的驅(qū)動(dòng)桿(183)。
5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的閘閥(100)，其特征在于，進(jìn)一步包括: 下側(cè)突出部(161)，形成于所述驅(qū)動(dòng)塊(160)的下側(cè)，在密封狀態(tài)下，接觸并支撐所述L動(dòng)作塊(150)的下表面； 驅(qū)動(dòng)塊引導(dǎo)件(166)，設(shè)置于所述驅(qū)動(dòng)塊(160)，并結(jié)合于設(shè)置在所述導(dǎo)座(140)的內(nèi)側(cè)的驅(qū)動(dòng)塊導(dǎo)軌(165)，以使所述驅(qū)動(dòng)塊(160)僅朝上下方向驅(qū)動(dòng)， 所述拉簧單元(170)，包括: 第一彈簧銷(154)，設(shè)置于彈簧銷通孔(153)，所述彈簧銷通孔分別形成于所述L動(dòng)作塊(L-Mot1n Block) (150)的上側(cè)及下側(cè)的2個(gè)以上部位； 第二彈簧銷(164)，設(shè)置于彈簧銷結(jié)合孔(163)，所述彈簧銷結(jié)合孔分別形成于所述驅(qū)動(dòng)塊(160)的上側(cè)及下側(cè)的2個(gè)以上部位；以及 彈簧(171)，分別設(shè)置于所述第一彈簧銷(154)的兩末端和所述第二彈簧銷(164)的兩末端， 其中， 在連接所述上下驅(qū)動(dòng)區(qū)間凹槽(143)和所述開閉驅(qū)動(dòng)區(qū)間凹槽(144)的區(qū)間的外周緣形成有具有曲率的彎曲部， 所述上下驅(qū)動(dòng)單元(180)進(jìn)一步包括活塞(182)，所述活塞設(shè)置于氣缸(181)的內(nèi)部，通過空壓朝上下方向驅(qū)動(dòng)，在上側(cè)設(shè)置有連接于所述驅(qū)動(dòng)塊(160)的驅(qū)動(dòng)桿(183)。
【文檔編號(hào)】F16K3/18GK104204635SQ201380018556
【公開日】2014年12月10日 申請(qǐng)日期:2013年4月8日 優(yōu)先權(quán)日:2012年4月6日
【發(fā)明者】池晨瑛 申請(qǐng)人:普利西斯株式會(huì)社