一種半導(dǎo)體設(shè)備的微環(huán)境排氣控制裝置制造方法
【專(zhuān)利摘要】本實(shí)用新型公開(kāi)了一種半導(dǎo)體設(shè)備的微環(huán)境排氣控制裝置，將氣動(dòng)閥的氣缸通過(guò)一開(kāi)口部具有水平外延裙邊的倒置環(huán)形凹槽形氣缸支撐體與一上集氣盒連接，一下集氣盒連通微環(huán)境，開(kāi)有支排排氣孔，上集氣盒開(kāi)有設(shè)備主排排氣孔和氣動(dòng)閥閥體進(jìn)入孔，上、下集氣盒的連接面開(kāi)有貫通的微環(huán)境的主排排氣孔，閥體進(jìn)入孔與微環(huán)境主排排氣孔同心設(shè)置；氣缸支撐體的凹槽裙邊與上集氣盒閥體進(jìn)入孔的周?chē)g設(shè)有第一密封件，閥體下端面設(shè)有第二密封件，通過(guò)閥體在上集氣盒內(nèi)的上下移動(dòng)，壓緊二個(gè)密封件，實(shí)現(xiàn)有效密封，并具有閥體定位的功能。本實(shí)用新型結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單、成本低廉、維護(hù)省力，可防止泄漏的發(fā)生。
【專(zhuān)利說(shuō)明】一種半導(dǎo)體設(shè)備的微環(huán)境排氣控制裝置
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本實(shí)用新型涉及一種半導(dǎo)體設(shè)備的排氣系統(tǒng)，更具體地，涉及一種對(duì)半導(dǎo)體工藝設(shè)備的微環(huán)境進(jìn)行排氣控制的裝置。
【背景技術(shù)】
[0002]在半導(dǎo)體生產(chǎn)中，經(jīng)常需要經(jīng)過(guò)熱處理工序。經(jīng)過(guò)熱處理后，晶圓表面會(huì)形成一層均勻、無(wú)缺陷的薄膜。所謂薄膜，是一種在襯底上生長(zhǎng)的薄固體物質(zhì)，這層膜可以是導(dǎo)體、絕緣物質(zhì)或是半導(dǎo)體材料。在半導(dǎo)體晶圓成膜工序中，為防止其自然氧化和受到顆粒污染，需要一微正壓(一般為2?3Torr)、低氧含量(一般為3?5ppm)的特殊環(huán)境,稱(chēng)之為微環(huán)境。微環(huán)境位于工藝設(shè)備(主要是爐體)的下方，通過(guò)一直向其通入氮?dú)?，同時(shí)由排氣管道排出空氣和氮?dú)饣旌蠚怏w來(lái)實(shí)現(xiàn)和維持微環(huán)境的指標(biāo)要求。因此，微環(huán)境的排氣控制至關(guān)重要。
[0003]在工藝過(guò)程中，當(dāng)待處理的半導(dǎo)體晶圓準(zhǔn)備進(jìn)入微環(huán)境之前，向微環(huán)境內(nèi)通入氮?dú)猓藭r(shí)，微環(huán)境排氣系統(tǒng)的主排和支路排氣均打開(kāi)；當(dāng)微環(huán)境內(nèi)壓力及氧氣含量達(dá)標(biāo)后，關(guān)閉微環(huán)境主排，只需支路排氣來(lái)維持，并且對(duì)半導(dǎo)體晶圓實(shí)施規(guī)定的處理。
[0004]打開(kāi)與關(guān)閉微環(huán)境主排排氣是用開(kāi)關(guān)閥控制的。在傳統(tǒng)設(shè)備中，一種控制手段是直接在主排排氣管路上串聯(lián)一真空插板閥。采用真空插板閥雖然可以實(shí)現(xiàn)需要的功能，但是價(jià)格昂貴；而且，在此不需要真空閥，因?yàn)槭秦?fù)壓抽氣，顆粒不會(huì)進(jìn)入到微環(huán)境中而污染半導(dǎo)體晶圓。
[0005]目前，也有設(shè)備采用氣動(dòng)閥來(lái)控制主排開(kāi)與關(guān)的，但是存在以下問(wèn)題:在閥體離開(kāi)開(kāi)口、即主排打開(kāi)時(shí)，氣體會(huì)從氣缸連接處泄漏出去，沒(méi)有實(shí)現(xiàn)很好的密封；為了實(shí)現(xiàn)完全的密封，閥體上下兩面均裝有密封構(gòu)件，且用螺栓固定，并在螺栓連接處用密封膠密封。雖然流經(jīng)的氣體不是腐蝕性氣體(主要是空氣和氮?dú)?，但是密封構(gòu)件也要定期地維護(hù)，閥體上面的密封構(gòu)件更換時(shí)，需拆下閥體，給更換帶來(lái)不便，且更換操作的時(shí)間延長(zhǎng)。另外，閥體缺少運(yùn)動(dòng)位置檢測(cè)，不能準(zhǔn)確地判斷閥體是否到達(dá)所要求的位置，給后續(xù)工作帶來(lái)不便。
實(shí)用新型內(nèi)容
[0006]本實(shí)用新型的目的在于克服現(xiàn)有技術(shù)存在的上述缺陷，提供一種新型的微環(huán)境排氣控制裝置，通過(guò)將連通微環(huán)境排氣系統(tǒng)的集氣盒與氣動(dòng)閥有機(jī)組合，設(shè)計(jì)出一種帶有獨(dú)特的上、下密封結(jié)構(gòu)的排氣控制裝置，并具有閥體定位的功能。本裝置結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單，成本低廉，維護(hù)省力，可實(shí)現(xiàn)有效密封，防止泄漏。
[0007]為實(shí)現(xiàn)上述目的，本實(shí)用新型的技術(shù)方案如下:
[0008]一種半導(dǎo)體設(shè)備的微環(huán)境排氣控制裝置，包括:
[0009]氣動(dòng)閥,其包括驅(qū)動(dòng)氣缸、螺桿和閥體；
[0010]設(shè)有上、下連接的二個(gè)集氣盒，其中，所述下集氣盒連通微環(huán)境，開(kāi)有微環(huán)境支排排氣孔；所述上集氣盒開(kāi)有設(shè)備主排排氣孔和氣動(dòng)閥閥體進(jìn)入孔；所述上、下集氣盒的連接面開(kāi)有貫通的微環(huán)境主排排氣孔；所述閥體進(jìn)入孔與所述微環(huán)境主排排氣孔同心設(shè)置；
[0011]氣缸支撐體，其為開(kāi)口部具有水平外延裙邊的環(huán)形凹槽結(jié)構(gòu)，所述凹槽與所述微環(huán)境主排排氣孔同心，且開(kāi)口部向下密封連接在所述氣動(dòng)閥的氣缸與上集氣盒之間；其中，所述凹槽的中心具有供氣動(dòng)閥螺桿穿過(guò)的孔，氣動(dòng)閥的氣缸外殼與凹槽的中心孔周?chē)砻孢B接，所述凹槽的裙邊與氣動(dòng)閥閥體進(jìn)入孔周?chē)纳霞瘹夂许敹嗣芊膺B接；
[0012]第一密封件，所述第一密封件中心具有供氣動(dòng)閥螺桿穿過(guò)的孔；其中，所述水平外延裙邊通過(guò)第一密封件與氣動(dòng)閥閥體進(jìn)入孔周?chē)乃錾霞瘹夂许敹讼喙探?，所述凹槽的底端與所述氣動(dòng)閥氣缸外殼的接觸面相固接；第一密封件中心孔的直徑大于螺桿直徑但小于閥體直徑，否則閥體升高時(shí)，將因接觸不到第一密封件，而不能實(shí)現(xiàn)密封。
[0013]上集氣盒的寬度與下集氣盒相同，長(zhǎng)度小于下集氣盒。在長(zhǎng)度方向上，上集氣盒連接到下集氣盒后，應(yīng)使得下集氣盒有足夠的空間連接微環(huán)境的支路排氣管道。
[0014]進(jìn)一步地，所述第一密封件中心具有供氣動(dòng)閥螺桿穿過(guò)的孔，所述螺桿穿過(guò)同心設(shè)置的氣缸支撐體凹槽中心孔、第一密封件中心孔、閥體進(jìn)入孔，與設(shè)于上集氣盒內(nèi)的閥體相固接，第一密封件中心孔的直徑小于閥體直徑。
[0015]進(jìn)一步地，所述氣缸支撐體凹槽的底端與所述氣動(dòng)閥氣缸的接觸面通過(guò)螺釘連接，所述凹槽的深度大于所述螺釘安裝后在凹槽內(nèi)的露出高度。氣缸支撐體設(shè)置倒置凹槽的目的，是為了在其內(nèi)部安裝與氣動(dòng)閥氣缸連接的螺釘，并防止螺釘頭與第一密封件接觸，否則閥體升高時(shí)，將不能壓緊第一密封件，實(shí)現(xiàn)不了完全密封。
[0016]進(jìn)一步地，所述氣缸支撐體凹槽的開(kāi)口最大尺寸小于氣動(dòng)閥的閥體直徑，否則閥體升高時(shí)，因缺少來(lái)自凹槽裙邊對(duì)應(yīng)的壓緊力，而不能壓緊第一密封件，實(shí)現(xiàn)不了完全密封。
[0017]進(jìn)一步地，所述螺桿一端與氣動(dòng)閥驅(qū)動(dòng)氣缸的缸桿端部螺紋連接，以便于裝卸，并方便氣缸、氣缸支撐體、第一密封件及上集氣盒相互之間的裝卸；所述螺桿的另一端與閥體中心的盲孔螺紋連接，也可以與盲孔焊接，采用盲孔連接方式，可保證閥體下端面的密封效果O
[0018]進(jìn)一步地，所述閥體底面設(shè)有第二密封件，其直徑應(yīng)明顯大于微環(huán)境主排排氣孔，以便閥體下降后，第二密封件能完全覆蓋微環(huán)境主排排氣孔。
[0019]進(jìn)一步地，所述氣缸支撐體的凹槽及其水平外延裙邊的外形為環(huán)形或矩形。
[0020]進(jìn)一步地，所述氣缸支撐體可由帶裙邊的凹槽形變形為包括上、下連接的二個(gè)氣缸支撐板，氣動(dòng)閥的氣缸通過(guò)所述二個(gè)相互連接的氣缸支撐板與上集氣盒連接；其中，上氣缸支撐板與氣動(dòng)閥的氣缸固定連接，上氣缸支撐板的兩側(cè)各設(shè)有一通孔，通過(guò)螺釘與下氣缸支撐板的對(duì)應(yīng)盲孔螺紋連接，上氣缸支撐板通過(guò)其通孔下方的螺母與所述螺釘緊固連接；下氣缸支撐板通過(guò)第一密封件與氣動(dòng)閥閥體進(jìn)入孔周?chē)乃錾霞瘹夂许敹讼喙探樱凰錾?、下氣缸支撐板中心具有供氣?dòng)閥螺桿穿過(guò)的孔，并與微環(huán)境主排排氣孔同心。
[0021]進(jìn)一步地，所述螺桿一端與氣動(dòng)閥驅(qū)動(dòng)氣缸的缸桿端部螺紋連接，另一端與閥體中心的盲孔螺紋連接，也可以與盲孔焊接，所述氣缸支撐體凹槽中心和第一密封件中心具有供氣動(dòng)閥螺桿和與螺桿連接的驅(qū)動(dòng)氣缸缸桿穿過(guò)的孔。
[0022]進(jìn)一步地，氣動(dòng)閥氣缸設(shè)有位置檢測(cè)磁性開(kāi)關(guān)。在閥體下降壓緊微環(huán)境主排排氣口時(shí)，以及升高壓緊第一密封件時(shí)，該磁性開(kāi)關(guān)都可以發(fā)出位置檢測(cè)信號(hào)，以方便進(jìn)行其他工序。
[0023]從上述技術(shù)方案可以看出，本實(shí)用新型與現(xiàn)有技術(shù)相比，具有以下顯著優(yōu)點(diǎn):
[0024]1、采用氣缸控制閥體來(lái)實(shí)現(xiàn)微環(huán)境主排排氣的開(kāi)與關(guān)，結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單，成本降低；
[0025]2、氣缸支撐體和上集氣盒連接處設(shè)有第一密封件，使連接處能夠完全密封；同時(shí)也可以防止氣體在氣缸連接處泄漏，實(shí)現(xiàn)有效密封；
[0026]3、第一、第二密封件更換簡(jiǎn)單，無(wú)需拆除閥體，省時(shí)省力。
[0027]4、閥體運(yùn)動(dòng)具有位置檢測(cè)，可以準(zhǔn)確判斷出閥體是否運(yùn)動(dòng)到所要求的位置。
[0028]因此，本裝置具有結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單、成本低廉、維護(hù)省力的優(yōu)點(diǎn)，可實(shí)現(xiàn)有效密封，防止泄漏的發(fā)生。
【專(zhuān)利附圖】

【附圖說(shuō)明】
[0029]圖1為本實(shí)用新型中微環(huán)境主排排氣孔打開(kāi)時(shí)的結(jié)構(gòu)剖視圖；
[0030]圖2為本實(shí)用新型中微環(huán)境主排排氣孔關(guān)閉時(shí)的結(jié)構(gòu)剖視圖；
[0031]圖3為本實(shí)用新型中氣缸支撐體的另一種結(jié)構(gòu)示意圖；
[0032]圖4為圖1中A部的局部放大圖。
[0033]圖中1、下集氣盒，2、上集氣盒，3、第一密封件，4、氣缸支撐體，5、磁性開(kāi)關(guān)，6、驅(qū)動(dòng)氣缸，7、螺桿，8、閥體，9、第二密封件，10、下氣缸支撐板，11、上氣缸支撐板，12、螺釘，13、螺母，14、設(shè)備主排排氣孔，15、支排排氣孔，16、微環(huán)境主排排氣孔，17、閥體進(jìn)入孔，18、微環(huán)境。
【具體實(shí)施方式】
[0034]下面結(jié)合附圖，對(duì)本實(shí)用新型的【具體實(shí)施方式】作進(jìn)一步的詳細(xì)說(shuō)明。
[0035]實(shí)施例一
[0036]在本實(shí)施例中，請(qǐng)參閱圖1，圖1是本實(shí)用新型中微環(huán)境主排排氣孔打開(kāi)時(shí)的結(jié)構(gòu)剖視圖。如圖所示，本實(shí)用新型的排氣控制裝置中包括一氣動(dòng)閥，氣動(dòng)閥帶有驅(qū)動(dòng)氣缸6、螺桿7、閥體8?？刂蒲b置中還設(shè)有上、下連接的二個(gè)集氣盒，其中，下集氣盒I與處于工藝設(shè)備下方的微環(huán)境18連接起來(lái)，下集氣盒I開(kāi)有微環(huán)境支排排氣孔15 ;上集氣盒2開(kāi)有設(shè)備主排排氣孔14和氣動(dòng)閥閥體進(jìn)入孔17 ;上、下集氣盒的連接面開(kāi)有貫通的微環(huán)境主排排氣孔16 ;閥體進(jìn)入孔17與微環(huán)境主排排氣孔16同心設(shè)置。本例中，上集氣盒2的底面采用開(kāi)口結(jié)構(gòu)，其端口與下集氣盒I的頂面應(yīng)完好焊接，防止存在漏點(diǎn)。上集氣盒2的寬度與下集氣盒I相同，長(zhǎng)度小于下集氣盒I。在長(zhǎng)度方向上，上集氣盒2連接到下集氣盒I后，應(yīng)使得下集氣盒I有足夠的空間連接微環(huán)境的支路排氣管道。
[0037]圖1中的箭頭指示為氣體流向。當(dāng)微環(huán)境主排排氣孔16打開(kāi)時(shí)，要求上集氣盒2不能有任何氣體泄露，須實(shí)現(xiàn)完全密封。此時(shí)，通過(guò)廠(chǎng)房負(fù)壓抽出微環(huán)境里的氣體，同時(shí)經(jīng)設(shè)備主排排氣孔14和支排排氣孔15排出。
[0038]本實(shí)用新型的排氣控制裝置中還包括一個(gè)氣缸支撐體4。為更清楚地說(shuō)明其結(jié)構(gòu)，請(qǐng)參閱圖4，圖4是本實(shí)用新型的圖1中A部的局部放大圖。如圖所示，氣缸支撐體4是一個(gè)在開(kāi)口部具有水平外延裙邊的凹槽結(jié)構(gòu)，凹槽及裙邊的外形最好為環(huán)形，也可以是矩形。凹槽中心具有供氣動(dòng)閥螺桿7穿過(guò)的孔，并與微環(huán)境主排排氣孔16同心。凹槽開(kāi)口部倒置向下，其水平外延裙邊通過(guò)第一密封件3與氣動(dòng)閥閥體進(jìn)入孔17周?chē)纳霞瘹夂?頂端用螺釘連接。第一密封件3與螺釘緊配合，可以起到密封作用，防止氣體從螺釘連接處泄露。如果在螺孔部打上防護(hù)膠，則效果更好。還可以設(shè)計(jì)成螺釘不穿透上集氣盒2頂面的形式。
[0039]請(qǐng)參閱圖4，在安裝時(shí)，先將氣缸支撐體4的凹槽底端與氣動(dòng)閥氣缸6外殼的接觸面用螺釘連接起來(lái)，然后，再將氣缸支撐體4的下部裙邊部分與第一密封件3、上集氣盒2用螺釘連接。氣缸支撐體4的凹槽的突出結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)，是為了在內(nèi)部安裝與氣動(dòng)閥驅(qū)動(dòng)氣缸6連接的螺釘，防止螺釘頭與第一密封件3接觸。否則閥體8離開(kāi)微環(huán)境主排排氣孔16而不能壓緊第一密封件3，實(shí)現(xiàn)不了完全密封。因此，凹槽的深度應(yīng)大于螺釘安裝后在凹槽內(nèi)的露出高度。而且，凹槽的開(kāi)口最大尺寸應(yīng)小于氣動(dòng)閥的閥體8直徑，否則閥體升高時(shí)，因缺少來(lái)自凹槽裙邊對(duì)應(yīng)的壓緊力，而不能壓緊第一密封件，實(shí)現(xiàn)不了完全密封。
[0040]請(qǐng)繼續(xù)參閱圖4，在第一密封件3的中心處開(kāi)有一圓孔，供氣動(dòng)閥螺桿7穿過(guò)。此孔直徑大于螺桿7的直徑，但是要小于閥體8的直徑，否則閥體8抬起時(shí)，會(huì)因接觸不到第一密封件3而不能實(shí)現(xiàn)密封。安裝時(shí)，螺桿穿過(guò)同心設(shè)置的氣缸支撐體凹槽中心孔、第一密封件中心孔、閥體進(jìn)入孔，與設(shè)于上集氣盒2內(nèi)的閥體8相連接。在閥體8的上端中心位置開(kāi)有一盲孔或帶螺紋的盲孔，螺桿7同軸心地焊接或螺裝到閥體8上。采用盲孔連接方式，可保證閥體下端面的密封效果。閥體8的下端面同軸心地粘貼有第二密封件9，其直徑應(yīng)明顯大于微環(huán)境主排排氣孔16，以便閥體8下降后，第二密封件9能完全覆蓋微環(huán)境主排排氣孔16。然后，螺桿7再同軸心螺紋連接到氣動(dòng)閥氣缸6內(nèi)的缸桿上，螺紋連接可方便氣缸、氣缸支撐體、第一密封件及上集氣盒相互之間的裝卸。顯然，如果缸桿外徑大于螺桿7時(shí)，氣缸支撐體凹槽中心孔、第一密封件中心孔也要適應(yīng)其自由通過(guò)。此時(shí)，微環(huán)境主排排氣孔16打開(kāi)時(shí)，閥體8上升并壓緊第一密封件3，第一密封件3發(fā)生彈性變形而堵塞氣動(dòng)閥的氣缸間隙，從而可以實(shí)現(xiàn)密封。
[0041]請(qǐng)參閱圖2，圖2為本實(shí)用新型中微環(huán)境主排排氣孔關(guān)閉時(shí)的剖視圖。氣動(dòng)閥的氣缸6與氣缸支撐體4、上集氣盒2及二個(gè)密封件的結(jié)構(gòu)和安裝方式與圖1相同，此處作省略描述。圖中箭頭指示為氣體流向。如圖所示，在微環(huán)境內(nèi)的氧氣含量和壓力達(dá)到要求后，只需支路排氣來(lái)維持時(shí)，需關(guān)閉微環(huán)境主排排氣孔16。此時(shí)，閥體8下降，因閥體8及連帶的第二密封件9的直徑大于微環(huán)境主排排氣孔16，使第二密封件9可壓緊下集氣盒I的上端面，并封住孔口。第二密封件9因發(fā)生彈性變形而堵塞微環(huán)境主排排氣孔16的間隙，從而實(shí)現(xiàn)密封。微環(huán)境內(nèi)的氣體將只從支排排氣孔排出15。
[0042]此外，在氣動(dòng)閥的氣缸上裝有磁性開(kāi)關(guān)5，具有位置檢測(cè)作用。請(qǐng)參閱圖3，圖3是本實(shí)用新型中氣缸支撐體的另一種結(jié)構(gòu)示意圖(此處借用圖3對(duì)磁性開(kāi)關(guān)的作用進(jìn)行說(shuō)明)。在閥體8下降壓緊下集氣盒I的微環(huán)境主排排氣孔16、和上升壓緊第一密封件3時(shí)，都會(huì)發(fā)出位置檢測(cè)信號(hào)，使控制效果更安全、可靠，能方便地進(jìn)行其他工序。
[0043]實(shí)施例二
[0044]請(qǐng)參閱圖3，圖3為本實(shí)用新型中氣缸支撐體的另一種變形結(jié)構(gòu)。如圖所示，氣缸支撐體包括上、下設(shè)置的上氣缸支撐板11和下氣缸支撐板10。上氣缸支撐板11與氣動(dòng)閥驅(qū)動(dòng)氣缸6固定連接，上氣缸支撐板11兩側(cè)各設(shè)有一通孔，通過(guò)螺釘12與下氣缸支撐板10上對(duì)應(yīng)的螺紋盲孔連接，螺釘12通過(guò)螺母13與上氣缸支撐板緊固連接。安裝時(shí)，螺母13先不要擰緊，先完成下氣缸支撐板10與螺釘12的安裝，再擰緊螺母13。上氣缸支撐板11和下氣缸支撐板10還可以通過(guò)螺桿進(jìn)行連接。最后上集氣盒2、第一密封件3、下氣缸支撐板10再通過(guò)螺釘連接在一起。上、下氣缸支撐板中心具有供氣動(dòng)閥螺桿和與螺桿連接的驅(qū)動(dòng)氣缸缸桿穿過(guò)的孔，并與微環(huán)境主排排氣孔同心。在氣動(dòng)閥的氣缸上裝有磁性開(kāi)關(guān)5，具有位置檢測(cè)作用。在閥體8下降壓緊下集氣盒I的微環(huán)境主排排氣孔16、和上升壓緊第一密封件3時(shí)，都會(huì)發(fā)出位置檢測(cè)信號(hào)，使控制效果更安全、可靠，能方便地進(jìn)行其他工序。其他的連接方式和結(jié)構(gòu)與實(shí)施例一相同。
[0045]以上所述的僅為本實(shí)用新型的優(yōu)選實(shí)施例，所述實(shí)施例并非用以限制本實(shí)用新型的專(zhuān)利保護(hù)范圍，因此凡是運(yùn)用本實(shí)用新型的說(shuō)明書(shū)及附圖內(nèi)容所作的等同結(jié)構(gòu)變化，同理均應(yīng)包含在本實(shí)用新型的保護(hù)范圍內(nèi)。
【權(quán)利要求】
1.一種半導(dǎo)體設(shè)備的微環(huán)境排氣控制裝置，包括集氣盒、氣動(dòng)閥、密封件，其特征在于，包括: 氣動(dòng)閥，其包括驅(qū)動(dòng)氣缸、螺桿和閥體； 設(shè)有上、下連接的二個(gè)集氣盒，其中，所述下集氣盒連通微環(huán)境，開(kāi)有微環(huán)境支排排氣孔；所述上集氣盒開(kāi)有設(shè)備主排排氣孔和氣動(dòng)閥閥體進(jìn)入孔；所述上、下集氣盒的連接面開(kāi)有貫通的微環(huán)境主排排氣孔；所述閥體進(jìn)入孔與所述微環(huán)境主排排氣孔同心設(shè)置； 氣缸支撐體，其為開(kāi)口部具有水平外延裙邊的環(huán)形凹槽結(jié)構(gòu)，所述凹槽與所述微環(huán)境主排排氣孔同心，且開(kāi)口部向下密封連接在所述氣動(dòng)閥的氣缸與上集氣盒之間；其中，所述凹槽的中心具有供氣動(dòng)閥螺桿穿過(guò)的孔，氣動(dòng)閥的氣缸外殼與凹槽的中心孔周?chē)砻孢B接，所述凹槽的裙邊與氣動(dòng)閥閥體進(jìn)入孔周?chē)纳霞瘹夂许敹嗣芊膺B接； 第一密封件，所述第一密封件中心具有供氣動(dòng)閥螺桿穿過(guò)的孔；其中，所述水平外延裙邊通過(guò)第一密封件與氣動(dòng)閥閥體進(jìn)入孔周?chē)乃錾霞瘹夂许敹讼喙探?，所述凹槽的底端與所述氣動(dòng)閥氣缸外殼的接觸面相固接；第一密封件中心孔的直徑大于螺桿直徑但小于閥體直徑。
2.如權(quán)利要求1所述的排氣控制裝置，其特征在于，所述第一密封件中心具有供氣動(dòng)閥螺桿穿過(guò)的孔，所述螺桿穿過(guò)同心設(shè)置的氣缸支撐體凹槽中心孔、第一密封件中心孔、閥體進(jìn)入孔，與設(shè)于上集氣盒內(nèi)的閥體相固接，第一密封件中心孔的直徑小于閥體直徑。
3.如權(quán)利要求1所述的排氣控制裝置，其特征在于，所述氣缸支撐體凹槽的底端與所述氣動(dòng)閥氣缸的接觸面通過(guò)螺釘連接，所述凹槽的深度大于所述螺釘安裝后在凹槽內(nèi)的露出高度。
4.如權(quán)利要求1所述的排氣控制裝置，其特征在于，所述氣缸支撐體凹槽的開(kāi)口最大尺寸小于氣動(dòng)閥的閥體直徑。
5.如權(quán)利要求1或2所述的排氣控制裝置，其特征在于，所述螺桿一端與氣動(dòng)閥驅(qū)動(dòng)氣缸的缸桿端部螺紋連接，另一端與閥體中心的盲孔螺紋連接或焊接。
6.如權(quán)利要求1或2所述的排氣控制裝置，其特征在于，所述螺桿一端與氣動(dòng)閥驅(qū)動(dòng)氣缸的缸桿端部螺紋連接，另一端與閥體中心的盲孔螺紋連接或焊接，所述氣缸支撐體凹槽中心和第一密封件中心具有供氣動(dòng)閥螺桿和與螺桿連接的驅(qū)動(dòng)氣缸缸桿穿過(guò)的孔。
7.如權(quán)利要求1所述的排氣控制裝置，其特征在于，所述閥體底面設(shè)有第二密封件。
8.如權(quán)利要求1?4任意一項(xiàng)所述的排氣控制裝置，其特征在于，所述氣缸支撐體的凹槽及其水平外延裙邊的外形為環(huán)形或矩形。
9.如權(quán)利要求1所述的排氣控制裝置，其特征在于，所述氣缸支撐體包括上、下連接的二個(gè)氣缸支撐板，氣動(dòng)閥的氣缸通過(guò)所述二個(gè)相互連接的氣缸支撐板與上集氣盒連接；其中，上氣缸支撐板與氣動(dòng)閥的氣缸固定連接，上氣缸支撐板的兩側(cè)各設(shè)有通孔，通過(guò)螺釘與下氣缸支撐板的對(duì)應(yīng)盲孔螺紋連接，上氣缸支撐板通過(guò)其通孔下方的螺母與所述螺釘緊固連接；下氣缸支撐板通過(guò)第一密封件與氣動(dòng)閥閥體進(jìn)入孔周?chē)乃錾霞瘹夂许敹讼喙探?；所述上、下氣缸支撐板中心具有供氣?dòng)閥螺桿和與螺桿連接的驅(qū)動(dòng)氣缸缸桿穿過(guò)的孔，并與微環(huán)境主排排氣孔同心。
10.如權(quán)利要求1?4及8任意一項(xiàng)所述的排氣控制裝置，其特征在于，所述氣動(dòng)閥的氣缸設(shè)有位置檢測(cè)磁性開(kāi)關(guān)。
【文檔編號(hào)】F16K11/04GK203641568SQ201420013527
【公開(kāi)日】2014年6月11日 申請(qǐng)日期:2014年1月9日 優(yōu)先權(quán)日:2014年1月9日
【發(fā)明者】劉紅麗, 王麗榮, 宋新豐 申請(qǐng)人:北京七星華創(chuàng)電子股份有限公司