靜壓氣體軸承的制作方法
【專利摘要】本實(shí)用新型提供一種謀求小型化、輕量化以及低成本的靜壓氣體軸承。在軸承襯墊（9a）以及（9b）的軸承面（51）上設(shè)有真空吸附用槽（19）。使基于來自軸承襯墊（9a）的軸承面（51）的壓縮空氣噴出而產(chǎn)生的垂直方向上的浮起力、和基于由真空吸附用槽（19）的真空吸引而產(chǎn)生的垂直方向上的真空吸附力及軸承襯墊（9a、9b）的重力取得平衡，由此在垂直方向上支承軸承襯墊（9a），并使基于來自軸承襯墊（9b）的軸承面（51）的壓縮空氣噴出而產(chǎn)生的水平方向上的浮起力、和基于由真空吸附槽（19）的真空吸引而產(chǎn)生的水平方向上的真空吸附力取得平衡，由此將軸承襯墊（9b）在水平方向上支承。
【專利說明】靜壓氣體軸承
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001 ] 本實(shí)用新型涉及例如使用在精密直線引導(dǎo)中的靜壓氣體軸承。
【背景技術(shù)】
[0002]在以往的使用這種靜壓氣體軸承的軸承裝置中，在棱柱狀的固定體b上，隔著軸承間隙c而外插有棱筒狀的可動體d。
[0003]可動體d具有與固定體b的上下左右側(cè)面隔著軸承間隙c相對配置的上下左右的軸承襯墊e?h,具有軸承襯墊e?h和固定體b的靜壓氣體軸承配設(shè)在固定體b的上下左右四處。
[0004]在各軸承襯墊e?h的內(nèi)部，形成有從外部經(jīng)由空氣導(dǎo)管i等供給壓縮空氣的供給孔j。向供給孔j供給的壓縮空氣經(jīng)由設(shè)在各軸承襯墊e?h上的多孔質(zhì)材料k而向軸承間隙c噴出，由此，在軸承間隙c中形成有空氣膜而使可動體d以非接觸的方式被支承。
[0005]在該情況下，對于可動體d的垂直以及水平方向的支承，在向上方浮起的上側(cè)軸承襯墊e和向下方浮起的下側(cè)軸承襯墊f之間取得沿上下方向的浮起平衡而在垂直方向上支承可動體d，并且，在向左方浮起的左側(cè)軸承襯墊g和向右方浮起的右側(cè)軸承襯墊h之間取得沿左右方向的浮起平衡而在水平方向上支承可動體d。
實(shí)用新型內(nèi)容
[0006]由于在垂直以及水平方向上支承可動體d時，上下左右共四個軸承襯墊e?h是必需的，所以裝置的小型化、輕量化以及低成本化極其困難。本實(shí)用新型是為了消除這些不良情況而做出的，其目的是提供一種能夠?qū)崿F(xiàn)小型化、輕量化以及低成本化的靜壓氣體軸承。
[0007]為了解決上述課題，本申請?zhí)峁┤缦录夹g(shù)方案。
[0008](I) 一種靜壓氣體軸承，其特征在于，具有固定體和軸承襯墊，該軸承襯墊具有與設(shè)在該固定體上的平面狀的引導(dǎo)面隔著軸承間隙相對的平面狀的軸承面，在所述軸承面上設(shè)有對所述軸承間隙噴出壓縮氣體的壓縮氣體噴出部、和吸引固定體的真空吸附部。
【專利附圖】

【附圖說明】
[0009]圖1是本實(shí)用新型的靜壓氣體軸承的一例。
[0010]附圖標(biāo)記說明
[0011]I靜壓氣體軸承
[0012]4固定體
[0013]5支承臺(可動體)
[0014]9a、9b軸承襯墊
[0015]10軸承外殼
[0016]11軸承間隙[0017]12多孔質(zhì)材料
[0018]15,22空氣導(dǎo)管
[0019]16空氣壓縮機(jī)
[0020]19真空吸附用槽(真空吸附部)
[0021]23真空泵
[0022]50引導(dǎo)面
[0023]51軸承面
【具體實(shí)施方式】
[0024]圖1是用于說明作為本實(shí)用新型的實(shí)施方式的一例的靜壓氣體軸承的說明圖。
[0025]使用該靜壓氣體軸承的軸承裝置I具有通過螺栓3等固定在基臺2上的棱柱狀且直線導(dǎo)軌狀的固定體4、和安裝有軸承襯墊9a、9b的支承臺(可動體)5,該軸承襯墊9a、9b經(jīng)由軸承間隙11而被設(shè)在固定體4上的平面狀的引導(dǎo)面50直線引導(dǎo)。支承臺5具有與固定體4的上側(cè)以及左側(cè)面分別隔著規(guī)定的間隔而相對配置的四邊形板狀的襯墊安裝部6、7，上側(cè)的襯墊安裝部6的左端部和左側(cè)的襯墊安裝部7的上端部一體地連結(jié)而使截面大致成為 < 字狀。
[0026]在襯墊安裝部6的朝向固定體4的上側(cè)面的部分、以及襯墊安裝部7的朝向固定體4的左側(cè)面的部分上，分別安裝有軸承襯墊9a以及％。
[0027]軸承襯墊9a (9b)具有圓形形狀的軸承外殼10，該軸承外殼10與固定體4的引導(dǎo)面50即上側(cè)面(左側(cè)面)隔著軸承間隙11而相對配置。在軸承外殼10的中央部大致同心地埋入有圓板狀的多孔質(zhì)材料12，軸承外殼10以及多孔質(zhì)材料12的向著固定體4的引導(dǎo)面50的相對面成為平面狀的軸承面51。固定體4的引導(dǎo)面50隔著軸承間隙11而與軸承襯墊9a、9b的軸承面51相對，另外，在該多孔質(zhì)材料12上連通有空氣供給孔13的一端。空氣供給孔13的另一端與形成在支承臺5上的空氣導(dǎo)入孔14連通，在該空氣導(dǎo)入孔14上經(jīng)由空氣導(dǎo)管15而連接有作為壓縮空氣源的空氣壓縮機(jī)16。
[0028]通過該空氣壓縮機(jī)16的驅(qū)動，壓縮空氣經(jīng)由空氣導(dǎo)管15、空氣導(dǎo)入孔14以及空氣供給孔13而供給至多孔質(zhì)材料12，然后，經(jīng)由該多孔質(zhì)材料12內(nèi)的微細(xì)氣孔以壓縮至適當(dāng)?shù)膲毫Φ臓顟B(tài)，從軸承襯墊9a、9b的軸承面51向軸承間隙11噴出，由此，在軸承間隙11中形成有空氣膜而對軸承襯墊9a施加垂直方向上的浮起力，并且，對軸承襯墊9b施加水平方向上的浮起力。因此，在軸承襯墊9a、9b的軸承面51上設(shè)有壓縮氣體噴出部。
[0029]此外，在軸承襯墊9a、9b的軸承面51上，在與多孔質(zhì)材料12鄰接的周圍設(shè)有將從多孔質(zhì)材料12噴出的空氣向外部排出的環(huán)狀的排氣槽17，在排氣槽17上連通有排氣通路18的一端。該排氣通路18的另一端向外部開放，從多孔質(zhì)材料12向軸承間隙11噴出的壓縮空氣從排氣槽17經(jīng)由排氣通路18而排出至外部。
[0030]在軸承襯墊9a、9b的軸承面51上，與排氣槽17相比在半徑方向外側(cè)且與排氣槽17隔開適當(dāng)間隔地形成有環(huán)狀的真空吸附用槽(真空吸附部)19，在該真空吸附用槽19上連通有真空吸引孔20的一端。
[0031]因此，在軸承襯墊9a、9b的軸承面51上設(shè)有吸引固定體4的真空吸附部。真空吸附孔20的另一端與形成在支承臺5上的空氣導(dǎo)出孔21連通，在該空氣導(dǎo)出孔21上經(jīng)由空氣導(dǎo)管22而連接有作為真空源的真空泵23。
[0032]通過該真空泵23的驅(qū)動，軸承間隙11內(nèi)的空氣經(jīng)由真空吸附用槽19、真空吸引孔20、空氣導(dǎo)出孔21以及空氣導(dǎo)管22而被真空吸引，由此，在軸承間隙11中產(chǎn)生負(fù)壓而對軸承襯墊9a施加垂直方向上的吸附力，并且，對軸承襯墊9b施加水平方向上的吸附力。
[0033]而且，通過例如夾裝在空氣壓縮機(jī)16側(cè)的配管系統(tǒng)中的未圖示的壓力調(diào)整閥等，對如下的力進(jìn)行平衡調(diào)整以形成適當(dāng)?shù)母∑鹆?，該力是基于來自軸承襯墊9a的軸承面51的壓縮空氣噴出而產(chǎn)生的該軸承襯墊9a的垂直方向上的浮起力、和將支承臺5以及軸承襯墊9a、9b的重力與基于由真空吸附用槽19的真空吸引而產(chǎn)生的軸承襯墊9a的垂直方向上的真空吸附力相加而所得的力，由此，沿垂直方向限制支承臺5，并且，與上述同樣地通過壓力調(diào)整閥等，對基于來自軸承襯墊9b的軸承面51的壓縮空氣噴出而產(chǎn)生的該軸承襯墊9b的水平方向上的浮起力、和基于由真空吸附用槽19的真空吸引而產(chǎn)生的軸承襯墊9b的水平方向上的真空吸附力進(jìn)行平衡調(diào)整以形成適當(dāng)?shù)母∑鹆?，由此，將支承臺5沿水平方向支承。
[0034]這樣，在本實(shí)施方式中，由于能夠僅通過兩個軸承襯墊9a以及9b來將支承臺5在垂直方向以及水平方向上支承，所以，與以往相比，能夠?qū)⑤S承襯墊的數(shù)量減至一半，該結(jié)果為，能夠謀求裝置I的輕量化、小型化以及低成本化，而且，由于固定體4的要求高精度的引導(dǎo)面50也削減至一半，所以，能夠謀求裝置I成本的大幅降低。
[0035]作為實(shí)用新型的效果，從上述說明可知，在本實(shí)用新型中，由于軸承襯墊即使僅為一個，也能夠沿垂直方向以及水平方向等進(jìn)行支承，所以，使用了本申請實(shí)用新型的靜壓氣體軸承的軸承裝置能夠?qū)⑤S承襯墊的數(shù)量減至一半，該結(jié)果為，能夠謀求裝置的輕量化、小型化以及低成本化，而且，由于固定體的要求高精度的引導(dǎo)面也削減至一半，所以，能夠謀求裝置成本的大幅降低。
【權(quán)利要求】
1.一種靜壓氣體軸承，其特征在于，具有固定體和軸承襯墊，該軸承襯墊具有與設(shè)在該固定體上的平面狀的引導(dǎo)面隔著軸承間隙相對的平面狀的軸承面，在所述軸承面上設(shè)有對所述軸承間隙噴出壓縮氣體的壓縮氣體噴出部、和吸引固定體的真空吸附部。
【文檔編號】F16C32/06GK203743208SQ201420069440
【公開日】2014年7月30日 申請日期:2014年2月18日 優(yōu)先權(quán)日:2014年2月18日
【發(fā)明者】佐藤俊德 申請人:日本精工株式會社