電控流量閥的制作方法
【專利摘要】本實用新型涉及一種電控流量閥，流量閥的進液接口和出液接口分別與進液管和出液管連接，所述的出液管上安裝有流量計，所述的流量閥安裝在電機座上，用于控制流量閥的開合度的電機也安裝在電機座上，電機的驅(qū)動軸通過連接套與流量閥的閥桿連接，檢測電機驅(qū)動軸旋轉(zhuǎn)角度的旋轉(zhuǎn)編碼器安裝在電機上，流量計的信號輸出端及旋轉(zhuǎn)編碼器的信號輸出端分別與控制器的輸入/輸出端連接，控制器的控制端與電機連接。本實用新型結(jié)構(gòu)簡單，能精確控制流量閥開合度，使用維護成本低。
【專利說明】電控流量閥
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本實用新型涉及一種電控流量閥，屬于流量閥【技術(shù)領(lǐng)域】。
【背景技術(shù)】
[0002]半導(dǎo)體器件的化學(xué)腐蝕和清洗工藝中，通常采用硫酸和過氧化氫的混合液，即形成含硫的Piranha溶液先進行清洗。為提高清洗效果，分別對兩種清洗液進行加熱，再將加熱后的兩種清洗液在混合集成閥內(nèi)按一定比例混合后對半導(dǎo)體器件的基板進行清洗。故而需對藥劑的流量進行控制，通常藥劑的流量是由設(shè)置在管路上的流量閥進行控制。但流量閥其開合度通常是由人工控制，一方面造成藥劑流量控制不是精準，而且也費時。再則在化學(xué)腐蝕和清洗工藝中，不同的清洗工藝所使用藥劑的流量要求也不同，加之藥劑受管路中壓力的變化均會影響到其流量準確性，因此需要能精確控制藥劑流量的流量閥。目前現(xiàn)有的電控流量閥能達到精確控制流量的效果，但也存在著結(jié)構(gòu)非常復(fù)雜，造成使用和維護成本聞。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0003]本實用新型的目的是提供一種結(jié)構(gòu)簡單，能精確控制流量閥開合度，使用維護成本低的電控流量閥。
[0004]本實用新型為達到上述目的的技術(shù)方案是:一種電控流量閥，流量閥的進液接口和出液接口分別與進液管和出液管連接，其特征在于:所述的出液管上安裝有流量計，所述的流量閥安裝在電機座上，用于控制流量閥的開合度的電機也安裝在電機座上，電機的驅(qū)動軸通過連接套與流量閥的閥桿連接，檢測電機驅(qū)動軸旋轉(zhuǎn)角度的旋轉(zhuǎn)編碼器安裝在電機上，流量計的信號輸出端及旋轉(zhuǎn)編碼器的信號輸出端分別與控制器的輸入/輸出端連接，控制器的控制端與電機連接。
[0005]本實用新型將流量閥安裝在電機座上，同時電機安裝在電機座上，通過連接套將電機的驅(qū)動軸與流量閥的閥桿連接，能直接通過電機帶動閥桿的轉(zhuǎn)動，即控制流量閥的開合度而控制流量閥的流量，本實用新型通過旋轉(zhuǎn)編碼器監(jiān)測電機的旋轉(zhuǎn)角度，將流量計檢測的數(shù)據(jù)以及旋轉(zhuǎn)編碼器檢測的數(shù)據(jù)傳至控制器內(nèi)，控制器根據(jù)接收的數(shù)據(jù)而輸出信號以控制電機的動作，實現(xiàn)對流量閥開合度的精確控制，從而達到對藥劑流量的精確控制。本實用新型將電機和流量閥均安裝在電機座上，通過連接套將電機的驅(qū)動軸與流量閥的閥桿連接，結(jié)構(gòu)簡單，成本低，具有較好的維護性。
【專利附圖】

【附圖說明】
[0006]下面結(jié)合附圖對本實用新型的實施例作進一步的詳細描述。
[0007]圖1是本實用新型電控流量閥的結(jié)構(gòu)示意圖。
[0008]其中:I一旋轉(zhuǎn)編碼器，2 —電機，2-1—驅(qū)動軸，3—連接套，4一電機座，4-1 一連接板，5—流量閥，5-1—閥桿，6—進液管，7—出液管，8—流量計，9一控制器?！揪唧w實施方式】
[0009]見圖1所示，本實用新型的電控流量閥，流量閥5的進液接口和出液接口分別與進液管6和出液管7連接，出液管7上安裝有流量計8，通過流量計8檢測流過出液管7內(nèi)的
藥液量。
[0010]見圖1所示，本實用新型的流量閥5安裝在電機座4上，用于控制流量閥5的開合度的電機2安裝在電機座4上，本實用新型的電機2可采用步進電機，電機座4 一端安裝有連接板4-1，該連接板4-1安裝在電機座4上，流量閥5安裝在連接板4-1上，電機2連接在電機座4的另一端，連接套3設(shè)置在電機座4內(nèi)，方便將電機2和流量閥5安裝在電機座4上，具有較好的維護性能，而電機2的驅(qū)動軸2-1通過連接套3與流量閥5的閥桿5-1連接，電機2的驅(qū)動軸2-1設(shè)置在連接套3內(nèi)，安裝在連接套3上的緊固件頂在電機2的驅(qū)動軸2-1上，或本實用新型的連接套3通過鍵與電機2的驅(qū)動軸2-1連接，通過連接套3傳遞動力，而連接套3上設(shè)有U形槽口，流量閥5的閥桿5-1具有T形頭，閥桿5-1的T形頭設(shè)置在連接套3的U形槽口內(nèi)，通過電機2驅(qū)動閥桿5-1旋轉(zhuǎn)，而控制流量閥5的開合度。
[0011]見圖1所示，本實用新型用于檢測電機2的驅(qū)動軸2-1旋轉(zhuǎn)角度的旋轉(zhuǎn)編碼器I安裝在電機2上，流量計8的信號輸出端及旋轉(zhuǎn)編碼器I的信號輸出端分別與控制器9的輸入/輸出端連接，控制器9的控制端與電機2連接，本實用新型的控制器9可采用現(xiàn)有的微處理器，流量計8也將檢測到藥液實際流量信號輸至控制器9，控制器9對收數(shù)據(jù)進行運算和比較，并輸出脈沖信號，電機2接收脈沖信號，并根據(jù)脈沖信號值動作并帶動驅(qū)動軸2-1旋轉(zhuǎn)需要的角度，同時旋轉(zhuǎn)編碼器I檢測電機2的驅(qū)動軸2-1實際旋轉(zhuǎn)角度，并將檢測到的數(shù)據(jù)輸至控制器9，控制器9比較結(jié)果是否符合需求，如果未達預(yù)期值，控制器增加一個脈沖信號值控制電機2帶動閥桿5-1動作，最終使閥桿5-1的實際旋轉(zhuǎn)角度達到預(yù)設(shè)標準，從而實現(xiàn)對流量閥5開合度的精確控制。
【權(quán)利要求】
1.一種電控流量閥，流量閥(5 )的進液接口和出液接口分別與進液管(6 )和出液管(7 )連接，其特征在于:所述的出液管(7 )上安裝有流量計(8 )，所述的流量閥(5 )安裝在電機座(4)上，用于控制流量閥(5)的開合度的電機(2)安裝在電機座(4)上，電機(2)的驅(qū)動軸(2-1)通過連接套(3)與流量閥(5)的閥桿(5-1)連接，檢測電機(2)的驅(qū)動軸(2-1)旋轉(zhuǎn)角度的旋轉(zhuǎn)編碼器(I)安裝在電機(2)上，流量計(8)的信號輸出端及旋轉(zhuǎn)編碼器(I)的信號輸出端分別與控制器(9)的輸入/輸出端連接，控制器(9)的控制端與電機(2)連接。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的電控流量閥，其特征在于:所述的電機座(4)一端安裝有連接板(4-1)，流量閥(5)安裝在連接板(4-1)上，電機(2)連接在電機座(4)的另一端，連接套(3)設(shè)置在電機座(4)內(nèi)。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的電控流量閥，其特征在于:所述連接套(3)上設(shè)有U形槽口，流量閥(5)的閥桿(5-1)具有T形頭，且閥桿(5-1)的T形頭設(shè)置在連接套(3)的U形槽口內(nèi)。
【文檔編號】F16K31/04GK203770796SQ201420090347
【公開日】2014年8月13日 申請日期:2014年2月28日 優(yōu)先權(quán)日:2014年2月28日
【發(fā)明者】鄔治國, 金輝 申請人:常州瑞擇微電子科技有限公司