一種控制腔室間狹縫開(kāi)關(guān)的閥門(mén)裝置制造方法
【專利摘要】本實(shí)用新型提供一種控制腔室間狹縫開(kāi)關(guān)的閥門(mén)裝置，所述閥門(mén)裝置至少包括：用于測(cè)量所述第一腔室內(nèi)部壓力的第一壓力計(jì)；用于測(cè)量所述第二腔室的第二壓力計(jì)；用于比較所述第一腔室和第二腔室內(nèi)部壓力是否相等、之后輸出控制信號(hào)的壓力信號(hào)處理器，該壓力信號(hào)處理器的輸入端與所述第一壓力計(jì)和第二壓力計(jì)相連接的；用于開(kāi)啟和關(guān)閉所述狹縫的閥門(mén)，該閥門(mén)與所述壓力信號(hào)處理器的輸出端相連接并接收所述壓力信號(hào)處理器輸出的控制信號(hào)；當(dāng)所述第一腔室和第二腔室內(nèi)部壓力相等時(shí)，所述閥門(mén)接收到所述壓力信號(hào)處理器輸出的開(kāi)啟的控制信號(hào)，從而將閥門(mén)打開(kāi)；當(dāng)所述第一腔室和第二腔室內(nèi)部壓力不相等時(shí)，所述閥門(mén)接收到所述壓力信號(hào)處理器輸出的關(guān)閉的控制信號(hào)，從而保持閥門(mén)關(guān)閉。
【專利說(shuō)明】一種控制腔室間狹縫開(kāi)關(guān)的閥門(mén)裝置
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本實(shí)用新型屬于半導(dǎo)體制造【技術(shù)領(lǐng)域】，設(shè)計(jì)一種狹縫閥門(mén)裝置，特別是涉及一種控制腔室間狹縫開(kāi)關(guān)的閥門(mén)裝置。
【背景技術(shù)】
[0002]在半導(dǎo)體制造工藝中，通常將真空腔室(如加載鎖定、傳送裝置、處理腔室)排置為群集式、直列式或群集式/直列式的組合，以處理晶圓。這些系統(tǒng)可以采用單一基板或批式基板的方式來(lái)處理晶圓。在處理過(guò)程中，晶圓會(huì)在腔室之間傳送，比如從傳送室將晶圓傳遞到工藝室，所述腔室內(nèi)必須維持或建立真空。為了允許晶圓進(jìn)入腔室內(nèi)部，并能夠進(jìn)行真空操作，通常在腔室與腔室之間的壁上穿設(shè)形狀為狹縫的開(kāi)口，用以容納并傳遞待處理的晶圓。
[0003]在真空腔室與真空腔室之間的各界面，可存在有狹縫閥組件。狹縫閥門(mén)為可移動(dòng)地致動(dòng)，以開(kāi)啟或關(guān)閉狹縫閥通道。當(dāng)開(kāi)啟狹縫閥通道時(shí)，可允許一或多個(gè)晶圓通過(guò)所述狹縫而傳送于兩真空腔室之間。當(dāng)狹縫閥門(mén)將狹縫閥通道關(guān)閉時(shí)，晶圓則無(wú)法通過(guò)狹縫閥通道而于二真空腔室之間傳送，且二真空腔室為彼此隔離。舉例來(lái)說(shuō)，真空腔室的中的一個(gè)真空腔室為處理腔室，而所述處理腔室需與其它腔室(例如其它處理腔室或傳送腔室)隔離。
[0004]如圖1和圖2所示為現(xiàn)有技術(shù)中控制腔室間狹縫開(kāi)關(guān)的閥門(mén)裝置，該裝置呈現(xiàn)活塞形狀，當(dāng)機(jī)臺(tái)需要做定期維護(hù)時(shí)，等兩邊的傳送腔IA和工藝腔2A的壓力相等，只需要按下系統(tǒng)的設(shè)置按鈕，活塞狀的閥門(mén)4A就會(huì)縮回，打開(kāi)狹縫3A，見(jiàn)圖1 ;當(dāng)機(jī)臺(tái)進(jìn)行正常的工藝時(shí)，閥門(mén)4A伸長(zhǎng)，與狹縫3A貼合，使兩側(cè)的腔室隔離，見(jiàn)圖2。但是，當(dāng)工藝進(jìn)程出現(xiàn)突發(fā)情況時(shí)，往往兩邊腔室的壓力并不相等，系統(tǒng)設(shè)置的按鈕此時(shí)并不起作用，這時(shí)，一般會(huì)使用到D1開(kāi)關(guān)閥門(mén)，該D1開(kāi)關(guān)閥門(mén)是手動(dòng)部件，并不能檢測(cè)兩邊腔室的壓力是否相等，當(dāng)腔室壓力不相等時(shí)啟動(dòng)DOI開(kāi)關(guān)閥門(mén)，會(huì)導(dǎo)致機(jī)臺(tái)做出錯(cuò)誤動(dòng)作，使腔室的晶圓遭受損壞，降低晶圓的產(chǎn)率。
[0005]因此，提供一種新型的控制腔室間狹縫開(kāi)關(guān)的閥門(mén)裝置實(shí)屬必要。
實(shí)用新型內(nèi)容
[0006]鑒于以上所述現(xiàn)有技術(shù)的缺點(diǎn)，本實(shí)用新型的目的在于提供一種控制腔室間狹縫開(kāi)關(guān)的閥門(mén)裝置，用于解決現(xiàn)有技術(shù)中閥門(mén)裝置誤操作導(dǎo)致工藝中的晶圓遭受損壞的問(wèn)題。
[0007]為實(shí)現(xiàn)上述目的及其他相關(guān)目的，本實(shí)用新型提供一種控制腔室間狹縫開(kāi)關(guān)的閥門(mén)裝置，所述腔室包括第一腔室和第二腔室，所述第一腔室與第二腔室之間的腔壁上設(shè)置有狹縫，所述閥門(mén)裝置至少包括:
[0008]用于測(cè)量所述第一腔室內(nèi)部壓力的第一壓力計(jì)；
[0009]用于測(cè)量所述第二腔室內(nèi)部壓力的第二壓力計(jì)；
[0010]用于比較所述第一腔室和第二腔室內(nèi)部壓力是否相等、之后輸出控制信號(hào)的壓力信號(hào)處理器，該壓力信號(hào)處理器的輸入端與所述第一壓力計(jì)和第二壓力計(jì)相連接的；
[0011]用于開(kāi)啟和關(guān)閉所述狹縫的閥門(mén)，該閥門(mén)與所述壓力信號(hào)處理器的輸出端相連接并接收所述壓力信號(hào)處理器輸出的控制信號(hào)；當(dāng)所述第一腔室和第二腔室內(nèi)部壓力相等時(shí)，所述閥門(mén)接收到所述壓力信號(hào)處理器輸出的開(kāi)啟的控制信號(hào)，從而將閥門(mén)打開(kāi)；當(dāng)所述第一腔室和第二腔室內(nèi)部壓力不相等時(shí)，所述閥門(mén)接收到所述壓力信號(hào)處理器輸出的關(guān)閉的控制信號(hào)，從而保持閥門(mén)關(guān)閉。
[0012]作為本實(shí)用新型控制腔室間狹縫開(kāi)關(guān)的閥門(mén)裝置的一種優(yōu)化的結(jié)構(gòu)，所述閥門(mén)至少包括結(jié)構(gòu):
[0013]閥門(mén)外殼，其內(nèi)部為空腔，所述空腔被一隔板分為上腔體和下腔體；所述隔板上設(shè)置有連通所述上腔體和下腔體的第一孔；所述上腔體的上壁具有與所述第一孔對(duì)應(yīng)第二孔；
[0014]電磁體，通過(guò)伸縮件與上腔體兩側(cè)的內(nèi)壁相連接；
[0015]閥門(mén)桿，穿過(guò)所述第一孔和第二孔上下移動(dòng)；所述閥門(mén)桿一端位于所述下腔體內(nèi)、另一端正對(duì)于所述狹縫；所述閥門(mén)桿上設(shè)置有卡持結(jié)構(gòu)；當(dāng)所述閥門(mén)桿密封狹縫時(shí)，所述卡持結(jié)構(gòu)處于上腔體中并由所述電磁體卡持固定。
[0016]作為本實(shí)用新型控制腔室間狹縫開(kāi)關(guān)的閥門(mén)裝置的一種優(yōu)化的結(jié)構(gòu)，所述壓力信號(hào)處理器包括:信號(hào)處理單元、主控單元、控制信號(hào)輸出單元、信號(hào)指示燈和電源；
[0017]所述信號(hào)處理單元的輸入端和所述第一壓力計(jì)、第二壓力計(jì)相連接；
[0018]所述信號(hào)處理單元的輸入端和所述第一壓力計(jì)、第二壓力計(jì)相連接；
[0019]所述信號(hào)處理單元的輸出端與所述主控單元的輸入端相連接；
[0020]所述主控單元的輸出端與控制信號(hào)輸出單元及信號(hào)指示燈相連接。
[0021]作為本實(shí)用新型控制腔室間狹縫開(kāi)關(guān)的閥門(mén)裝置的一種優(yōu)化的結(jié)構(gòu)，所述閥門(mén)桿正對(duì)于狹縫的一端的端面上具有密封所述狹縫的密封圈。
[0022]作為本實(shí)用新型控制腔室間狹縫開(kāi)關(guān)的閥門(mén)裝置的一種優(yōu)化的結(jié)構(gòu)，所述閥門(mén)桿
呈“工”字形狀。
[0023]作為本實(shí)用新型控制腔室間狹縫開(kāi)關(guān)的閥門(mén)裝置的一種優(yōu)化的結(jié)構(gòu)，所述伸縮件為彈黃。
[0024]作為本實(shí)用新型控制腔室間狹縫開(kāi)關(guān)的閥門(mén)裝置的一種優(yōu)化的結(jié)構(gòu)，所述閥門(mén)外殼的側(cè)壁上設(shè)置有使閥門(mén)桿開(kāi)啟或關(guān)閉的給氣裝置。
[0025]作為本實(shí)用新型控制腔室間狹縫開(kāi)關(guān)的閥門(mén)裝置的一種優(yōu)化的結(jié)構(gòu)，所述第一腔室為晶圓傳送腔。
[0026]作為本實(shí)用新型控制腔室間狹縫開(kāi)關(guān)的閥門(mén)裝置的一種優(yōu)化的結(jié)構(gòu)，所述第二腔室為工藝腔，所述工藝腔中設(shè)置有用于放置待處理晶圓的工藝臺(tái)。
[0027]如上所述，本實(shí)用新型的控制腔室間狹縫開(kāi)關(guān)的閥門(mén)裝置，所述閥門(mén)裝置至少包括:用于測(cè)量所述第一腔室內(nèi)部壓力的第一壓力計(jì)；用于測(cè)量所述第二腔室內(nèi)部壓力的第二壓力計(jì)；用于比較所述第一腔室和第二腔室內(nèi)部壓力是否相等、之后輸出控制信號(hào)的壓力信號(hào)處理器，該壓力信號(hào)處理器的輸入端與所述第一壓力計(jì)和第二壓力計(jì)相連接的；用于開(kāi)啟和關(guān)閉所述狹縫的閥門(mén)，該閥門(mén)與所述壓力信號(hào)處理器的輸出端相連接并接收所述壓力信號(hào)處理器輸出的控制信號(hào)；當(dāng)所述第一腔室和第二腔室內(nèi)部壓力相等時(shí)，所述閥門(mén)接收到所述壓力信號(hào)處理器輸出的開(kāi)啟的控制信號(hào)，從而將閥門(mén)打開(kāi)；當(dāng)所述第一腔室和第二腔室內(nèi)部壓力不相等時(shí)，所述閥門(mén)接收到所述壓力信號(hào)處理器輸出的關(guān)閉的控制信號(hào)，從而保持閥門(mén)關(guān)閉。
【專利附圖】
【附圖說(shuō)明】
[0028]圖1為現(xiàn)有技術(shù)中的控制腔室間狹縫開(kāi)關(guān)的閥門(mén)裝置將狹縫打開(kāi)的示意圖。
[0029]圖2為現(xiàn)有技術(shù)中的控制腔室間狹縫開(kāi)關(guān)的閥門(mén)裝置將閥門(mén)關(guān)閉的示意圖。
[0030]圖3為本實(shí)用新型的控制腔室間狹縫開(kāi)關(guān)的閥門(mén)裝置的整體連接關(guān)系示意圖。
[0031]圖4為本實(shí)用新型的控制腔室間狹縫開(kāi)關(guān)的閥門(mén)裝置中壓力信號(hào)處理器內(nèi)部的連接關(guān)系不意圖。
[0032]圖5為本實(shí)用新型的控制腔室間狹縫開(kāi)關(guān)的閥門(mén)裝置中閥門(mén)外殼的結(jié)構(gòu)示意圖。
[0033]圖6為本實(shí)用新型的控制腔室間狹縫開(kāi)關(guān)的閥門(mén)裝置中電磁體與閥門(mén)桿脫離的結(jié)構(gòu)示意圖。
[0034]圖7為本實(shí)用新型的控制腔室間狹縫開(kāi)關(guān)的閥門(mén)裝置中電磁體與閥門(mén)桿卡持固定的結(jié)構(gòu)示意圖。
[0035]元件標(biāo)號(hào)說(shuō)明
[0036]IA晶圓傳送腔
[0037]2A 工藝腔
[0038]3A 狹縫
[0039]4，4A 閥門(mén)
[0040]401閥門(mén)外殼
[0041]402 隔板
[0042]403上腔體
[0043]404下腔體
[0044]405 第一孔
[0045]406 第二孔
[0046]407電磁體
[0047]408伸縮件
[0048]409閥門(mén)桿
[0049]410卡持結(jié)構(gòu)
[0050]411密封圈
[0051]412給氣裝置
【具體實(shí)施方式】
[0052]以下由特定的具體實(shí)施例說(shuō)明本實(shí)用新型的實(shí)施方式，熟悉此技術(shù)的人士可由本說(shuō)明書(shū)所揭露的內(nèi)容輕易地了解本實(shí)用新型的其他優(yōu)點(diǎn)及功效。
[0053]請(qǐng)參閱附圖。須知，本說(shuō)明書(shū)所附圖式所繪示的結(jié)構(gòu)、比例、大小等，均僅用以配合說(shuō)明書(shū)所揭示的內(nèi)容，以供熟悉此技術(shù)的人士了解與閱讀，并非用以限定本實(shí)用新型可實(shí)施的限定條件，故不具技術(shù)上的實(shí)質(zhì)意義，任何結(jié)構(gòu)的修飾、比例關(guān)系的改變或大小的調(diào)整，在不影響本實(shí)用新型所能產(chǎn)生的功效及所能達(dá)成的目的下，均應(yīng)仍落在本實(shí)用新型所揭示的技術(shù)內(nèi)容得能涵蓋的范圍內(nèi)。同時(shí)，本說(shuō)明書(shū)中所引用的如“上”、“下”、“左”、“右”、“中間”及“一”等的用語(yǔ)，亦僅為便于敘述的明了，而非用以限定本實(shí)用新型可實(shí)施的范圍，其相對(duì)關(guān)系的改變或調(diào)整，在無(wú)實(shí)質(zhì)變更技術(shù)內(nèi)容下，當(dāng)亦視為本實(shí)用新型可實(shí)施的范疇。
[0054]如圖3所示，本實(shí)用新型提供一種控制腔室間狹縫開(kāi)關(guān)的閥門(mén)裝置，所述閥門(mén)裝置至少包括第一壓力計(jì)、第二壓力計(jì)、壓力信號(hào)處理器、以及閥門(mén)。
[0055]所述腔室包括第一腔室和第二腔室，所述第一腔室和第二腔室之間的腔壁上設(shè)置有狹縫，待處理的晶圓穿過(guò)該狹縫可以出入相鄰的兩個(gè)腔室之間。
[0056]具體地，所述第一腔室可以是傳送腔室，該傳送腔室中可以有傳送晶圓的裝置；所述第二腔室可以是工藝腔，所述工藝腔中設(shè)置有工藝臺(tái)，從傳送腔室中傳遞來(lái)的晶圓放置在工藝臺(tái)上進(jìn)行相應(yīng)的工藝。
[0057]所述第一壓力計(jì)與第一腔室相連，用于測(cè)量所述第一腔室的內(nèi)部壓力并將壓力信號(hào)轉(zhuǎn)化為電信號(hào)；所述第二壓力計(jì)與第二腔室相連，用于測(cè)量所述第二腔室的內(nèi)部壓力并將壓力信號(hào)轉(zhuǎn)化為電信號(hào)。
[0058]所述第一壓力計(jì)和第二壓力計(jì)將第一腔室和第二腔室壓力數(shù)值信號(hào)轉(zhuǎn)化為電信號(hào)后輸出給所述壓力信號(hào)處理器，該壓力信號(hào)處理器可以探測(cè)和分析從所述第一壓力計(jì)和第二壓力計(jì)輸出的電信號(hào)，并將控制信號(hào)輸出傳遞給閥門(mén)的電磁體，從而控制電磁體吸合或斷開(kāi)。
[0059]具體地，如圖4所示，所述壓力信號(hào)處理器包括信號(hào)處理單元、主控單元、控制信號(hào)輸出單元、信號(hào)指示燈，這些單元模塊被集成在一塊電路板上，當(dāng)然，還包括提供給整塊電路板的電源。
[0060]所述信號(hào)處理單元的輸入端和所述第一壓力計(jì)、第二壓力計(jì)相連接，用于接收從所述第一壓力計(jì)和第二壓力計(jì)傳遞來(lái)的電信號(hào)。
[0061]所述信號(hào)處理單元的輸出端與所述主控單元的輸入端相連接，所述主控單元的輸出端與控制信號(hào)輸出單元及信號(hào)指示燈相連接。所述主控單元中可以設(shè)定相應(yīng)的參數(shù)，以對(duì)第一腔室和第二腔室中的壓力作對(duì)比，對(duì)比之后，主控單元將該對(duì)比信號(hào)輸出傳遞給控制信號(hào)輸出單元，同時(shí)控制信號(hào)指示燈亮或不亮。所述控制信號(hào)輸出單元接收到信號(hào)后，控制閥門(mén)打開(kāi)或保持關(guān)閉。
[0062]所述閥門(mén)與所述壓力信號(hào)處理器的輸出端相連接并接收所述壓力信號(hào)處理器輸出的控制信號(hào)；當(dāng)所述第一腔室和第二腔室內(nèi)部壓力相等時(shí)，所述閥門(mén)接收到所述壓力信號(hào)處理器輸出的開(kāi)啟的控制信號(hào)，從而將閥門(mén)打開(kāi)；當(dāng)所述第一腔室和第二腔室內(nèi)部壓力不相等時(shí)，所述閥門(mén)接收到所述壓力信號(hào)處理器輸出的關(guān)閉的控制信號(hào)，從而保持閥門(mén)關(guān)閉。
[0063]具體地，如圖6和圖7所示，所述閥門(mén)4至少包括結(jié)構(gòu):閥門(mén)外殼401、電磁體407、閥門(mén)桿409。
[0064]如圖5所不,所述閥門(mén)外殼401的內(nèi)部為空腔,所述空腔被一隔板402分為上腔體403和下腔體404 ;所述隔板402上設(shè)置有連通所述上腔體403和下腔404體的第一孔405，所述上腔體403的上壁具有與所述第一孔405對(duì)應(yīng)第二孔406 ；
[0065]所述電磁體407通過(guò)伸縮件408與上腔體兩側(cè)的內(nèi)壁相連接。優(yōu)選地，所述伸縮件408可以是彈簧，當(dāng)然，所述伸縮件408也可以是其他能帶動(dòng)電磁體縮回的部件。
[0066]所述閥門(mén)桿409穿過(guò)所述第一孔405和第二孔406可以上下移動(dòng)，所述閥門(mén)桿409一端位于所述下腔體404內(nèi)、另一端正對(duì)于所述狹縫。進(jìn)一步地，所述閥門(mén)桿409呈“工”字型，工字型的一端處于下腔體404，另一端正對(duì)于所述狹縫。所述閥門(mén)桿409正對(duì)于狹縫的一端的形狀與所述狹縫的形狀一致。更進(jìn)一步地，所述閥門(mén)桿409正對(duì)于狹縫的一端的端面上具有密封所述狹縫的密封圈411。
[0067]需要說(shuō)明的是，所述閥門(mén)桿409上設(shè)置有卡持結(jié)構(gòu)410 ;當(dāng)所述閥門(mén)桿409密封狹縫時(shí)，所述卡持結(jié)構(gòu)410處于上腔體403中并由所述電磁體410卡持固定。如圖6和圖7所示，所述閥門(mén)桿409上設(shè)置有一段凹陷的卡持結(jié)構(gòu)410，該凹陷可以容納電磁體407，使電磁體407緊緊吸合，從而使閥門(mén)桿409無(wú)法沿軸向運(yùn)動(dòng)，確保閥門(mén)關(guān)閉，防止誤操作。
[0068]再需要說(shuō)明的是，所述閥門(mén)外殼401上側(cè)壁上設(shè)置有使閥門(mén)桿409開(kāi)啟或關(guān)閉的給氣裝置412。具體地，閥門(mén)側(cè)壁的上、下側(cè)各設(shè)置有一個(gè)給氣裝置412。當(dāng)?shù)玫介y門(mén)開(kāi)啟信號(hào)時(shí)，上側(cè)的給氣裝置往閥門(mén)中通入氣體，在氣體壓力下，閥門(mén)向下運(yùn)動(dòng)；當(dāng)?shù)玫介y門(mén)關(guān)閉信號(hào)時(shí)，下側(cè)的給氣裝置王閥門(mén)中通入氣體，在氣體壓力下，閥門(mén)被氣體頂住，閥門(mén)保持關(guān)閉。
[0069]總而言之，本發(fā)明提供的控制腔室間狹縫開(kāi)關(guān)的閥門(mén)裝置的工作原理如下:
[0070]利用壓力信號(hào)處理器接收第一壓力計(jì)和第二壓力計(jì)輸出的電信號(hào)；之后在壓力信號(hào)處理器中對(duì)兩個(gè)電信號(hào)進(jìn)行分析和對(duì)比；
[0071]若對(duì)比得到兩個(gè)腔室中的壓力不相等，壓力信號(hào)處理器則輸出給電信號(hào)，使閥門(mén)中的電磁體得電，電磁體得電后吸合，正好與閥門(mén)桿上的卡持結(jié)構(gòu)接觸卡持，進(jìn)而使閥門(mén)桿無(wú)法沿軸向向下運(yùn)動(dòng)，確保狹縫繼續(xù)保持關(guān)閉；
[0072]若對(duì)比得到兩個(gè)腔室中的壓力相等，壓力信號(hào)處理器則輸出失電信號(hào)，使閥門(mén)中的電磁體被彈簧拉回，與閥門(mén)桿上的卡持結(jié)構(gòu)脫離，進(jìn)而使閥門(mén)桿可以沿軸向向下運(yùn)動(dòng)，確保狹縫開(kāi)啟。
[0073]綜上所述，本實(shí)用新型提供一種控制腔室間狹縫開(kāi)關(guān)的閥門(mén)裝置，所述閥門(mén)裝置至少包括:用于測(cè)量所述第一腔室內(nèi)部壓力的第一壓力計(jì)；用于測(cè)量所述第二腔室內(nèi)部壓力的第二壓力計(jì)；用于比較所述第一腔室和第二腔室內(nèi)部壓力是否相等、之后輸出控制信號(hào)的壓力信號(hào)處理器，該壓力信號(hào)處理器的輸入端與所述第一壓力計(jì)和第二壓力計(jì)相連接的；用于開(kāi)啟和關(guān)閉所述狹縫的閥門(mén)，該閥門(mén)與所述壓力信號(hào)處理器的輸出端相連接并接收所述壓力信號(hào)處理器輸出的控制信號(hào)；當(dāng)所述第一腔室和第二腔室內(nèi)部壓力相等時(shí)，所述閥門(mén)接收到所述壓力信號(hào)處理器輸出的開(kāi)啟的控制信號(hào)，從而將閥門(mén)打開(kāi)；當(dāng)所述第一腔室和第二腔室內(nèi)部壓力不相等時(shí)，所述閥門(mén)接收到所述壓力信號(hào)處理器輸出的關(guān)閉的控制信號(hào)，從而保持閥門(mén)關(guān)閉。
[0074]所以，本實(shí)用新型有效克服了現(xiàn)有技術(shù)中的種種缺點(diǎn)而具高度產(chǎn)業(yè)利用價(jià)值。
[0075]上述實(shí)施例僅例示性說(shuō)明本實(shí)用新型的原理及其功效，而非用于限制本實(shí)用新型。任何熟悉此技術(shù)的人士皆可在不違背本實(shí)用新型的精神及范疇下，對(duì)上述實(shí)施例進(jìn)行修飾或改變。因此，舉凡所屬【技術(shù)領(lǐng)域】中具有通常知識(shí)者在未脫離本實(shí)用新型所揭示的精神與技術(shù)思想下所完成的一切等效修飾或改變，仍應(yīng)由本實(shí)用新型的權(quán)利要求所涵蓋。
【權(quán)利要求】
1.一種控制腔室間狹縫開(kāi)關(guān)的閥門(mén)裝置，所述腔室包括第一腔室和第二腔室，所述第一腔室與第二腔室之間的腔壁上設(shè)置有狹縫，其特征在于，所述閥門(mén)裝置至少包括: 用于測(cè)量所述第一腔室內(nèi)部壓力的第一壓力計(jì)； 用于測(cè)量所述第二腔室內(nèi)部壓力的第二壓力計(jì)； 用于比較所述第一腔室和第二腔室內(nèi)部壓力是否相等、之后輸出控制信號(hào)的壓力信號(hào)處理器，該壓力信號(hào)處理器的輸入端與所述第一壓力計(jì)和第二壓力計(jì)相連接的； 用于開(kāi)啟和關(guān)閉所述狹縫的閥門(mén)，該閥門(mén)與所述壓力信號(hào)處理器的輸出端相連接并接收所述壓力信號(hào)處理器輸出的控制信號(hào)；當(dāng)所述第一腔室和第二腔室內(nèi)部壓力相等時(shí)，所述閥門(mén)接收到所述壓力信號(hào)處理器輸出的開(kāi)啟的控制信號(hào)，從而將閥門(mén)打開(kāi)；當(dāng)所述第一腔室和第二腔室內(nèi)部壓力不相等時(shí)，所述閥門(mén)接收到所述壓力信號(hào)處理器輸出的關(guān)閉的控制信號(hào)，從而保持閥門(mén)關(guān)閉。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的控制腔室間狹縫開(kāi)關(guān)的閥門(mén)裝置，其特征在于:所述閥門(mén)至少包括結(jié)構(gòu): 閥門(mén)外殼，其內(nèi)部為空腔，所述空腔被一隔板分為上腔體和下腔體；所述隔板上設(shè)置有連通所述上腔體和下腔體的第一孔；所述上腔體的上壁具有與所述第一孔對(duì)應(yīng)第二孔； 電磁體，通過(guò)伸縮件與上腔體兩側(cè)的內(nèi)壁相連接； 閥門(mén)桿，穿過(guò)所述第一孔和第二孔上下移動(dòng)；所述閥門(mén)桿一端位于所述下腔體內(nèi)、另一端正對(duì)于所述狹縫；所述閥門(mén)桿上設(shè)置有卡持結(jié)構(gòu)；當(dāng)所述閥門(mén)桿密封狹縫時(shí)，所述卡持結(jié)構(gòu)處于上腔體中并由所述電磁體卡持固定。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的控制腔室間狹縫開(kāi)關(guān)的閥門(mén)裝置，其特征在于:所述壓力信號(hào)處理器包括:信號(hào)處理單元、主控單元、控制信號(hào)輸出單元、信號(hào)指示燈； 所述信號(hào)處理單元的輸入端和所述第一壓力計(jì)、第二壓力計(jì)相連接； 所述信號(hào)處理單元的輸出端與所述主控單元的輸入端相連接； 所述主控單元的輸出端與控制信號(hào)輸出單元及信號(hào)指示燈相連接。
4.根據(jù)權(quán)利要求2所述的控制腔室間狹縫開(kāi)關(guān)的閥門(mén)裝置，其特征在于:所述閥門(mén)桿正對(duì)于狹縫的一端的端面上具有密封所述狹縫的密封圈。
5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的控制腔室間狹縫開(kāi)關(guān)的閥門(mén)裝置，其特征在于:所述閥門(mén)桿呈“工”字形狀。
6.根據(jù)權(quán)利要求2所述的控制腔室間狹縫開(kāi)關(guān)的閥門(mén)裝置，其特征在于:所述伸縮件為彈黃。
7.根據(jù)權(quán)利要求2所述的控制腔室間狹縫開(kāi)關(guān)的閥門(mén)裝置，其特征在于:所述閥門(mén)外殼的側(cè)壁上設(shè)置有使閥門(mén)桿開(kāi)啟或關(guān)閉的給氣裝置。
8.根據(jù)權(quán)利要求1所述的控制腔室間狹縫開(kāi)關(guān)的閥門(mén)裝置，其特征在于:所述第一腔室為晶圓傳送腔。
9.根據(jù)權(quán)利要求1所述的控制腔室間狹縫開(kāi)關(guān)的閥門(mén)裝置，其特征在于:所述第二腔室為工藝腔，所述工藝腔中設(shè)置有用于放置待處理晶圓的工藝臺(tái)。
【文檔編號(hào)】F16K37/00GK203823223SQ201420231359
【公開(kāi)日】2014年9月10日 申請(qǐng)日期:2014年5月7日 優(yōu)先權(quán)日:2014年5月7日
【發(fā)明者】徐磊, 桂鯤, 袁洪, 張恒, 姜志磊 申請(qǐng)人:中芯國(guó)際集成電路制造(北京)有限公司