一種具有自檢功能的膠帶夾取裝置制造方法
【專利摘要】本實用新型公開了一種具有自檢功能的膠帶夾取裝置，包括一導(dǎo)軌、兩組夾頭組件以及鎖緊機構(gòu)，兩組所述夾頭組件分別固設(shè)于所述導(dǎo)軌的滑塊上，并依附所述導(dǎo)軌的滑塊移動，所述鎖緊機構(gòu)設(shè)于所述導(dǎo)軌上并用于鎖止所述夾頭組件，該膠帶夾取裝置還包括至少一對接觸式傳感器，每對所述接觸式傳感器沿導(dǎo)軌的中心對稱設(shè)置，經(jīng)一固定件固定于所述導(dǎo)軌的軌道上，且所述接觸式傳感器的感應(yīng)頭部朝向所述夾頭組件，所述接觸式傳感器電性連接于一控制器。本實用新型通過接觸式傳感器能夠自動檢測膠帶夾取裝置的所在定位點是否正確，并作出反饋提醒是否需要進(jìn)行調(diào)整，從而保證膠帶夾取裝置位于正確位置，進(jìn)而保證機臺不會出現(xiàn)撞機以及破片的現(xiàn)象。
【專利說明】一種具有自檢功能的膠帶夾取裝置

【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本實用新型涉及一種貼膠機，尤其涉及一種用于貼膠機上的具有自檢功能的膠帶夾取裝置，屬于IC (集成電路)測試領(lǐng)域。

【背景技術(shù)】
[0002]在目前實務(wù)作法中，在晶圓切割或研磨工藝之前會進(jìn)行晶圓貼片的步驟，亦即在晶圓(Wafer)的其中一面上貼附上一膠帶，例如藍(lán)膜(blue tape)，由此使切割出的晶?；蜓心ニ樾拣じ皆谀z帶上。
[0003]在上述制程基礎(chǔ)下所用的現(xiàn)有晶圓貼膠設(shè)備主要包括有機臺主體、晶圓載臺、滾壓機構(gòu)、膠帶夾取裝置以及切刀組，后四者皆架設(shè)在機臺主體上。膠帶夾取裝置用于夾取膠帶，并運動至位于其下方的晶圓載臺上，將膠帶覆蓋在晶圓的一面上，接著利用朝向該晶圓載臺設(shè)置的切刀組切斷膠帶，再利用滾壓機構(gòu)滾壓膠帶使其牢固地平貼于晶圓上。
[0004]上述貼膠機的膠帶夾取裝置可以根據(jù)晶圓的尺寸不同，貼附不同尺寸的膠帶，例如，貼膠機的膠帶夾取裝置可以調(diào)整8英寸或12英寸兩種作業(yè)寸別，以適應(yīng)不同晶圓的尺寸。該膠帶夾取裝置主要包括固設(shè)于機臺主體上的導(dǎo)軌以及分別設(shè)于所述導(dǎo)軌的滑塊上的兩組夾頭組件，通過滑塊可以分別移動兩組夾頭組件，并調(diào)整夾頭組件之間的距離以適應(yīng)膠帶的寸別。然而，膠帶夾取裝置的定位點在實際工作過程中通常會由于以下原因而出現(xiàn)錯誤或誤差:
[0005]1.由于設(shè)備在工作過程中會頻繁地發(fā)生震動，在受力的過程中夾頭組件會發(fā)生偏移，從而導(dǎo)致膠帶夾取裝置的定位點產(chǎn)生誤差；2.當(dāng)調(diào)整為另一種寸別的膠帶貼附晶圓時，需調(diào)整夾頭組件之間的距離，然而工作人員未將夾頭組件調(diào)整到準(zhǔn)確的位置點上；
3.由于人工調(diào)整的不當(dāng)或不精細(xì)而導(dǎo)致夾頭組件之間的距離存在誤差。
[0006]膠帶夾取裝置出現(xiàn)定位誤差或錯誤容易導(dǎo)致機臺撞機及破片現(xiàn)象，所以亟待解決這一技術(shù)問題。
實用新型內(nèi)容
[0007]為了解決上述技術(shù)問題，本實用新型的目的在于提供一種具有自檢功能的膠帶夾取裝置，其能夠自動偵測膠帶夾頭所在的位置，避免夾頭定位出現(xiàn)錯誤或誤差，保證了貼膠作業(yè)的順利進(jìn)行。
[0008]為了實現(xiàn)上述目的，本實用新型的技術(shù)方案如下:
[0009]一種具有自檢功能的膠帶夾取裝置，其應(yīng)用于晶圓貼膠機上，所述晶圓貼膠機包括機臺主體以及分別架設(shè)于所述機臺主體上的工件承載臺、滾壓機構(gòu)、切刀組以及該膠帶夾取裝置，該膠帶夾取裝置包括一導(dǎo)軌、兩組夾頭組件以及鎖緊機構(gòu)，兩組所述夾頭組件分別固設(shè)于所述導(dǎo)軌的滑塊上，并依附所述導(dǎo)軌的滑塊移動，所述鎖緊機構(gòu)設(shè)于所述導(dǎo)軌上并用于鎖止所述夾頭組件，該膠帶夾取裝置還包括至少一對接觸式傳感器，每對所述接觸式傳感器沿導(dǎo)軌的中心對稱設(shè)置，經(jīng)一固定件固定于所述導(dǎo)軌的軌道上，且所述接觸式傳感器的感應(yīng)頭部朝向所述夾頭組件，所述接觸式傳感器電性連接于一控制器。
[0010]作為本實用新型的優(yōu)選方案之一，所述固定件上設(shè)置有腰型孔，所述接觸式傳感器通過所述腰型孔可微調(diào)其在所述導(dǎo)軌的軌道上位置，并通過插設(shè)于腰型孔內(nèi)的螺絲固定于所述導(dǎo)軌的軌道上。
[0011]作為本實用新型的優(yōu)選方案之一，所述夾頭組件包括氣缸一，所述氣缸一的一側(cè)固設(shè)第一夾片，所述氣缸的伸縮桿上固設(shè)第二夾片，所述第一夾片和第二夾片上下夾合膠帶。
[0012]作為本實用新型的優(yōu)選方案之一，所述夾頭組件還包括氣缸二和氣缸三，所述氣缸一經(jīng)第一固定塊固定于所述氣缸二的一側(cè)，所述氣缸二帶動所述氣缸一上下運動，所述氣缸二經(jīng)第二固定塊固定于所述氣缸三上，所述氣缸三帶動所述氣缸二水平運動，且所述氣缸三固定于所述導(dǎo)軌的滑塊上。
[0013]作為本實用新型的優(yōu)選方案之一，所述鎖緊機構(gòu)包括一調(diào)節(jié)螺絲，所述調(diào)節(jié)螺絲穿設(shè)于所述導(dǎo)軌的滑塊上，其螺紋部于鎖止時抵住所述導(dǎo)軌的軌道。
[0014]通過以上技術(shù)方案，本實用新型提供的具有自檢功能的膠帶夾取裝置，通過接觸式傳感器能夠自動檢測膠帶夾取裝置的所在定位點是否正確，并作出反饋提醒是否需要進(jìn)行調(diào)整，從而保證膠帶夾取裝置位于正確位置，進(jìn)而保證機臺不會出現(xiàn)撞機以及破片的現(xiàn)象。

【專利附圖】

【附圖說明】
[0015]為了更清楚地說明本實用新型結(jié)構(gòu)特征和技術(shù)要點，下面結(jié)合附圖和【具體實施方式】對本實用新型進(jìn)行詳細(xì)說明。
[0016]圖1為本實用新型實施例所公開的具有自檢功能的膠帶夾取裝置的結(jié)構(gòu)示意圖；
[0017]圖2為本實用新型實施例所公開的膠帶夾取裝置的局部結(jié)構(gòu)示意圖；
[0018]圖3為本實用新型實施例所公開的貼膠機工作狀態(tài)的左視示意圖；
[0019]圖4為本實用新型實施例所公開的具有自檢功能的膠帶夾取裝置的夾頭組件調(diào)整至第二接觸式傳感器的結(jié)構(gòu)示意圖；
[0020]圖5為本實用新型實施例所公開的具有自檢功能的膠帶夾取裝置連接控制器的示意圖。
[0021]附圖標(biāo)記說明:1-機臺主體，2-工件承載臺，3-滾壓機構(gòu)，4-切刀組，5-膠帶夾取裝置，50-導(dǎo)軌，501-滑塊，502-軌道，51-夾頭組件，511-氣缸一，512-第一夾片，513-第二夾片，514-氣缸二，515-氣缸三，516-第一固定塊，517-第二固定塊，52-鎖緊機構(gòu)，53a-第一接觸式傳感器，53b-第二接觸式傳感器，531-感應(yīng)頭部，54-固定件，54a_腰型孔，6-控制器，7-警報器，8-膠帶。

【具體實施方式】
[0022]下面將結(jié)合本實施例中的附圖，對實施例中的技術(shù)方案進(jìn)行具體、清楚、完整地描述。
[0023]參見圖1-3所示，一種具有自檢功能的膠帶夾取裝置5，其應(yīng)用于晶圓貼膠機上，該晶圓貼膠機包括機臺主體I以及分別架設(shè)于機臺主體I上的工件承載臺2、滾壓機構(gòu)3、切刀組4以及該膠帶夾取裝置5，膠帶夾取裝置5用于夾取膠帶8，并運動至位于其下方的用于承載晶圓的工件承載臺2上，將膠帶8覆蓋在晶圓的一面上，接著利用朝向該工件承載臺2設(shè)置的切刀組4切斷膠帶8，再利用滾壓機構(gòu)3滾壓膠帶8使其牢固地平貼于晶圓上。
[0024]該膠帶夾取裝置5包括一導(dǎo)軌50、兩組夾頭組件51以及鎖緊機構(gòu)52，兩組夾頭組件51分別固設(shè)于導(dǎo)軌50的滑塊501上，并依附導(dǎo)軌50的滑塊501移動，鎖緊機構(gòu)52設(shè)于導(dǎo)軌50上并用于鎖止夾頭組件51，該鎖緊機構(gòu)52可為一調(diào)節(jié)螺絲，該調(diào)節(jié)螺絲穿設(shè)于導(dǎo)軌50的滑塊501上并于鎖止時抵住導(dǎo)軌50的軌道502，以禁止滑塊501再沿軌道502滑動，進(jìn)而將夾頭組件51固定于軌道502的某一位置上，于本實施例中，鎖緊機構(gòu)52還可以為其它任意扣卡機構(gòu)。該膠帶夾取裝置5還包括一對第一接觸式傳感器53a及第二接觸式傳感器53b。如圖1-2所示，一對第一接觸式傳感器53a及第二接觸式傳感器53b分別沿導(dǎo)軌50的中心對稱設(shè)置，并經(jīng)固定件54固定于導(dǎo)軌50的軌道502上，第一接觸式傳感器53a與第二接觸式傳感器53b的感應(yīng)頭部531朝向夾頭組件51，同時，第一接觸式傳感器53a與第二接觸式傳感器53b分別電性連接于一控制器6 (參閱圖5)。
[0025]其中，固定件54上設(shè)置有腰型孔54a，接觸式傳感器53通過腰型孔54a可微調(diào)其在導(dǎo)軌50的軌道502上的位置，并通過插設(shè)于腰型孔54a內(nèi)的螺絲固定于導(dǎo)軌50的軌道502上。夾頭組件51包括氣缸一 511，氣缸一 511的一側(cè)固設(shè)第一夾片512及第二夾片513，第一夾片512和第二夾片513上下夾合膠帶。夾頭組件51還包括氣缸二 514和氣缸三515，氣缸一 511經(jīng)呈L型的第一固定塊516固定于氣缸二 514的一側(cè)，氣缸二 514帶動氣缸一 511上下運動，氣缸二 514經(jīng)第二固定塊517固定于氣缸三515上，氣缸三515帶動氣缸二 514水平運動，且氣缸三515固定于導(dǎo)軌50的滑塊501上。
[0026]在貼膠機進(jìn)行作業(yè)之前，必須將膠帶夾取裝置5調(diào)整在正確的位置，以防止撞機及破片的現(xiàn)象。如圖1所示的，若導(dǎo)軌50的滑塊501與第一接觸式傳感器53a接觸時，則表明固設(shè)于導(dǎo)軌50上的夾頭組件51位于正確的位置，能夠正好適應(yīng)8inch的膠帶的夾取。如圖4所示的，若導(dǎo)軌50的滑塊501移動至第二接觸式傳感器53b處，并且滑塊501抵觸第二接觸式傳感器53b，則表明固設(shè)于導(dǎo)軌50上的夾頭組件51能夠適應(yīng)12inch的膠帶的夾取。
[0027]如圖5所示，若導(dǎo)軌50的滑塊501未抵觸對稱設(shè)置的第一接觸式傳感器53a或第二接觸式53b，表明膠帶夾取裝置5未調(diào)整在正確的位置，第一接觸式傳感器53a或第二觸式傳感器53b發(fā)出反饋信號至控制器6，控制器6接收反饋信號后，可輸出信號通知警報器7，警報器7再發(fā)出警報通知工作人員機臺處于異常狀態(tài)，再者，第一接觸式傳感器53a與第一接觸式傳感器53b可發(fā)出暫停信號至控制器6，控制器6發(fā)出指令控制晶圓貼膠機停止動作，進(jìn)一步地避免晶圓遭到損害。
[0028]當(dāng)然，以上所述的觸式傳感器未必只能夠設(shè)定感應(yīng)導(dǎo)軌的滑塊，也可以感應(yīng)夾取裝置的其它結(jié)構(gòu)，可根據(jù)機臺的尺寸以及操作要求等等，具體設(shè)計接觸式傳感器所感應(yīng)的位置。根據(jù)實際作業(yè)需求，機臺需進(jìn)行多種作業(yè)寸別時，可通過增加接觸式傳感器來調(diào)整夾頭組件在具體作業(yè)寸別下的工作位置。
[0029]本實用新型的具體工作過程如下:
[0030]1.如圖1所示的膠帶夾取裝置5處于正確的位置(即導(dǎo)軌50的滑塊501的一端接觸第一接觸式傳感器53a或第二接觸式傳感器53b),此時機臺正常運作,氣缸一 511的伸縮桿向下伸出帶動第二夾片513向下移動，并與第一夾片512分開；
[0031]2.氣缸三515帶動氣缸二 514沿水平方向向外側(cè)稍作移動，進(jìn)而帶動氣缸一 511以及夾片向外側(cè)運動，以此，在兩組夾片之間可以多出一定的空間以方便放置膠帶；
[0032]3.將膠帶放置于第一夾片512與第二夾片513之間，放置完畢后，氣缸三515通過氣缸二 514帶動氣缸一 511及夾片沿水平方向向內(nèi)側(cè)稍作移動，此時兩組夾片之間的距離正好適應(yīng)膠帶的尺寸，接著氣缸一 511的伸縮桿帶動第二夾片513向上移動，第一夾片512和第二夾片513夾合住膠帶8 ；
[0033]4.氣缸二 514帶動氣缸一 511向下運動,進(jìn)而帶動夾片運動至工件承載臺2的上方，并將膠帶8貼附于位于工件承載臺2上的產(chǎn)品(晶圓)上；
[0034]當(dāng)膠帶夾取裝置5完成以上所有的動作之后，朝向工件承載臺2的切刀組4由膠帶的一端移動到膠帶的另一端將膠帶切斷，以及滾壓機構(gòu)3運動至工件承載臺2的上方滾壓膠帶，以完成所有貼膠工作。
[0035]綜上所述，本實用新型通過接觸式傳感器能夠自動檢測膠帶夾取裝置的所在定位點是否正確，并作出反饋提醒是否需要進(jìn)行調(diào)整，從而保證膠帶夾取裝置位于正確位置，進(jìn)而保證機臺不會出現(xiàn)撞機以及破片的現(xiàn)象。
[0036]上述【具體實施方式】，僅為說明本實用新型的技術(shù)構(gòu)思和結(jié)構(gòu)特征，目的在于讓熟悉此項技術(shù)的相關(guān)人士能夠據(jù)以實施，但以上所述內(nèi)容并不限制本實用新型的保護(hù)范圍，凡是依據(jù)本實用新型的精神實質(zhì)所作的任何等效變化或修飾，均應(yīng)落入本實用新型的保護(hù)范圍之內(nèi)。
【權(quán)利要求】
1.一種具有自檢功能的膠帶夾取裝置，其應(yīng)用于晶圓貼膠機上，所述晶圓貼膠機包括機臺主體以及分別架設(shè)于所述機臺主體上的工件承載臺、滾壓機構(gòu)、切刀組以及該膠帶夾取裝置，該膠帶夾取裝置包括一導(dǎo)軌、兩組夾頭組件以及鎖緊機構(gòu)，兩組所述夾頭組件分別固設(shè)于所述導(dǎo)軌的滑塊上，并依附所述導(dǎo)軌的滑塊移動，所述鎖緊機構(gòu)設(shè)于所述導(dǎo)軌上并用于鎖止所述夾頭組件，其特征在于， 該膠帶夾取裝置還包括至少一對接觸式傳感器，每對所述接觸式傳感器沿導(dǎo)軌的中心對稱設(shè)置，經(jīng)一固定件固定于所述導(dǎo)軌的軌道上，且所述接觸式傳感器的感應(yīng)頭部朝向所述夾頭組件，所述接觸式傳感器電性連接于一控制器。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種具有自檢功能的膠帶夾取裝置，其特征在于，所述固定件上設(shè)置有腰型孔，所述接觸式傳感器通過所述腰型孔可微調(diào)其在所述導(dǎo)軌的軌道上位置，并通過插設(shè)于腰型孔內(nèi)的螺絲固定于所述導(dǎo)軌的軌道上。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種具有自檢功能的膠帶夾取裝置，其特征在于，所述夾頭組件包括氣缸一，所述氣缸一的一側(cè)固設(shè)第一夾片，所述氣缸的伸縮桿上固設(shè)第二夾片，所述第一夾片和第二夾片上下夾合膠帶。
4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的一種具有自檢功能的膠帶夾取裝置，其特征在于，所述夾頭組件還包括氣缸二和氣缸三，所述氣缸一經(jīng)第一固定塊固定于所述氣缸二的一側(cè)，所述氣缸二帶動所述氣缸一上下運動，所述氣缸二經(jīng)第二固定塊固定于所述氣缸三上，所述氣缸三帶動所述氣缸二水平運動，且所述氣缸三固定于所述導(dǎo)軌的滑塊上。
5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種具有自檢功能的膠帶夾取裝置，其特征在于，所述鎖緊機構(gòu)包括一調(diào)節(jié)螺絲，所述調(diào)節(jié)螺絲穿設(shè)于所述導(dǎo)軌的滑塊上，其螺紋部于鎖止時抵住所述導(dǎo)軌的軌道。
【文檔編號】F16B11/00GK203962611SQ201420434282
【公開日】2014年11月26日 申請日期:2014年8月4日 優(yōu)先權(quán)日:2014年8月4日
【發(fā)明者】陳學(xué)平 申請人:京隆科技(蘇州)有限公司