本發(fā)明涉及隔膜閥，特別是關(guān)于半導(dǎo)體制造設(shè)備上用的一種隔膜閥的cv調(diào)節(jié)裝置。

背景技術(shù)：

1、cv值是隔膜閥的一個重要參數(shù)，cv值是描述隔膜閥流通能力的參數(shù)。隔膜閥組裝完成后，需要對隔膜閥的cv值進(jìn)行檢測，檢測常閉隔膜閥cv值需要打開隔膜閥執(zhí)行器，打開執(zhí)行器是采用通入測試氣體的方法。

2、目前，在檢測cv值不符合條件的情況下，每次都需要先停止供入測試氣體，然后拆下快插接頭，再用螺絲刀旋轉(zhuǎn)缸蓋上的調(diào)節(jié)螺釘，對隔膜進(jìn)行微調(diào)，然后再安裝好快接插頭，再朝向調(diào)節(jié)螺釘處吹入測試氣體，從而向氣缸里通氣，來測量一次當(dāng)時的cv值。在這檢測過程中，旋轉(zhuǎn)調(diào)節(jié)螺釘?shù)慕嵌韧耆揽拷?jīng)驗，經(jīng)驗不足的話，需要重復(fù)閉氣、拆下快接插頭、旋轉(zhuǎn)調(diào)節(jié)螺釘、再安裝快接插頭、再通氣、再測試cv值，直到cv值合格，對操作人員而言，重復(fù)性工作較多，操作不當(dāng)容易對缸蓋外形及螺紋造成損傷，損傷過大的閥門會大大增加顆粒物的產(chǎn)生，無法滿足半導(dǎo)體制造領(lǐng)域?qū)τ诔呒兊囊?，影響產(chǎn)品的正常使用。此外，過程需要重復(fù)通斷氣，只有在快插接頭插入隔膜閥時，才允許測試氣體朝向調(diào)節(jié)螺釘噴出，上述測試氣體可能是較為珍貴的測試氣體，或者測試氣體的瓶口的閥門關(guān)閉不當(dāng)，會造成測試氣體的浪費。

3、因此，需要一種cv調(diào)節(jié)工裝，使其檢測時可直接向調(diào)節(jié)螺釘處通入測試氣體，并且只有在工裝與閥門擰緊時，才可向調(diào)節(jié)螺釘處通氣，并可隨意旋轉(zhuǎn)調(diào)節(jié)螺釘?shù)慕嵌?，其他時間均不可通氣。

技術(shù)實現(xiàn)思路

1、因此，本發(fā)明提供一種隔膜閥cv調(diào)節(jié)裝置，以減少閥檢測時操作人員重復(fù)拆裝快插接頭，頻繁對氣缸通斷氣的工作，避免重復(fù)性工作過程中可能造成的風(fēng)險，如缸蓋劃傷、螺紋損壞、氣體浪費等問題。

2、本發(fā)明的技術(shù)方案如下：一種隔膜閥cv調(diào)節(jié)裝置，包括擰動調(diào)節(jié)螺釘?shù)奶釀訔U，圍繞所述提動桿設(shè)置有上部調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)、中部調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)和下部調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)；

3、所述上部調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)包括第一套筒和第二套筒，所述第一套筒和第二套筒與提動桿之間構(gòu)成第一空腔，在所述第一空腔中設(shè)置有滑塊和齒輪，所述齒輪固定于提動桿上，所述滑塊與所述齒輪活動配合；所述第二套筒下端開設(shè)有第一通道和第二通道，所述第一通道處連接第二快插接頭；

4、所述中部調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)包括第三套筒、第四套筒、第五套筒和第六套筒；所述第三套筒與第二套筒套接，兩者之間設(shè)置有兩道第四密封圈，自然狀態(tài)下所述第二通道位于兩道第四密封圈之間；所述第四套筒與第六套筒連接并套設(shè)于所述提動桿外；所述第五套筒連接于第三套筒下端并與第四套筒、第六套筒之間構(gòu)成第二空腔，所述第二空腔與第一空腔之間連通，所述第二空腔與提動桿之間設(shè)置有第三通道；

5、所述下部調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)包括第一環(huán)、第八密封圈和滑桿組件，所述第一環(huán)套于第六套筒上并由第八密封圈支撐，所述第一環(huán)上方支撐滑桿組件，所述滑桿組件接觸所述第五套筒底部。

6、進(jìn)一步地，所述第一套筒與提動桿之間設(shè)置有第一密封圈，所述第二套筒與提動桿之間設(shè)置有第二密封圈，所述第一空腔位于兩密封部位之間。

7、進(jìn)一步地，所述滑塊一端伸出第一空腔延伸至第一套筒外的導(dǎo)向塊中，所述導(dǎo)向塊固定于第一套筒上，所述滑塊的伸出端與導(dǎo)向塊之間設(shè)置有配合腔，所述配合腔中壓設(shè)有第二彈簧；當(dāng)有外力作用于所述滑塊時，所述滑塊與所述齒輪分離，所述提動桿能夠旋轉(zhuǎn)；當(dāng)沒有外力作用于所述滑塊時，所述滑塊與所述齒輪卡接，所述提動桿不能旋轉(zhuǎn)。

8、進(jìn)一步地，所述滑塊與第一套筒之間設(shè)置有第三密封圈。

9、進(jìn)一步地，所述第五套筒與第六套筒之間設(shè)置有第五密封圈，所述第六套筒上端延伸至第二空腔中并且螺紋連接于第四套筒下端，所述第四套筒置于第二空腔中；所述第四套筒下端與提動桿之間設(shè)置有第六密封圈，所述第四套筒上端與提動桿之間設(shè)置有第七套筒；所述第七套筒套設(shè)于提動桿外圍且與提動桿之間設(shè)置有第七密封圈，所述第七套筒上端與第二套筒螺紋連接，下端與第四套筒螺紋連接。

10、進(jìn)一步地，所述第三通道設(shè)置于第二空腔中下端位置，穿過所述第四套筒和/或第六套筒通向套筒內(nèi)腔。

11、進(jìn)一步地，所述滑桿組件包括導(dǎo)向筒、第一彈簧、第一滑桿和第二滑桿；所述第六套筒外部設(shè)置有臺肩，所述臺肩下端設(shè)置有彈簧腔，所述彈簧腔中設(shè)置所述第一彈簧，所述彈簧腔下端設(shè)置所述第一環(huán)；所述導(dǎo)向筒位于所述臺肩與第五套筒之間，所述第一滑桿和第二滑桿均螺紋連接于所述導(dǎo)向筒中，其中第一滑桿在下，第二滑桿在上；所述第一滑桿下端貫穿所述臺肩與第一環(huán)接觸或固定；所述第二滑桿上端伸出導(dǎo)向筒接觸第五套筒底部。

12、進(jìn)一步地，所述第六套筒在第八密封圈以下的部位與隔膜閥缸蓋螺紋連接，當(dāng)連接時向上頂起所述第八密封圈和第一環(huán)，所述第一環(huán)向上推動滑桿組件，所述滑桿組件向上推動所述第五套筒和第三套筒，致使所述第二通道打開，當(dāng)與第二快插接頭連接的氣瓶向所述第一通道通氣時，所述氣體沿提動桿與第二套筒之間的縫隙下行，經(jīng)過第二通道后轉(zhuǎn)向第二套筒與第三套筒之間的縫隙下行，然后進(jìn)入第二空腔，在第二空腔中經(jīng)過第三通道轉(zhuǎn)向提動桿與第六套筒之間的縫隙下行，直至調(diào)節(jié)螺釘處。

13、進(jìn)一步地，所述第二空腔通過第一管道向所述第一空腔通氣，當(dāng)所述第一空腔中有氣體時，推動所述滑塊與齒輪分離，所述提動桿能夠旋轉(zhuǎn)；當(dāng)所述第一空腔中沒有氣體時，所述滑塊與齒輪卡接，所述提動桿不能旋轉(zhuǎn)。

14、進(jìn)一步地，所述提動桿在所述第一套筒、第二套筒、第七套筒、第四套筒、第六套筒構(gòu)成的直線通腔中直向移動。

15、本發(fā)明在上述技術(shù)方案下，通過上、中、下三部分調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)的設(shè)置，使得用于擰動調(diào)節(jié)螺釘?shù)奶釀訔U既能隨時抽動，插入或拔出于調(diào)節(jié)螺釘，也能夠在通氣前提下擰動調(diào)節(jié)螺釘，使得調(diào)節(jié)螺釘只有在通氣情況下才能微調(diào)，實現(xiàn)了通氣檢測和微調(diào)兩個動作的同步進(jìn)行，既不浪費氣體，也不用頻繁拆卸工裝。

技術(shù)特征：

1.一種隔膜閥cv調(diào)節(jié)裝置，包括擰動調(diào)節(jié)螺釘(34)的提動桿(2)，其特征在于：圍繞所述提動桿(2)設(shè)置有上部調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)、中部調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)和下部調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)；

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的隔膜閥cv調(diào)節(jié)裝置，其特征在于：所述第一套筒(3)與提動桿(2)之間設(shè)置有第一密封圈(4)，所述第二套筒(5)與提動桿(2)之間設(shè)置有第二密封圈(7)，所述第一空腔位于兩密封部位之間。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的隔膜閥cv調(diào)節(jié)裝置，其特征在于：所述滑塊(17)一端伸出第一空腔延伸至第一套筒(3)外的導(dǎo)向塊(21)中，所述導(dǎo)向塊(21)固定于第一套筒(3)上，所述滑塊(17)的伸出端與導(dǎo)向塊(21)之間設(shè)置有配合腔，所述配合腔中壓設(shè)有第二彈簧(19)；

4.根據(jù)權(quán)利要求1或3所述的隔膜閥cv調(diào)節(jié)裝置，其特征在于：所述滑塊(17)與第一套筒(3)之間設(shè)置有第三密封圈(18)。

5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的隔膜閥cv調(diào)節(jié)裝置，其特征在于：所述第五套筒(10)與第六套筒(15)之間設(shè)置有第五密封圈(30)，所述第六套筒(15)上端延伸至第二空腔中并且螺紋連接于第四套筒(9)下端，所述第四套筒(9)置于第二空腔中；

6.根據(jù)權(quán)利要求1或5所述的隔膜閥cv調(diào)節(jié)裝置，其特征在于：所述第三通道(33)設(shè)置于第二空腔中下端位置，穿過所述第四套筒(9)和/或第六套筒(15)通向套筒內(nèi)腔。

7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的隔膜閥cv調(diào)節(jié)裝置，其特征在于：所述滑桿組件包括導(dǎo)向筒(11)、第一彈簧(12)、第一滑桿(23)和第二滑桿(25)；

8.根據(jù)權(quán)利要求1或7所述的隔膜閥cv調(diào)節(jié)裝置，其特征在于：所述第六套筒(15)在第八密封圈(14)以下的部位與隔膜閥缸蓋螺紋連接，當(dāng)連接時向上頂起所述第八密封圈(14)和第一環(huán)(13)，所述第一環(huán)(13)向上推動滑桿組件，所述滑桿組件向上推動所述第五套筒(10)和第三套筒(8)，致使所述第二通道(26)打開，當(dāng)與第二快插接頭(6)連接的氣瓶向所述第一通道(24)通氣時，所述氣體沿提動桿(2)與第二套筒(5)之間的縫隙下行，經(jīng)過第二通道(26)后轉(zhuǎn)向第二套筒(5)與第三套筒(8)之間的縫隙下行，然后進(jìn)入第二空腔，在第二空腔中經(jīng)過第三通道(33)轉(zhuǎn)向提動桿(2)與第六套筒(15)之間的縫隙下行，直至調(diào)節(jié)螺釘(34)處。

9.根據(jù)權(quán)利要求1或3所述的隔膜閥cv調(diào)節(jié)裝置，其特征在于：所述第二空腔通過第一管道(27)向所述第一空腔通氣，當(dāng)所述第一空腔中有氣體時，推動所述滑塊(17)與齒輪(28)分離，所述提動桿(2)能夠旋轉(zhuǎn)；當(dāng)所述第一空腔中沒有氣體時，所述滑塊(17)與齒輪(28)卡接，所述提動桿(2)不能旋轉(zhuǎn)。

10.根據(jù)權(quán)利要求5所述的隔膜閥cv調(diào)節(jié)裝置，其特征在于：所述提動桿(2)在所述第一套筒(3)、第二套筒(5)、第七套筒(16)、第四套筒(9)、第六套筒(15)構(gòu)成的直線通腔中直向移動。

技術(shù)總結(jié)
本發(fā)明涉及隔膜閥制造技術(shù)領(lǐng)域，具體提供一種隔膜閥CV調(diào)節(jié)裝置，包括擰動調(diào)節(jié)螺釘?shù)奶釀訔U，提動桿上設(shè)置有上部調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)、中部調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)和下部調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)。上部調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)通過第一套筒和第二套筒構(gòu)造第一空腔，第一空腔中設(shè)置有提動桿卡接結(jié)構(gòu)；中部調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)通過第三套筒、第四套筒、第五套筒、第六套筒和第七套筒構(gòu)造通往調(diào)節(jié)螺釘?shù)臍怏w通道以及第二空腔，第二空腔與第一空腔連通；下部調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)與隔膜閥缸蓋連接并能夠向上推動中部機(jī)構(gòu)。裝置在自然狀態(tài)下氣體通道關(guān)閉，第一空腔中沒有氣體提動桿卡不能旋轉(zhuǎn)，當(dāng)下部調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)與隔膜閥缸蓋連接時氣體通道打開，第一空腔中有氣體，提動桿卡能旋轉(zhuǎn)，所以本發(fā)明解決了既能通氣又能微調(diào)調(diào)節(jié)螺釘?shù)膯栴}。

技術(shù)研發(fā)人員：趙金龍,張博,郭硯釗,鄭佳泊,耿德占
受保護(hù)的技術(shù)使用者：中科艾爾（北京）科技有限公司
技術(shù)研發(fā)日：
技術(shù)公布日：2024/11/28