本發(fā)明涉及單晶爐，具體涉及一種單晶爐隔離閥及單晶爐。

背景技術(shù)：

1、單晶爐隔離閥是單晶爐的重要的組成部分，它的主要作用是對單晶爐的主爐室和副爐室進(jìn)行隔離或連通，為籽晶或晶棒提供進(jìn)入副爐室的通道，維持主爐室和副爐室的局部壓力和溫度。

2、目前，現(xiàn)有的單晶爐主要采用的是翻轉(zhuǎn)式結(jié)構(gòu)的隔離閥，例如，授權(quán)公告號為cn208719376u，公開的一種單晶爐用隔離閥座，包括閥座基體、設(shè)置于閥座基體內(nèi)的翻板閥，所述翻板閥頂壁連接有閥桿，所述閥桿底壁平行于翻板閥頂壁，所述閥桿底壁長度方向的一端與翻板閥固定連接，另一端連接有驅(qū)動軸，閥桿固定在驅(qū)動軸的外壁上，驅(qū)動軸穿出閥座基體并連接有電機(jī)驅(qū)動組件，驅(qū)動軸由電機(jī)驅(qū)動組件驅(qū)使轉(zhuǎn)動，以進(jìn)行翻轉(zhuǎn)式打開或關(guān)閉。但這種翻轉(zhuǎn)式結(jié)構(gòu)的隔離閥需要通過閥桿及驅(qū)動軸旋轉(zhuǎn)按壓施力使翻板閥閉合，在長期使用過程中，閥桿與翻板閥及驅(qū)動軸連接處易出現(xiàn)磨損或松動，導(dǎo)致對翻板閥閉合時，翻板閥容易出現(xiàn)卡滯或翻轉(zhuǎn)不到位的情況，致使隔離閥閉合不嚴(yán)實，造成單晶爐漏氣、竄氣現(xiàn)象發(fā)生，進(jìn)而易造成晶棒氧化。

技術(shù)實現(xiàn)思路

1、有鑒于此，有必要提供一種單晶爐隔離閥，以解決現(xiàn)有技術(shù)中存在的隔離閥出現(xiàn)磨損后，閉合不嚴(yán)實的技術(shù)問題。

2、有必要提供一種單晶爐。

3、本發(fā)明解決其技術(shù)問題所采用的技術(shù)方案是：

4、一種單晶爐隔離閥，包括平行設(shè)置的且四周為密閉的隔離閥殼體及設(shè)置在隔離閥殼體內(nèi)的閥芯板及閥芯板推送機(jī)構(gòu)，所述隔離閥殼體的上端縱向設(shè)置有與單晶爐的上爐室連接的上法蘭，隔離閥殼體的下端縱向設(shè)置有與單晶爐的爐蓋連接的下法蘭，所述下法蘭與上法蘭相正對，并相互連通，在所述隔離閥殼體內(nèi)位于下法蘭內(nèi)端口四周的端面上設(shè)置有吸引裝置，所述閥芯板平行設(shè)置在閥芯板移動機(jī)構(gòu)上，所述閥芯板移動機(jī)構(gòu)驅(qū)動閥芯板在隔離閥殼體內(nèi)平行移動，使閥芯板能夠平移至下法蘭內(nèi)端口的正上端，對下法蘭和上法蘭進(jìn)行隔離，或平移至隔離閥殼體內(nèi)遠(yuǎn)離下法蘭的一側(cè)，使下法蘭與上法蘭相互連通，所述閥芯板平移至下法蘭內(nèi)端口的正上端時，所述吸引裝置能夠?qū)﹂y芯板吸引，使閥芯板下壓在下法蘭內(nèi)端口上，對下法蘭進(jìn)行封閉。

5、優(yōu)選的，所述閥芯板推送機(jī)構(gòu)包括活動支架、推送絲桿、驅(qū)動電機(jī)，所述隔離閥殼體內(nèi)相對的兩側(cè)分別對稱設(shè)置有滑軌，所述滑軌平行設(shè)置，與下法蘭的軸向相垂直，并向隔離閥殼體內(nèi)遠(yuǎn)離下法蘭的一端延伸，所述活動支架平行架設(shè)在隔離閥殼體內(nèi)兩側(cè)的滑軌上，并能夠沿滑軌滑動，在活動支架上設(shè)置有可向下縱向伸縮活動的彈性件，閥芯板平行設(shè)置在彈性件的下端，通過彈性件平行懸吊在活動支架的正下方，所述驅(qū)動電機(jī)設(shè)置在隔離閥殼體遠(yuǎn)離下法蘭的一端，所述推送絲桿的一端與活動支架螺紋配合連接，另一端與驅(qū)動電機(jī)的輸出軸連接，驅(qū)動電機(jī)驅(qū)動推送絲桿轉(zhuǎn)動，利用推送絲桿驅(qū)動活動支架沿滑軌移動，通過活動支架帶動閥芯板在隔離閥殼體內(nèi)平行移動，所述閥芯板平移至在下法蘭內(nèi)端口的正上端時，所述吸引裝置能夠?qū)﹂y芯板吸引，所述彈性件在吸引裝置吸引閥芯板的作用力下自適應(yīng)伸長，使閥芯板下壓在下法蘭內(nèi)端口上，所述吸引裝置不對閥芯板吸引時，所述彈性件利用自身的形變作用力進(jìn)行收縮，能夠使閥芯板與下法蘭內(nèi)端口分離，所述閥芯板與下法蘭內(nèi)端口分離后，所述驅(qū)動電機(jī)驅(qū)動活動支架帶動閥芯板平移至隔離閥殼體內(nèi)遠(yuǎn)離下法蘭的一側(cè)，使下法蘭與上法蘭相互連通。

6、優(yōu)選的，所述彈性件為多組，各彈性件圍繞閥芯板圓周均布設(shè)置。

7、優(yōu)選的，每組所述彈性件分別包括伸縮桿和回位彈簧，每組彈性件的伸縮桿分別縱向貫穿活動支架，并沿活動支架可自由上下伸縮滑動，所述回位彈簧分別套設(shè)在各伸縮桿上，回位彈簧的上端抵在伸縮桿的上端部，回位彈簧的下端抵在活動支架的上表面，伸縮桿的下端與閥芯板的上表面固定連接，所述吸引裝置對閥芯板吸引時，各伸縮桿跟隨閥芯板下行，并對各回位彈簧壓縮，所述吸引裝置不對閥芯板吸引時，各伸縮桿在各回位彈簧自身形變的作用力下上行，以帶動閥芯板向上運動，使閥芯板與下法蘭內(nèi)端口分離。

8、優(yōu)選的，所述吸引裝置為電磁鐵。

9、優(yōu)選的，所述下法蘭內(nèi)端口四周環(huán)形設(shè)置有密封圈。

10、優(yōu)選的，所述下法蘭內(nèi)側(cè)壁上沿其圓周方向間隔設(shè)置有若干出氣孔，所述出氣孔靠近下法蘭內(nèi)端口的端面，所述下法蘭外側(cè)壁上設(shè)置有氬氣進(jìn)氣支管，所述氬氣進(jìn)氣支管與各出氣孔相連通。

11、優(yōu)選的，所述閥芯板的內(nèi)部設(shè)置有水冷腔，在隔離閥殼體內(nèi)設(shè)置有進(jìn)水管和回水管，在隔離閥殼體外側(cè)壁上設(shè)置有進(jìn)水口和回水口，所述進(jìn)水管和回水管的一端分別與閥芯板的水冷腔連通，其另一端分別與進(jìn)水口和回水口連接。

12、優(yōu)選的，所述隔離閥殼體正對下法蘭的外側(cè)壁上設(shè)置有觀察窗。

13、由上述技術(shù)方案可知，本申請?zhí)峁┑膯尉t隔離閥，包括平行設(shè)置的且四周為密閉的隔離閥殼體及設(shè)置在隔離閥殼體內(nèi)的閥芯板及閥芯板推送機(jī)構(gòu)，所述隔離閥殼體的上端縱向設(shè)置有與單晶爐的上爐室連接的上法蘭，隔離閥殼體的下端縱向設(shè)置有與單晶爐的爐蓋連接的下法蘭，在所述隔離閥殼體內(nèi)位于下法蘭內(nèi)端口四周的端面上設(shè)置有吸引裝置，所述閥芯板平行設(shè)置在閥芯板移動機(jī)構(gòu)上，所述閥芯板移動機(jī)構(gòu)驅(qū)動閥芯板在隔離閥殼體內(nèi)平行移動，使閥芯板能夠平移至下法蘭內(nèi)端口的正上端，對下法蘭和上法蘭進(jìn)行隔離，或平移至隔離閥殼體內(nèi)遠(yuǎn)離下法蘭的一側(cè)，使下法蘭與上法蘭相互連通，當(dāng)閥芯板平移至下法蘭內(nèi)端口的正上端時，通過吸引裝置能夠?qū)﹂y芯板吸引，利用吸引力將閥芯板緊密的吸引在下法蘭內(nèi)端口上，對下法蘭進(jìn)行封閉。該單晶爐隔離閥通過吸引裝置能夠使閥芯板四周受力均勻，與下法蘭內(nèi)端口閉合嚴(yán)實，機(jī)械性能的可靠，長期使用穩(wěn)定性好，不易出現(xiàn)漏氣、竄氣現(xiàn)象發(fā)生，保證了拉晶的質(zhì)量。

技術(shù)特征：

1.一種單晶爐隔離閥，其特征在于：包括平行設(shè)置的且四周為密閉的隔離閥殼體及設(shè)置在隔離閥殼體內(nèi)的閥芯板及閥芯板推送機(jī)構(gòu)，所述隔離閥殼體的上端縱向設(shè)置有與單晶爐的上爐室連接的上法蘭，隔離閥殼體的下端縱向設(shè)置有與單晶爐的爐蓋連接的下法蘭，所述下法蘭與上法蘭相正對，并相互連通，在所述隔離閥殼體內(nèi)位于下法蘭內(nèi)端口四周的端面上設(shè)置有吸引裝置，所述閥芯板平行設(shè)置在閥芯板移動機(jī)構(gòu)上，所述閥芯板移動機(jī)構(gòu)驅(qū)動閥芯板在隔離閥殼體內(nèi)平行移動，使閥芯板能夠平移至下法蘭內(nèi)端口的正上端，對下法蘭和上法蘭進(jìn)行隔離，或平移至隔離閥殼體內(nèi)遠(yuǎn)離下法蘭的一側(cè)，使下法蘭與上法蘭相互連通，所述閥芯板平移至下法蘭內(nèi)端口的正上端時，所述吸引裝置能夠?qū)﹂y芯板吸引，使閥芯板下壓在下法蘭內(nèi)端口上，對下法蘭進(jìn)行封閉。

2.如權(quán)利要求1所述的單晶爐隔離閥，其特征在于：所述閥芯板推送機(jī)構(gòu)包括活動支架、推送絲桿、驅(qū)動電機(jī)，所述隔離閥殼體內(nèi)相對的兩側(cè)分別對稱設(shè)置有滑軌，所述滑軌平行設(shè)置，與下法蘭的軸向相垂直，并向隔離閥殼體內(nèi)遠(yuǎn)離下法蘭的一端延伸，所述活動支架平行架設(shè)在隔離閥殼體內(nèi)兩側(cè)的滑軌上，并能夠沿滑軌滑動，在活動支架上設(shè)置有可向下縱向伸縮活動的彈性件，閥芯板平行設(shè)置在彈性件的下端，通過彈性件平行懸吊在活動支架的正下方，所述驅(qū)動電機(jī)設(shè)置在隔離閥殼體遠(yuǎn)離下法蘭的一端，所述推送絲桿的一端與活動支架螺紋配合連接，另一端與驅(qū)動電機(jī)的輸出軸連接，驅(qū)動電機(jī)驅(qū)動推送絲桿轉(zhuǎn)動，利用推送絲桿驅(qū)動活動支架沿滑軌移動，通過活動支架帶動閥芯板在隔離閥殼體內(nèi)平行移動，所述閥芯板平移至在下法蘭內(nèi)端口的正上端時，所述吸引裝置能夠?qū)﹂y芯板吸引，所述彈性件在吸引裝置吸引閥芯板的作用力下自適應(yīng)伸長，使閥芯板下壓在下法蘭內(nèi)端口上，所述吸引裝置不對閥芯板吸引時，所述彈性件利用自身的形變作用力進(jìn)行收縮，能夠使閥芯板與下法蘭內(nèi)端口分離，所述閥芯板與下法蘭內(nèi)端口分離后，所述驅(qū)動電機(jī)驅(qū)動活動支架帶動閥芯板平移至隔離閥殼體內(nèi)遠(yuǎn)離下法蘭的一側(cè)，使下法蘭與上法蘭相互連通。

3.如權(quán)利要求2所述的單晶爐隔離閥，其特征在于：所述彈性件為多組，各彈性件圍繞閥芯板圓周均布設(shè)置。

4.如權(quán)利要求3所述的單晶爐隔離閥，其特征在于：每組所述彈性件分別包括伸縮桿和回位彈簧，每組彈性件的伸縮桿分別縱向貫穿活動支架，并沿活動支架可自由上下伸縮滑動，所述回位彈簧分別套設(shè)在各伸縮桿上，回位彈簧的上端抵在伸縮桿的上端部，回位彈簧的下端抵在活動支架的上表面，伸縮桿的下端與閥芯板的上表面固定連接，所述吸引裝置對閥芯板吸引時，各伸縮桿跟隨閥芯板下行，并對各回位彈簧壓縮，所述吸引裝置不對閥芯板吸引時，各伸縮桿在各回位彈簧自身形變的作用力下上行，以帶動閥芯板向上運動，使閥芯板與下法蘭內(nèi)端口分離。

5.如權(quán)利要求1所述的單晶爐隔離閥，其特征在于：所述吸引裝置為電磁鐵。

6.如權(quán)利要求1所述的單晶爐隔離閥，其特征在于：所述下法蘭內(nèi)端口四周環(huán)形設(shè)置有密封圈。

7.如權(quán)利要求1所述的單晶爐隔離閥，其特征在于：所述下法蘭內(nèi)側(cè)壁上沿其圓周方向間隔設(shè)置有若干出氣孔，所述出氣孔靠近下法蘭內(nèi)端口的端面，所述下法蘭外側(cè)壁上設(shè)置有氬氣進(jìn)氣支管，所述氬氣進(jìn)氣支管與各出氣孔相連通。

8.如權(quán)利要求1所述的單晶爐隔離閥，其特征在于：所述閥芯板的內(nèi)部設(shè)置有水冷腔，在隔離閥殼體內(nèi)設(shè)置有進(jìn)水管和回水管，在隔離閥殼體外側(cè)壁上設(shè)置有進(jìn)水口和回水口，所述進(jìn)水管和回水管的一端分別與閥芯板的水冷腔連通，其另一端分別與進(jìn)水口和回水口連接。

9.如權(quán)利要求1所述的單晶爐隔離閥，其特征在于：所述隔離閥殼體正對下法蘭的外側(cè)壁上設(shè)置有觀察窗。

10.一種單晶爐，其特征在于：包括如權(quán)利要求1至9任一項所述的單晶爐隔離閥。

技術(shù)總結(jié)
該發(fā)明提供一種單晶爐隔離閥，包括隔離閥殼體及設(shè)置在隔離閥殼體內(nèi)的閥芯板及閥芯板推送機(jī)構(gòu)，隔離閥殼體的上端縱向設(shè)置有與單晶爐的上爐室連接的上法蘭，隔離閥殼體的下端縱向設(shè)置有與單晶爐的爐蓋連接的下法蘭，在隔離閥殼體內(nèi)位于下法蘭內(nèi)端口四周的端面上設(shè)置有吸引裝置，閥芯板平行設(shè)置在閥芯板移動機(jī)構(gòu)上，閥芯板移動機(jī)構(gòu)驅(qū)動閥芯板能夠平移至下法蘭內(nèi)端口的正上端，或平移至隔離閥殼體內(nèi)遠(yuǎn)離下法蘭的一側(cè)，當(dāng)閥芯板平移至下法蘭內(nèi)端口的正上端時，通過吸引裝置對閥芯板吸引，將閥芯板緊密的吸引在下法蘭內(nèi)端口上，對下法蘭封閉，該單晶爐隔離閥通過吸引裝置能夠使閥芯板四周受力均勻，與下法蘭內(nèi)端口閉合嚴(yán)實不竄氣，長期使用穩(wěn)定性好。

技術(shù)研發(fā)人員：陳鵬,郭一辰,夏斌
受保護(hù)的技術(shù)使用者：寧夏申和新材料科技有限公司
技術(shù)研發(fā)日：
技術(shù)公布日：2024/12/10