本技術(shù)涉及半導(dǎo)體離子注入設(shè)備，尤其涉及一種離子注入機(jī)高壓發(fā)生器配接機(jī)構(gòu)。

背景技術(shù)：

1、離子注入機(jī)中的高壓發(fā)生器可為離子加速過程提供能量，其一般安裝于離子注入機(jī)框架中。專利文獻(xiàn)cn213982786u公開一種高壓發(fā)生器絕緣支架，可應(yīng)用于離子注入機(jī)中，其包括固定底座和支架本體，支架本體在固定底座上，支架本體包括縱向固定板和橫向固定板，縱向固定板和橫向固定板處于同一象限的側(cè)面開設(shè)有固定凹槽，縱向固定板和橫向固定板分別設(shè)有縱向調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)和橫向調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)，縱向調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)包括縱向滑槽、縱向調(diào)節(jié)絲桿、縱向滑塊和縱向擋板，橫向調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)包括橫向滑槽、橫向調(diào)節(jié)絲桿、橫向滑塊和橫向擋板，縱向擋板和橫向擋板設(shè)有端部夾持機(jī)構(gòu)，縱向固定板和橫向固定板位于固定凹槽內(nèi)均設(shè)有側(cè)部夾持機(jī)構(gòu)，通過縱向調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)和橫向調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)的配合，既可以適用于安裝不同尺寸的高壓電源，也可以調(diào)節(jié)高壓發(fā)生器的安裝角度，操作簡單，提高了支架的實(shí)用性和靈活性。然而，這種支架的橫向固定板與縱向固定板之間采用固定連接結(jié)構(gòu)，無法進(jìn)行微調(diào)，并且橫向固定板前端受到的拉力角度較大，當(dāng)橫向固定板向下變形時(shí)，難以進(jìn)行回調(diào)，使高壓電源角度偏斜，影響高壓發(fā)生器的運(yùn)行穩(wěn)定性。因此，有必要對其進(jìn)行結(jié)構(gòu)優(yōu)化，以克服上述缺陷。

技術(shù)實(shí)現(xiàn)思路

1、本實(shí)用新型的目的是提供一種離子注入機(jī)高壓發(fā)生器配接機(jī)構(gòu)，以提升設(shè)備運(yùn)行穩(wěn)定性。

2、本實(shí)用新型為解決其技術(shù)問題所采用的技術(shù)方案是：

3、一種離子注入機(jī)高壓發(fā)生器配接機(jī)構(gòu)，包括：

4、支撐裝配構(gòu)件，該支撐裝配構(gòu)件通過連接件安裝于離子注入機(jī)框架中，其內(nèi)部具有裝配空間；

5、豎向轉(zhuǎn)接構(gòu)件，該豎向轉(zhuǎn)接構(gòu)件安裝于支撐裝配構(gòu)件中，其內(nèi)部具有裝配空間；

6、橫向懸伸構(gòu)件，該橫向懸伸構(gòu)件安裝于豎向轉(zhuǎn)接構(gòu)件中，并通過連接件安裝于離子注入機(jī)框架中，其內(nèi)部具有裝配空間；

7、橫向支托構(gòu)件，該橫向支托構(gòu)件通過活動(dòng)連接結(jié)構(gòu)安裝于豎向轉(zhuǎn)接構(gòu)件中，并與橫向懸伸構(gòu)件位置對應(yīng)，其可在豎向轉(zhuǎn)接構(gòu)件中調(diào)節(jié)安裝角度，并在橫向懸伸構(gòu)件與橫向支托構(gòu)件之間形成容納空間；

8、鎖緊定位構(gòu)件，該鎖緊定位構(gòu)件安裝于橫向懸伸構(gòu)件與橫向支托構(gòu)件之間，由鎖緊定位構(gòu)件對橫向支托構(gòu)件的安裝角度進(jìn)行鎖緊，橫向懸伸構(gòu)件通過鎖緊定位構(gòu)件對橫向支托構(gòu)件提供拉力；

9、遮罩容納構(gòu)件，該遮罩容納構(gòu)件安裝于橫向支托構(gòu)件中，由橫向支托構(gòu)件對其進(jìn)行支托，遮罩容納構(gòu)件內(nèi)部具有高壓發(fā)生器容納空間，可對高壓發(fā)生器進(jìn)行遮罩。

10、具體地，支撐裝配構(gòu)件包括：

11、支撐基板，該支撐基板設(shè)有一對，并分別通過連接件安裝于離子注入機(jī)框架中；

12、裝配凸緣，該裝配凸緣設(shè)有一對，各裝配凸緣分別形成于支撐基板外壁，并向支撐基板外側(cè)凸出，豎向轉(zhuǎn)接構(gòu)件可安裝于裝配凸緣上。

13、在本實(shí)用新型的一個(gè)實(shí)施例中，支撐基板采用平面金屬板件制作，裝配凸緣采用u形金屬板件制作，其內(nèi)端焊接于支撐基板外壁，其外端向支撐基板外側(cè)凸出。

14、豎向轉(zhuǎn)接構(gòu)件包括：

15、轉(zhuǎn)接立板，該轉(zhuǎn)接立板設(shè)有一對，各轉(zhuǎn)接立板分別沿豎向布置，其底部與裝配凸緣接合，其頂部向轉(zhuǎn)接凸緣上方延伸。

16、在本實(shí)用新型的一個(gè)實(shí)施例中，轉(zhuǎn)接立板采用角形結(jié)合金屬板制作，其一邊與轉(zhuǎn)接凸緣接合，另一邊向轉(zhuǎn)接凸緣外側(cè)凸出。

17、橫向懸伸構(gòu)件包括：

18、懸伸頂梁，該懸伸頂梁設(shè)有一對，各懸伸頂梁分別沿橫向布置，其中部接合于轉(zhuǎn)接立板頂部，其內(nèi)端向懸伸頂梁內(nèi)側(cè)延伸，其外端向轉(zhuǎn)接立板外側(cè)延伸；

19、橫向端板，該橫向端板設(shè)有一對，各橫向端板分別接合于懸伸頂梁內(nèi)端，并通過連接件與離子注入機(jī)框架接合。

20、在本實(shí)用新型的一個(gè)實(shí)施例中，懸伸頂梁采用金屬方管制作，橫向端板采用平面金屬板件制作，其焊接于懸伸頂梁內(nèi)端，并通過連接螺栓與離子注入機(jī)框架接合。

21、橫向支托構(gòu)件包括：

22、支托框架，該支托框架沿橫向布置，并位于懸伸頂梁下方，其內(nèi)端位于轉(zhuǎn)接立板之間，轉(zhuǎn)接立板中部分別開設(shè)有轉(zhuǎn)接通孔，可通過與之適配的轉(zhuǎn)接螺栓將支托框架內(nèi)端與轉(zhuǎn)接立板接合，并可在轉(zhuǎn)接立板之間調(diào)節(jié)安裝角度，懸伸頂梁的長度小于支托框架的長度。

23、在本實(shí)用新型的一個(gè)實(shí)施例中，支托框架采用一組角形結(jié)合金屬板圍合連接形成。

24、鎖緊定位構(gòu)件包括：

25、定位板條，該定位板條設(shè)有一對，各定位板條分別位于懸伸頂梁與支托框架之間，其頂端通過連接螺栓接合于懸伸頂梁外端，可在懸伸頂梁上調(diào)節(jié)安裝角度，其底端開設(shè)有鎖緊長孔，該鎖緊長孔沿定位板條的長度方向延伸，可通過與之適配的鎖緊螺栓與支托框架外端接合，由定位板條對支托框架提供拉力，并對支托框架的安裝角度進(jìn)行鎖緊。

26、在本實(shí)用新型的一個(gè)實(shí)施例中，定位板條采用長條形平面金屬板件制作。

27、遮罩容納構(gòu)件包括：

28、遮罩殼板，該遮罩殼板設(shè)有一組，各遮罩殼板相互圍合連接，在其內(nèi)部形成與高壓發(fā)生器形狀適配的容納腔體，高壓發(fā)生器可插接于容納腔體中，由遮罩殼板對高壓發(fā)生器進(jìn)行遮罩。

29、在本實(shí)用新型的一個(gè)實(shí)施例中，遮罩殼板采用平面金屬板件制作，相鄰遮罩殼板接合部位連接有加強(qiáng)筋板，加強(qiáng)筋板采用角形結(jié)合金屬板制作。

30、本實(shí)用新型的優(yōu)點(diǎn)在于：

31、該配接機(jī)構(gòu)采用支承基板和裝配凸緣組成支撐裝配構(gòu)件，使配接機(jī)構(gòu)能夠穩(wěn)固地安裝在離子注入機(jī)框架中，支承基板提供良好的承重能力，裝配凸緣可增強(qiáng)支撐基板的連接強(qiáng)度和穩(wěn)定性，轉(zhuǎn)接立板采用角形結(jié)合金屬板制作，具有較高的抗彎和抗扭強(qiáng)度，能夠有效地傳遞和分散來自上方構(gòu)件的載荷，保證整體結(jié)構(gòu)的豎向穩(wěn)定性，懸伸頂梁采用金屬方管制作，具有較高的抗彎剛度和強(qiáng)度，能夠有效地承受橫向載荷，支托框架采用一組角形結(jié)合金屬板圍合連接形成，具有較高的整體性和穩(wěn)定性，能夠有效地支托上方的遮罩容納構(gòu)件和高壓發(fā)生器，定位板條采用長條形平面金屬板件制作，通過連接螺栓將支托框架與懸伸頂梁牢固地連接在一起，并對支托框架的安裝角度進(jìn)行鎖緊，保證整體結(jié)構(gòu)的橫向穩(wěn)定性，使高壓發(fā)生器在穩(wěn)定的配接結(jié)構(gòu)中運(yùn)行，避免在離子注入過程中發(fā)生故障，有利于提升離子注入質(zhì)量，提高集成電路成品的性能。

技術(shù)特征：

1.一種離子注入機(jī)高壓發(fā)生器配接機(jī)構(gòu)，其特征在于，包括：

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種離子注入機(jī)高壓發(fā)生器配接機(jī)構(gòu)，其特征在于，支撐裝配構(gòu)件包括：

3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的一種離子注入機(jī)高壓發(fā)生器配接機(jī)構(gòu)，其特征在于，豎向轉(zhuǎn)接構(gòu)件包括：

4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的一種離子注入機(jī)高壓發(fā)生器配接機(jī)構(gòu)，其特征在于，橫向懸伸構(gòu)件包括：

5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的一種離子注入機(jī)高壓發(fā)生器配接機(jī)構(gòu)，其特征在于，橫向支托構(gòu)件包括：

6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的一種離子注入機(jī)高壓發(fā)生器配接機(jī)構(gòu)，其特征在于，鎖緊定位構(gòu)件包括：

7.根據(jù)權(quán)利要求5所述的一種離子注入機(jī)高壓發(fā)生器配接機(jī)構(gòu)，其特征在于，遮罩容納構(gòu)件包括：

技術(shù)總結(jié)
本技術(shù)提出一種離子注入機(jī)高壓發(fā)生器配接機(jī)構(gòu)，其包括支撐裝配構(gòu)件、豎向轉(zhuǎn)接構(gòu)件、橫向懸伸構(gòu)件、橫向支托構(gòu)件、鎖緊定位構(gòu)件及遮罩容納構(gòu)件，該配接機(jī)構(gòu)采用支承基板和裝配凸緣組成支撐裝配構(gòu)件，具備較好的連接強(qiáng)度和穩(wěn)定性，轉(zhuǎn)接立板采用角形結(jié)合金屬板制作，具有較高的抗彎和抗扭強(qiáng)度，懸伸頂梁采用金屬方管制作，具有較高的抗彎剛度和強(qiáng)度，能夠有效地承受橫向載荷，支托框架采用一組角形結(jié)合金屬板圍合連接形成，具有較高的整體性和穩(wěn)定性，定位板條通過連接螺栓將支托框架與懸伸頂梁牢固地連接在一起，保證整體結(jié)構(gòu)的橫向穩(wěn)定性，使高壓發(fā)生器在穩(wěn)定的配接結(jié)構(gòu)中運(yùn)行，有利于提升離子注入質(zhì)量，提高集成電路成品的性能。

技術(shù)研發(fā)人員：劉青隆,龔再生,李燁
受保護(hù)的技術(shù)使用者：浙江中科尚弘離子裝備工程有限公司
技術(shù)研發(fā)日：20240122
技術(shù)公布日：2024/12/23