本技術(shù)屬于光學(xué)測(cè)量，涉及一種主動(dòng)氣浮隔振光學(xué)測(cè)量裝置。

背景技術(shù)：

1、在精密測(cè)量領(lǐng)域，包括光學(xué)測(cè)量機(jī)，設(shè)備檢測(cè)的精度受到多種因素的影響，其中環(huán)境振動(dòng)是其中一個(gè)重要的因素，且不可避免。傳統(tǒng)的被動(dòng)隔振方法，如隔振墊，在某些情況下無法滿足高精度測(cè)量的需求。因此，開發(fā)一種主動(dòng)氣浮隔振光學(xué)測(cè)量平臺(tái)，以提高測(cè)量機(jī)的抗振性能，具有重要意義。

技術(shù)實(shí)現(xiàn)思路

1、本實(shí)用新型針對(duì)上述問題，提供一種主動(dòng)氣浮隔振光學(xué)測(cè)量裝置，該測(cè)量裝置能夠提高測(cè)量機(jī)能夠有效隔離來自外部的振動(dòng)干擾，提高測(cè)量裝置的抗振性能。

2、按照本實(shí)用新型的技術(shù)方案：一種主動(dòng)氣浮隔振光學(xué)測(cè)量裝置，其特征在于：包括測(cè)量平臺(tái)框架，所述測(cè)量平臺(tái)框架的上表面安裝若干主動(dòng)氣浮隔振器，以支撐光學(xué)測(cè)量平臺(tái)；

3、所述光學(xué)測(cè)量平臺(tái)的底面安裝驅(qū)動(dòng)組件，驅(qū)動(dòng)組件貫穿測(cè)量平臺(tái)框架上開設(shè)的貫通開孔；

4、所述測(cè)量平臺(tái)框架上對(duì)應(yīng)每個(gè)所述主動(dòng)氣浮隔振器還分別設(shè)置一個(gè)水平控制閥，水平控制閥的測(cè)量桿抵靠于光學(xué)測(cè)量平臺(tái)的底面；

5、所述測(cè)量平臺(tái)框架上還安裝多個(gè)運(yùn)輸安裝塊，以鎖緊光學(xué)測(cè)量平臺(tái)。

6、作為本實(shí)用新型的進(jìn)一步改進(jìn)，所述驅(qū)動(dòng)組件包括輸出軸，輸出軸貫穿光學(xué)測(cè)量平臺(tái)向上延伸。

7、作為本實(shí)用新型的進(jìn)一步改進(jìn)，所述貫通開孔構(gòu)造為矩形孔。

8、作為本實(shí)用新型的進(jìn)一步改進(jìn)，所述運(yùn)輸安裝塊設(shè)有臺(tái)階以支撐光學(xué)測(cè)量平臺(tái)，光學(xué)測(cè)量平臺(tái)的外側(cè)邊通過運(yùn)輸安裝塊的臺(tái)階擋板限位。

9、作為本實(shí)用新型的進(jìn)一步改進(jìn)，所述主動(dòng)氣浮隔振器采用空氣彈簧。

10、作為本實(shí)用新型的進(jìn)一步改進(jìn)，所述空氣彈簧包括殼體及彈性配合設(shè)置于所述殼體中的彈性伸縮部，彈性伸縮部與光學(xué)測(cè)量平臺(tái)之間通過螺栓連接。

11、本實(shí)用新型的技術(shù)效果在于：本實(shí)用新型產(chǎn)品結(jié)構(gòu)合理巧妙，在工作時(shí)，通過主動(dòng)氣浮隔振系統(tǒng)有效地降低了光學(xué)測(cè)量機(jī)在動(dòng)態(tài)環(huán)境下的振動(dòng)影響，提高了測(cè)量精度。同時(shí)，本實(shí)用新型通過傳感器實(shí)時(shí)檢測(cè)測(cè)量機(jī)的振動(dòng)情況，并采用主動(dòng)控制算法調(diào)整氣浮隔振器的參數(shù)，以實(shí)現(xiàn)最優(yōu)的隔振效果。

技術(shù)特征：

1.一種主動(dòng)氣浮隔振光學(xué)測(cè)量裝置，其特征在于：包括測(cè)量平臺(tái)框架（4），所述測(cè)量平臺(tái)框架（4）的上表面安裝若干主動(dòng)氣浮隔振器（2），以支撐光學(xué)測(cè)量平臺(tái)（1）；

2.如權(quán)利要求1所述的主動(dòng)氣浮隔振光學(xué)測(cè)量裝置，其特征在于：所述驅(qū)動(dòng)組件（7）包括輸出軸（7-1），輸出軸（7-1）貫穿光學(xué)測(cè)量平臺(tái)（1）向上延伸。

3.如權(quán)利要求1所述的主動(dòng)氣浮隔振光學(xué)測(cè)量裝置，其特征在于：所述貫通開孔構(gòu)造為矩形孔。

4.如權(quán)利要求1所述的主動(dòng)氣浮隔振光學(xué)測(cè)量裝置，其特征在于：所述運(yùn)輸安裝塊（3）設(shè)有臺(tái)階以支撐光學(xué)測(cè)量平臺(tái)（1），光學(xué)測(cè)量平臺(tái)（1）的外側(cè)邊通過運(yùn)輸安裝塊（3）的臺(tái)階擋板限位。

5.如權(quán)利要求1所述的主動(dòng)氣浮隔振光學(xué)測(cè)量裝置，其特征在于：所述主動(dòng)氣浮隔振器（2）采用空氣彈簧（5）。

6.如權(quán)利要求5所述的主動(dòng)氣浮隔振光學(xué)測(cè)量裝置，其特征在于：所述空氣彈簧（5）包括殼體（5-1）及彈性配合設(shè)置于所述殼體（5-1）中的彈性伸縮部（5-2），彈性伸縮部（5-2）與光學(xué)測(cè)量平臺(tái)（1）之間通過螺栓連接。

技術(shù)總結(jié)
本技術(shù)屬于光學(xué)測(cè)量技術(shù)領(lǐng)域，涉及一種主動(dòng)氣浮隔振光學(xué)測(cè)量裝置，包括測(cè)量平臺(tái)框架，所述測(cè)量平臺(tái)框架的上表面安裝若干主動(dòng)氣浮隔振器，以支撐光學(xué)測(cè)量平臺(tái)；所述光學(xué)測(cè)量平臺(tái)的底面安裝驅(qū)動(dòng)組件，驅(qū)動(dòng)組件貫穿測(cè)量平臺(tái)框架上開設(shè)的貫通開孔；所述測(cè)量平臺(tái)框架上對(duì)應(yīng)每個(gè)所述主動(dòng)氣浮隔振器還分別設(shè)置一個(gè)水平控制閥，水平控制閥的測(cè)量桿抵靠于光學(xué)測(cè)量平臺(tái)的底面；所述測(cè)量平臺(tái)框架上還安裝多個(gè)運(yùn)輸安裝塊，以鎖緊光學(xué)測(cè)量平臺(tái)。該測(cè)量裝置能夠提高測(cè)量機(jī)能夠有效隔離來自外部的振動(dòng)干擾，提高測(cè)量裝置的抗振性能。

技術(shù)研發(fā)人員：邢晨星,鄧亞軍,陸鑫祥
受保護(hù)的技術(shù)使用者：無錫萬泰吉自動(dòng)化科技有限公司
技術(shù)研發(fā)日：20240125
技術(shù)公布日：2024/9/19