本技術(shù)涉及真空閥門，尤其涉及一種可機械自鎖的閥件。

背景技術(shù)：

1、傳輸門的主要作用就是在維持既定真空度需求的同時，來傳輸各種產(chǎn)品。主要是工作在各種工藝腔體之間。目前傳輸門使用最多的場合就是半導體行業(yè)的晶圓傳輸、液晶等有機面板的傳輸。這類產(chǎn)品有共同的特點就是極易被污染粒子損壞，因此傳輸門最重要的特性就是低粒子性。金屬閥門的粒子產(chǎn)生主要來源于金屬零部件之間的摩擦，會產(chǎn)生各種金屬碎屑。因此要提高傳輸門的低粒子性就需要盡可能避免發(fā)生金屬摩擦。目前國內(nèi)傳輸門多是閥板直上直下型運動，這樣會造成閥板與殼體的金屬摩擦，故當前國內(nèi)的半導體設備公司多是采用進口的低粒子傳輸門，這樣不僅增加了企業(yè)的成本，因為國外的技術(shù)封鎖，也面臨著斷供的風險。因此目前傳輸門市場隨著國產(chǎn)化替代的興起，將會有巨大的前景。

2、當前在傳統(tǒng)真空領(lǐng)域應用較廣泛的傳輸門大都采用如下形式的設計：

3、?1.直接由單作用氣缸驅(qū)動閥板進行上下運動，通過傳統(tǒng)閥芯結(jié)構(gòu)進行密封；

4、?2.同樣采用單作用氣缸驅(qū)動閥板上下運動的同時，將閥板密封圈改為異形結(jié)構(gòu)進行擠壓密封；

5、但是以上形式的設計存在以下問題：

6、?1.開關(guān)閥時，閥芯金屬面與閥體金屬面直接接觸，易磨損產(chǎn)生粉塵和污染顆粒；

7、?2.異形密封圈的材料為橡膠，在多次擠壓后易產(chǎn)生嚴重磨損，進而產(chǎn)生污染顆粒；

8、?3.上述兩種類型的傳輸門都未設置自鎖機構(gòu)，在沒有氣源的時候，無法保持關(guān)閉狀態(tài)，進而影響腔體內(nèi)的真空度。

技術(shù)實現(xiàn)思路

1、為了克服現(xiàn)有技術(shù)的不足，本實用新型解決了現(xiàn)有技術(shù)中金屬閥門易磨損產(chǎn)生粉塵和污染顆粒、異形密封圈易磨損產(chǎn)生污染顆粒、未設置自鎖機構(gòu)導致無法保持關(guān)閉狀態(tài)的問題。

2、一種可機械自鎖的閥件，包括閥板，閥板外側(cè)套有閥板密封件，閥板下端連接有閥桿，閥桿通過波紋管與頂蓋連接，閥桿下端連接有驅(qū)動座，驅(qū)動座連桿連接兩側(cè)的自鎖連桿，閥桿豎直向下穿過頂蓋，頂蓋下端兩側(cè)對稱設置有第一氣缸以及第二氣缸，驅(qū)動座連桿下端設置有驅(qū)動座，驅(qū)動座下端設置有底板。

3、進一步地，還包括自鎖連桿兩側(cè)設置有導軌。

4、進一步地，還包括第一氣缸以及第二氣缸由活塞桿組成，活塞桿上端連接有氣缸活塞，氣缸表面設置有軸向氣缸密封件以及徑向氣缸密封件。

5、進一步地，所述第一氣缸以及第二氣缸上端與頂蓋接觸，活塞桿與驅(qū)動座固定連接。

6、進一步地，還包括驅(qū)動座通過驅(qū)動座連桿與運動座連接。

7、進一步地，還包括運動座上固定有運動座滾輪以及驅(qū)動座上固定有驅(qū)動座滾輪，運動座滾輪運動在氣缸凹槽a內(nèi)，驅(qū)動座滾輪運動在氣缸凹槽c。

8、進一步地，還包括自鎖連桿上固定有自鎖連桿滾輪a和b，自鎖連桿滾輪a運動在氣缸凹槽b，滾輪b運動在導軌凹槽內(nèi)。

9、本實用新型的有益效果：

10、?1.傳輸門的機械自鎖功能：由于運動塊上連桿機構(gòu)和滑槽的特殊配合關(guān)系，會讓傳輸門在關(guān)閥到位后，發(fā)生機械自鎖。因此即使在整個系統(tǒng)斷電后或斷氣后，閥門仍可以保持關(guān)閥狀態(tài)，不會影響腔體的真空性；

11、?2.低粒子、低振動功能：本申請的閥板開關(guān)閥運動軌跡類似“j”形，在法蘭連接殼內(nèi)均未發(fā)生任何金屬摩擦。法蘭連接殼與傳輸門殼體內(nèi)部通過波紋管連接，保證了真空度。因此閥門可保持低粒子性。運動塊帶動閥桿閥門進行開關(guān)閥運動都是依靠連桿及其上面的軸承在既定滑槽中運動，因此閥門的開關(guān)閥運動都較為平穩(wěn)，可保持低振動功能。

技術(shù)特征：

1.一種可機械自鎖的閥件，其特征在于，包括閥板（1），閥板（1）外側(cè)套有閥板密封件（2），閥板（1）下端連接有閥桿（7），閥桿（7）通過波紋管（6）與頂蓋（3）連接，閥桿（7）下端連接有運動座（14），驅(qū)動座連桿（12）連接兩側(cè)的自鎖連桿（8），閥桿（7）豎直向下穿過頂蓋（3），頂蓋（3）下端兩側(cè)對稱設置有第一氣缸（4）以及第二氣缸（5），驅(qū)動座連桿（12）下端設置有驅(qū)動座（11），驅(qū)動座（11）下端設置有底板（9）。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種可機械自鎖的閥件，其特征在于，還包括自鎖連桿（8）兩側(cè)設置有導軌（10）。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種可機械自鎖的閥件，其特征在于，還包括第一氣缸（4）以及第二氣缸（5）由活塞桿（44）組成，活塞桿（44）上端連接有氣缸活塞（42），氣缸活塞（42）表面設置有軸向氣缸密封件（41）以及徑向氣缸密封件（43）。

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種可機械自鎖的閥件，其特征在于，所述第一氣缸（4）以及第二氣缸（5）上端與頂蓋（3）接觸，活塞桿（44）與驅(qū)動座（11）固定連接。

5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種可機械自鎖的閥件，其特征在于，還包括驅(qū)動座（11）通過驅(qū)動座連桿（12）與運動座（14）連接。

6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種可機械自鎖的閥件，其特征在于，還包括運動座（14）上固定有運動座滾輪（141）以及驅(qū)動座（11）上固定有驅(qū)動座滾輪（111），運動座滾輪（141）運動在氣缸凹槽a（404）內(nèi)，驅(qū)動座滾輪（111）運動在氣缸凹槽c（406）。

7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種可機械自鎖的閥件，其特征在于，還包括自鎖連桿（8）上固定有自鎖連桿滾輪a和b，自鎖連桿滾輪a（81）運動在氣缸凹槽b(405），滾輪b（82）運動在導軌凹槽（101）內(nèi)。

技術(shù)總結(jié)
本技術(shù)公開了一種可機械自鎖的閥件，包括閥板，閥板外側(cè)套有閥板密封件，閥板下端連接有閥桿，閥桿通過波紋管與頂蓋連接，閥桿下端連接有驅(qū)動座，驅(qū)動座連桿連接兩側(cè)的自鎖連桿，閥桿豎直向下穿過頂蓋，頂蓋下端兩側(cè)對稱設置有第一氣缸以及第二氣缸，驅(qū)動座連桿下端設置有驅(qū)動座，驅(qū)動座下端設置有底板，傳輸門的機械自鎖功能：由于運動塊上連桿機構(gòu)和滑槽的特殊配合關(guān)系，會讓傳輸門在關(guān)閥到位后，發(fā)生機械自鎖。因此即使在整個系統(tǒng)斷電后或斷氣后，閥門仍可以保持關(guān)閥狀態(tài)，不會影響腔體的真空性；低粒子、低振動功能：本申請在法蘭連接殼內(nèi)均未發(fā)生任何金屬摩擦。法蘭連接殼與傳輸門殼體內(nèi)部通過波紋管連接，可保持低振動功能。

技術(shù)研發(fā)人員：王蓮冀,魏瓊林,周思遙,林江,羅一
受保護的技術(shù)使用者：成都中科唯實儀器有限責任公司
技術(shù)研發(fā)日：20240428
技術(shù)公布日：2024/12/19