本技術(shù)涉及半導(dǎo)體制造，具體為一種半導(dǎo)體cvd設(shè)備用高真空傳輸閥。

背景技術(shù)：

1、半導(dǎo)體cvd設(shè)備是半導(dǎo)體工業(yè)中重要的制造工具，它通過化學(xué)氣相沉積技術(shù)將材料沉積在基板上以制造半導(dǎo)體器件，而真空傳輸閥是半導(dǎo)體cvd設(shè)備中不可或缺的一部分，它的作用是控制氣體流動和壓力，以保證半導(dǎo)體設(shè)備的正常運行。然而目前的真空傳輸閥依然存在以下不足：

2、如申請?zhí)枮?02022987891.8的專利文件公開了一種具有補償功能的真空閥。該具有補償功能的真空閥，其能夠自動補償閥頭與閥口之間的間隙，保障閥頭與閥口之間良好的密封性，避內(nèi)外膽之間的真空度降低，避免內(nèi)膽的保溫性能降低免，但其不便于與連接管進行快速連接，且連接不夠穩(wěn)固，容易造成氣體泄露，導(dǎo)致其無法正常使用。

3、于是，有鑒于此，針對現(xiàn)有的結(jié)構(gòu)不足予以研究改良，提出一種半導(dǎo)體cvd設(shè)備用高真空傳輸閥。

技術(shù)實現(xiàn)思路

1、本實用新型的目的在于提供一種半導(dǎo)體cvd設(shè)備用高真空傳輸閥，以解決上述背景技術(shù)中提出的問題。

2、為實現(xiàn)上述目的，本實用新型提供如下技術(shù)方案：一種半導(dǎo)體cvd設(shè)備用高真空傳輸閥，包括閥體和連接組件，所述閥體上端右表面設(shè)置有側(cè)連接口，所述閥體底部設(shè)置有下連接口，所述連接組件設(shè)置于側(cè)連接口表面，且連接組件包括螺紋安裝槽、螺紋安裝環(huán)、連接管、密封卡接管、十字開口防塵膜、加固環(huán)和加固栓，所述螺紋安裝槽開設(shè)于側(cè)連接口右表面以及下連接口下表面，且螺紋安裝槽內(nèi)側(cè)螺紋連接有螺紋安裝環(huán)，所述螺紋安裝環(huán)外端安裝有連接管，且連接管內(nèi)端表面設(shè)置有密封卡接管，所述密封卡接管與側(cè)連接口內(nèi)側(cè)以及下連接口內(nèi)側(cè)卡合連接。

3、進一步的，所述側(cè)連接口以及下連接口外端內(nèi)側(cè)均設(shè)置有十字開口防塵膜，且側(cè)連接口以及下連接口外側(cè)表面設(shè)置有加固環(huán)。

4、進一步的，所述加固環(huán)為硬質(zhì)鋼制結(jié)構(gòu)，且加固環(huán)表面設(shè)置有加固栓。

5、進一步的，所述閥體為一體成型的鋼制結(jié)構(gòu)，且閥體內(nèi)部設(shè)置有用于自動泄壓的泄壓組件。

6、進一步的，所述泄壓組件包括主連接桿、活動腔體、固定擋環(huán)、高壓彈簧、副連接桿、活動擋環(huán)、密封擋板和彈性密封圈，且主連接桿滑動連接于閥體上端內(nèi)側(cè)，所述主連接桿內(nèi)部下端開設(shè)有活動腔體，且活動腔體內(nèi)側(cè)下端安裝有固定擋環(huán)。

7、進一步的，所述活動腔體內(nèi)側(cè)上表面設(shè)置有高壓彈簧，且高壓彈簧底部安裝有副連接桿，所述副連接桿上端表面設(shè)置有活動擋環(huán)。

8、進一步的，所述副連接桿底部安裝有密封擋板，且密封擋板外側(cè)表面連接有彈性密封圈。

9、進一步的，所述閥體頂部安裝有氣動伸縮桿，且氣動伸縮桿底部與主連接桿上表面相連接。

10、本實用新型提供了一種半導(dǎo)體cvd設(shè)備用高真空傳輸閥，具備以下有益效果：

11、1、本實用新型通過設(shè)置連接組件，連接組件包括螺紋安裝槽、螺紋安裝環(huán)、連接管、密封卡接管、十字開口防塵膜、加固環(huán)和加固栓，使用時，通過螺紋安裝環(huán)與螺紋安裝槽的螺紋連接，將連接管與閥體閥體的側(cè)連接口以及下連接口相連接，連接的同時密封卡接管穿過十字開口防塵膜后與側(cè)連接口以及下連接口內(nèi)側(cè)卡合連接，，再通過加固栓對加固環(huán)與側(cè)連接口以及下連接口表面進固定，進一步加固連接，十字開口防塵膜具有防塵的作用，且其彈性較大，連接管拆卸后，十字開口防塵膜可回彈復(fù)位，從而使得該裝置可實現(xiàn)閥體與連接管的快速連接，且連接穩(wěn)固不易發(fā)生松脫，提高整體的穩(wěn)定性。

12、2、本實用新型通過設(shè)置泄壓組件，泄壓組件包括主連接桿、活動腔體、固定擋環(huán)、高壓彈簧、副連接桿、活動擋環(huán)、密封擋板和彈性密封圈，使用時，當(dāng)連接的管道內(nèi)壓力過大時，氣壓會壓迫密封擋板抬升，此時會帶動副連接桿沿活動腔體內(nèi)側(cè)向上移動，使高壓彈簧受壓而收縮，使得壓力可從下連接口到側(cè)連接口釋放出，壓力恢復(fù)后，高壓彈簧回彈，帶動副連接桿沿活動腔體內(nèi)側(cè)向下復(fù)位，進而帶動密封擋板復(fù)位，對下連接口內(nèi)側(cè)進行密封，彈性密封圈可提高密封性，氣動伸縮桿帶動主連接桿上升時，當(dāng)活動擋環(huán)抵住固定擋環(huán)使即可帶動副連接桿繼續(xù)上升，進而帶動密封擋板上升泄壓，從而使得該裝置可在壓力過大時實現(xiàn)自動泄壓，也能通過氣動伸縮桿實現(xiàn)隨時泄壓或控制氣體流動。

技術(shù)特征：

1.一種半導(dǎo)體cvd設(shè)備用高真空傳輸閥，包括閥體(1)和連接組件(4)，其特征在于：所述閥體(1)上端右表面設(shè)置有側(cè)連接口(2)，所述閥體(1)底部設(shè)置有下連接口(3)，所述連接組件(4)設(shè)置于側(cè)連接口(2)表面，且連接組件(4)包括螺紋安裝槽(401)、螺紋安裝環(huán)(402)、連接管(403)、密封卡接管(404)、十字開口防塵膜(405)、加固環(huán)(406)和加固栓(407)，所述螺紋安裝槽(401)開設(shè)于側(cè)連接口(2)右表面以及下連接口(3)下表面，且螺紋安裝槽(401)內(nèi)側(cè)螺紋連接有螺紋安裝環(huán)(402)，所述螺紋安裝環(huán)(402)外端安裝有連接管(403)，且連接管(403)內(nèi)端表面設(shè)置有密封卡接管(404)，所述密封卡接管(404)與側(cè)連接口(2)內(nèi)側(cè)以及下連接口(3)內(nèi)側(cè)卡合連接。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種半導(dǎo)體cvd設(shè)備用高真空傳輸閥，其特征在于，所述側(cè)連接口(2)以及下連接口(3)外端內(nèi)側(cè)均設(shè)置有十字開口防塵膜(405)，且側(cè)連接口(2)以及下連接口(3)外側(cè)表面設(shè)置有加固環(huán)(406)。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種半導(dǎo)體cvd設(shè)備用高真空傳輸閥，其特征在于，所述加固環(huán)(406)為硬質(zhì)鋼制結(jié)構(gòu)，且加固環(huán)(406)表面設(shè)置有加固栓(407)。

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種半導(dǎo)體cvd設(shè)備用高真空傳輸閥，其特征在于，所述閥體(1)為一體成型的鋼制結(jié)構(gòu)，且閥體(1)內(nèi)部設(shè)置有用于自動泄壓的泄壓組件(5)。

5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的一種半導(dǎo)體cvd設(shè)備用高真空傳輸閥，其特征在于，所述泄壓組件(5)包括主連接桿(501)、活動腔體(502)、固定擋環(huán)(503)、高壓彈簧(504)、副連接桿(505)、活動擋環(huán)(506)、密封擋板(507)和彈性密封圈(508)，且主連接桿(501)滑動連接于閥體(1)上端內(nèi)側(cè)，所述主連接桿(501)內(nèi)部下端開設(shè)有活動腔體(502)，且活動腔體(502)內(nèi)側(cè)下端安裝有固定擋環(huán)(503)。

6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的一種半導(dǎo)體cvd設(shè)備用高真空傳輸閥，其特征在于，所述活動腔體(502)內(nèi)側(cè)上表面設(shè)置有高壓彈簧(504)，且高壓彈簧(504)底部安裝有副連接桿(505)，所述副連接桿(505)上端表面設(shè)置有活動擋環(huán)(506)。

7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的一種半導(dǎo)體cvd設(shè)備用高真空傳輸閥，其特征在于，所述副連接桿(505)底部安裝有密封擋板(507)，且密封擋板(507)外側(cè)表面連接有彈性密封圈(508)。

8.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種半導(dǎo)體cvd設(shè)備用高真空傳輸閥，其特征在于，所述閥體(1)頂部安裝有氣動伸縮桿(6)，且氣動伸縮桿(6)底部與主連接桿(501)上表面相連接。

技術(shù)總結(jié)
本技術(shù)公開了一種半導(dǎo)體CVD設(shè)備用高真空傳輸閥，涉及半導(dǎo)體制造技術(shù)領(lǐng)域，包括閥體和連接組件，所述閥體上端右表面設(shè)置有側(cè)連接口，所述閥體底部設(shè)置有下連接口，所述連接組件設(shè)置于側(cè)連接口表面，且連接組件包括螺紋安裝槽、螺紋安裝環(huán)、連接管、密封卡接管、十字開口防塵膜、加固環(huán)和加固栓，所述螺紋安裝槽開設(shè)于側(cè)連接口右表面以及下連接口下表面，且螺紋安裝槽內(nèi)側(cè)螺紋連接有螺紋安裝環(huán)。該半導(dǎo)體CVD設(shè)備用高真空傳輸閥，通過連接組件使得該裝置可實現(xiàn)閥體與連接管的快速連接，且連接穩(wěn)固不易發(fā)生松脫，提高整體的穩(wěn)定性，通過泄壓組件使得該裝置可在壓力過大時實現(xiàn)自動泄壓，也能通過氣動伸縮桿實現(xiàn)隨時泄壓或控制氣體流動。

技術(shù)研發(fā)人員：黎糾,段宇,孫志開,牛建新,王攀
受保護的技術(shù)使用者：帝京半導(dǎo)體科技（蘇州）有限公司
技術(shù)研發(fā)日：20240521
技術(shù)公布日：2024/12/23