專利名稱:壓力可調(diào)之探針座裝置的制作方法
<一>技術(shù)領(lǐng)域：
本實(shí)用新型系與晶粒探針座裝置的結(jié)構(gòu)有關(guān)，主要系將一般習(xí)用者的使用弊端，作一改良使之更為完善，更詳而言之，尤指一種操作容易與便捷的壓力可調(diào)之探針座裝置。
<二>背景技術(shù)：
以往習(xí)用之晶粒探針座的作動(dòng)機(jī)構(gòu)，在實(shí)施時(shí)有以下幾點(diǎn)弊端1、作動(dòng)時(shí)常會(huì)有不準(zhǔn)確且不順暢的作動(dòng)。
2、敏銳度不夠，因此，精確度不高，品質(zhì)就大幅下降。
3、生產(chǎn)率低，故障率偏高，不能符合經(jīng)濟(jì)效益。
4、壓力不能調(diào)整，以致造成無(wú)法令探針準(zhǔn)確作動(dòng)。
目前這種習(xí)用之晶粒探針座，弊端多，極待改進(jìn)。
<三>
發(fā)明內(nèi)容
本實(shí)用新型之主要目的，旨在于利用本實(shí)用新型之探針座結(jié)構(gòu)的設(shè)計(jì)，達(dá)到操作便捷及提高工作效率的目的；使習(xí)用者弊端得以改善，可提供產(chǎn)業(yè)界利用的價(jià)值，使之具有經(jīng)濟(jì)效益。
本實(shí)用新型一種壓力可調(diào)之探針座裝置，系包含一臂座及與之連接的作動(dòng)機(jī)構(gòu)，其中，該臂座在X、Y、Z軸的三個(gè)方向上各設(shè)有調(diào)整手輪，以供調(diào)整各軸上的塊體移動(dòng)；另該作動(dòng)機(jī)構(gòu)含有一具有貫穿孔的探針臂動(dòng)件，及其下方連接一具有突柱的接點(diǎn)懸臂板，而該接點(diǎn)懸臂板的一端塞入一具有溝槽的探針臂，以及藉突柱穿伸置入該探針臂動(dòng)件的貫穿孔內(nèi)，并由一壓力調(diào)整彈簧置入，及上方鎖入一壓力調(diào)整鈕，而在該接點(diǎn)懸臂板的底端接設(shè)一彈簧片，以形成一彈性接點(diǎn)，另在該探針臂動(dòng)件的前端處設(shè)一金接點(diǎn)并連接一探針，由金接點(diǎn)之開(kāi)關(guān)感知探針是否觸及晶粒，并藉探針導(dǎo)入電訊號(hào)以此感測(cè)晶粒的好壞(良窳)及其質(zhì)量的高低。
本實(shí)用新型一種壓力可調(diào)之探針座裝置，其優(yōu)點(diǎn)是1、它具備接觸感應(yīng)及接觸力調(diào)整之三軸精密調(diào)整測(cè)定之測(cè)試針座。
2、X、Y、Z軸可調(diào)整，并且大直徑的調(diào)整手輪具備有微調(diào)的功能。
3、探針接觸到目標(biāo)物時(shí)，由一接觸感應(yīng)接點(diǎn)感應(yīng)得知后，可避免探針過(guò)渡下壓。
4、接觸壓力可微調(diào)，可提供穩(wěn)定精確的接觸力，避免破壞被測(cè)的晶粒。
5、工作效率高，操作省時(shí)省力，具有推廣使用價(jià)值。
<四>

圖1系本實(shí)用新型之立體分解示意圖。
圖2系本實(shí)用新型之組合立體示意圖。
圖3系本實(shí)用新型之組合立體示意圖。
圖4系本實(shí)用新型之X軸作動(dòng)示意圖。
圖5系本實(shí)用新型之Y軸作動(dòng)示意圖。
圖6系本實(shí)用新型之Z軸作動(dòng)示意圖。
圖7系本實(shí)用新型之平面作動(dòng)示意圖。
圖中標(biāo)號(hào)如下10臂座 20作動(dòng)機(jī)構(gòu) 11、12、13X、Y、Z軸調(diào)整手輪21貫穿孔 22探針臂動(dòng)件 231突柱23接點(diǎn)懸臂板 24溝槽 25探針臂26壓力調(diào)整彈簧 27壓力調(diào)整鈕 28彈簧片29金接點(diǎn) 30探針 40晶粒<五>具體實(shí)施方式
首先，請(qǐng)參閱圖1至圖7所示，本實(shí)用新型一種壓力可調(diào)之探針座裝置，它包含一臂座10及與之連接的作動(dòng)機(jī)構(gòu)20，其中，該臂座10在X、Y、Z軸的三個(gè)方向上各設(shè)有調(diào)整手輪11、12、13，以供調(diào)整各軸上的塊體移動(dòng)；另該作動(dòng)機(jī)構(gòu)20系含有一具有貫穿孔21的探針臂動(dòng)件22，及其下方連接具有一突柱231的接點(diǎn)懸臂板23，而該接點(diǎn)懸臂板23的一端則塞入一具有溝槽24的探針臂25上，以及藉突柱231穿伸置入該探針臂動(dòng)件22的貫穿孔21內(nèi)，并由一壓力調(diào)整彈簧26置入，及上方鎖入一壓力調(diào)整鈕27，而在接點(diǎn)懸臂板23底端接設(shè)一彈簧片28，以形成一彈性接點(diǎn)，另在該探針臂動(dòng)件22的前端處設(shè)一金接點(diǎn)29并連接一探針30，由金接點(diǎn)29之開(kāi)關(guān)感知探針30是否觸及晶粒40，并藉探針30導(dǎo)入電訊號(hào)以此感測(cè)晶粒40的好壞(良窳)及其質(zhì)量的高低。
當(dāng)組裝實(shí)施時(shí)，請(qǐng)繼續(xù)參閱圖1至圖7所示，首先，本實(shí)用新型之臂座10得以藉由X、Y、Z軸的調(diào)整手輪11、12、13，去調(diào)整各軸移動(dòng)，使作動(dòng)機(jī)構(gòu)20移至適當(dāng)位置，如圖4至圖6所示；再者，本實(shí)用新型之作動(dòng)機(jī)構(gòu)20可藉由該壓力調(diào)整鈕27去微調(diào)該探針臂動(dòng)件22上的探針30的精準(zhǔn)度，而該探針30當(dāng)在空中往下碰觸到晶粒40表面時(shí)，則能導(dǎo)通訊號(hào)去進(jìn)行偵測(cè)工作，倘若探針30持續(xù)往下壓，而壓力大于壓力調(diào)整彈簧26所設(shè)定的力量時(shí)，則該接點(diǎn)即刻分離，如此可保護(hù)晶粒40，避免晶粒40遭受破壞，如此，本實(shí)用新型不僅可準(zhǔn)確測(cè)試晶粒40，更能提高產(chǎn)品品質(zhì)。
權(quán)利要求
1.一種壓力可調(diào)之探針座裝置，其特征在于它包含一臂座及與之連接的作動(dòng)機(jī)構(gòu)；該臂座在X、Y、Z軸的三個(gè)方向上各設(shè)有調(diào)整手輪；該作動(dòng)機(jī)構(gòu)含有一具有貫穿孔的探針臂動(dòng)件及其下方連接具有一突柱的接點(diǎn)懸臂板，而該接點(diǎn)懸臂板的一端塞入一具有溝槽的探針臂上，以及藉突柱穿伸置入該探針臂動(dòng)件的貫穿孔內(nèi)，并由一壓力調(diào)整彈簧置入，及上方鎖入一壓力調(diào)整鈕，而在該接點(diǎn)懸臂板的底端接設(shè)一彈簧片形成一彈性接點(diǎn)，另在該探針臂動(dòng)件的前端處設(shè)有一金接點(diǎn)并連接一探針，并藉探針導(dǎo)入電訊號(hào)。
專利摘要
一種壓力可調(diào)之探針座裝置，它包含一臂座及與之連接的作動(dòng)機(jī)構(gòu)，該臂座在X、Y、Z軸的三個(gè)方向上各設(shè)有調(diào)整手輪，以供調(diào)整各軸上之塊體移動(dòng)；另該作動(dòng)機(jī)構(gòu)含有一具有貫穿孔的探針臂動(dòng)件，及其下方連接具有一突柱之接點(diǎn)懸臂板，而該接點(diǎn)懸臂板的一端塞入一具有溝槽的探針臂上，以及藉突柱穿伸置入該探針臂動(dòng)件的貫穿孔內(nèi)，并由一壓力調(diào)整彈簧置入，及上方鎖入一壓力調(diào)整鈕，而在該接點(diǎn)懸臂板的底端接設(shè)一彈簧片，以形成一彈性接點(diǎn)，另在該探針臂動(dòng)件的前端處設(shè)有一金接點(diǎn)并連接一探針，由金接點(diǎn)之開(kāi)關(guān)感知探針是否觸及晶粒，并藉探針導(dǎo)入電訊號(hào)以此感測(cè)晶粒的好壞及其質(zhì)量的高低。
文檔編號(hào)G01Q30/00GKCN2757300SQ200420096482
公開(kāi)日2006年2月8日 申請(qǐng)日期2004年10月11日
發(fā)明者盧彥豪 申請(qǐng)人:盧彥豪導(dǎo)出引文BiBTeX, EndNote, RefMan