一種用于高溫爐氣體流量閥的制作方法
【專利摘要】本發(fā)明公開了一種用于高溫爐氣體流量閥，包括有閥桿，閥蓋，閥體，所述閥體上端通過螺母安裝有閥蓋，閥蓋上端設(shè)有彈簧組件；所述閥體內(nèi)安裝有球芯，球芯且與所述的閥桿相連接，所述閥體底端通過螺栓安裝有村套。本發(fā)明具有溫度均勻、控制穩(wěn)定、升溫速度快、節(jié)能、使用溫度高、壽命長等特點。
【專利說明】
一種用于高溫爐氣體流量閥
技術(shù)領(lǐng)域
[0001]本發(fā)明涉及一種球閥，具體是一種用于高溫爐氣體流量閥。
【背景技術(shù)】
[0002]真空氣氛管式爐專門設(shè)計用于低溫CVD工藝。如ZnO納米結(jié)構(gòu)的可控生長、氮化硅渡膜、陶瓷基片導(dǎo)電率測試、陶瓷電容器(MLCC)氣氛燒結(jié)等等。窯爐采用氧化鋁纖維制品隔熱、保溫，加熱元件選用進(jìn)口 KTL電阻絲，優(yōu)質(zhì)石英管爐膛，系統(tǒng)可預(yù)抽真空，氣體采用質(zhì)量流量計控制。進(jìn)口單回路智能溫度控制儀控制、高低溫區(qū)設(shè)計隔板結(jié)構(gòu)，有效的實現(xiàn)溫度梯度的控制。但是現(xiàn)有的金屬硬密封球閥在高溫情況下容易出現(xiàn)閥桿抱死卡澀等現(xiàn)象。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0003]為解決上述技術(shù)問題，本發(fā)明提供了一種適合在高溫環(huán)境下使用的高溫爐氣體流量閥。
[0004]本發(fā)明采取的技術(shù)方案是:
[0005]—種用于高溫爐氣體流量閥，包括有閥桿，閥蓋，閥體，其特征在于:所述閥體上端通過螺母安裝有閥蓋，閥蓋上端設(shè)有彈簧組件；所述閥體內(nèi)安裝有球芯，球芯且與所述的閥桿相連接，所述閥體底端通過螺栓安裝有村套，所述村套與球芯處設(shè)有密封件。
[0006]本發(fā)明的有益效果是:
[0007]本發(fā)明具有溫度均勻、控制穩(wěn)定、升溫速度快、節(jié)能、使用溫度高、壽命長等特點，在高溫情況下閥桿不會出現(xiàn)抱死卡澀等現(xiàn)象。
【附圖說明】
[0008]圖1是本發(fā)明的結(jié)構(gòu)示意圖
【具體實施方式】
[0009]如圖1所示，一種用于高溫爐氣體流量閥，包括有閥桿I，閥蓋3，閥體6，所述閥體6上端通過螺母安裝有閥蓋3，閥蓋3上端設(shè)有彈簧組件2 ;所述閥體6內(nèi)安裝有球芯5，球芯5且與所述的閥桿I相連接，所述閥體6底端通過螺栓安裝有村套7，所述村套7與球芯處設(shè)有密封件8。
【主權(quán)項】
1.一種用于高溫爐氣體流量閥，包括有閥桿，閥蓋，閥體，其特征在于:所述閥體上端通過螺母安裝有閥蓋，閥蓋上端設(shè)有彈簧組件；所述閥體內(nèi)安裝有球芯，球芯且與所述的閥桿相連接，所述閥體底端通過螺栓安裝有村套，所述村套與球芯處設(shè)有密封件。
【文檔編號】F16K5/06GK105889544SQ201410586385
【公開日】2016年8月24日
【申請日】2014年10月27日
【發(fā)明人】張時利, 王建躍, 王皓靜
【申請人】合肥日新高溫技術(shù)有限公司