同步密封裝置及具有該裝置的反應(yīng)爐的制作方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本實(shí)用新型涉及一種用于控制至少兩組密封組件密封的同步密封裝置，并且還涉及具有該裝置的反應(yīng)爐。
【背景技術(shù)】
[0002]真空設(shè)備在半導(dǎo)體和LED產(chǎn)業(yè)中被廣泛使用，其中很多設(shè)備在使用和生產(chǎn)過程中需要通入一些特殊的氣體，諸如有毒性的和具有腐蝕性的相關(guān)特殊氣體，反應(yīng)通道中的相關(guān)零件間的密封對(duì)真空設(shè)備的生產(chǎn)使用安全非常重要。目前真空設(shè)備中兩零件間的密封方式有單密封圈密封方式和雙密封圈密封方式，其中單個(gè)密封圈密封方式主要應(yīng)用在設(shè)備運(yùn)行中兩零件固定不動(dòng)的場(chǎng)所中，雙密封圈密封方式主要應(yīng)用在設(shè)備運(yùn)行過程中兩個(gè)密封零件需要分離和閉合密封動(dòng)作的場(chǎng)所中，并通過真空泵抽真空來檢測(cè)兩密封圈夾腔之間是否已經(jīng)達(dá)到和滿足密封的要求。目前真空類設(shè)備中，單組兩個(gè)零件廣泛應(yīng)用到單密封圈和雙密封圈密封，但是隨著反應(yīng)爐之類的真空設(shè)備的發(fā)展，需要提供能夠?qū)崿F(xiàn)兩組甚至多組零件自動(dòng)同步密封的裝置。
【實(shí)用新型內(nèi)容】
[0003]為了實(shí)現(xiàn)至少兩組密封組件的同步密封，本實(shí)用新型提出一種用于密封至少兩組密封組件的同步密封裝置，該同步密封裝置包括:升降機(jī)構(gòu)；固定支架，固定支架連接到升降機(jī)構(gòu)，固定支架通過升降機(jī)作往復(fù)運(yùn)動(dòng)，固定支架至少具有第一支承部和第二支承部；其中，至少兩組密封組件包括第一密封組件和第二密封組件，第一密封組件具有第一底蓋、第一固定法蘭和設(shè)置在第一底蓋和第一固定法蘭之間的密封件，第二密封組件具有第二底蓋、第二固定法蘭和設(shè)置在第二底蓋和第二固定法蘭之間的密封件，第一支承部支承第一底蓋，第二支承部支承第二底蓋。
[0004]根據(jù)本實(shí)用新型的另一個(gè)方面，第一密封組件的第一底蓋和第二密封組件的第二底蓋分別通過彈性連接裝置支承在第一密封組件支承部和第二密封組件支承部上。
[0005]較佳地，彈性連接裝置包括:銷柱，銷柱的一端固定到第一底蓋，銷柱的另一端穿設(shè)在固定支架的銷孔中并且可在銷孔中滑動(dòng)；以及彈簧，彈簧套設(shè)在銷柱上，彈簧的一端支承在固定支架的彈簧安裝部中。
[0006]根據(jù)本實(shí)用新型的另一個(gè)方面，第一密封件包括兩個(gè)密封圈，兩個(gè)密封圈之間具有第一真空夾腔，第二密封件包括兩個(gè)密封圈，兩個(gè)密封圈之間具有第二真空夾腔，同步密封裝置還包括用于抽真空的真空泵，第一真空夾腔和第二真空夾腔共同連接到真空泵。
[0007]根據(jù)本實(shí)用新型的又一個(gè)方面，升降機(jī)構(gòu)選自絲桿升降機(jī)構(gòu)、直線電機(jī)驅(qū)動(dòng)的升降機(jī)構(gòu)或氣缸驅(qū)動(dòng)的升降機(jī)構(gòu)中的一種。升降機(jī)構(gòu)設(shè)有上限位傳感器和下限位傳感器。
[0008]根據(jù)本實(shí)用新型的又一個(gè)方面，第一密封組件和第二密封組件中的至少一個(gè)設(shè)有用于夾緊的旋轉(zhuǎn)夾緊氣缸組件，旋轉(zhuǎn)夾緊氣缸組件包括夾緊螺桿和致動(dòng)氣缸，在致動(dòng)氣缸的作用下夾緊螺桿抵靠在第一密封組件和第二密封組件中的至少一個(gè)的底蓋的底側(cè)。
[0009]根據(jù)本實(shí)用新型的又一個(gè)方面，第一底蓋和第二底蓋之間用波紋管連接。
[0010]此外，本實(shí)用新型還涉及一種反應(yīng)爐，反應(yīng)爐包括反應(yīng)腔室，尾氣通道以及如上的同步密封裝置，第一密封組件用于密封尾氣通道，第二密封組件用于密封反應(yīng)腔室。較佳地，用于密封反應(yīng)腔室的第二密封組件設(shè)有用于夾緊的旋轉(zhuǎn)夾緊氣缸組件，旋轉(zhuǎn)夾緊氣缸組件包括夾緊螺桿和致動(dòng)氣缸，在致動(dòng)氣缸的作用下夾緊螺桿抵靠在第一密封組件和第二密封組件中的至少一個(gè)的底蓋的底側(cè)。
[0011]采用本實(shí)用新型的同步密封裝置可以實(shí)現(xiàn)兩組或更多組密封組件的同步密封。此外由于密封組件都采用了彈簧連接裝置與固定支架相連，因此，在密封狀態(tài)下有助于密封連接，而在分離狀態(tài)下有助于避免振動(dòng)或突然掉落。此外，由于各密封組件均采用雙密封的密封組件并且設(shè)置了真空泵，在同步密封裝置的往復(fù)密封操作過程中能夠可靠檢測(cè)密封了狀態(tài)。
【附圖說明】
[0012]圖1是根據(jù)本實(shí)用新型的同步密封裝置的側(cè)剖視圖，其中的密封組件處于密封狀態(tài)中；
[0013]圖2是根據(jù)本實(shí)用新型的同步密封裝置的另一側(cè)剖視圖，其中的密封組件處于分離狀態(tài)中；
[0014]圖3是根據(jù)本實(shí)用新型的同步密封裝置中的第一密封組件的立體圖；
[0015]圖4是根據(jù)本實(shí)用新型的同步密封裝置中的第二密封組件的立體圖；
[0016]圖5是根據(jù)本實(shí)用新型的同步密封裝置中的第一密封組件的立體剖視圖；以及
[0017]圖6是根據(jù)本實(shí)用新型的同步密封裝置中的第二密封組件的立體剖視圖。
【具體實(shí)施方式】
[0018]下面結(jié)合具體實(shí)施例和附圖對(duì)本實(shí)用新型作進(jìn)一步說明，在以下的描述中闡述了更多的細(xì)節(jié)以便于充分理解本實(shí)用新型，但是本實(shí)用新型顯然能夠以多種不同于此描述的其它方式來實(shí)施，本領(lǐng)域技術(shù)人員可以在不違背本實(shí)用新型內(nèi)涵的情況下根據(jù)實(shí)際應(yīng)用情況作類似推廣、演繹，因此不應(yīng)以此具體實(shí)施例的內(nèi)容限制本實(shí)用新型的保護(hù)范圍。
[0019]以下，以在半導(dǎo)體和LED產(chǎn)業(yè)中使用的反應(yīng)爐為例說明根據(jù)本實(shí)用新型的同步密封裝置10，但需說明的是，根據(jù)本實(shí)用新型的同步密封裝置10不僅限定具體實(shí)施例方式中的反應(yīng)爐，也可適用于其他需要同步密封的真空設(shè)備或反應(yīng)裝置。
[0020]如圖1和圖2所示，反應(yīng)爐具備一個(gè)通入反應(yīng)氣體的反應(yīng)腔室30，反應(yīng)氣體在參與反應(yīng)之后通過尾氣通道通出。如圖1所示，反應(yīng)爐的尾氣通道通過第一密封組件100可操作地密封連接到反應(yīng)爐的臺(tái)板40上的尾氣出口部20，而反應(yīng)爐的反應(yīng)腔室30固定在反應(yīng)爐臺(tái)板40的另一部分上，通過第二密封組件200反應(yīng)腔室30可打開或密封地關(guān)閉。
[0021]圖1和圖2示出了根據(jù)本實(shí)用新型的同步密封裝置10的側(cè)剖視圖，圖1所示的同步密封裝置10使兩個(gè)密封組件100、200均處于密封狀態(tài)中，而圖2所示的同步密封裝置10使兩個(gè)密封組件100、200均處于分離狀態(tài)中。用于密封連接尾氣通道的第一密封組件100包括由緊固件固定到臺(tái)板40的尾氣固定法蘭(第一固定法蘭)110、支承在固定支架400的第一支承部上的尾氣底蓋(第一底蓋)120以及設(shè)置在兩者之間的密封件或密封圈。用于密封反應(yīng)腔室30的第二密封組件200包括由緊固件固定到臺(tái)板40的腔室固定法蘭(第二固定法蘭)210、支承在固定支架400上的腔室底蓋(第二底蓋)220以及設(shè)置在兩者之間的密封件或密封圈。用于支承兩個(gè)底蓋120、220的固定支架400連接到升降機(jī)構(gòu)300，從而隨著升降機(jī)構(gòu)300的升降而往復(fù)移動(dòng)，使固定在固定支架400上的兩個(gè)底蓋120、220可以相對(duì)于兩個(gè)固定法蘭110、210同步地密封。為了方便移動(dòng)，第一底蓋120和第二底蓋220之間用波紋管500連接，以便通出尾氣。
[0022]根據(jù)本實(shí)用新型，腔室底蓋220通過彈性連接裝置(未示出)支承在固定支架400的支承部上的。彈性連接裝置總地包括銷柱和彈簧，彈簧可以套設(shè)在銷柱上。銷柱的一端固定到腔室底蓋220的底部，銷柱的另一端穿設(shè)過固定支架400上設(shè)置的銷孔并且可以在銷孔中自由滑動(dòng)，而彈簧的一端支承在固定支架400的彈簧安裝部上，彈簧安裝部例如可以是一個(gè)凹槽，銷孔設(shè)置凹槽中。例如，可以采用4個(gè)銷柱和4個(gè)彈簧構(gòu)造成用于支承腔室底蓋220的彈性連接裝置，它們對(duì)稱地分布在腔室底蓋220上。一方面，當(dāng)同步密封裝置10的升降機(jī)構(gòu)300到達(dá)最高位置時(shí)，底蓋220與固定法蘭210夾持之間的密封圈，彈性連接裝置中的彈簧壓縮，彈簧壓縮后的回彈作用力施加到底蓋220上從而壓縮密封圈，這樣可以確保密封效果，另一方面，當(dāng)升降機(jī)構(gòu)300下降時(shí)，彈簧連接裝置起到了緩沖作用，避免腔室底蓋220瞬間掉落或產(chǎn)生振動(dòng)。應(yīng)當(dāng)可以理解，根據(jù)需要使用的彈簧作用力的總和大小，銷柱和彈簧的規(guī)格和數(shù)量可以調(diào)整。
[0023]同樣地，尾氣底蓋120也通過彈性連接裝置支承在固定支架400的支承部上。如圖3所示，尾氣底蓋120上的彈性連接裝置包括六個(gè)銷柱130和套設(shè)在每個(gè)銷柱130上的彈簧150，銷柱130的一端固定到尾氣底蓋120的外周上，而銷柱130的另一端可滑動(dòng)地穿過固定支架400上的銷孔，彈簧150抵靠在固定支架400上，換言之，固定支架400通過彈簧150支承尾氣底蓋120。同