石英坩堝水套回轉(zhuǎn)軸分水器的制造方法
【專利摘要】本實(shí)用新型涉及一種石英坩堝水套回轉(zhuǎn)軸分水器，其特征在于：由分體的進(jìn)水裝置和回水裝置組合而成，所述進(jìn)水裝置由均勻設(shè)有多個(gè)進(jìn)水口的進(jìn)水腔殼體、內(nèi)置于進(jìn)水腔殼體一端的進(jìn)水腔軸承、沿進(jìn)水腔殼體軸向布置于進(jìn)水腔兩端的骨架油封組成，所述進(jìn)水腔殼體另一端設(shè)有組合端面Ⅰ，所述回水裝置由均勻設(shè)有多個(gè)回水口的回水腔殼體、內(nèi)置于回水腔殼體一端的回水腔軸承、沿回水腔殼體軸向布置于回水腔兩端的骨架油封組成，所述回水腔殼體另一端設(shè)有與組合端面Ⅰ相配合的組合端面Ⅱ。其冷卻效果好、分水器運(yùn)行平穩(wěn)，避免了進(jìn)水和回水互通，提高了骨架油封的使用壽命。
【專利說明】
石英坩堝水套回轉(zhuǎn)軸分水器
技術(shù)領(lǐng)域
[0001]本實(shí)用新型涉及一種生產(chǎn)石英坩禍過程中使用到的石英坩禍水套回轉(zhuǎn)軸分水器。
【背景技術(shù)】
[0002]石英坩禍水套是生產(chǎn)石英坩禍過程中用于支撐石英坩禍模具、為石英坩禍模具提供冷卻、保證石英坩禍處于真空環(huán)境的設(shè)備?，F(xiàn)有的石英坩禍水套包括水套殼體，在殼體內(nèi)壁設(shè)有支撐環(huán)，在水套殼體內(nèi)設(shè)有冷卻水腔，水腔內(nèi)設(shè)有上下冷卻水管，冷卻水進(jìn)水和回水主要通過回轉(zhuǎn)軸分水器來供給，工作過程中水套一直處于旋轉(zhuǎn)狀態(tài)，為防止水套上口變形，一般水套上水壓力控制在0.2Mpa左右，現(xiàn)有分水器進(jìn)水和回水僅靠三個(gè)骨架油封來密封，進(jìn)水和回水容易互通，且水套旋轉(zhuǎn)過程中分水器運(yùn)行平穩(wěn)性較差，為保證正常生產(chǎn)和減少水套變形等缺陷需要頻繁更換骨架油封。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0003]本實(shí)用新型要解決的技術(shù)問題是提供一種冷卻效果好、分水器運(yùn)行平穩(wěn)、避免進(jìn)水和回水互通、提高骨架油封使用壽命的石英坩禍水套回轉(zhuǎn)軸分水器。
[0004]本實(shí)用新型的技術(shù)方案是:
[0005]—種石英坩禍水套回轉(zhuǎn)軸分水器，其特征在于:由分體的進(jìn)水裝置和回水裝置組合而成，所述進(jìn)水裝置由均勻設(shè)有多個(gè)進(jìn)水口的進(jìn)水腔殼體、內(nèi)置于進(jìn)水腔殼體一端的進(jìn)水腔軸承、沿進(jìn)水腔殼體軸向布置于進(jìn)水腔兩端的骨架油封組成，所述進(jìn)水腔殼體另一端設(shè)有組合端面I，所述回水裝置由均勻設(shè)有多個(gè)回水口的回水腔殼體、內(nèi)置于回水腔殼體一端的回水腔軸承、沿回水腔殼體軸向布置于回水腔兩端的骨架油封組成，所述回水腔殼體另一端設(shè)有與組合端面I相配合的組合端面Π。
[0006]上述的石英坩禍水套回轉(zhuǎn)軸分水器，所述進(jìn)水腔殼體、回水腔殼體、進(jìn)水腔軸承、回水腔軸承及骨架油封的軸心線重合。
[0007]上述的石英坩禍水套回轉(zhuǎn)軸分水器，所述組合端面I的邊緣設(shè)有環(huán)形缺口，所述組合端面Π的邊緣設(shè)有與環(huán)形缺口相配合的環(huán)形凸臺(tái)。
[0008]本實(shí)用新型的有益效果是:
[0009]1、將水套回轉(zhuǎn)軸分水器由一體式分為進(jìn)水和回水兩個(gè)裝置，兩個(gè)裝置對(duì)應(yīng)水腔位置分別設(shè)有兩個(gè)骨架油封，則進(jìn)一步保證了進(jìn)、回水腔的密封性，避免了進(jìn)、回水互通;2、增設(shè)了兩個(gè)軸承，保證了回轉(zhuǎn)軸旋轉(zhuǎn)過程中分水器旋轉(zhuǎn)的平穩(wěn)性，也提高了骨架油封的使用壽命，間接延長了水套的使用壽命，降低了工人的勞動(dòng)強(qiáng)度，提高了生產(chǎn)效率。
【附圖說明】
[0010]圖1是本實(shí)用新型的分體結(jié)構(gòu)示意圖；
[0011]圖2是本實(shí)用新型的組合狀態(tài)示意圖。
[0012]圖中:1.進(jìn)水腔殼體、2.回水腔殼體、3.進(jìn)水腔軸承、4.回水腔軸承、5.骨架油封、6.骨架油封、7.回水口、8.進(jìn)水口、9.環(huán)形缺口、10.環(huán)形凸臺(tái)。
【具體實(shí)施方式】
[0013]如圖所示，該石英坩禍水套回轉(zhuǎn)軸分水器，由分體的進(jìn)水裝置和回水裝置組合而成，所述進(jìn)水裝置由均勻設(shè)有多個(gè)進(jìn)水口8的進(jìn)水腔殼體1、內(nèi)置于進(jìn)水腔殼體I一端的進(jìn)水腔軸承3、沿進(jìn)水腔殼體I軸向布置于進(jìn)水腔兩端的骨架油封5組成，所述進(jìn)水腔殼體I另一端設(shè)有組合端面I，所述回水裝置由均勻設(shè)有多個(gè)回水口 7的回水腔殼體2、內(nèi)置于回水腔殼體2—端的回水腔軸承4、沿回水腔殼體2軸向布置于回水腔兩端的骨架油封6組成，所述回水腔殼體2另一端設(shè)有與組合端面I相配合的組合端面Π。本實(shí)施例中，所述組合端面I的邊緣設(shè)有環(huán)形缺口 9，所述組合端面Π的邊緣設(shè)有與環(huán)形缺口 9相配合的環(huán)形凸臺(tái)10。所述進(jìn)水腔殼體1、回水腔殼體2、進(jìn)水腔軸承3、回水腔軸承4及骨架油封5、6的軸心線重合。
[0014]工作時(shí)，將組合后的分水器安裝在水套回轉(zhuǎn)軸上，利用進(jìn)水腔軸承3和回水腔軸承4進(jìn)行旋轉(zhuǎn)，進(jìn)水口8與上水相連，回水口7與回水管路相連，進(jìn)、回水腔分別靠骨架油封5、6來進(jìn)行密封。
【主權(quán)項(xiàng)】
1.一種石英坩禍水套回轉(zhuǎn)軸分水器，其特征在于:由分體的進(jìn)水裝置和回水裝置組合而成，所述進(jìn)水裝置由均勻設(shè)有多個(gè)進(jìn)水口的進(jìn)水腔殼體、內(nèi)置于進(jìn)水腔殼體一端的進(jìn)水腔軸承、沿進(jìn)水腔殼體軸向布置于進(jìn)水腔兩端的骨架油封組成，所述進(jìn)水腔殼體另一端設(shè)有組合端面I，所述回水裝置由均勻設(shè)有多個(gè)回水口的回水腔殼體、內(nèi)置于回水腔殼體一端的回水腔軸承、沿回水腔殼體軸向布置于回水腔兩端的骨架油封組成，所述回水腔殼體另一端設(shè)有與組合端面I相配合的組合端面Π。2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的石英坩禍水套回轉(zhuǎn)軸分水器，其特征在于:所述進(jìn)水腔殼體、回水腔殼體、進(jìn)水腔軸承、回水腔軸承及骨架油封的軸心線重合。3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的石英坩禍水套回轉(zhuǎn)軸分水器，其特征在于:所述組合端面I的邊緣設(shè)有環(huán)形缺口，所述組合端面Π的邊緣設(shè)有與環(huán)形缺口相配合的環(huán)形凸臺(tái)。
【文檔編號(hào)】F16L41/03GK205447069SQ201620312138
【公開日】2016年8月10日
【申請(qǐng)日】2016年4月14日
【發(fā)明人】王震, 孫興旺
【申請(qǐng)人】錦州佑鑫電子材料有限公司