專利名稱：充氣設(shè)備的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及一種充氣設(shè)備，特別是有關(guān)于一種用以將氣體導(dǎo)入至少一 個(gè)用以存放半導(dǎo)體組件或光罩的存放裝置中的充氣設(shè)備。
背景技術(shù)：
近代半導(dǎo)體科技發(fā)展迅速，其中光學(xué)微影技術(shù)扮演重要的角色，只要 是關(guān)于圖形定義，皆需依賴光學(xué)微影技術(shù)。光學(xué)微影技術(shù)在半導(dǎo)體的應(yīng)用 上，是將設(shè)計(jì)好的線路制作成具有特定形狀可透光的光罩。利用曝光原理， 則光源通過(guò)光罩投影至硅晶圓可曝光顯示特定圖案。由于任何附著于光罩 上的塵埃顆粒如微粒、粉塵或有機(jī)物都會(huì)造成投影成像的質(zhì)量劣化，用于 產(chǎn)生圖形的光罩必須保持絕對(duì)潔凈，而被投射的硅晶圓或者其它半導(dǎo)體投 射體亦必須保持絕對(duì)清靜，因此在一般的晶圓制程中，都提供無(wú)塵室的環(huán) 境以避免空氣中的顆粒污染。然而，目前的無(wú)塵室也無(wú)法達(dá)到絕對(duì)無(wú)塵的 狀態(tài)。
因此，現(xiàn)代的半導(dǎo)體制備皆利用抗污染的存放裝置進(jìn)行光罩與半導(dǎo)體 組件的保存與運(yùn)輸，以使光罩與半導(dǎo)體組件保持潔凈。存放裝置是在半導(dǎo) 體制程中用于存放光罩或半導(dǎo)體組件，以利光罩與半導(dǎo)體組件在機(jī)臺(tái)之間 的搬運(yùn)與傳送，并隔絕光罩與半導(dǎo)體組件與大氣的接觸，避免光罩或半導(dǎo) 體組件被雜質(zhì)污染而產(chǎn)生變化。因此，在先進(jìn)的半導(dǎo)體廠中，通常會(huì)要求該等存放裝置的潔凈度要符合機(jī)械標(biāo)準(zhǔn)接口 (Standard Mechanical Interface; SMIF)，也就是說(shuō)保持潔凈度在Class 1以下。故，在該等存放 裝置中充入氣體便是目前解決的手段之一。因此，以往的技術(shù)乃將該等存 放裝置外接一個(gè)充氣設(shè)備，使氣體通過(guò)充氣設(shè)備導(dǎo)入該等存放裝置。
然而，以往的充氣設(shè)備，是采用直線供氣的供氣線路(如圖7所示)， 換言之，其充氣的路線自供氣源至最后一個(gè)充氣點(diǎn)，是一氣到底的狀態(tài)， 因此最接近供氣源的充氣點(diǎn)，其氣壓最強(qiáng)，氣體流量最大；然而至末端充 氣點(diǎn)，其氣壓已因氣體流量不足而較前端的充氣點(diǎn)的氣壓為弱。此種充氣
設(shè)備，前端充氣點(diǎn)易因氣壓過(guò)強(qiáng)，而導(dǎo)致充入存放裝置的氣體流量過(guò)大， 而有損害存放裝置中光罩或半導(dǎo)體組件的危險(xiǎn)；然而末端充氣點(diǎn)，卻因氣 體流量不足，氣壓過(guò)小，而有充氣不足甚至無(wú)法充氣的危險(xiǎn)。如此一來(lái)， 將導(dǎo)致各個(gè)存放裝置雖置于同一充氣設(shè)備中，卻因氣壓配置不良，而使存 放裝置中氣體流量不同，而造成無(wú)法管理的狀況，使制造與管理的成本增 加。因此，如何使在同一充氣設(shè)備中每一存放裝置所導(dǎo)入的氣體流量相同， 是一個(gè)重要的議題。
有鑒于此，本發(fā)明所提供的充氣設(shè)備，乃針對(duì)現(xiàn)有技術(shù)加以改良。

發(fā)明內(nèi)容
為解決現(xiàn)有技術(shù)的問(wèn)題，本發(fā)明提供一種具有封閉回路供氣線路的充 氣設(shè)備，此充氣設(shè)備是用以將氣體導(dǎo)入于用以存放半導(dǎo)體組件或光罩的存 放裝置之中，充氣設(shè)備與供氣源連接，是由承座、入氣端口裝置與供氣線 路組合而成；承座是用以承載存放裝置；入氣端口裝置，設(shè)于承座上且與 存放裝置的入氣部分對(duì)應(yīng)的位置；供氣線路，尚包含有進(jìn)氣部分，用以與 供氣源連接；供氣部分與該入氣端口裝置連接；以及分氣部分，將來(lái)自進(jìn) 氣部分的氣體導(dǎo)入供氣部分，是一個(gè)封閉的回路。因此，本發(fā)明的主要目的，在于提供一種具有封閉回路供氣線路的充 氣設(shè)備，其供氣線路采封閉回路設(shè)計(jì)，能保持供氣線路內(nèi)氣壓穩(wěn)定。
本發(fā)明的再一目的，在于提供一種具有封閉回路供氣線路的充氣設(shè) 備，其供氣線路采封閉回路設(shè)計(jì)，不分在供氣線路中任何一端，均具有相 同氣壓與氣體流量。
本發(fā)明的再一目的，在于提供一種具有穩(wěn)壓裝置的充氣設(shè)備，得以調(diào) 節(jié)供氣線路內(nèi)氣體的壓力與流量，使供氣線路中任何一端均具有相同的氣 壓與氣體流量。
本發(fā)明的再一目的在于提供一種具有第一感應(yīng)裝置的充氣設(shè)備，得以 檢測(cè)供氣線路內(nèi)的氣壓與氣體流量，并且傳送信息至穩(wěn)壓裝置，另穩(wěn)壓裝 置調(diào)節(jié)氣壓與氣體流量，使充氣設(shè)備得以自動(dòng)化控制供氣線路內(nèi)的氣壓與 氣體流量。
本發(fā)明的再一目的，在于提供一種具有開關(guān)裝置的充氣設(shè)備，得以開 啟或關(guān)閉氣體進(jìn)入存放裝置。
本發(fā)明的再一目的，在于提供一種具有第二感應(yīng)裝置的充氣設(shè)備，用 以檢測(cè)存放裝置是否正確對(duì)位，并傳送信號(hào)至開關(guān)裝置，開啟或關(guān)閉氣體， 使充氣設(shè)備得以自動(dòng)化控制氣體進(jìn)入存放裝置。
本發(fā)明的再一目的，在于提供一種具有流量調(diào)節(jié)器的充氣設(shè)備，用以 調(diào)節(jié)導(dǎo)入存放裝置的氣體的流量，藉此得以保護(hù)存放裝置內(nèi)的對(duì)象免于受 到爆沖氣體的傷害。


圖l，是本發(fā)明充氣設(shè)備的示意圖2，是本發(fā)明充氣設(shè)備增設(shè)穩(wěn)壓裝置、第一感應(yīng)裝置的示意圖； 圖3，是本發(fā)明充氣設(shè)備增設(shè)開關(guān)裝置的示意圖；圖4，是本發(fā)明充氣設(shè)備增設(shè)感應(yīng)裝置的示意圖； 圖5，是本發(fā)明充氣設(shè)備中開關(guān)裝置增設(shè)流量調(diào)節(jié)器的示意圖； 圖6，是本發(fā)明充氣設(shè)備中供氣線路的分氣部分包含兩個(gè)以上互相連 通的回路的示意圖7，是關(guān)于供氣線路的現(xiàn)有技術(shù)的示意圖。主要組件符號(hào)說(shuō)明
充氣設(shè)備l 承座11
入氣端口裝置12 供氣線路13 進(jìn)氣部分131 供氣部分132 分氣部分133 開關(guān)裝置14 流量調(diào)節(jié)器141 第二感應(yīng)裝置15 穩(wěn)壓裝置18 第一感應(yīng)裝置19 供氣源2 存放裝置3 入氣部分3具體實(shí)施例方式
由于本發(fā)明是揭露一種具有封閉回路供氣線路的充氣設(shè)備，其中所利 用到的一些關(guān)于光罩、半導(dǎo)體組件、存放裝置或充氣裝置的詳細(xì)制造或處理過(guò)程，是利用現(xiàn)有技術(shù)來(lái)達(dá)成，故在下述說(shuō)明中，并不作完整描述。而 且下述內(nèi)文中的圖式，亦并未依據(jù)實(shí)際的相關(guān)尺寸完整繪制，其作用僅在 表達(dá)與本發(fā)明特征有關(guān)的示意圖。
請(qǐng)先參閱圖1，是本發(fā)明充氣設(shè)備的示意圖。充氣設(shè)備1與供氣源2 連接，用以將氣體導(dǎo)入至少一個(gè)用以存放半導(dǎo)體組件或光罩的存放裝置3 中，存放裝置3具有至少一個(gè)入氣部分31，氣體經(jīng)由入氣部分31進(jìn)入存 放裝置3中。
充氣設(shè)備1包含有至少一個(gè)承座11、至少一個(gè)入氣端口裝置12以及 供氣線路13。承座11，是用以承載存放裝置3;入氣端口裝置12，設(shè)于 承座11上且位于與存放裝置3入氣部分31相對(duì)應(yīng)的位置，氣體是通過(guò)入 氣端口裝置12通過(guò)入氣部分31后進(jìn)入存放裝置3。而本充氣設(shè)備重要技 術(shù)特征在于此供氣線路13，供氣線路13包含有一個(gè)進(jìn)氣部分131，用以 與供氣源2連接；包含至少一個(gè)供氣部分132分別與入氣端口裝置12連 接；以及包含有分氣部分133，將來(lái)自進(jìn)氣部分131的氣體導(dǎo)入該供氣部 分132。最大的特征在于分氣部分133成為一條封閉的回路，在此回路中 的氣壓均保持相同，因此每一供氣部分132進(jìn)入入氣端口裝置12的氣體 氣壓均為相同，不會(huì)因?yàn)檫h(yuǎn)離進(jìn)器部分131而產(chǎn)生氣壓不足的現(xiàn)象，因此 可以保持導(dǎo)入每一存放裝置3的氣壓均相同。
氣體在該封閉式回路的供氣路線13中，氣壓雖會(huì)保持相同，然而若 隨著開啟的供氣部分132數(shù)量增加，導(dǎo)入存放裝置3的整體氣體流量亦會(huì) 增加，則此時(shí)將造成供氣線路13內(nèi)氣壓流量整體減低，接著再進(jìn)入存放 裝置3的氣壓跟著減少，因此，本發(fā)明可再設(shè)置一個(gè)穩(wěn)壓裝置18 (如圖2 所示)，設(shè)置于供氣線路13的進(jìn)氣部分131，用以調(diào)節(jié)該供氣線路13內(nèi)氣 體的壓力與流量，充氣設(shè)備1的供氣線路13平時(shí)保持一定的流量，但是 隨著導(dǎo)入存放裝置3的氣體流量的增加或減少，該穩(wěn)壓裝置18可以隨之調(diào)整在供氣線路13內(nèi)的氣體流量，保持整個(gè)供氣線路13的氣壓的穩(wěn)定， 進(jìn)而保持導(dǎo)入存放裝置3的氣體具有穩(wěn)定的氣壓。同時(shí)，可再增設(shè)一個(gè)第 一感應(yīng)裝置19，設(shè)于供氣線路13的進(jìn)氣部分131中，用以感測(cè)供氣線路 13內(nèi)氣體的壓力與流量。第一感應(yīng)裝置19與穩(wěn)壓裝置18可以利用電性連 接的方式，將第一感應(yīng)裝置19所感測(cè)的氣壓與流量的結(jié)果傳輸至穩(wěn)壓裝 置18，使穩(wěn)壓裝置18得以調(diào)節(jié)在供氣線路13內(nèi)氣體的壓力與流量，以保 持供氣線路13中氣體流量與壓力的穩(wěn)定。
接著本發(fā)明充氣設(shè)備可再設(shè)置一個(gè)開關(guān)裝置14，與供氣線路13的供 氣部分132連接，用以開啟或關(guān)閉氣體進(jìn)入存放裝置3，如圖3所示。此 種開關(guān)裝置14可以是電磁閥。當(dāng)存放裝置3放置于充氣設(shè)備1的承座11 上，且其入氣部分31與入氣端口裝置12正確對(duì)位時(shí)，該開關(guān)裝置14即 開啟，則于供氣部分132的氣體即通過(guò)入氣端口裝置12進(jìn)入存放裝置3 中。
如欲使該充氣設(shè)備1更加自動(dòng)化，則可再于該充氣設(shè)備1中增設(shè)第二 感應(yīng)裝置15，如圖4所示。第二感應(yīng)裝置15可設(shè)在承座11上，設(shè)置目的 在于感應(yīng)存放裝置3的入氣部分31與充氣設(shè)備1的入氣端口裝置12是否 正確對(duì)位，當(dāng)入氣部分31與入氣端口裝置12的放置位置正確時(shí)，第二感 應(yīng)裝置15可以傳送信號(hào)至開關(guān)裝置14，并使該開關(guān)裝置14開啟，此時(shí)， 于供氣部分132的氣體即可通過(guò)入氣端口裝置12進(jìn)入存放裝置3中。
又，為了防止進(jìn)入存放裝置3的氣體在開關(guān)裝置14開啟的瞬間爆沖， 可再增設(shè)一個(gè)防止爆沖的流量調(diào)節(jié)器141，如圖5所示，用以在開關(guān)裝置 14開啟時(shí)，調(diào)節(jié)導(dǎo)入存放裝置3的氣體的流量。
接著，本發(fā)明改良的重點(diǎn)在于供氣線路13的分氣部分133是封閉的 回路，如此一來(lái)可以保持在回路中每處氣壓的穩(wěn)定，分氣部分133可以設(shè) 計(jì)為一個(gè)回路，或甚至包含兩個(gè)以上互相連通的回路，如圖6所示，端視使用的需要。
以上所述僅為本發(fā)明的較佳實(shí)施例而已，并非用以限定本發(fā)明的申請(qǐng)
專利權(quán)利；同時(shí)以上的描述，對(duì)于熟知本技術(shù)領(lǐng)域的專門人士應(yīng)可明了及
實(shí)施，因此其它未脫離本發(fā)明所揭示的精神下所完成的等效改變或修飾， 均應(yīng)包含在下述的申請(qǐng)專利范圍中。
權(quán)利要求
1、一種充氣設(shè)備，與一供氣源連接，用以將氣體導(dǎo)入至少一個(gè)用以存放半導(dǎo)體組件或光罩的存放裝置中，其中該存放裝置具有至少一入氣部分，該充氣設(shè)備包含至少一承座，用以承載該存放裝置；至少一入氣端口裝置，設(shè)于該承座上且與該存放裝置入氣部分對(duì)應(yīng)的位置；以及一供氣線路，其特征在于該供氣路線包含有一進(jìn)氣部分，用以與該供氣源連接；至少一供氣部分與該入氣端口裝置連接；以及一分氣部分，將來(lái)自該進(jìn)氣部分的氣體導(dǎo)入該供氣部分，其中該分氣部分是一封閉的回路。
2、 根據(jù)權(quán)利要求1所述的充氣設(shè)備，其特征在于，另包含一穩(wěn)壓裝置，設(shè)于該供氣線路的進(jìn)氣部分，用以調(diào)節(jié)該供氣線路內(nèi)氣體的壓力與流量0
3、 根據(jù)權(quán)利要求2所述的充氣設(shè)備，其特征在于，另包含一第一感應(yīng)裝置，設(shè)于該供氣線路的進(jìn)氣部分，用以感測(cè)該供氣線路內(nèi)氣體的壓力與流量。
4、 根據(jù)權(quán)利要求3所述的充氣設(shè)備，其特征在于，該第一感應(yīng)裝置將感測(cè)結(jié)果傳輸至該穩(wěn)壓裝置，使該穩(wěn)壓裝置得以調(diào)節(jié)該供氣線路內(nèi)氣體的壓力與流量。
5、 根據(jù)權(quán)利要求1所述的充氣設(shè)備，其特征在于，另包含一開關(guān)裝置，與該供氣線路的供氣部分連接，用以開啟或關(guān)閉氣體進(jìn)入該存放裝置。
6、 根據(jù)權(quán)利要求5所述的充氣設(shè)備，其特征在于，該開關(guān)裝置為一電磁閥。
7、 根據(jù)權(quán)利要求5所述的充氣設(shè)備，其特征在于，當(dāng)該存放裝置的入氣部分與該充氣設(shè)備的入氣端口裝置正確對(duì)位，該開關(guān)裝置即開啟，氣體即進(jìn)入該存放裝置中。
8、 根據(jù)權(quán)利要求5所述的充氣設(shè)備，其特征在于，另包含一第二感應(yīng)裝置，設(shè)于該承座上，用以感應(yīng)該存放裝置的入氣部分與該充氣設(shè)備的入氣端口裝置是否正確對(duì)位。
9、 根據(jù)權(quán)利要求8所述的充氣設(shè)備，其特征在于，當(dāng)該存放裝置的入氣部分與該充氣設(shè)備的入氣端口裝置正確對(duì)位時(shí)，該第二感應(yīng)裝置即傳送信號(hào)至該開關(guān)裝置，使該開關(guān)裝置開啟，氣體即進(jìn)入該存放裝置中。
10、 根據(jù)權(quán)利要求5所述的充氣設(shè)備，其特征在于，該開關(guān)裝置另包含一流量調(diào)節(jié)器，用以調(diào)節(jié)導(dǎo)入該存放裝置的氣體的流量。
11、 根據(jù)權(quán)利要求1所述的充氣設(shè)備，其特征在于，該分氣部分包含兩個(gè)以上互相連通的回路。
12、 一種充氣設(shè)備，與一供氣源連接，用以將氣體導(dǎo)入至少一個(gè)用以存放半導(dǎo)體組件或光罩的存放裝置中，其中該存放裝置具有至少一入氣部分，該充氣設(shè)備包含至少一承座，用以承載該存放裝置；至少一入氣端口裝置，設(shè)于該承座上且與該存放裝置入氣部分對(duì)應(yīng)的位置；一供氣線路，其特征在于該供氣路線包含有一進(jìn)氣部分，用以與該供氣源連接；以及至少一供氣部分與該入氣端口裝置連接；一開關(guān)裝置，與該供氣線路的供氣部分連接，用以開啟或關(guān)閉氣體進(jìn)入該存放裝置；以及一第二感應(yīng)裝置，設(shè)于該承座上，用以感應(yīng)該存放裝置的入氣部分與該充氣設(shè)備的入氣端口裝置是否正確對(duì)位；其中，當(dāng)該存放裝置的入氣部分與該充氣設(shè)備的入氣端口裝置正確對(duì)位時(shí)，該第二感應(yīng)裝置即傳送信號(hào)至該開關(guān)裝置，使該開關(guān)裝置開啟，氣體即進(jìn)入該存放裝置中。
13、 根據(jù)權(quán)利要求12所述的充氣設(shè)備，另包含一穩(wěn)壓裝置，設(shè)于該供氣線路的進(jìn)氣部分，用以調(diào)節(jié)該供氣線路內(nèi)氣體的壓力與流量。
14、 根據(jù)權(quán)利要求13所述的充氣設(shè)備，另包含一第一感應(yīng)裝置，設(shè)于該供氣線路的進(jìn)氣部分，用以感測(cè)該供氣線路內(nèi)氣體的壓力與流量。
15、 根據(jù)權(quán)利要求14所述的充氣設(shè)備，其特征在于，該第一感應(yīng)裝置將感測(cè)結(jié)果傳輸至該穩(wěn)壓裝置，使該穩(wěn)壓裝置得以調(diào)節(jié)該供氣線路內(nèi)氣體的壓力與流量。
16、 根據(jù)權(quán)利要求12所述的充氣設(shè)備，其特征在于，該開關(guān)裝置為一電磁閥。
17、 根據(jù)權(quán)利要求12所述的充氣設(shè)備，其特征在于，該開關(guān)裝置另包含一流量調(diào)節(jié)器，用以調(diào)節(jié)導(dǎo)入該存放裝置的氣體的流量。
18、 一種充氣設(shè)備，與一供氣源連接，用以將氣體導(dǎo)入至少一個(gè)用以存放半導(dǎo)體組件或光罩的存放裝置中，其中該存放裝置具有至少一入氣部分，該充氣設(shè)備包含至少一承座，用以承載該存放裝置；至少一入氣端口裝置，設(shè)于該承座上且與該存放裝置入氣部分對(duì)應(yīng)的位置；一供氣線路，其特征在于該供氣路線包含有一進(jìn)氣部分，用以與該供氣源連接；以及至少一供氣部分與該入氣端口裝置連接；一穩(wěn)壓裝置，設(shè)于該供氣線路的進(jìn)氣部分，用以調(diào)節(jié)該供氣線路內(nèi)氣體的壓力與流量；以及一第一感應(yīng)裝置，設(shè)于該供氣線路的進(jìn)氣部分，用以感測(cè)該供氣線路內(nèi)氣體的壓力與流量,-其中，該第一感應(yīng)裝置將感測(cè)結(jié)果傳輸至該穩(wěn)壓裝置，使該穩(wěn)壓裝置
全文摘要
本發(fā)明一種用以將氣體導(dǎo)入于用以存放半導(dǎo)體組件或光罩的存放裝置的充氣設(shè)備，充氣設(shè)備與供氣源連接，是由承座、入氣端口裝置與供氣線路組合而成；承座是用以承載存放裝置；入氣端口裝置，設(shè)于承座上且與存放裝置的入氣部分對(duì)應(yīng)的位置；供氣線路，尚包含有進(jìn)氣部分，用以與供氣源連接；供氣部分與該入氣端口裝置連接；以及分氣部分，將來(lái)自進(jìn)氣部分的氣體導(dǎo)入供氣部分，是一個(gè)封閉的回路。
文檔編號(hào)F17C6/00GK101546722SQ200810086290
公開日2009年9月30日 申請(qǐng)日期2008年3月25日 優(yōu)先權(quán)日2008年3月25日
發(fā)明者王勝弘, 邱銘隆 申請(qǐng)人:家登精密工業(yè)股份有限公司