專利名稱：供氣控制裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實(shí)用新型涉及供氣裝置，尤其涉及一種供氣控制裝置。
背景技術(shù)：
在晶圓制造廠中，各種設(shè)備需要使用各種不同的特種氣體，因此傳輸特 殊氣體的管道也很多。特殊氣體一般通過管道上的氣閥控制管道是否導(dǎo)通。 如圖1所示，通過兩個(gè)氣閥同時(shí)控制特殊氣體的流通，氣閥的開關(guān)通過一定 氣壓的氣源輸入氣閥控制，氣源輸入氣閥一和氣閥二，氣閥一和氣閥二同時(shí) 打開，則特殊氣體通過管道從左向右傳輸。
現(xiàn)有技術(shù)的供氣控制裝置結(jié)構(gòu)如圖2所示，包括可編程邏輯控制器 (Programmable Logic Controller)模塊10、電磁閥20、連通氣源90和電磁 閥30的導(dǎo)管30、氣閥50以及連通氣閥和電磁閥的導(dǎo)管40，電磁閥20具有 一個(gè)以上出氣口 ， 20a和20b為其中的兩個(gè)，電磁閥20和若干個(gè)氣閥50連通， 其中40a為電磁閥的出氣口 20a與氣閥50a連通的導(dǎo)管，40b為電磁閥的出氣 口 20b與氣閥50b連通的導(dǎo)管。電磁閥20通過可編程邏輯控制器模塊10控 制電磁閥20的出氣口是否與氣源導(dǎo)通。如圖2所示，氣瓶拒需向某工藝設(shè)備 供特殊氣體時(shí)，需要?dú)忾y50a和50b導(dǎo)通。通過可編程邏輯控制器模塊10控 制電;茲閥20, 4吏分別與氣閥50a和50b連通的出氣口 20a和20b連通于氣源 90, /人而氣閥50a和50b置于"開"狀態(tài)，實(shí)現(xiàn)供氣控制。
然而，可編程邏輯控制器模塊或者電^f茲閥失靈時(shí)，也或者突發(fā)停電導(dǎo)致可編程邏輯控制器模塊和電磁閥斷電時(shí)，圖2所示的供氣控制裝置將失效，
不能對(duì)氣閥20控制。圖2所示的供氣控制裝置在失效時(shí)， 一般是通過手動(dòng)控 制電》茲閥的20a和20b與氣源連通。但是這種方法，不能完全保證電磁閥的 20a和20b與氣源連通，并且很難在短時(shí)間內(nèi)完成。因此這種供氣裝置，不能 在特殊緊急故障情況下保證快速強(qiáng)制供氣，這將直接影響特殊氣體的穩(wěn)定供 應(yīng)，并進(jìn)一步影響工藝設(shè)備生產(chǎn)制造的穩(wěn)定性。

實(shí)用新型內(nèi)容
本實(shí)用新型解決的技術(shù)問題是在特殊緊急故障情況下，供氣控制裝置 能保證特殊氣體快速恢復(fù)持續(xù)供氣。
本實(shí)用新型公開的供氣控制裝置包括電磁閥、控制電磁閥的可編程邏輯 控制器模塊、連接氣源和電磁閥的第一管道、氣閥以及連接氣閥和電磁閥的 第二管道，其特征在于還包括連通所述第一管道和所述第二管道的第三管道 以及第三管道之上的手動(dòng)氣閥。
其中，所述第三管道包括連接第一管道的總路部分和連接第二管道的支 路部分，所述第三管道的支路部分的數(shù)量與第二管道的數(shù)量相同。所述手動(dòng) 氣閥置于所述第三管道的支路部分上?？偮凡糠趾椭凡糠滞ㄟ^T形快速連 接器連接。
另一技術(shù)方案中，所述第三管道的數(shù)量與第二管道數(shù)量相同，并且每條 第三管道相互獨(dú)立，每條第三管道連接各自對(duì)應(yīng)的第二管道和公共的第一管 道。
其中，所述第一管道和第三管道之間通過T形快速連接器連接，所述第 二管道和第三管道之間通過T形快速連接器連接。
所述電磁閥通過第一管道連接氣源，并通過第二管道連接一個(gè)或者若干個(gè)氣閥，電》茲閥具有一個(gè)或者若干個(gè)iH氣口 ，一個(gè)出氣O對(duì)應(yīng)連接一個(gè)氣閥。 所述可編程邏輯控制器模塊控制電磁閥，從而控制氣閥的導(dǎo)通。
本實(shí)用新型的有益效果是電磁閥以及可編程邏輯控制器模塊正常工作
情況下，手動(dòng)氣閥關(guān)閉，供氣控制裝置通過電磁閥控制氣閥的導(dǎo)通與關(guān)閉， 從而實(shí)現(xiàn)特殊氣體輸送管道的控制。在電磁閥或可編程邏輯控制器模塊失效 的緊急情況下，通過手動(dòng)選擇手動(dòng)氣閥的開關(guān)，從而選擇控制氣閥的導(dǎo)通與 關(guān)閉，等效實(shí)現(xiàn)電磁閥控制的功能。因此本實(shí)用新型所提供的供氣控制裝置 能在特殊緊急故障情況下能保證快速強(qiáng)制正常供氣，并且供氣控制裝置結(jié)構(gòu) 相對(duì)簡單。


圖l為現(xiàn)有技術(shù)氣閥控制示意圖2為現(xiàn)有技術(shù)供氣控制裝置示意圖3為本實(shí)用新型所提供的供氣控制裝置的一實(shí)施例示意圖4為本實(shí)用新型所提供的供氣控制裝置的又一實(shí)施例示意圖5為本實(shí)用新型所提供的供氣控制裝置的又一 實(shí)施例示意圖。
具體實(shí)施方式
為使本實(shí)用新型的目的、技術(shù)方案和優(yōu)點(diǎn)更加清楚，
以下結(jié)合附圖對(duì)本 實(shí)用新型作進(jìn)一步的詳細(xì)描述。
圖3所示為本實(shí)用新型所提供的供氣控制裝置的一實(shí)施例示意圖。如圖3 所示，供氣控制裝置包括電磁閥20、可編程邏輯控制器模塊10、第一管道30、 氣閥50、第二管道40、第三管道60以及手動(dòng)氣閥70a和70b。其中第一管道 30連接電磁閥20和氣源90，第二管道40連接氣閥50和電磁閥20的出口 ，氣源90中為具有一定氣壓的氣體，氣源氣體儂次通過第一管道30、電磁閥 20、第二管道40流到氣閥50，氣閥50在氣源90的氣體壓力下使氣閥50導(dǎo) 通。電磁閥20上具有若干個(gè)出氣口，本實(shí)施例中示意有六個(gè)出氣口，其中電 石茲閥的出氣口 20a通過第二導(dǎo)管40a與氣閥50a連接，出氣口 20b通過第二 導(dǎo)管40b與氣閥50b連接，可編程邏輯控制器模塊10與電磁閥20通過信號(hào) 線連接，實(shí)現(xiàn)選擇控制電磁閥的開關(guān)，從而可以快速控制每個(gè)出氣口是否與 氣源90連通。其中，第三管道60連接第一管道30與第二管道40，第三管道 60包括一條與第一管道連接的總路部分60a以及兩條分別與第二管道連接的 支3各部分60b,第三管道的支路部分60a和60b上分別置有手動(dòng)氣閥70a和 70b， 70a控制支路部分60a管道的導(dǎo)通與否，70b控制支路部分60b管道的 導(dǎo)通與否。第三管道的總路部分60a與第一管道30通過T形快速連接器(圖 中未示出)連通，第三管道的支路部分60b與第二管道40通過T形快速連接 器(圖中未示出)連通，第三管道的總路部分60a與第三管道的支路部分60b 通過T形快速連接器(圖中未示出)連接。當(dāng)手動(dòng)氣閥70手動(dòng)置于"開"狀 態(tài)時(shí)，氣源可以從第一管道30、第三管道的60a和60b、第二管道40流入氣 閥50, /人而可以^吏氣閥50導(dǎo)通。
當(dāng)可編程邏輯控制器模塊10以及電磁閥20正常工作時(shí)，選擇手動(dòng)氣閥 70全部關(guān)閉，通過可編程邏輯控制器模塊10以及電磁閥20選擇控制不同的 氣閥50的導(dǎo)通與關(guān)閉。當(dāng)可編程邏輯控制器模塊10以及電磁閥20因突發(fā)原 因不能正常工作時(shí)，打開氣閥70，氣源90不再依次通過第一導(dǎo)管30、電磁 閥20、第二導(dǎo)管40回路來控制氣閥50的導(dǎo)通與關(guān)閉，而是通過第一導(dǎo)管30、 第三導(dǎo)管60、第二導(dǎo)管40回路來控制氣閥50的導(dǎo)通與關(guān)閉，通過不同手動(dòng) 氣閥70的開關(guān)動(dòng)作，4吏相應(yīng)的不同的氣閥50導(dǎo)通，例如，如圖3所示，選 擇70a關(guān)閉、70b導(dǎo)通，則氣閥50a關(guān)閉、50a導(dǎo)通。圖4所示為本實(shí)用新型所提供的供氣控制裝置的又一實(shí)施例示意圖。與 圖3所示供氣控制裝置實(shí)施例的具體區(qū)別在于所述手動(dòng)氣閥70置于一條第三 管道的總路部分60a上，第三管道的支路部分60b上沒有手動(dòng)氣閥70，第三 管道60的導(dǎo)通與否通過唯一的手動(dòng)氣閥70控制，手動(dòng)氣閥70處于"開"狀 態(tài)時(shí)，氣源可以通過第一導(dǎo)管30、第三導(dǎo)管60、第二導(dǎo)管40回路同時(shí)使氣 閥50a和50b導(dǎo)通。
圖5所示為本實(shí)用新型所^是供的供氣控制裝置的又一實(shí)施例示意圖。與 圖3所示供氣控制裝置實(shí)施例的具體區(qū)別在于第三管道60不分為總路部分和 支路部分，如圖5所示，第三管道60是兩條獨(dú)立的管道，每條第三管道60 連接第一管道30和第二管道40，第三管道60數(shù)量與第二管道40的數(shù)量相當(dāng)， 每條第三管道60上都置有一個(gè)氣閥70。
在不偏離本實(shí)用新型的精神和范圍的情況下還可以構(gòu)成許多有很大差
別的實(shí)施例。應(yīng)當(dāng)理解，除了如所附的權(quán)利要求所限定的，本實(shí)用新型不限 于在說明書中所述的具體實(shí)施例。
權(quán)利要求1. 一種供氣控制裝置，包括電磁閥、控制電磁閥的可編程邏輯控制器模塊、連接氣源和電磁閥的第一管道、氣閥以及連接氣閥和電磁閥的第二管道，其特征在于還包括連通所述第一管道和所述第二管道的第三管道；以及，第三管道之上的手動(dòng)氣閥。
2. 根據(jù)權(quán)利要求1所述的供氣控制裝置，其特征在于所述第三管道包括連接 第一管道的總路部分和連接第二管道的支路部分，所述第三管道的支路部 分的數(shù)量與第二管道的數(shù)量相同。
3. 根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的供氣控制裝置，其特征在于所述手動(dòng)氣閥置于 所述第三管道的支路部分上。
4. 根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的供氣控制裝置，其特征在于所述手動(dòng)氣閥置于 所述第三管道的總路部分上。
5. 根據(jù)權(quán)利要求2所述的供氣控制裝置，其特征在于所述第三管道總路部分 和支路部分通過T形快速連接器連接。
6. 根據(jù)權(quán)利要求l所述的供氣控制裝置，其特征在于所述第三管道可以是若 干條相互獨(dú)立的管道。
7. 根據(jù)權(quán)利要求l所述的供氣控制裝置，其特征在于所述第一管道和第三管 道之間通過T形快速連接器連接，所述第二管道和第三管道之間通過T形 快速連接器連接。
專利摘要本實(shí)用新型提供一種氣體供氣控制裝置，其主要技術(shù)特征在于包括連通第一管道和第二管道的第三管道以及第三管道之上的手動(dòng)氣閥。在電磁閥或可編程邏輯控制器模塊失效的緊急情況下，通過手動(dòng)選擇手動(dòng)氣閥的開關(guān)，從而選擇控制氣閥的導(dǎo)通與關(guān)閉，等效實(shí)現(xiàn)電磁閥控制的功能。因此本實(shí)用新型所提供的供氣控制裝置能在特殊緊急故障情況下能保證快速強(qiáng)制正常供氣，并且供氣控制裝置結(jié)構(gòu)相對(duì)簡單。
文檔編號(hào)F17D3/00GK201232853SQ20082015143
公開日2009年5月6日 申請(qǐng)日期2008年7月30日 優(yōu)先權(quán)日2008年7月30日
發(fā)明者吳衛(wèi)衛(wèi), 旭 張 申請(qǐng)人:中芯國際集成電路制造(上海)有限公司