專利名稱：氯硅烷液的收納容器及該收納容器用封閉蓋的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及氯硅烷液的收納容器及該收納容器用封閉蓋。
本申請針對在2008年8月13日申請的日本國專利申請第 2008-208320號主張優(yōu)先權(quán)，并在此引用其內(nèi)容。
背景技術(shù)：
三氯硅烷、四氯硅烷等的氯硅烷類用于多晶硅和硅片的外延膜等 的半導(dǎo)體、光纖的原材料等。通常，在制造工場內(nèi)將氯硅烷類填充在 容器或氣瓶中，將其搬運至半導(dǎo)體和光纖等的制造工場來使用。這些 氯硅烷類如果與空氣等中包含的水分反應(yīng)，則產(chǎn)生腐蝕性氣體和二氧 化硅。該腐蝕性氣體和二氧化硅產(chǎn)生腐蝕設(shè)備且招致品質(zhì)的惡化、配 管的堵塞等問題，因而要求容器內(nèi)的氯硅烷類不與空氣和水接觸。
作為使空氣不與容器內(nèi)的氯硅烷接觸的提案， 一直以來，采用例 如日本特開平5-231598號公報和特開2008-116044號公報所記載的封 閉構(gòu)造。
在特開平5-231598號公報的氣體填充容器中，為了防止松開閥時 漏出的硅烷氣體在空氣中自燃起火、污染金屬口部、腐蝕金屬口部和 氣體供給系，設(shè)置將金屬口部氣密地封閉的帽，并且，在該帽內(nèi)設(shè)有 吸附水分和氧的吸附劑和吸附硅烷氣體的吸附劑。在特開平5-231598 號公報中記載了由該吸附劑將金屬口部和帽內(nèi)的氣氛置換為以氮氣 等為主要成分的惰性氣體，因而即使硅烷氣體漏出，也能夠抑制腐蝕。
在特開2008-116044號〃/^艮中記載了一種泄漏抑制裝置，該泄漏 抑制裝置以包圍與容器的出口開口連接的流體流動部件的方式設(shè)置 抑制包圍體，并能夠收集泄漏的反應(yīng)性氣體。納容器中，無法應(yīng)用以氣體漏出的
防止為課題的上述特開平5-231598號公報及特開2008-116044號公報
的技術(shù)。
例如，對于特開平5-231598號公報的氣體填充容器而言，在液態(tài) 的氯硅烷泄漏的情況下，無法用吸附劑來吸收。另外，對于特開 2008-116044號^M艮的裝置而言，其相對于配管連接部的泄漏為有效 的手段，而在產(chǎn)生因閥的密封性惡化而導(dǎo)致的泄漏的情況下，卻不是 有效的手段。
尤其是，氯硅烷類在與空氣接觸時反應(yīng)，在閥上產(chǎn)生銹，使二氧 化>法附著，妨礙閥的動作。在由封閉蓋封閉岡的端部的情況下，如果 在此間形成的密閉的空間中存在著包含水分的空氣，產(chǎn)生因閥的密封 性的惡化而導(dǎo)致的氯硅烷的泄漏，則產(chǎn)生腐蝕內(nèi)部等的問題。
本發(fā)明是鑒于這種情形而提出的，其目的在于，提供一種能夠以 簡單的構(gòu)造維持閥的健全性并可靠地防止因內(nèi)容物的漏出而導(dǎo)致的 腐蝕性氣體的產(chǎn)生的氯硅烷液的收納容器及該收納容器用封閉蓋。

發(fā)明內(nèi)容
用于達成上述目的的本發(fā)明的氯硅烷液的收納容器具有收納所 述氯硅烷液的箱、安裝在所述箱上并且外部的配管可裝卸地連接到其 上的閥、以及在所述外部的配管從所述閥脫離時密封所述閥的封閉 蓋，所述閥具有殼以及設(shè)在所述殼中的閥體，所述殼具有連接法蘭， 所述連接法蘭具有用于連接所述外部的配管的連接面，所述封閉蓋具 備具有與所述連接法蘭的所述連接面相接的封閉面的蓋體、用于將 惰性氣體供給至所述封閉蓋和所述閥體之間的所述殼內(nèi)的空間中的 供給管、開閉所述供給管的供給閥、從所述空間排出氣體的排氣管和 開閉所述排氣管的排氣閥。
依照該發(fā)明，由于能夠由與氯硅烷液不反應(yīng)的惰性氣體充滿形成 于閥的閥體和封閉蓋之間的空間，因而能夠防止腐蝕性氣體和二氧化硅的產(chǎn)生。而且，由于能夠使該空間與收納容器內(nèi)相比為正壓，因而強化閥的密封性并能夠防止從閥的漏出。
另外，本發(fā)明的氯硅烷液收納容器用封閉蓋以能夠裝卸的方式安裝在閥的連接法蘭上，該閥固定在收納氯硅烷液的箱上。上述氯硅烷液收納容器用封閉蓋具備具有與所述連接法蘭的連接面相接的封閉面的蓋體、用于將惰性氣體供給至所述封閉蓋和所述閥的閥體之間的空間中的供給管、開閉所述供給管的供給閥、從所述空間排出氣體的排氣管、開閉所述排氣管的排氣閥，所述氯硅烷液收納容器用封閉蓋通過將所述封閉蓋固定在所述連接法蘭上來密封所述空間。
依照本發(fā)明的氯硅烷液的收納容器及該收納容器用封閉蓋，由于抑制了腐蝕性氣體和二氧化硅的產(chǎn)生，因而能夠防止閥周邊的部件的腐蝕導(dǎo)致的閥的密封性的下降和氯硅烷液的泄漏，并且也能夠降低取下封閉蓋時的危險性。


圖1是顯示本發(fā)明的氯硅烷液的收納容器的一個實施例的模式圖。
圖2是顯示安裝有圖1所示的收納容器的封閉蓋的狀態(tài)的球閥附近的主要部分的放大截面圖。
圖3是顯示圖2所示的連接法蘭和封閉蓋的蓋體的接合部附近的放大圖。
圖4是按照A C的次序顯示封閉圖2所示的球閥時的順序的模式圖。
符號說明10收納容器11箱
12固定法蘭20惰性氣體供給裝置
21配管
22安裝用法蘭
30容器
31配管
32安裝用法蘭
40、 40A、 40B球閥
41殼
41a閥座
41b管路
42 '連接法蘭
42a連接面
43連4矣法蘭
44閥體
44a貫通孔
45操作部
46突出部
51螺栓
52螺帽
60封閉蓋
61蓋體
61a封閉面
62供給管
63供給閥
64排氣管
65排氣閥
66墊片
67環(huán)形槽
6L氯硅烷液S空間
具體實施例方式
以下，基于附圖，說明本發(fā)明的氯硅烷液的收納容器的一個實施例。圖1中顯示了本發(fā)明的氯硅烷液L的收納容器10、將惰性氣體(例如氬氣)供給至該收納容器10的惰性氣體供給裝置20以及收納從收納容器10取出的氯硅烷液L的容器30的才莫式圖。
收納容器IO具備箱11以及具有連通箱11的內(nèi)外的管路并開閉該管路的2個閥40A、 40B。這些閥40A、 40B指的是5求閥， 一個閥40A用于向箱11供給惰性氣體，在取出氯硅烷液L的期間，在它的連接法蘭42上連接有安裝用法蘭22，其位于從供給惰性氣體(例如氬氣)的惰性氣體供給裝置20伸出的外部的配管21上。另外，另一個閥40B用于取出來自箱11的氯硅烷液L,在它的連接法蘭42上連接有位于從外部的容器30伸出的外部的配管31上的安裝用法蘭32。
當(dāng)從該收納容器IO取出氯硅烷液L時，如圖1所示，通過經(jīng)由球閥40A和外部的配管21而從惰性氣體供給裝置20將惰性氣體注入箱11內(nèi)，從而經(jīng)由球閥40B和外部的配管31而從箱ll將氯硅烷液L送出至容器30。然后，通過封閉各球閥40A、 40B，從而停止氯硅烷液L的送出。
在不進行氯硅烷液L的取出的期間，從兩球閥40A、 40B的連接法蘭42分別取下外部的配管21的安裝用法蘭22和外部的配管31的安裝用法蘭32，取而代之的是，將封閉球閥40A、 40B的管路的封閉蓋60固定在連接法蘭42上。由此，即使在重復(fù)進行氯硅烷液L的取出的情況下，也能夠防止氯硅烷液L從球閥40A、 40B泄漏。
在圖2中顯示了該球閥40A、 40B的詳細(xì)構(gòu)造。以下，在不特別地區(qū)別2個球閥40A、 40B的情況下，將符號統(tǒng)一為40進行說明。
7該球閥40具備具有球面狀的閥座41a的殼41、設(shè)在殼41的兩端的連接法蘭42和43、可轉(zhuǎn)動地保持在閥座41a上并開閉管路41b的大致^求狀的閥體44以及閥體44的操作部45,通過由螺栓51和螺帽52將一個連接法蘭43固定在箱11側(cè)的固定法蘭12上，從而將其安裝在箱11上。另外，在另一個連^t妻法蘭42上，由螺栓51和螺帽52固定有從上述的惰性氣體供給裝置20伸出的外部的配管21的安裝用法蘭22、從外部的容器30伸出的外部的配管31的安裝用法蘭32、或封閉蓋60中的任意一個。
在該球閥40中，在閥體44上形成有貫通孔44a，如圖2所示，通過將貫通孔44a配置在與閥40的管路41b正交的方向上，從而隔斷管路41b,通過轉(zhuǎn)動操作部45并如點劃線所示地使該貫通孔44a與閥40的管路41b —致，/人而開》文管路41b。
封閉蓋60具備具有隔著墊片66而與連接面42a相接的封閉面61a的蓋體61、在該蓋體61的封閉面61a上開口的供給管62和設(shè)在該供給管62上的供給閥63、在蓋體61的封閉面61a上開口的排氣管64和設(shè)在該排氣管64上的排氣閥65。
另外，如圖3所示，在球閥40的連接法蘭42的端面上， 一體地設(shè)有圓形環(huán)板狀的突出部46，以在其中央部包圍管路41b,該突出部46的前端面為連接面42a，在該連4妄面42a上隔著由四氟乙烯等形成的墊片66而接合有封閉蓋60的蓋體61的封閉面61a,在該狀態(tài)下由螺栓51和螺帽52固定蓋體61和連接法蘭42。另外，在圖示的示例中，在連接法蘭42的突出部46的連接面42a和蓋體61的封閉面61a上，隔著墊片66以相對的方式分別形成有2個截面V形的環(huán)形槽67。在該環(huán)形槽67中，當(dāng)氯硅烷從蓋體61的封閉面61a和連接法蘭42的連接面42a與墊片66的面之間浸出時，通過在環(huán)形槽67的角部的部分以緊固的壓力《吏墊片66陷入， >火而確保面壓力，防止浸出并能夠確保防止墊片66在上述面間的位置偏移，因而密封性提高，能夠可靠地防止向外部的浸出。然后，在該封閉狀態(tài)中，在球閥40內(nèi)部的管路41b中，形成有在閥體44和蓋體61之間密閉的空間S。
氬等惰性氣體能夠經(jīng)由封閉蓋60的供給管62和供給閥63而注入該空間S內(nèi)，空間S內(nèi)的氣體能夠經(jīng)由排氣管64和排氣閥65而排出。由此，由于能夠使空間S內(nèi)為惰性氣氛，因而防止了伴隨著空間S內(nèi)的氯硅烷液L的殘留而與空氣中的水分的反應(yīng)，能夠防止腐蝕性氣體的產(chǎn)生和二氧化硅的生成(例如SiHCl3 + 2H20 — Si02 + H2 +3HC1)。此外，通過將洗滌器等的除害裝置連接在排氣管64上，能夠?qū)碜钥臻gS的排氣進行除害處理。
利用圖4，具體地進行說明。在該圖4中，關(guān)于各閥40、 63、 65,涂黑狀態(tài)表示封閉的狀態(tài)，留白狀態(tài)表示開放的狀態(tài)。首先，如圖4(A)所示，在封閉球閥40的狀態(tài)下，開放供給閥63和排氣閥65,通過供給管62將惰性氣體注入空間S內(nèi)。在此期間，由于排氣閥65開放，因而空間S內(nèi)的氣體被逐出且被置換為惰性氣體，并從排氣管65將包含氯硅烷的惰性氣體送出至洗滌器70中。
當(dāng)空間S內(nèi)被置換成惰性氣體后，如圖4(B)所示， 一邊繼續(xù)注入惰性氣體一邊封閉排氣閥65，使空間S內(nèi)的壓力上升。當(dāng)空間S內(nèi)成為高于箱11內(nèi)的壓力時，如圖4(C)所示，封閉供給閥63。
如此，通過使空間S內(nèi)為相對于箱11內(nèi)呈正壓的惰性氣氛，從而不發(fā)生氯硅烷液L從相反側(cè)的箱11經(jīng)由閥體44泄漏至該空間S內(nèi)，且空氣從外部經(jīng)由與封閉蓋60的蓋體61之間的空間而混入空間S內(nèi)的情況。所以，防止了腐蝕性氣體和二氧化硅等的產(chǎn)生，能夠防止球閥40的密封性降低。
另外，當(dāng)從收納容器10取出氯硅烷液L時，如果在使用封閉蓋60并用惰性氣體清洗閥40的空間S之后，再取下封閉蓋60，那么，能夠降低氯硅烷氣體和空氣的急劇的反應(yīng)的危險性。
此外，本發(fā)明并不限于上述實施例的構(gòu)成，在細(xì)小部分的構(gòu)成中，能夠在不脫離本發(fā)明的要旨的范圍內(nèi)施加各種變更。例如，安裝在閥液體取出側(cè)的閥40B上即可。然而，通過將封閉蓋60也安裝在惰性氣體供給側(cè)的閥40A上，也能夠防止該閥40A上的腐蝕等。
另外，雖然從惰性氣體供給裝置供給氬氣等的惰性氣體，但也可以供給氮氣以代替氬氣等，在本發(fā)明中，惰性氣體也包含氮。
此外，上述實施例中，在收納容器10的箱11上設(shè)置^^閥40，但這些也可以是球閥以外的閥機構(gòu)。另外，關(guān)于供給閥63、排氣閥65的閥機構(gòu)，也沒有特別限定。
另外，作為箱11和蓋體61的材質(zhì)，使用了 SUS304、 SUS316等的不銹鋼。對于閥40和配管類也使用了同樣的不銹鋼，但根據(jù)構(gòu)成部件，也可以使用碳素鋼等。
10
權(quán)利要求
1.一種氯硅烷液的收納容器，其具有收納所述氯硅烷液的箱、安裝在所述箱上并且外部的配管可裝卸地連接到其上的閥、以及在所述外部的配管從所述閥脫離時密封所述閥的封閉蓋，其中，所述閥具有殼以及設(shè)在所述殼中的閥體，所述殼具有連接法蘭，所述連接法蘭具有用于連接所述外部的配管的連接面，所述封閉蓋具備具有與所述連接法蘭的所述連接面相接的封閉面的蓋體、用于將惰性氣體供給至所述封閉蓋和所述閥體之間的所述殼內(nèi)的空間中的供給管、開閉所述供給管的供給閥、從所述空間排出氣體的排氣管和開閉所述排氣管的排氣閥。
2. 權(quán)利要求1所述的氯硅烷液的收納容器，其特征在于，夾在 所述連接法蘭的所述連接面和所述封閉蓋的所述封閉面之間的墊片 和所述連接面及所述封閉面中的至少 一者具有至少一個環(huán)形槽。
3. —種氯硅烷液收納容器用封閉蓋，其以能夠裝卸的方式安裝在 閥的連接法蘭上，所述閥固定在收納氯硅烷液的箱上，所述氯硅烷液收納容器用封閉蓋具備具有與所述連接法蘭的連 接面相接的封閉面的蓋體、用于將惰性氣體供給至所述封閉蓋和所述 閥的閥體之間的空間中的供給管、開閉所述供給管的供給閥、從所述 空間排出氣體的排氣管、開閉所述排氣管的排氣閥，所述氯硅烷液收 納容器用封閉蓋通過將所述封閉蓋固定在所述連接法蘭上來密封所 述空間。
全文摘要
本發(fā)明的氯硅烷液的收納容器具有收納所述氯硅烷液的箱、安裝在所述箱上并且外部的配管可裝卸地連接到其上的閥、以及在所述外部的配管從所述閥脫離時密封所述閥的封閉蓋。所述閥具有殼以及設(shè)在所述殼中的閥體。所述封閉蓋具備具有與所述連接法蘭的所述連接面相接的封閉面的蓋體、用于將惰性氣體供給至所述封閉蓋和所述閥體之間的所述殼內(nèi)的空間中的供給管、開閉所述供給管的供給閥、從所述空間排出氣體的排氣管和開閉所述排氣管的排氣閥。
文檔編號F17C1/10GK101649957SQ20091016740
公開日2010年2月17日 申請日期2009年8月12日 優(yōu)先權(quán)日2008年8月13日
發(fā)明者伊藤孝則, 佐佐木剛 申請人:三菱麻鐵里亞爾株式會社