專利名稱：氟化氫供應(yīng)單元的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明要求于2010年9月16提交的歐洲專利申請(qǐng)?zhí)?0177188.9 (出于所有的目的將該申請(qǐng)的全部?jī)?nèi)容通過(guò)引用結(jié)合在此)的優(yōu)先權(quán)，本發(fā)明涉及一種氟化氫供應(yīng)單元、包含此單元的一種化工設(shè)備、以及一種氟化氫供應(yīng)方法。
背景技術(shù)：
氟化氫值得注意地作為化學(xué)品制造工藝如通過(guò)分子氟(F2)的電解的制造的進(jìn)料材料是有用的，例如作為半導(dǎo)體工業(yè)中的室清潔氣體是有用的、并且用于制造其他氟化的化學(xué)品如氟化烴類。參見(jiàn)WO 2004/009873，描述了用于通過(guò)氟化氫的電解而產(chǎn)生氟的一種裝置和方法。該裝置包括:多個(gè)單獨(dú)的氟產(chǎn)生盒(cassette);所述單獨(dú)的氟產(chǎn)生盒可操作地連接到一個(gè)用于所述氟氣體的遠(yuǎn)程使用和消耗的一個(gè)氟氣體分配系統(tǒng)上；所述氟產(chǎn)生盒單獨(dú)地與所述氣體分配系統(tǒng)分離并且可從該裝置中移除用于遠(yuǎn)程維護(hù)。在第24頁(yè)第32行提到在一個(gè)儲(chǔ)箱中保持了一個(gè)液體氟化氫供應(yīng)。一個(gè)氟化氫蒸發(fā)器將該儲(chǔ)箱的液體氟化氫蒸發(fā)并且將其供應(yīng)至這些盒以維持一個(gè)恒定的電解質(zhì)濃度?，F(xiàn)在本發(fā)明使得一種允許穩(wěn)定且經(jīng)濟(jì)地供應(yīng)HF同時(shí)將安全風(fēng)險(xiǎn)最小化的氟化氫供應(yīng)單元是可得的。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明因此涉及一種氟化氫供應(yīng)單元，該單元包括多個(gè)可運(yùn)輸?shù)姆瘹鋬?chǔ)存容器(I)，這些容器被連接到一條氟化氫供應(yīng)管線(2)上，其中這些氟化氫儲(chǔ)存容器中的至少一個(gè)具有等于或大于500升的容量。優(yōu)選地，所有這些氟化氫儲(chǔ)存容器具有等于或大于500升的容量。


圖1示出了本發(fā)明的一種氟化氫供應(yīng)單元，它包括多個(gè)儲(chǔ)存容器1、一條氟化氫供應(yīng)管線2、一個(gè)歧管3以及遠(yuǎn)程控制的閥門4。圖1提供了一個(gè)實(shí)施方案，其中從這些儲(chǔ)存容器I中排出的HF被轉(zhuǎn)運(yùn)至一個(gè)HF電解槽7，在該電解槽中生產(chǎn)F2。
具體實(shí)施例方式“氟化氫” (HF)應(yīng)理解為具體地表示無(wú)水氟化氫。當(dāng)包含在一個(gè)儲(chǔ)存容器中時(shí)，該氟化氫一般是液態(tài)的。優(yōu)選地，在這些氟化氫儲(chǔ)存容器中不含吸附劑。優(yōu)選地，該無(wú)水HF主要由HF組成。根據(jù)本發(fā)明的氟化氫供應(yīng)單元總體上包括從2到20、優(yōu)選從3到10、更優(yōu)選4或5或6個(gè)儲(chǔ)存容器。在一個(gè)具體實(shí)施方案中，該氟化氫供應(yīng)單元進(jìn)一步包括(優(yōu)選永久性地)至少一個(gè)氟化氫應(yīng)急容器。此氟化氫應(yīng)急容器優(yōu)選地是如在此描述的一個(gè)空的氟化氫儲(chǔ)存容器，它優(yōu)選地連接到該氟化氫供應(yīng)管線上。該氟化氫應(yīng)急容器適當(dāng)?shù)乇槐３衷谝环N惰性氣體的壓力下或真空下。該氟化氫應(yīng)急容器一般是可操作的用于從一個(gè)泄露氟化氫的儲(chǔ)存容器中接收HF。用于將HF從一個(gè)泄露HF的儲(chǔ)存容器中轉(zhuǎn)運(yùn)到該氟化氫應(yīng)急容器中的裝置包括例如惰性氣體壓力或泵。在根據(jù)本發(fā)明的氟化氫供應(yīng)單元中，這些氟化氫儲(chǔ)存容器一般是空心體，它們可以任選地被安裝在輪子上或者它們可以通過(guò)例如升降叉車來(lái)進(jìn)行運(yùn)輸。該氟化氫儲(chǔ)存總體上具有至少一個(gè)液體管線和一個(gè)氣體管線。在此情況下，該液體管線在適當(dāng)時(shí)可以連接到該氟化氫供應(yīng)管線上，例如借助一種法蘭盤連接。該氣體管線可以另外地連接到一個(gè)惰性氣體(例如無(wú)水空氣或氮?dú)?供應(yīng)管線上，該惰性氣體供應(yīng)管線允許對(duì)該氟化氫儲(chǔ)存容器加壓。在根據(jù)本發(fā)明的氟化氫供應(yīng)單元中，優(yōu)選地每個(gè)氟化氫儲(chǔ)存容器具有的容量是一般從500至5000升、更優(yōu)選500升至4000升、并且尤其優(yōu)選地從1000至3000升。氟化氫儲(chǔ)存容器的具體例子是UN T22或優(yōu)選UNT20類型的RID/ADR-MDG-所認(rèn)證的儲(chǔ)箱。此類儲(chǔ)箱是可商購(gòu)的。在根據(jù)本發(fā)明的氟化氫供應(yīng)單元中，每個(gè)儲(chǔ)存容器都可以通過(guò)一個(gè)歧管3被連接到該氟化氫供應(yīng)管線上。在根據(jù)本發(fā)明的氟化氫供應(yīng)單元中，每個(gè)儲(chǔ)存容器都優(yōu)選地可單獨(dú)地與該氟化氫供應(yīng)管線分離。在根據(jù)本發(fā)明的氟化氫供應(yīng)單元中，這些儲(chǔ)存容器I可以總體上通過(guò)一個(gè)遠(yuǎn)程控制的裝置4、優(yōu)選是一個(gè)遠(yuǎn)程控制的閥門而與該氟化氫供應(yīng)管線2分離。更優(yōu)選地，每個(gè)儲(chǔ)存容器都裝備有一個(gè)遠(yuǎn)程控制的裝置4、優(yōu)選一個(gè)遠(yuǎn)程控制的閥門，從而允許將該容器與氟化氫供應(yīng)管線分離。當(dāng)存在遠(yuǎn)程控制的閥門時(shí)，適當(dāng)?shù)亓硗獍惭b手動(dòng)閥門。這些遠(yuǎn)程控制的閥門允許例如從一個(gè)遠(yuǎn)程控制室中操作這些HF儲(chǔ)存容器。在一個(gè)優(yōu)選實(shí)施方案中，這些HF儲(chǔ)存容器包括一個(gè)自動(dòng)的HF液面?zhèn)鞲衅?。特別地，這些HF儲(chǔ)存容器被安裝在磅秤上。在這個(gè)優(yōu)選實(shí)施方案中，優(yōu)選地，一個(gè)過(guò)程控制系統(tǒng)、特別是一個(gè)自動(dòng)過(guò)程控制系統(tǒng)是可操作的以關(guān)閉第一空的HF容器的遠(yuǎn)程控制的閥門并且打開(kāi)另一個(gè)第二含HF的氟化氫儲(chǔ)存容器的遠(yuǎn)程控制的閥。這個(gè)實(shí)施方案特別有效地避免了對(duì)HF閥門的手動(dòng)操作并且確保了連續(xù)的HF供應(yīng)。在一個(gè)優(yōu)選方面，這些閥門是可操作地以在異常操作狀態(tài)下自動(dòng)關(guān)閉，例如像在連接到HF供應(yīng)管線的處理設(shè)備中的過(guò)程中斷時(shí)。在另一個(gè)優(yōu)選的方面，這些閥門是可操作的以在根據(jù)本發(fā)明的氟化氫供應(yīng)單元中HF泄露的情況下自動(dòng)關(guān)閉。此類HF泄露可能是例如由于該HF儲(chǔ)存容器內(nèi)部的任選法蘭連接的泄露而造成的。這尤其避免了在這種情況下必須要接近該氟化氫供應(yīng)單元。更優(yōu)選地，可以通過(guò)具有封閉的分離空間的雙重分離閥門將這些儲(chǔ)存容器與HF供應(yīng)管線分離。在此情況下，根據(jù)本發(fā)明的氟化氫供應(yīng)單元適當(dāng)?shù)剡M(jìn)一步包括至少一個(gè)與一個(gè)或多個(gè)封閉的分離空間相連接的空隙通氣閥。該空隙通氣閥總體是可操作來(lái)任選地從該封閉的分離空間中移除現(xiàn)有的HF。移除可以例如通過(guò)施加真空來(lái)進(jìn)行。在另一個(gè)方面，移除可以例如通過(guò)用一種惰性氣體和/或一種加壓的吹掃氣體(例如像無(wú)水空氣或優(yōu)選地氮?dú)?來(lái)沖掃該封閉的分離空間而進(jìn)行。在一個(gè)方面，這種移除是連續(xù)進(jìn)行的。優(yōu)選地，這種移除是不連續(xù)地進(jìn)行的，特別是當(dāng)一個(gè)HF儲(chǔ)存容器連接到該供應(yīng)管線上和/或與之脫連接時(shí)。適當(dāng)時(shí)，適當(dāng)?shù)厥箯脑摲忾]的分離空間中回收的氣體排出到一個(gè)HF銷毀單元，例如一個(gè)漆氣器。在根據(jù)本發(fā)明的氟化氫供應(yīng)單元的一個(gè)優(yōu)選方面，這些氟化氫儲(chǔ)存容器I被包含在一個(gè)封閉空間5內(nèi)，該封閉空間具有至少一個(gè)可關(guān)閉的門6，從而允許一個(gè)氟化氫儲(chǔ)存容器進(jìn)入該封閉空間之中或從中移除。在這個(gè)方面的一個(gè)實(shí)施方案中，該封閉空間包含這些氟化氫儲(chǔ)存容器以及到該氟化氫供應(yīng)管線上的連接件。在另一個(gè)實(shí)施方案中，該封閉空間另外包含一個(gè)蒸發(fā)器用于液體HF的蒸發(fā)。在這個(gè)優(yōu)選方面及其實(shí)施方案中，該封閉空間適當(dāng)?shù)匕ㄒ粋€(gè)HF傳感器，該傳感器能夠觸發(fā)該封閉空間與一個(gè)HF銷毀系統(tǒng)10的連接。適當(dāng)?shù)兀摲忾]空間通過(guò)一個(gè)抽吸管線9被連接到該HF銷毀系統(tǒng)上，該抽吸管線被連接到一個(gè)風(fēng)扇上，該風(fēng)扇是可操作的以將氣體從該封閉空間運(yùn)輸至該HF銷毀系統(tǒng)。該HF銷毀系統(tǒng)優(yōu)選是一個(gè)滌氣器。該滌氣器適當(dāng)?shù)匕环N水性堿溶液，例如一種KOH溶液。本發(fā)明還涉及一種包含該根據(jù)本發(fā)明的氟化氫供應(yīng)單元的化工設(shè)備。在一個(gè)特別優(yōu)選的方面，根據(jù)本發(fā)明的化工設(shè)備被用于通過(guò)HF的電解而制造氟。在此情況下，總體上將該氟化氫供應(yīng)管線2連接到一個(gè)用于通過(guò)一種熔融鹽電解質(zhì)的HF電解而生產(chǎn)氟的電解槽7上。在這個(gè)特別優(yōu)選的方面，有利的是該設(shè)備包括一個(gè)用于F2和HF的常用銷毀系統(tǒng)。此種常用銷毀系統(tǒng)可以例如是包含一種KOH水溶液以及任選地Na2S2O3或K2S2O3的一個(gè)滌氣器。在根據(jù)本發(fā)明的化工設(shè)備，這些氟化氫儲(chǔ)存容器的總計(jì)容量總體上對(duì)應(yīng)于該化工設(shè)備以全容量生產(chǎn)該化學(xué)品時(shí)的5至60天、優(yōu)選從15至30天的HF要求，例如F2。圖1示出了根據(jù)本發(fā)明的一種氟設(shè)備的一個(gè)具體實(shí)施方案，但無(wú)意進(jìn)行限制:多個(gè)可運(yùn)輸?shù)姆瘹鋬?chǔ)存容器I通過(guò)一個(gè)歧管3連接到一個(gè)氟化氫供應(yīng)管線2上。各個(gè)儲(chǔ)存容器I可以通過(guò)一個(gè)遠(yuǎn)程控制的閥門4而單獨(dú)地與該氟化氫供應(yīng)管線2分離。這些氟化氫儲(chǔ)存容器1、歧管以及遠(yuǎn)程控制的閥門被包含在一個(gè)封閉空間5內(nèi)，該封閉空間具有至少一個(gè)可關(guān)閉的門6，從而允許一個(gè)氟化氫儲(chǔ)存容器I進(jìn)入該封閉空間之中或從中移除。該封閉空間進(jìn)一步包括一個(gè)HF傳感器，該傳感器能夠觸發(fā)該封閉空間與一個(gè)HF銷毀系統(tǒng)10的連接。該封閉空間通過(guò)一個(gè)抽吸管線9被連接到該HF銷毀系統(tǒng)上，該抽吸管線被連接到一個(gè)風(fēng)扇(未示出)上，該風(fēng)扇是可操作的以將氣體從該封閉空間運(yùn)輸至該HF銷毀系統(tǒng)。該氟化氫供應(yīng)管線2進(jìn)入一個(gè)HF蒸發(fā)器8中，該蒸發(fā)器是可操作的以蒸發(fā)液體HF、被連接到電解槽7上，在該電解槽中可以電解HF來(lái)生產(chǎn)分子氟(F2)。在一個(gè)特定的方面，根據(jù)本發(fā)明的化工設(shè)備具有若干個(gè)，例如1、2、3、4、5、6、7或8個(gè)生產(chǎn)線用于通過(guò)HF的電解來(lái)制造氟，這些生產(chǎn)線具有對(duì)應(yīng)數(shù)目的根據(jù)本發(fā)明的氟化氫供應(yīng)單元。在另一個(gè)特定的方面，根據(jù)本發(fā)明的化工設(shè)備具有若干個(gè)，例如1、2、3、4、5、6、7或8個(gè)生產(chǎn)線，例如用于通過(guò)HF的電解來(lái)制造氟，并且具有更小數(shù)目(例如1、2、3或4)個(gè)根據(jù)本發(fā)明的氟化氫供應(yīng)單元。本發(fā)明還涉及一種用于制造化學(xué)品、特別是氟的方法，該方法包括使用根據(jù)本發(fā)明的化工設(shè)備。本發(fā)明還涉及一種用于將氟化氫供應(yīng)至一個(gè)化工設(shè)備的方法，該方法包括(a)用氟化氫填充至少一個(gè)可運(yùn)輸?shù)姆瘹鋬?chǔ)存容器、(b)將該氟化氫儲(chǔ)存容器運(yùn)輸?shù)皆摲瘹涔?yīng)單元、(C)將該氟化氫儲(chǔ)存容器連接到該氟化氫供應(yīng)管線上、并且(d)將氟化氫從該氟化氫儲(chǔ)存容器供應(yīng)至該氟化氫供應(yīng)管線。 在根據(jù)本發(fā)明的方法中，這種填充可以優(yōu)選地在一個(gè)HF生產(chǎn)位置進(jìn)行，在這里例如通過(guò)氟石與硫酸的反應(yīng)來(lái)生產(chǎn)HF。在根據(jù)本發(fā)明的方法中，將該氟化氫儲(chǔ)存容器運(yùn)輸?shù)皆摲瘹涔?yīng)單元總體上包括通過(guò)一種運(yùn)輸工具如輪船、鐵路或優(yōu)選地卡車來(lái)運(yùn)輸。通常，通過(guò)適當(dāng)?shù)难b置例如像起重機(jī)或升降叉車將該氟化氫儲(chǔ)存容器負(fù)載到該第二容器上和/或從其上卸載。在根據(jù)本發(fā)明的方法一個(gè)優(yōu)選實(shí)施方案中，在一個(gè)第二容器、優(yōu)選一個(gè)ISO容器中運(yùn)輸多于一個(gè)的氟化氫儲(chǔ)存容器。在此情況下，在所述第二容器中的氟化氫儲(chǔ)存容器的數(shù)目?jī)?yōu)選地小于在該氟化氫供應(yīng)單元中的氟化氫儲(chǔ)存容器的數(shù)目。在一個(gè)具體的例子中，將3個(gè)相同的各自具有2000-3000升、優(yōu)選約2500升容量的氟化氫儲(chǔ)存容器(例如UN T 20類型的容器)加載到I個(gè)ISO容器中并且運(yùn)輸?shù)揭粋€(gè)根據(jù)本發(fā)明的氟化氫供應(yīng)單元。后者的氟化氫供應(yīng)單元優(yōu)選包括4個(gè)相同的如之前描述的容器。在根據(jù)本發(fā)明的方法中，這種連接一般是以大于12天、經(jīng)常等于或大于15天或18天的周期性進(jìn)行的，優(yōu)選地該周期性是大于20天。一種用于將液體HF從一個(gè)氟化氫儲(chǔ)存容器供應(yīng)至該HF供應(yīng)管線的適當(dāng)方法是用一種惰性氣體如N2對(duì)該容器加壓。在根據(jù)本發(fā)明的方法的一個(gè)優(yōu)選的方面，這種供應(yīng)包括將氟化氫順序地從不同的氟化氫儲(chǔ)存容器供應(yīng)至該氟化氫供應(yīng)管線。在此情況下，一般僅一個(gè)氟化氫儲(chǔ)存容器具有一種向該氟化氫供應(yīng)管線開(kāi)放的連接。一個(gè)具體的順序供應(yīng)方案包括從除一個(gè)之外所有的氟化氫儲(chǔ)存容器中順序地供應(yīng)氟化氫。已經(jīng)發(fā)現(xiàn)根據(jù)本發(fā)明的氟供應(yīng)單元、根據(jù)本發(fā)明的化工設(shè)備以及根據(jù)本發(fā)明的方法允許維修和連接操作的數(shù)目減小，因此將與HF連接中的危害風(fēng)險(xiǎn)最小化。若任何通過(guò)引用結(jié)合在此的專利、專利申請(qǐng)以及公開(kāi)物中的披露內(nèi)容與本說(shuō)明相沖突，而這種沖突的程度使得一個(gè)術(shù)語(yǔ)變得不清楚，則應(yīng)該優(yōu)先采取本說(shuō)明。以下實(shí)例應(yīng)理解為是展示本發(fā)明而非限制本發(fā)明。實(shí)例在一個(gè)HF制造設(shè)備中，3個(gè)UN T 20類型容器各自填充了 2500升的無(wú)水HF并且用一個(gè)起重機(jī)加載到一個(gè)ISO容器中，該ISO容器被加載到一輛卡車上。該卡車將該ISO容器運(yùn)輸至一個(gè)氟制造設(shè)備，在這里通過(guò)一個(gè)升降叉車將這些UN T 20類型容器卸載并且經(jīng)一個(gè)門運(yùn)輸至一個(gè)HF儲(chǔ)存室中，該儲(chǔ)存室是由涂覆有鋼的聚合物制成的、具有一個(gè)海運(yùn)容器的尺寸，從該室中移除3個(gè)空的UN T 20類型容器并且加載到該ISO容器中。一個(gè)操作員將這3個(gè)含HF的容器通過(guò)標(biāo)準(zhǔn)的連接而連接到一個(gè)歧管上，該歧管裝配由多個(gè)遠(yuǎn)程控制閥門，具有另一個(gè)連接到其上的含HF的UN T 20類型容器。連接之后，操作員離開(kāi)該房間并關(guān)上門。從一個(gè)控制室中，一個(gè)自動(dòng)系統(tǒng)關(guān)閉并且打開(kāi)這些遠(yuǎn)程控制閥門以使一個(gè)含HF的UN T 20類型將HF遞送到一個(gè)HF供應(yīng)管線，該管線穿過(guò)一個(gè)蒸發(fā)器。HF儲(chǔ)存容器被安裝在磅秤上，這樣當(dāng)一個(gè)HF容器為空時(shí)，一個(gè)過(guò)程控制系統(tǒng)關(guān)閉這些空容器的分離閥門并且打開(kāi)另一個(gè)含HF的容器的閥門，而不手動(dòng)操作并且不中斷HF的供應(yīng)。氣態(tài)HF被進(jìn)料到一個(gè)電解槽中，該電解槽在含KF x2HF的熔融電解質(zhì)中通過(guò)HF的電解而生產(chǎn)F2。該設(shè)備的F2容量是150噸/年。約15天的全容量的F2生產(chǎn)之后，供應(yīng)3個(gè)滿的UN T 20類型的HF容器并更換掉如上描述的這些空容器。
權(quán)利要求
1.一種氟化氫供應(yīng)單元，該氟化氫供應(yīng)單元包括多個(gè)可運(yùn)輸?shù)姆瘹鋬?chǔ)存容器(1)，該可運(yùn)輸?shù)姆瘹鋬?chǔ)存容器連接到氟化氫供應(yīng)管線(2)，其中該氟化氫儲(chǔ)存容器中的至少一個(gè)具有等于或大于500升的容量。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的氟化氫供應(yīng)單元，包括2到20個(gè)、優(yōu)選3到10個(gè)、更優(yōu)選4到6個(gè)儲(chǔ)存容器。
3.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的氟化氫供應(yīng)單元，其中每個(gè)儲(chǔ)存容器都通過(guò)歧管(3)連接到該氟化氫供應(yīng)管線。
4.根據(jù)權(quán)利要求1至3中任一項(xiàng)所述的氟化氫供應(yīng)單元，其中每個(gè)儲(chǔ)存容器都單獨(dú)地與該氟化氫供應(yīng)管線可分離。
5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的氟化氫供應(yīng)單元，其中該儲(chǔ)存容器(I)能通過(guò)遠(yuǎn)程控制的裝置(4)、優(yōu)選遠(yuǎn)程控制的閥門而與該氟化氫供應(yīng)管線(2)分離。
6.根據(jù)權(quán)利要求1至5中任一項(xiàng)所述的氟化氫供應(yīng)單元，其中該氟化氫儲(chǔ)存容器(I)被容納在封閉空間(5)內(nèi)，該封閉空間具有至少一個(gè)可關(guān)閉的門(6)，從而允許氟化氫儲(chǔ)存容器進(jìn)入該封閉空間之中或從該封閉空間中移除。
7.根據(jù)權(quán)利要求1至6中任一項(xiàng)所述的氟化氫供應(yīng)單元，其中每個(gè)氟化氫儲(chǔ)存容器都具有500至5000升、經(jīng)常500至4000升、優(yōu)選1000至3000升的容量。
8.根據(jù)權(quán)利要求1至7中任一項(xiàng)所述的氟化氫供應(yīng)單元，還包括，優(yōu)選地永久性地包括，至少一個(gè)氟化氫應(yīng)急容器，該應(yīng)急容器優(yōu)選地是連接到該氟化氫供應(yīng)管線上的至少部分為空的氟化氫儲(chǔ)存容器。
9.一種化工設(shè)備，包括根據(jù)權(quán)利要求1至8中任一項(xiàng)所述的氟化氫供應(yīng)單元。
10.根據(jù)權(quán)利要求9所述的化工設(shè)備，用于制造氟，其中該氟化氫供應(yīng)管線(2)連接到電解槽(7)用于通過(guò)熔融鹽電解質(zhì)的HF電解而生產(chǎn)氟。
11.根據(jù)權(quán)利要求9或10所述的化工設(shè)備，其中該氟化氫儲(chǔ)存容器的總計(jì)容量對(duì)應(yīng)于該化工設(shè)備以全部生產(chǎn)能力生產(chǎn)化學(xué)品時(shí)的15至60天、優(yōu)選15至30天的HF要求。
12.一種用于制造化學(xué)品的方法，包括使用根據(jù)權(quán)利要求9至11中任一項(xiàng)所述的化工設(shè)備。
13.一種用于將氟化氫供應(yīng)至化工設(shè)備的方法，該方法包括:(a)用氟化氫填充至少一個(gè)可運(yùn)輸?shù)姆瘹鋬?chǔ)存容器、(b)將該氟化氫儲(chǔ)存容器運(yùn)輸?shù)皆摲瘹涔?yīng)單元、(c)將該氟化氫儲(chǔ)存容器連接到該氟化氫供應(yīng)管線、以及(d)將氟化氫從該氟化氫儲(chǔ)存容器供應(yīng)至該氟化氫供應(yīng)管線。
14.根據(jù)權(quán)利要求13所述的方法,其中在第二容器、優(yōu)選ISO容器中運(yùn)輸多于一個(gè)的氟化氫儲(chǔ)存容器，并且在所述第二容器中的氟化氫儲(chǔ)存容器的數(shù)目小于在該氟化氫供應(yīng)單元中的氟化氫儲(chǔ)存容器的數(shù)目。
15.根據(jù)權(quán)利要求13或14所述的方法，其中所述連接是以多于12天、優(yōu)選多于15天的周期性進(jìn)行的。
全文摘要
在此提供了一種氟化氫供應(yīng)單元，它包括多個(gè)被連接到一條氟化氫供應(yīng)管線(2)上的可運(yùn)輸?shù)姆瘹鋬?chǔ)存容器(1)，以及包含該氟化氫供應(yīng)單元的一個(gè)化工設(shè)備上。
文檔編號(hào)F17C3/00GK103154594SQ201180047274
公開(kāi)日2013年6月12日 申請(qǐng)日期2011年9月12日 優(yōu)先權(quán)日2010年9月16日
發(fā)明者阿蘭·福別列茨, 菲利普·莫雷勒, 奧利維耶羅·黛安娜, 彼得·M·普雷迪坎特, 毛里齊奧·帕加寧 申請(qǐng)人:索爾維公司