同性氣體的輸送系統(tǒng)的制作方法
【專利摘要】本實(shí)用新型公開了同性氣體的輸送系統(tǒng)，包括第一輸送裝置，所述的輸送系統(tǒng)還包括第二輸送裝置和第三輸送裝置，第一輸送裝置與第二輸送裝置相連、第二輸送裝置與第三輸送裝置相連。本實(shí)用新型提供的同性氣體的輸送系統(tǒng)，整體空間縮小，徹底消除安全隱患，實(shí)現(xiàn)連續(xù)供氣，提高產(chǎn)品質(zhì)量和工藝的穩(wěn)定性，大大降低生產(chǎn)和物流成本。
【專利說(shuō)明】同性氣體的輸送系統(tǒng)
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本實(shí)用新型涉及氣體的輸送系統(tǒng)，特別涉及同性氣體的輸送系統(tǒng)。
【背景技術(shù)】
[0002]氣體輸送設(shè)備在各工業(yè)部門應(yīng)用極為廣泛，氣體源瓶通常單獨(dú)設(shè)在在柜體內(nèi)，如有多種性質(zhì)相同的氣體，通常分別置放于多個(gè)氣柜內(nèi)，其成本費(fèi)用比較高，整體暫用空間較大，如氣體源瓶發(fā)生故障，需要及時(shí)的更換氣體源瓶，因此，對(duì)現(xiàn)有的同性氣體的輸送系統(tǒng)進(jìn)行改進(jìn)是本領(lǐng)域技術(shù)人員亟待解決的問(wèn)題。
實(shí)用新型內(nèi)容
[0003]本實(shí)用新型目的是克服上述缺陷，提供同性氣體的輸送系統(tǒng)，整體空間縮小，節(jié)約成本。
[0004]本實(shí)用新型為解決上述技術(shù)問(wèn)題而采用的技術(shù)方案是提供同性氣體的輸送系統(tǒng)，包括第一輸送裝置，所述的輸送系統(tǒng)還包括第二輸送裝置和第三輸送裝置，第一輸送裝置與第二輸送裝置相連、第二輸送裝置與第三輸送裝置相連。
[0005]上述的同性氣體的輸送系統(tǒng)，其中，所述第二輸送裝置和第三輸送裝置分別包括鋼瓶、第一壓力表、第一氣動(dòng)隔膜閥、調(diào)壓閥、第二壓力表、第二氣動(dòng)隔膜閥、手動(dòng)隔膜閥，鋼瓶連接第一壓力表、第一氣動(dòng)隔膜閥；第一氣動(dòng)隔膜閥與調(diào)壓閥的進(jìn)口連接，調(diào)壓閥的出口與第二壓力表、第二氣動(dòng)隔膜閥、手動(dòng)隔膜閥連接。
[0006]上述的同性氣體的輸送系統(tǒng)，其中，所述第一氣動(dòng)隔膜閥進(jìn)口端和第二氣動(dòng)隔膜閥的進(jìn)口端分別設(shè)有用于過(guò)濾氣體的過(guò)濾器。
[0007]上述的同性氣體的輸送系統(tǒng)，其中，所述第一氣動(dòng)隔膜閥進(jìn)口端的過(guò)濾器為墊片式過(guò)濾器。
[0008]上述的同性氣體的輸送系統(tǒng)，其中，所述第二氣動(dòng)隔膜閥的進(jìn)口端的過(guò)濾器為管線式過(guò)濾器。
[0009]上述的同性氣體的輸送系統(tǒng)，其中，所述鋼瓶為圓筒形，頂部設(shè)有鋼瓶閥。
[0010]本實(shí)用新型提供的同性氣體的輸送系統(tǒng)，整體空間縮小，徹底消除安全隱患，實(shí)現(xiàn)連續(xù)供氣，提高產(chǎn)品質(zhì)量和工藝的穩(wěn)定性，大大降低生產(chǎn)和物流成本。
【專利附圖】

【附圖說(shuō)明】
[0011]為了更清楚地說(shuō)明本實(shí)用新型實(shí)施例中的技術(shù)方案，下面將對(duì)實(shí)施例中所需要使用的附圖作簡(jiǎn)單地介紹，顯而易見(jiàn)地，下面描述中的附圖僅僅是本實(shí)用新型的一些實(shí)施例，對(duì)于本領(lǐng)域普通技術(shù)人員來(lái)講，在不付出創(chuàng)造性勞動(dòng)的前提下，還可以根據(jù)這些附圖獲得其他的附圖。
[0012]圖1為現(xiàn)有的同性氣體的輸送系統(tǒng)的結(jié)構(gòu)示意圖。
[0013]圖2為本實(shí)用新型的同性氣體的輸送系統(tǒng)的結(jié)構(gòu)示意圖。[0014]其中，1、第一壓力表；2、第一氣動(dòng)隔膜閥；3、調(diào)壓閥；4、第二壓力表；5、第二氣動(dòng)隔膜閥；6、手動(dòng)隔膜閥；7、墊片式過(guò)濾器；8、管線式過(guò)濾器；9、鋼瓶。
【具體實(shí)施方式】
[0015]本實(shí)用新型提供了同性氣體的輸送系統(tǒng)，為了使本實(shí)用新型的目的、技術(shù)方案以及優(yōu)點(diǎn)更清楚、明確，以下將結(jié)合附圖及實(shí)施例對(duì)本實(shí)用新型作進(jìn)一步說(shuō)明。
[0016]如圖1所示的現(xiàn)有的氣體的輸送系統(tǒng)，包括一個(gè)輸送裝置，所述的輸送裝置包括鋼瓶9、第一壓力表1、第一氣動(dòng)隔膜閥2、調(diào)壓閥3、第二壓力表4、第二氣動(dòng)隔膜閥5、手動(dòng)隔膜閥6，鋼瓶9連接第一壓力表1、第一氣動(dòng)隔膜閥2、第一氣動(dòng)隔膜閥2與調(diào)壓閥3的進(jìn)口連接，調(diào)壓閥3的出口與第二壓力表4、第二氣動(dòng)隔膜閥5、手動(dòng)隔膜閥6連接。
[0017]如圖2所示的本實(shí)用新型提供的同性氣體的輸送系統(tǒng)，包括第一輸送裝置，所述的輸送系統(tǒng)還包括第二輸送裝置和第三輸送裝置，第一輸送裝置與第二輸送裝置相連、第二輸送裝置與第三輸送裝置相連。
[0018]其中，第二輸送裝置和第三輸送裝置分別包括鋼瓶9、第一壓力表1、第一氣動(dòng)隔膜閥2、調(diào)壓閥3、第二壓力表4、第二氣動(dòng)隔膜閥5、手動(dòng)隔膜閥6，鋼瓶9連接第一壓力表
1、第一氣動(dòng)隔膜閥2、第一氣動(dòng)隔膜閥2與調(diào)壓閥3的進(jìn)口連接，調(diào)壓閥3的出口與第二壓力表4、第二氣動(dòng)隔膜閥5、手動(dòng)隔膜閥6連接。
[0019]為了進(jìn)一步提高本實(shí)用新型，所述第一氣動(dòng)隔膜閥2進(jìn)口端和第二氣動(dòng)隔膜閥5的進(jìn)口端分別設(shè)有用于過(guò)濾氣體的過(guò)濾器；其中，所述第一氣動(dòng)隔膜閥2進(jìn)口端的過(guò)濾器為墊片式過(guò)濾器7 ;所述第二氣動(dòng)隔膜閥5的進(jìn)口端的過(guò)濾器為管線式過(guò)濾器8。
[0020]為了進(jìn)一步提高本實(shí)用新型，所述鋼瓶9為圓筒形，頂部設(shè)有鋼瓶閥。
[0021]本實(shí)用新型的工作原理為:打開存貯氣體的鋼瓶9的鋼瓶閥后，釋放鋼瓶9內(nèi)的高壓氣體，通過(guò)第一壓力表I顯示鋼瓶9壓力，氣源到達(dá)第一氣動(dòng)隔膜閥2進(jìn)口端；所述第一壓力表I為高壓壓力表，第一氣動(dòng)隔膜閥2為高壓氣動(dòng)隔膜閥。在第一氣動(dòng)隔膜閥2進(jìn)口端設(shè)有有一個(gè)墊片式過(guò)濾器7，將氣源氣體進(jìn)行粗過(guò)濾；打開第一氣動(dòng)隔膜閥2，氣源進(jìn)入調(diào)壓閥3前端；打開調(diào)壓閥3，實(shí)現(xiàn)從高壓往低壓的轉(zhuǎn)變；通過(guò)第二壓力表4顯示調(diào)壓閥3調(diào)出的壓力，所述第二壓力表4為低壓壓力表；調(diào)壓后的氣源到達(dá)第二氣動(dòng)隔膜閥5前端，打開第二氣動(dòng)隔膜閥5，第二氣動(dòng)隔膜閥5為低壓氣動(dòng)隔膜閥，氣源通過(guò)管線式過(guò)濾器8，對(duì)氣源精密過(guò)濾，過(guò)濾精度達(dá)到9N ;過(guò)濾后的氣體通過(guò)后端的手動(dòng)隔膜閥6供給機(jī)臺(tái)設(shè)備，完成系統(tǒng)供氣流程。
[0022]本實(shí)用新型提供的同性氣體的輸送系統(tǒng)，整體空間縮小，徹底消除安全隱患，實(shí)現(xiàn)連續(xù)供氣，提高產(chǎn)品質(zhì)量和工藝的穩(wěn)定性，大大降低生產(chǎn)和物流成本。
[0023]雖然本實(shí)用新型已以較佳實(shí)施例揭示如上，然其并非用以限定本實(shí)用新型，任何本領(lǐng)域技術(shù)人員，在不脫離本實(shí)用新型的精神和范圍內(nèi)，當(dāng)可作些許的修改和完善，因此本實(shí)用新型的保護(hù)范圍當(dāng)以權(quán)利要求書所界定的為準(zhǔn)。
【權(quán)利要求】
1.同性氣體的輸送系統(tǒng)，包括第一輸送裝置，其特征在于:所述的輸送系統(tǒng)還包括第二輸送裝置和第三輸送裝置，第一輸送裝置與第二輸送裝置相連、第二輸送裝置與第三輸送裝置相連，所述第二輸送裝置和第三輸送裝置分別包括鋼瓶、第一壓力表、第一氣動(dòng)隔膜閥、調(diào)壓閥、第二壓力表、第二氣動(dòng)隔膜閥、手動(dòng)隔膜閥，鋼瓶連接第一壓力表、第一氣動(dòng)隔膜閥，第一氣動(dòng)隔膜閥與調(diào)壓閥的進(jìn)口連接，調(diào)壓閥的出口與第二壓力表、第二氣動(dòng)隔膜閥、手動(dòng)隔膜閥連接。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的同性氣體的輸送系統(tǒng)，其特征在于:所述第一氣動(dòng)隔膜閥進(jìn)口端和第二氣動(dòng)隔膜閥的進(jìn)口端分別設(shè)有用于過(guò)濾氣體的過(guò)濾器。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的同性氣體的輸送系統(tǒng)，其特征在于:所述第一氣動(dòng)隔膜閥進(jìn)口端的過(guò)濾器為墊片式過(guò)濾器。
4.根據(jù)權(quán)利要求2所述的同性氣體的輸送系統(tǒng)，其特征在于:所述第二氣動(dòng)隔膜閥的進(jìn)口端的過(guò)濾器為管線式過(guò)濾器。
5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的同性氣體的輸送系統(tǒng)，其特征在于:所述鋼瓶為圓筒形，頂部設(shè)有鋼瓶閥。
【文檔編號(hào)】F17C13/04GK203549381SQ201320496514
【公開日】2014年4月16日 申請(qǐng)日期:2013年8月14日 優(yōu)先權(quán)日:2013年8月14日
【發(fā)明者】胡昌勇, 何先明, 王漢剛 申請(qǐng)人:上海聚鼎半導(dǎo)體設(shè)備有限公司