一種化學供應(yīng)系統(tǒng)的制作方法
【專利摘要】本實用新型提供一種化學供應(yīng)系統(tǒng)，包括：輸入輸出盤、數(shù)據(jù)采集盤，化學供應(yīng)機臺、設(shè)備機臺及閥箱；其中，所述化學供應(yīng)機臺設(shè)置有強制請求信號控制電路，所述請求信號控制電路包括開關(guān)單元以及繼電器；所述開關(guān)單元一端接電源負極，另一端接繼電器的第一控制端；所述繼電器的第一控制端接化學供應(yīng)機臺的DO輸出模塊用以控制繼電器的開關(guān)，第二控制端接電源正極，第一被控制端接電源負極，第二被控制端接化學供應(yīng)機臺的DI輸入模塊用以輸入強制請求信號。本實用新型在網(wǎng)絡(luò)線、數(shù)據(jù)采集盤有問題以及網(wǎng)絡(luò)堵塞而斷信的情況下，能夠保證化學供應(yīng)機臺也正常提供化學品，保證供應(yīng)零中斷，并為系統(tǒng)的維護、整改、測試等操作提供有力的保障。
【專利說明】一種化學供應(yīng)系統(tǒng)
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本實用新型屬于半導體設(shè)備領(lǐng)域，特別是涉及一種化學供應(yīng)系統(tǒng)。
【背景技術(shù)】
[0002]鑒于半導體行業(yè)的特殊性，即需要使用大量的具有巨毒和高腐蝕性的化學品來滿足生產(chǎn)制成的需要，針對這些巨毒化學品的供應(yīng)，半導體業(yè)界通常都是采用信號接受和發(fā)送的方式來實現(xiàn)相互的通訊，它們之間最終會通過Ethernet網(wǎng)絡(luò)來實現(xiàn)信號的通訊，但是如果網(wǎng)絡(luò)任何一處出現(xiàn)問題將會直接導致全廠化學品供應(yīng)系統(tǒng)的中斷。
[0003]現(xiàn)有的一種化學供應(yīng)系統(tǒng)如圖1所示，其包括:輸入輸出盤、數(shù)據(jù)采集盤、化學供應(yīng)機臺、設(shè)備機臺及閥箱；所述輸入輸出盤及數(shù)據(jù)采集盤之間通過網(wǎng)絡(luò)(Ethernet網(wǎng)絡(luò))連接，所述數(shù)據(jù)采集盤及化學供應(yīng)機之間也通過網(wǎng)絡(luò)連接，所述設(shè)備機臺通過化學輸送管道與所述化學供應(yīng)機臺連接，所述閥箱連接于所述化學工藝機臺及設(shè)備機臺之間，并與所述輸入輸出盤相連。
[0004]上述化學供應(yīng)系統(tǒng)的工作的過程為:當設(shè)備機臺需要化學品時，會向所述輸入輸出盤提供一個請求信號Request,此時,所述輸入輸出盤會向閥箱發(fā)送信號使其打開,然后所述請求信號Request通過輸入輸出盤用網(wǎng)絡(luò)傳輸?shù)綌?shù)據(jù)采集盤，再由數(shù)據(jù)采集盤通過網(wǎng)絡(luò)傳輸?shù)交瘜W供應(yīng)機臺，此時化學供應(yīng)機臺的可編程邏輯控制器(PLC)會控制供應(yīng)驅(qū)動泵作動和對應(yīng)的路徑中的所有氣動閥打開，然后通過化學品輸送管路供應(yīng)給設(shè)備機臺。
[0005]以上的化學供應(yīng)系統(tǒng)目前遇到的問題有:
[0006]I)當Ethernet網(wǎng)絡(luò)線有問題的時候，所述化學供應(yīng)機臺無法收到設(shè)備機臺所發(fā)出的請求信號Request ；
[0007]2)當數(shù)據(jù)采集盤有問題的時候，所述化學供應(yīng)機臺無法收到設(shè)備機臺所發(fā)出的請求信號Request ；
[0008]3)當整個網(wǎng)絡(luò)出現(xiàn)網(wǎng)絡(luò)堵塞或者網(wǎng)絡(luò)斷信的時候，所述化學供應(yīng)機臺無法收到設(shè)備機臺發(fā)出的請求信號Request ；
[0009]當出現(xiàn)以上情況時，化學供應(yīng)機臺無法接收到所述設(shè)備機臺所發(fā)送的請求信號Request,所述化學供應(yīng)機臺沒有收到請求信號Request時,是不會啟動供應(yīng)驅(qū)動泵和氣動閥的，這樣就會導致設(shè)備機臺所需的化學品供應(yīng)中斷，導致設(shè)備機臺無法正常工作，會嚴重影響生產(chǎn)的連續(xù)性和產(chǎn)品的良率。
[0010]鑒于以上缺陷，提供一種在請求信號中斷時，能繼續(xù)保證化學供應(yīng)機臺正常提供化學品的化學供應(yīng)系統(tǒng)實屬必要。
實用新型內(nèi)容
[0011]鑒于以上所述現(xiàn)有技術(shù)的缺點，本實用新型的目的在于提供一種化學供應(yīng)系統(tǒng)，用于解決現(xiàn)有技術(shù)中由于設(shè)備故障、網(wǎng)絡(luò)通訊失敗、以及網(wǎng)絡(luò)擁堵等種種異常情況而導致化學機臺無法正常供應(yīng)化學品的問題。[0012]為實現(xiàn)上述目的及其他相關(guān)目的，本實用新型提供一種化學供應(yīng)系統(tǒng)，包括:
[0013]輸入輸出盤；
[0014]數(shù)據(jù)采集盤，通過網(wǎng)絡(luò)與所述輸入輸出盤連接；
[0015]化學供應(yīng)機臺，通過網(wǎng)絡(luò)與所述數(shù)據(jù)集中盤連接；
[0016]設(shè)備機臺，通過化學輸送管道與所述化學供應(yīng)機臺連接；
[0017]閥箱，連接于所述化學工藝機臺及設(shè)備機臺之間，并與所述輸入輸出盤相連；
[0018]其中，所述化學供應(yīng)機臺設(shè)置有強制請求信號控制電路，所述請求信號控制電路包括開關(guān)單元以及繼電器；所述開關(guān)單元一端接電源負極，另一端接繼電器的第一控制端；所述繼電器的第一控制端接化學供應(yīng)機臺的DO輸出模塊用以控制繼電器的開關(guān)，第二控制端接電源正極，第一被控制端接電源負極，第二被控制端接化學供應(yīng)機臺的DI輸入模塊用以輸入強制請求信號。
[0019]作為本實用新型的化學供應(yīng)系統(tǒng)的一種優(yōu)選方案，所述化學供應(yīng)系統(tǒng)還包括報警裝置，所述報警裝置在所述化學供應(yīng)機臺無法接受到所述設(shè)備機臺的請求信號時發(fā)出警報。
[0020]作為本實用新型的化學供應(yīng)系統(tǒng)的一種優(yōu)選方案，所述化學供應(yīng)機臺設(shè)置有可編程邏輯控制器，所述可編程邏輯控制器在接收到所述強制請求信號時控制化學供應(yīng)機臺中的驅(qū)動泵以及設(shè)備機臺中的氣動閥的開啟。
[0021]進一步地，所述開關(guān)單元為手動開關(guān)、或由所述可編程邏輯控制器控制的自動開關(guān)。
[0022]作為本實用新型的化學供應(yīng)系統(tǒng)的一種優(yōu)選方案，所述繼電器為電磁式繼電器。
[0023]作為本實用新型的化學供應(yīng)系統(tǒng)的一種優(yōu)選方案，所述繼電器為常開式繼電器。
[0024]作為本實用新型的化學供應(yīng)系統(tǒng)的一種優(yōu)選方案，所述開關(guān)單元為硬線開關(guān)。
[0025]如上所述，本實用新型提供一種化學供應(yīng)系統(tǒng)，包括:輸入輸出盤；數(shù)據(jù)采集盤，通過網(wǎng)絡(luò)與所述輸入輸出盤連接；化學供應(yīng)機臺，通過網(wǎng)絡(luò)與所述數(shù)據(jù)集中盤連接；設(shè)備機臺，通過化學輸送管道與所述化學供應(yīng)機臺連接；閥箱，連接于所述化學工藝機臺及設(shè)備機臺之間，并與所述輸入輸出盤相連；其中，所述化學供應(yīng)機臺設(shè)置有強制請求信號控制電路，所述請求信號控制電路包括開關(guān)單元以及繼電器；所述開關(guān)單元一端接電源負極，另一端接繼電器的第一控制端；所述繼電器的第一控制端接化學供應(yīng)機臺的DO輸出模塊用以控制繼電器的開關(guān)，第二控制端接電源正極，第一被控制端接電源負極，第二被控制端接化學供應(yīng)機臺的DI輸入模塊用以輸入強制請求信號。本實用新型具有以下有益效果:
[0026]I)當網(wǎng)絡(luò)線、數(shù)據(jù)采集盤有問題以及網(wǎng)絡(luò)堵塞而斷信的情況下，化學供應(yīng)機臺也能夠正常提供化學品，保證供應(yīng)零中斷；
[0027]2)方便網(wǎng)絡(luò)和數(shù)據(jù)采集盤在出現(xiàn)問題時關(guān)閉維修，當網(wǎng)絡(luò)和數(shù)據(jù)采集盤出現(xiàn)問題需要整改時可以在保證系統(tǒng)正常供應(yīng)的情況下隨時整改與維修；
[0028]3)方便以后化學供應(yīng)系統(tǒng)的擴充，或更變網(wǎng)絡(luò)的組態(tài)；
[0029]4)增加強制請求功能，方便平時化學供應(yīng)系統(tǒng)的維護和測試。
【專利附圖】

【附圖說明】
[0030]圖1顯示為現(xiàn)有技術(shù)中的化學供應(yīng)系統(tǒng)結(jié)構(gòu)示意圖。[0031]圖2顯示為本實用新型的化學供應(yīng)系統(tǒng)結(jié)構(gòu)示意圖。
[0032]元件標號說明
[0033]10輸入輸出盤
[0034]20數(shù)據(jù)采集盤
[0035]30化學供應(yīng)機臺
[0036]40設(shè)備機臺
[0037]50 閥箱
[0038]301 DO輸出模塊
[0039]302 DI輸入模塊
[0040]303繼電器
[0041]304開關(guān)單元
【具體實施方式】
[0042]以下由特定的具體實施例說明本實用新型的實施方式，熟悉此技術(shù)的人士可由本說明書所揭露的內(nèi)容輕易地了解本實用新型的其他優(yōu)點及功效。
[0043]請參閱圖2。須知，本說明書所附圖式所繪示的結(jié)構(gòu)、比例、大小等，均僅用以配合說明書所揭示的內(nèi)容，以供熟悉此技術(shù)的人士了解與閱讀，并非用以限定本實用新型可實施的限定條件，故不具技術(shù)上的實質(zhì)意義，任何結(jié)構(gòu)的修飾、比例關(guān)系的改變或大小的調(diào)整，在不影響本實用新型所能產(chǎn)生的功效及所能達成的目的下，均應(yīng)仍落在本實用新型所揭示的技術(shù)內(nèi)容得能涵蓋的范圍內(nèi)。同時，本說明書中所引用的如“上”、“下”、“左”、“右”、“中間”及“一”等的用語，亦僅為便于敘述的明了，而非用以限定本實用新型可實施的范圍，其相對關(guān)系的改變或調(diào)整，在無實質(zhì)變更技術(shù)內(nèi)容下，當亦視為本實用新型可實施的范疇。
[0044]如圖2所示，本實施例提供本實用新型提供一種化學供應(yīng)系統(tǒng)，包括:
[0045]輸入輸出盤10 ；
[0046]數(shù)據(jù)采集盤20，通過網(wǎng)絡(luò)與所述輸入輸出盤10連接；
[0047]化學供應(yīng)機臺30，通過網(wǎng)絡(luò)與所述數(shù)據(jù)集中盤連接；
[0048]設(shè)備機臺40，通過化學輸送管道與所述化學供應(yīng)機臺30連接；
[0049]閥箱50，連接于所述化學工藝機臺30及設(shè)備機臺40之間，并與所述輸入輸出盤10相連；
[0050]其中，所述化學供應(yīng)機臺30設(shè)置有強制請求信號控制電路，所述請求信號控制電路包括開關(guān)單元304以及繼電器303 ;所述開關(guān)單元304 —端接電源負極，另一端接繼電器303的第一控制端；所述繼電器303的第一控制端接化學供應(yīng)機臺30的DO輸出模塊301用以控制繼電器303的開關(guān)，第二控制端接電源正極，第一被控制端接電源負極，第二被控制端接化學供應(yīng)機臺30的DI輸入模塊302用以輸入強制請求信號。
[0051]作為示例，所述化學供應(yīng)系統(tǒng)還包括報警裝置，所述報警裝置在所述化學供應(yīng)機臺30無法接受到所述設(shè)備機臺40的請求信號時發(fā)出警報。
[0052]作為示例，所述化學供應(yīng)機臺30設(shè)置有可編程邏輯控制器，所述可編程邏輯控制器在接收到所述強制請求信號時控制化學供應(yīng)機臺30中的驅(qū)動泵以及設(shè)備機臺40中的氣動閥的開啟。在本實施例中，所述驅(qū)動泵為氣動泵或氮壓泵。[0053]作為示例，所述繼電器303為電磁式繼電器，并且所述繼電器303為常開式繼電器，其具有控制系統(tǒng)和被控制系統(tǒng)。具體地，在本實施例中，所述電磁式繼電器由鐵芯、線圈、銜鐵、彈簧片等組成。其工作原理為:在線圈(控制系統(tǒng))兩端加上一定的電壓，線圈中就會流過一定的電流，從而產(chǎn)生電磁效應(yīng)，銜鐵(被控制系統(tǒng))就會在電磁力吸引的作用下克服彈簧片的作用力力吸向鐵芯，從而帶動銜鐵的動觸點與靜觸點吸合，這時，被控制系統(tǒng)導通。當線圈斷電后，電磁的吸力也隨之消失，銜鐵就會在彈簧的反作用力返回原來的位置，這時，被控制系統(tǒng)斷開。這樣吸合、釋放，從而達到了在電路中的導通、切斷的目的。所述常開式繼電器是指在控制系統(tǒng)沒有電流的時候，所述被控制系統(tǒng)為開路。
[0054]作為示例，所述開關(guān)單元304為手動開關(guān)、或由所述可編程邏輯控制器控制的自動開關(guān)。具體地，所述手動開光包括撥鍵開關(guān)及按鍵開關(guān)等。
[0055]作為示例，所述開關(guān)單元304為硬線開關(guān)。
[0056]另外，圖2中N24代表電源負極，其電壓為24V，P24代表電源正極，其電壓為24V。顯然，不同的化學供應(yīng)系統(tǒng)所采用的電壓可能并不相同，因此，本實用新型的方案本不限定于此。
[0057]本實施例的化學供應(yīng)系統(tǒng)具體的工作原理如下:
[0058]當所述化學供應(yīng)系統(tǒng)各組成部分完全正常工作的情況下，化學供應(yīng)機臺30向設(shè)備機臺40正常供應(yīng)化學品，此時，所述強制請求信號控制電路的開關(guān)單元304斷開，使所述強制請求信號控制電路處于斷開狀態(tài)，也就是不工作狀態(tài)；
[0059]當所述化學供應(yīng)系統(tǒng)發(fā)生如設(shè)備故障、網(wǎng)絡(luò)通訊失敗、以及網(wǎng)絡(luò)擁堵等情況時，所述化學供應(yīng)機臺30不能正常接收設(shè)備機臺40發(fā)送的請求信號，此時，所述報警裝置發(fā)出警報，工作人員或者通過改變可編程邏輯控制器的程序使所述強制請求信號控制電路的開關(guān)單元304閉合，使所述繼電器303的第一控制端及第二控制端導通，控制所述第一被控制端及第二被控制端導通，所述第一被控制端接的電源負極會給所述第二被控制端的DI輸入模塊302輸入電壓，即輸入強制請求信號，使化學供應(yīng)機臺30中的驅(qū)動泵開啟，同時，所述輸入輸出盤向所述閥箱發(fā)送信號使閥箱50中的氣動閥的，化學供應(yīng)機臺30正常向設(shè)備機臺40供應(yīng)化學品，即使所述化學供應(yīng)機臺30正常工作。
[0060]如上所述，本實用新型提供一種化學供應(yīng)系統(tǒng)，包括:輸入輸出盤10 ;數(shù)據(jù)采集盤20，通過網(wǎng)絡(luò)與所述輸入輸出盤10連接；化學供應(yīng)機臺30，通過網(wǎng)絡(luò)與所述數(shù)據(jù)集中盤連接；設(shè)備機臺40，通過化學輸送管道與所述化學供應(yīng)機臺30連接；閥箱50，連接于所述化學工藝機臺30及設(shè)備機臺40之間，并與所述輸入輸出盤10相連；其中，所述化學供應(yīng)機臺30設(shè)置有強制請求信號控制電路，所述請求信號控制電路包括開關(guān)單元304以及繼電器303 ;所述開關(guān)單元304 —端接電源負極，另一端接繼電器303的第一控制端；所述繼電器303的第一控制端接化學供應(yīng)機臺30的DO輸出模塊301用以控制繼電器303的開關(guān)，第二控制端接電源正極，第一被控制端接電源負極，第二被控制端接化學供應(yīng)機臺30的DI輸入模塊302用以輸入強制請求信號。本實用新型具有以下有益效果:
[0061]I)當網(wǎng)絡(luò)線、數(shù)據(jù)采集盤20有問題以及網(wǎng)絡(luò)堵塞而斷信的情況下，化學供應(yīng)機臺30也能夠正常提供化學品，保證供應(yīng)零中斷；
[0062]2)方便網(wǎng)絡(luò)和數(shù)據(jù)采集盤20在出現(xiàn)問題時關(guān)閉維修，當網(wǎng)絡(luò)和數(shù)據(jù)采集盤20出現(xiàn)問題需要整改時可以在保證系統(tǒng)正常供應(yīng)的情況下隨時整改與維修；[0063]3)方便以后化學供應(yīng)系統(tǒng)的擴充，或更變網(wǎng)絡(luò)的組態(tài)；
[0064]4)增加強制請求功能，方便平時化學供應(yīng)系統(tǒng)的維護和測試。
[0065]所以，本實用新型有效克服了現(xiàn)有技術(shù)中的種種缺點而具高度產(chǎn)業(yè)利用價值。
[0066]上述實施例僅例示性說明本實用新型的原理及其功效，而非用于限制本實用新型。任何熟悉此技術(shù)的人士皆可在不違背本實用新型的精神及范疇下，對上述實施例進行修飾或改變。因此，舉凡所屬【技術(shù)領(lǐng)域】中具有通常知識者在未脫離本實用新型所揭示的精神與技術(shù)思想下所完成的一切等效修飾或改變，仍應(yīng)由本實用新型的權(quán)利要求所涵蓋。
【權(quán)利要求】
1.一種化學供應(yīng)系統(tǒng)，其特征在于，包括: 輸入輸出盤； 數(shù)據(jù)采集盤，通過網(wǎng)絡(luò)與所述輸入輸出盤連接； 化學供應(yīng)機臺，通過網(wǎng)絡(luò)與所述數(shù)據(jù)集中盤連接； 設(shè)備機臺，通過化學輸送管道與所述化學供應(yīng)機臺連接； 閥箱，連接于所述化學工藝機臺及設(shè)備機臺之間，并與所述輸入輸出盤相連； 其中，所述化學供應(yīng)機臺設(shè)置有強制請求信號控制電路，所述請求信號控制電路包括開關(guān)單元以及繼電器；所述開關(guān)單元一端接電源負極，另一端接繼電器的第一控制端；所述繼電器的第一控制端接化學供應(yīng)機臺的DO輸出模塊用以控制繼電器的開關(guān)，第二控制端接電源正極，第一被控制端接電源負極，第二被控制端接化學供應(yīng)機臺的DI輸入模塊用以輸入強制請求信號。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的化學供應(yīng)系統(tǒng)，其特征在于:所述化學供應(yīng)系統(tǒng)還包括報警裝置，所述報警裝置在所述化學供應(yīng)機臺無法接受到所述設(shè)備機臺的請求信號時發(fā)出警報。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的化學供應(yīng)系統(tǒng)，其特征在于:所述化學供應(yīng)機臺設(shè)置有可編程邏輯控制器，所述可編程邏輯控制器在接收到所述強制請求信號時控制化學供應(yīng)機臺中的驅(qū)動泵以及設(shè)備機臺中的氣動閥的開啟。
4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的化學供應(yīng)系統(tǒng)，其特征在于:所述開關(guān)單元為手動開關(guān)、或由所述可編程邏輯控制器控制的自動開關(guān)。
5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的化學供應(yīng)系統(tǒng)，其特征在于:所述開關(guān)單元為硬線開關(guān)。
6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的化學供應(yīng)系統(tǒng)，其特征在于:所述繼電器為電磁式繼電器。
7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的化學供應(yīng)系統(tǒng)，其特征在于:所述繼電器為常開式繼電器。
【文檔編號】F17D3/01GK203823447SQ201420238027
【公開日】2014年9月10日 申請日期:2014年5月9日 優(yōu)先權(quán)日:2014年5月9日
【發(fā)明者】張文武, 王強, 刁春華, 周鵬, 楊洪, 廖偉杰 申請人:中芯國際集成電路制造(北京)有限公司