一種機(jī)臺(tái)循環(huán)水冷卻與氣站供氣綜合系統(tǒng)的制作方法
【專利摘要】本實(shí)用新型提供一種機(jī)臺(tái)循環(huán)水冷卻與氣站供氣綜合系統(tǒng)，通過雙套管管路的設(shè)計(jì)，不僅降低了冰機(jī)的能耗，同時(shí)解決了目前反應(yīng)氣體氣化需要大尺寸汽化器的問題。該機(jī)臺(tái)循環(huán)水冷卻與氣站供氣綜合系統(tǒng)的供氣管路中至少有部分管路為雙套管形式，雙套管的內(nèi)外兩層分別作為氣路和水路；所述循環(huán)水冷卻回路中，機(jī)臺(tái)的出水管路和冰機(jī)的回水管路分別作為旁路與供氣管路中的雙套管相接，使得機(jī)臺(tái)出水接入雙套管的水路中流通并回水至冰機(jī)。這樣，不僅可起到機(jī)臺(tái)出水在液態(tài)氣源汽化吸熱的作用下預(yù)先自冷卻，以降低冰機(jī)的耗電，同時(shí)由于機(jī)臺(tái)出水給氣體管路帶來(lái)外界熱量,保證了采用更小尺寸的汽化器即可滿足生產(chǎn)設(shè)備耗氣量的需求。
【專利說明】一種機(jī)臺(tái)循環(huán)水冷卻與氣站供氣綜合系統(tǒng)

【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本實(shí)用新型屬于LED(發(fā)光二極管)、半導(dǎo)體、太陽(yáng)能領(lǐng)域，主要涉及機(jī)臺(tái)循環(huán)水冷卻系統(tǒng)和氣站供氣系統(tǒng)。

【背景技術(shù)】
[0002]現(xiàn)階段LED、半導(dǎo)體、太陽(yáng)能領(lǐng)域?qū)τ诟邷貦C(jī)臺(tái)均采用水冷卻系統(tǒng)，由于機(jī)臺(tái)出水口的溫度高于機(jī)臺(tái)所需要的入水溫度，故需要在機(jī)臺(tái)冷卻水外循環(huán)中(機(jī)臺(tái)與廠務(wù)循環(huán)水站之間)安裝冰機(jī)來(lái)完成循環(huán)水溫度的降低。與此同時(shí)，機(jī)臺(tái)在工藝生產(chǎn)過程中需要反應(yīng)氣體，由于通常購(gòu)買的反應(yīng)氣體多數(shù)為液態(tài)，而工藝生產(chǎn)過程中實(shí)際所需的反應(yīng)氣體為氣態(tài)，因此氣站與機(jī)臺(tái)之間還需要安裝汽化器將反應(yīng)氣體在進(jìn)入管路之前從液態(tài)轉(zhuǎn)化為氣態(tài)。汽化器通常為非耗能設(shè)備，汽化器的尺寸取決于生產(chǎn)設(shè)備耗氣量。
[0003]如圖1所示，目前廠務(wù)的冰機(jī)冷卻與氣體汽化器系統(tǒng)中，冰機(jī)與汽化器為獨(dú)立的兩個(gè)模塊，冰機(jī)對(duì)循環(huán)水的降溫過程需要耗費(fèi)大量電能，汽化器對(duì)氣體從液態(tài)轉(zhuǎn)化氣態(tài)需要特定的設(shè)備尺寸，也增加了機(jī)臺(tái)初步成本。


【發(fā)明內(nèi)容】

[0004]本實(shí)用新型提供一種機(jī)臺(tái)循環(huán)水冷卻與氣站供氣綜合系統(tǒng)，通過雙套管管路的設(shè)計(jì)，不僅降低了冰機(jī)的能耗，同時(shí)解決了目前反應(yīng)氣體氣化需要大尺寸汽化器的問題。
[0005]本實(shí)用新型的解決方案如下:
[0006]一種機(jī)臺(tái)循環(huán)水冷卻與氣站供氣綜合系統(tǒng)，包括機(jī)臺(tái)、冰機(jī)、氣站和汽化器，機(jī)臺(tái)與冰機(jī)之間構(gòu)成循環(huán)水冷卻回路，自氣站經(jīng)汽化器至機(jī)臺(tái)構(gòu)成供氣管路；其特征在于:
[0007]所述供氣管路中至少有部分管路為雙套管形式，雙套管的內(nèi)外兩層分別作為氣路和水路(可以是內(nèi)水外氣，也可以是內(nèi)氣外水)；所述循環(huán)水冷卻回路中，機(jī)臺(tái)的出水管路和冰機(jī)的回水管路分別作為旁路與供氣管路中的雙套管相接，使得機(jī)臺(tái)出水接入雙套管的水路中流通并回水至冰機(jī)。
[0008]基于上述方案，本實(shí)用新型還進(jìn)一步作如下優(yōu)化限定和改進(jìn):
[0009]上述供氣管路中具有兩段雙套管，分別位于汽化器輸入側(cè)和輸出側(cè)，兩段雙套管分別在汽化器的輸入端和輸出端分離出的水路繞過汽化器相連通。
[0010]S卩，第一段雙套管的起點(diǎn)(機(jī)臺(tái)的出水管路與供氣管路中的雙套管相接的位置)位于氣站與汽化器之間，第一段雙套管的終點(diǎn)位于汽化器的輸入端，氣路與水路在此分離(雙套管的內(nèi)層與外層相分離)，氣路仍繼續(xù)通過汽化器，水路繞行；第二段雙套管的起點(diǎn)位于汽化器的輸出端，繞過汽化器的水路在此重新與氣路合并(形成雙套管的內(nèi)層與外層)，第二段雙套管的終點(diǎn)(冰機(jī)的回水管路與供氣管路中的雙套管相接的位置)位于汽化器與機(jī)臺(tái)之間。
[0011]其實(shí)，第一段雙套管的起點(diǎn)和第二段雙套管的終點(diǎn)也并不要求一定為氣路和水路的分合點(diǎn)，可以有適當(dāng)?shù)难由?，甚至可以第一段雙套管起自于氣站輸出端，第二段雙套管終于機(jī)臺(tái)氣體輸入端，只須保證超出分合點(diǎn)的水路端部封閉(不至于流入氣站輸出端和機(jī)臺(tái)氣體輸入端)即可。這應(yīng)當(dāng)是本領(lǐng)域技術(shù)人員所能理解的。
[0012]考慮到通氣前需要作保壓測(cè)漏，上述雙套管優(yōu)化設(shè)計(jì)為內(nèi)部流氣外部流水；即雙套管的內(nèi)層為氣路，外層為水路。
[0013]本實(shí)用新型具有以下有益效果:
[0014]通過管路改裝設(shè)計(jì)后，汽化器處的雙套管內(nèi)層依舊流通氣體、外層接入循環(huán)冷卻水回路，不僅可起到機(jī)臺(tái)出水在液態(tài)氣源汽化吸熱的作用下預(yù)先自冷卻，以降低冰機(jī)的耗電，同時(shí)由于機(jī)臺(tái)出水給氣體管路帶來(lái)外界熱量，保證了采用更小尺寸的汽化器即可滿足生產(chǎn)設(shè)備耗氣量的需求，綜合達(dá)到減低冰機(jī)的耗電與廠務(wù)純汽化器的尺寸，最終能有效降低和控制成本。

【專利附圖】

【附圖說明】
[0015]圖1為現(xiàn)有技術(shù)的示意圖。
[0016]圖2為本實(shí)用新型的結(jié)構(gòu)示意圖。
[0017]圖3為雙套管的剖面圖。
[0018]圖4、圖5、圖6、圖7為雙套管在水路和氣路分合節(jié)點(diǎn)處的剖面圖，分別對(duì)應(yīng)于圖2中節(jié)點(diǎn)1、節(jié)點(diǎn)2、節(jié)點(diǎn)3、節(jié)點(diǎn)4。

【具體實(shí)施方式】
[0019]如圖2所示，自氣站經(jīng)汽化器至機(jī)臺(tái)構(gòu)成的供氣管路可以分為主體部分和汽化器處的雙套管部分。雙套管內(nèi)層與供氣管路的主體相連通依舊流通氣體，雙套管外層接入循環(huán)冷卻水回路。機(jī)臺(tái)出水口首先流入汽化器的雙套管在液態(tài)氣源汽化吸熱的作用下進(jìn)行一次降溫，然后再流入冰機(jī)二次降溫控溫，最后供應(yīng)機(jī)臺(tái)保證機(jī)臺(tái)穩(wěn)定運(yùn)行。這樣，利用雙套管起到循環(huán)水的冷卻與氣體汽化的雙重功用，并有效節(jié)約冰機(jī)電力成本、汽化器設(shè)備成本。
[0020]具體來(lái)說，機(jī)臺(tái)出水(熱水)從圖2中所示的節(jié)點(diǎn)I進(jìn)入雙套管，從節(jié)點(diǎn)2出繞過汽化器后在節(jié)點(diǎn)3入雙套管，最后在節(jié)點(diǎn)4出雙套管，將一次降溫的PCW循環(huán)水(冷卻水)送入冰機(jī)。
[0021]汽化器裝置通常主體部分為葉片狀，按照一般的汽化器結(jié)構(gòu)，如在汽化器內(nèi)仍然接通雙套管，則成本過高，難以實(shí)施，故本實(shí)施例將汽化器裝置繞過，有兩段雙套管分別位于汽化器輸入側(cè)和輸出側(cè)(即第一段是自節(jié)點(diǎn)I至節(jié)點(diǎn)2，第二段是自節(jié)點(diǎn)3至節(jié)點(diǎn)4)。
[0022]本實(shí)施例可適用于工藝生產(chǎn)中的大宗氣體，并且為特性穩(wěn)定的氣體，如N2(氮?dú)?、Ar(氬氣)等。
【權(quán)利要求】
1.一種機(jī)臺(tái)循環(huán)水冷卻與氣站供氣綜合系統(tǒng),包括機(jī)臺(tái)、冰機(jī)、氣站和汽化器，機(jī)臺(tái)與冰機(jī)之間構(gòu)成循環(huán)水冷卻回路，自氣站經(jīng)汽化器至機(jī)臺(tái)構(gòu)成供氣管路；其特征在于: 所述供氣管路中至少有部分管路為雙套管形式，雙套管的內(nèi)外兩層分別作為氣路和水路；所述循環(huán)水冷卻回路中，機(jī)臺(tái)的出水管路和冰機(jī)的回水管路分別作為旁路與供氣管路中的雙套管相接，使得機(jī)臺(tái)出水接入雙套管的水路中流通并回水至冰機(jī)。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的機(jī)臺(tái)循環(huán)水冷卻與氣站供氣綜合系統(tǒng)，其特征在于:所述供氣管路中具有兩段雙套管，分別位于汽化器輸入側(cè)和輸出側(cè)，兩段雙套管分別在汽化器的輸入端和輸出端分離出的水路繞過汽化器相連通。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的機(jī)臺(tái)循環(huán)水冷卻與氣站供氣綜合系統(tǒng)，其特征在于--雙套管的內(nèi)層為氣路，外層為水路。
【文檔編號(hào)】F17D1/00GK203948946SQ201420393676
【公開日】2014年11月19日 申請(qǐng)日期:2014年7月16日 優(yōu)先權(quán)日:2014年7月16日
【發(fā)明者】董治輝 申請(qǐng)人:西安神光皓瑞光電科技有限公司