尾氣管路加熱裝置的制造方法
【專利摘要】本實(shí)用新型提出了一種尾氣管路加熱裝置，包括熱源排風(fēng)管、加熱外管、泄壓管路、泄壓閥、密封件及貼片熱敏；尾氣管路位于加熱外管內(nèi)，并保持預(yù)定距離；加熱外管一端連接熱源排風(fēng)管，另一端接排氣端；泄壓管路連接加熱外管；泄壓閥設(shè)于泄壓管路上；密封件密封尾氣管路和加熱外管連接處；貼片熱敏緊貼尾氣管路。在尾氣管路外套上加熱外管，加熱外管的一端連接一熱源排風(fēng)管，熱源排風(fēng)管為設(shè)備機(jī)臺(tái)自帶部件，且能夠提供高溫氣體，加熱外管可以通過熱源排風(fēng)管中提供的高溫氣體對尾氣管路進(jìn)行加熱處理，且無需增加額外部件，具有成本低廉，易于實(shí)現(xiàn)等優(yōu)點(diǎn)。
【專利說明】
尾氣管路加熱裝置
技術(shù)領(lǐng)域
[0001]本實(shí)用新型涉及半導(dǎo)體制造領(lǐng)域，尤其涉及一種尾氣管路加熱裝置。
【背景技術(shù)】
[0002]在半導(dǎo)體制造領(lǐng)域，設(shè)備機(jī)臺(tái)會(huì)由栗對設(shè)備機(jī)臺(tái)的反應(yīng)腔室持續(xù)進(jìn)行反應(yīng)殘留物和反應(yīng)尾氣的抽出，從而排出殘留物和反應(yīng)尾氣，保證每一次工藝反應(yīng)的反應(yīng)環(huán)境的合格。抽出的殘留物和氣體通常需要經(jīng)過尾氣管路排出。通常情況下，殘留物和反應(yīng)尾氣均需要維持在一定溫度以上，若溫度變?yōu)槭覝?，則會(huì)導(dǎo)致殘留物和反應(yīng)尾氣結(jié)晶或者形成粉末聚集在尾氣管路中，堵塞尾氣管路。因此，需要對尾氣管路進(jìn)行加熱，以防止其被堵塞。
[0003]因此，無論是常壓還是減壓系統(tǒng)，為了減少尾氣管路的定期維護(hù)(PM)次數(shù)，延長使用周期，通常都是采用包裹加熱帶(heating jacket)對尾氣管路進(jìn)行加熱的方式。加熱帶一般由控制器、包裹層和加熱組件構(gòu)成。通常，控制器費(fèi)用很昂貴，而且需要額外提供電源，使用成本也較高。由于尾氣管路通常較長，導(dǎo)致成本額外高昂，不利于進(jìn)行降低生產(chǎn)成本。
【實(shí)用新型內(nèi)容】
[0004]本實(shí)用新型的目的在于提供一種尾氣管路加熱裝置，能夠節(jié)約成本，并且實(shí)現(xiàn)簡單。
[0005]為了實(shí)現(xiàn)上述目的，本實(shí)用新型提出了一種尾氣管路加熱裝置，包括:熱源排風(fēng)管、加熱外管、泄壓管路、泄壓閥、密封件及貼片熱敏;其中，尾氣管路位于所述加熱外管內(nèi)，并保持預(yù)定距離;所述加熱外管一端連接所述熱源排風(fēng)管，另一端接排氣端;所述泄壓管路連接所述加熱外管;所述泄壓閥設(shè)于所述泄壓管路上;所述密封件密封所述尾氣管路和加熱外管連接處;所述貼片熱敏緊貼所述尾氣管路。
[0006]進(jìn)一步的，在所述的尾氣管路加熱裝置中，所述加熱外管通過第一管路連接所述熱源排風(fēng)管。
[0007]進(jìn)一步的，在所述的尾氣管路加熱裝置中，所述第一管路上設(shè)有第一閥門。
[0008]進(jìn)一步的，在所述的尾氣管路加熱裝置中，所述加熱外管通過第二管路連接排氣端。
[0009]進(jìn)一步的，在所述的尾氣管路加熱裝置中，所述第二管路上設(shè)有第二閥門。
[0010]進(jìn)一步的，在所述的尾氣管路加熱裝置中，所述加熱外管內(nèi)壁上設(shè)有鋁箔層。
[0011]進(jìn)一步的，在所述的尾氣管路加熱裝置中，所述加熱外管的管徑大于所述尾氣管路的管徑。
[0012]與現(xiàn)有技術(shù)相比，本實(shí)用新型的有益效果主要體現(xiàn)在:在尾氣管路外套上加熱外管，加熱外管的一端連接一熱源排風(fēng)管，熱源排風(fēng)管為設(shè)備機(jī)臺(tái)自帶部件，且能夠提供高溫氣體，加熱外管可以通過熱源排風(fēng)管中提供的高溫氣體對尾氣管路進(jìn)行加熱處理，且無需增加額外部件，具有成本低廉，易于實(shí)現(xiàn)等優(yōu)點(diǎn)。
【附圖說明】

[0013]圖1為本實(shí)用新型一實(shí)施例中尾氣管路加熱裝置的結(jié)構(gòu)示意圖。
【具體實(shí)施方式】
[0014]下面將結(jié)合示意圖對本實(shí)用新型的尾氣管路加熱裝置進(jìn)行更詳細(xì)的描述，其中表示了本實(shí)用新型的優(yōu)選實(shí)施例，應(yīng)該理解本領(lǐng)域技術(shù)人員可以修改在此描述的本實(shí)用新型，而仍然實(shí)現(xiàn)本實(shí)用新型的有利效果。因此，下列描述應(yīng)當(dāng)被理解為對于本領(lǐng)域技術(shù)人員的廣泛知道，而并不作為對本實(shí)用新型的限制。
[0015]為了清楚，不描述實(shí)際實(shí)施例的全部特征。在下列描述中，不詳細(xì)描述公知的功能和結(jié)構(gòu)，因?yàn)樗鼈儠?huì)使本實(shí)用新型由于不必要的細(xì)節(jié)而混亂。應(yīng)當(dāng)認(rèn)為在任何實(shí)際實(shí)施例的開發(fā)中，必須做出大量實(shí)施細(xì)節(jié)以實(shí)現(xiàn)開發(fā)者的特定目標(biāo)，例如按照有關(guān)系統(tǒng)或有關(guān)商業(yè)的限制，由一個(gè)實(shí)施例改變?yōu)榱硪粋€(gè)實(shí)施例。另外，應(yīng)當(dāng)認(rèn)為這種開發(fā)工作可能是復(fù)雜和耗費(fèi)時(shí)間的，但是對于本領(lǐng)域技術(shù)人員來說僅僅是常規(guī)工作。
[0016]在下列段落中參照附圖以舉例方式更具體地描述本實(shí)用新型。根據(jù)下面說明和權(quán)利要求書，本實(shí)用新型的優(yōu)點(diǎn)和特征將更清楚。需說明的是，附圖均采用非常簡化的形式且均使用非精準(zhǔn)的比例，僅用以方便、明晰地輔助說明本實(shí)用新型實(shí)施例的目的。
[0017]請參考圖1，在本實(shí)施例中，提出了一種尾氣管路加熱裝置，包括:熱源排風(fēng)管10、加熱外管20、泄壓管路40、泄壓閥41、密封件80及貼片熱敏70;其中，尾氣管路30位于所述加熱外管20內(nèi)，并保持預(yù)定距離，即所述加熱外管20的管徑大于所述尾氣管路30的管徑;所述加熱外管20—端連接所述熱源排風(fēng)管10，另一端接排氣端90;所述泄壓管路40連接所述加熱外管20;所述泄壓閥41設(shè)于所述泄壓管路40上;所述密封件80密封所述尾氣管路30和加熱外管20連接處;所述貼片熱敏70緊貼所述尾氣管路30。
[0018]在本實(shí)施例中，所述加熱外管20通過第一管路50連接所述熱源排風(fēng)管10。所述第一管路50上設(shè)有第一閥門51。所述加熱外管20通過第二管路60連接排氣端90，排氣端90可以為廠務(wù)排氣端。所述第二管路60上設(shè)有第二閥門61。第一閥門51和第二閥門61分別控制第一管路50和第二管路60的通斷。
[0019]在本實(shí)施例中，所述熱源排風(fēng)管10為設(shè)備機(jī)臺(tái)自帶管路，其可以提供溫度在1100攝氏度甚至更高的高溫氣體。將其連接至加熱外管20中，高溫氣體能夠?qū)ξ挥诩訜嵬夤?0中的尾氣管路30進(jìn)行加熱處理，維持尾氣管路30的溫度。為了防止熱擴(kuò)散，在所述加熱外管20內(nèi)壁上設(shè)有鋁箔層。
[0020]為了能夠控制加熱外管20中高溫氣體的流量，可以在尾氣管路30側(cè)壁上緊貼一貼片熱敏70，從而能夠監(jiān)測尾氣管路30的溫度，避免其溫度過高。當(dāng)溫度達(dá)到預(yù)定溫度時(shí)，可以通過關(guān)閉第一閥門51，避免放入更多的高溫氣體至加熱外管20中對尾氣管路30進(jìn)行加熱；當(dāng)溫度較低時(shí)，則可以打開第一閥門51，放入更多的高溫氣體至加熱外管20中對尾氣管路30進(jìn)行加熱。
[0021]其中，泄壓管路40—方面用于排泄加熱外管20中過多的高溫氣體，另一方面，當(dāng)加熱外管20中存在一定的液體或水殘留時(shí)，可以通過泄壓管路40排出。
[0022]綜上，在本實(shí)用新型實(shí)施例提供的尾氣管路加熱裝置中，在尾氣管路外套上加熱外管，加熱外管的一端連接一熱源排風(fēng)管，熱源排風(fēng)管為設(shè)備機(jī)臺(tái)自帶部件，且能夠提供高溫氣體，加熱外管可以通過熱源排風(fēng)管中提供的高溫氣體對尾氣管路進(jìn)行加熱處理，且無需增加額外部件，具有成本低廉，易于實(shí)現(xiàn)等優(yōu)點(diǎn)。
[0023]上述僅為本實(shí)用新型的優(yōu)選實(shí)施例而已，并不對本實(shí)用新型起到任何限制作用。任何所屬技術(shù)領(lǐng)域的技術(shù)人員，在不脫離本實(shí)用新型的技術(shù)方案的范圍內(nèi)，對本實(shí)用新型揭露的技術(shù)方案和技術(shù)內(nèi)容做任何形式的等同替換或修改等變動(dòng)，均屬未脫離本實(shí)用新型的技術(shù)方案的內(nèi)容，仍屬于本實(shí)用新型的保護(hù)范圍之內(nèi)。
【主權(quán)項(xiàng)】
1.一種尾氣管路加熱裝置，其特征在于，包括:熱源排風(fēng)管、加熱外管、泄壓管路、泄壓閥、密封件及貼片熱敏;其中，尾氣管路位于所述加熱外管內(nèi)，并保持預(yù)定距離;所述加熱外管一端連接所述熱源排風(fēng)管，另一端接排氣端;所述泄壓管路連接所述加熱外管;所述泄壓閥設(shè)于所述泄壓管路上;所述密封件密封所述尾氣管路和加熱外管連接處;所述貼片熱敏緊貼所述尾氣管路。2.如權(quán)利要求1所述的尾氣管路加熱裝置，其特征在于，所述加熱外管通過第一管路連接所述熱源排風(fēng)管。3.如權(quán)利要求2所述的尾氣管路加熱裝置，其特征在于，所述第一管路上設(shè)有第一閥門。4.如權(quán)利要求1所述的尾氣管路加熱裝置，其特征在于，所述加熱外管通過第二管路連接排氣端。5.如權(quán)利要求4所述的尾氣管路加熱裝置，其特征在于，所述第二管路上設(shè)有第二閥門。6.如權(quán)利要求1所述的尾氣管路加熱裝置，其特征在于，所述加熱外管內(nèi)壁上設(shè)有鋁箔層。7.如權(quán)利要求1所述的尾氣管路加熱裝置，其特征在于，所述加熱外管的管徑大于所述尾氣管路的管徑。
【文檔編號(hào)】F24H3/00GK205716436SQ201620623889
【公開日】2016年11月23日
【申請日】2016年6月22日
【發(fā)明人】趙旭良, 牛景豪
【申請人】上海新昇半導(dǎo)體科技有限公司