本技術(shù)涉及加液機(jī)構(gòu)領(lǐng)域，特別是一種ipa加液機(jī)構(gòu)。

背景技術(shù)：

1、在半導(dǎo)體加工的過程中，晶圓表面的清潔度是影響半導(dǎo)體器件可靠性的重要因素之一，而在晶圓的加工過程中，沉積、等離子體刻蝕、旋涂光刻膠、光刻、電鍍等加工方式均有可能導(dǎo)致晶圓表面引入污染或顆粒，導(dǎo)致晶圓表面的清潔度下降，致使采用該晶圓制造的半導(dǎo)體器件的良率低，因此在晶圓加工結(jié)束后需要利用清洗設(shè)備對晶圓進(jìn)行清洗。

2、目前，晶圓一般利用槽式清洗設(shè)備進(jìn)行清洗，槽式清洗設(shè)備一般分為若干個(gè)清洗槽，ipa干燥槽中對晶圓干燥工藝至關(guān)重要，ipa槽體是一種用于晶片清洗的設(shè)備，它主要由一個(gè)裝有ipa(異丙醇)溶液的槽體組成。ipa槽體的主要作用是通過ipa溶液的揮發(fā)，將晶片表面的水分和雜質(zhì)去除，以獲得更干凈的晶片表面。在晶片清洗過程中，ipa槽體通常會與超聲波清洗設(shè)備結(jié)合使用。將晶片放入ipa槽體中，開啟超聲波清洗設(shè)備，利用超聲波的震動和ipa溶液的揮發(fā)作用，將晶片表面的雜質(zhì)和水分去除。ipa槽體一般會配有加熱和冷卻系統(tǒng)，以控制溶液的溫度，從而影響ipa溶液的揮發(fā)速度。此外，ipa槽體還配有循環(huán)系統(tǒng)，以保持溶液的流動性，增強(qiáng)清洗效果。

3、目前ipa溶液大多直接存儲于壓力緩存罐中，壓力緩存罐上蓋一般都呈橢圓密封上蓋，當(dāng)ipa用完時(shí)，則需要泄壓拿開蓋子重新添加ipa溶液，加液過程中就有污染ipa溶液風(fēng)險(xiǎn)，且開啟壓力緩存罐蓋子，需要折起拉手支架，操作起來繁瑣低效，反復(fù)開蓋，合蓋，桶內(nèi)環(huán)境也難以保證。

技術(shù)實(shí)現(xiàn)思路

1、為了克服現(xiàn)有技術(shù)方案的不足，本實(shí)用新型提供一種ipa加液機(jī)構(gòu)，能夠有效解決加液過程復(fù)雜且容易污染液體的技術(shù)問題。

2、本實(shí)用新型解決其技術(shù)問題所采用的技術(shù)方案是：

3、一種ipa加液機(jī)構(gòu)，包括藥液緩存罐，所述藥液緩存罐的表面設(shè)置有液位口、加壓口、進(jìn)液口和出液口,加壓口、進(jìn)液口和出液口分別連接有加壓氣管、加液管路和出液管路，加液管路上設(shè)置有進(jìn)液閥，出液管路上設(shè)置有出液閥，加壓氣管上設(shè)置有進(jìn)氣閥，藥液緩存罐通過加液管路連接有加液暫存桶，加液暫存桶的下端設(shè)置有出液口，加液管路與出液口連接，加液暫存桶的上端連接有加液漏斗，加液漏斗的上沿設(shè)置有漏斗蓋，藥液緩存罐內(nèi)設(shè)置有浮球開關(guān)，浮球開關(guān)的上端延伸至液位口，浮球開關(guān)可檢測藥液緩存罐內(nèi)的液面高度，浮球開關(guān)與進(jìn)液閥電性連接。

4、進(jìn)一步地，所述加液管路、加壓氣管和出液管路上均設(shè)置有若干與清洗機(jī)固定安裝的支撐架。

5、進(jìn)一步地，所述支撐架包括連接塊的固定蓋板，固定蓋板通過螺栓與連接塊進(jìn)行安裝，連接塊靠近固定蓋板的一端設(shè)置有用于固定管路表面的定位槽。

6、進(jìn)一步地，所述藥液緩存罐的外側(cè)設(shè)置有連接板和固定環(huán)，藥液緩存罐的表面設(shè)置有定位凸臺，固定環(huán)的內(nèi)壁壓緊定位凸臺并與連接板固定連接。

7、進(jìn)一步地，所述漏斗蓋通過卡扣與加液漏斗的邊緣連接。

8、進(jìn)一步地，所述漏斗蓋通過螺紋與加液漏斗的邊緣連接。

9、進(jìn)一步地，所述加液暫存桶的側(cè)壁設(shè)置有液位管出口和液位管進(jìn)口。與現(xiàn)有技術(shù)相比，本實(shí)用新型的有益效果是：設(shè)置有加液暫存桶，當(dāng)浮球開關(guān)檢測到藥液緩存罐內(nèi)的液面高度較低時(shí)，將電信號發(fā)送至進(jìn)液閥，進(jìn)液閥開啟，使加液暫存桶內(nèi)向藥液緩存罐內(nèi)輸送藥液，當(dāng)浮球開關(guān)檢測到藥液緩存罐內(nèi)的液面高度到達(dá)高位后，進(jìn)液閥關(guān)閉，當(dāng)加液暫存桶內(nèi)的藥液不足時(shí)，手動將進(jìn)氣閥關(guān)閉后，即可將藥液從加液漏中倒入加液暫存桶內(nèi)，規(guī)避了藥液緩存罐開蓋添加藥液操作，在實(shí)際運(yùn)用中有效防止直接反復(fù)接觸緩存罐而導(dǎo)致藥液污染的問題。

技術(shù)特征：

1.一種ipa加液機(jī)構(gòu)，包括藥液緩存罐，其特征在于：所述藥液緩存罐的表面設(shè)置有液位口、加壓口、進(jìn)液口和出液口,加壓口、進(jìn)液口和出液口分別連接有加壓氣管、加液管路和出液管路，加液管路上設(shè)置有進(jìn)液閥，出液管路上設(shè)置有出液閥，加壓氣管上設(shè)置有進(jìn)氣閥，藥液緩存罐通過加液管路連接有加液暫存桶，加液暫存桶的下端設(shè)置有出液口，加液管路與出液口連接，加液暫存桶的上端連接有加液漏斗，加液漏斗的上沿設(shè)置有漏斗蓋，藥液緩存罐內(nèi)設(shè)置有浮球開關(guān)，浮球開關(guān)的上端延伸至液位口，浮球開關(guān)可檢測藥液緩存罐內(nèi)的液面高度，浮球開關(guān)與進(jìn)液閥電性連接。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種ipa加液機(jī)構(gòu)，其特征在于：所述加液管路、加壓氣管和出液管路上均設(shè)置有若干與清洗機(jī)固定安裝的支撐架。

3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的一種ipa加液機(jī)構(gòu)，其特征在于：所述支撐架包括連接塊的固定蓋板，固定蓋板通過螺栓與連接塊進(jìn)行安裝，連接塊靠近固定蓋板的一端設(shè)置有用于固定管路表面的定位槽。

4.根據(jù)權(quán)利要求1-3任意一項(xiàng)所述的一種ipa加液機(jī)構(gòu)，其特征在于：所述藥液緩存罐的外側(cè)設(shè)置有連接板和固定環(huán)，藥液緩存罐的表面設(shè)置有定位凸臺，固定環(huán)的內(nèi)壁壓緊定位凸臺并與連接板固定連接。

5.根據(jù)權(quán)利要求1-3任意一項(xiàng)所述的一種ipa加液機(jī)構(gòu)，其特征在于：所述漏斗蓋通過卡扣與加液漏斗的邊緣連接。

6.根據(jù)權(quán)利要求1-3任意一項(xiàng)所述的一種ipa加液機(jī)構(gòu)，其特征在于：所述漏斗蓋通過螺紋與加液漏斗的邊緣連接。

7.根據(jù)權(quán)利要求1-3任意一項(xiàng)所述的一種ipa加液機(jī)構(gòu)，其特征在于：所述加液暫存桶的側(cè)壁設(shè)置有液位管出口和液位管進(jìn)口。

技術(shù)總結(jié)
本技術(shù)涉及加液機(jī)構(gòu)領(lǐng)域的一種IPA加液機(jī)構(gòu)，包括藥液緩存罐，藥液緩存罐的表面設(shè)置有液位口、加壓口、進(jìn)液口和出液口,加壓口、進(jìn)液口和出液口分別連接有加壓氣管、加液管路和出液管路，加液管路上設(shè)置有進(jìn)液閥，出液管路上設(shè)置有出液閥，加壓氣管上設(shè)置有進(jìn)氣閥，藥液緩存罐通過加液管路連接有加液暫存桶，加液暫存桶的下端設(shè)置有出液口，加液管路與出液口連接，加液暫存桶的上端連接有加液漏斗，藥液緩存罐內(nèi)設(shè)置有浮球開關(guān)，浮球開關(guān)的上端延伸至液位口，浮球開關(guān)可檢測藥液緩存罐內(nèi)的液面高度，浮球開關(guān)與進(jìn)液閥電性連接，規(guī)避了藥液緩存罐開蓋添加藥液的操作，在實(shí)際運(yùn)用中有效防止直接反復(fù)接觸緩存罐而導(dǎo)致藥液污染的問題。

技術(shù)研發(fā)人員：江永
受保護(hù)的技術(shù)使用者：廣東凱迪微智能裝備有限公司
技術(shù)研發(fā)日：20240104
技術(shù)公布日：2024/10/10