本技術(shù)涉及安全分流裝置，尤其涉及一種液氮安全分流裝置。

背景技術(shù)：

1、隨著半導(dǎo)體行業(yè)的發(fā)展，半導(dǎo)體行業(yè)所需的工藝設(shè)備的需求量也隨之增長，部分工藝設(shè)備對化學(xué)品等原料的需求量也變大。為了滿足需求，從以前的一(指的原料)對一(指的工藝設(shè)備)的供給，變成現(xiàn)在的一(指的原料)對多(指的工藝設(shè)備)的供給，也即，現(xiàn)在一種原料需要同時(shí)供給到多臺(tái)工藝設(shè)備。

2、目前，在一對多的供給過程中，原料輸送管道內(nèi)的壓力發(fā)生變化，而且這種壓力變化不可控制，導(dǎo)致輸送存在較大的安全隱患，同時(shí)也增加了化學(xué)品等原料的損耗。

技術(shù)實(shí)現(xiàn)思路

1、本實(shí)用新型的目的在于提供一種液氮安全分流裝置，能夠?qū)⒃习踩至鹘o多臺(tái)工藝設(shè)備，滿足工藝設(shè)備的使用需求，同時(shí)起到安全分流、高效供給,節(jié)約原料的作用。

2、為達(dá)此目的，本實(shí)用新型采用以下技術(shù)方案：

3、一種液氮安全分流裝置，包括：

4、儲(chǔ)液罐；

5、主管路，與所述儲(chǔ)液罐連接；所述主管路上設(shè)置有起源開關(guān)裝置；

6、至少兩條分支管路，每條所述分支管路均與所述主管路的出口連接，全部所述分支管路并聯(lián)設(shè)置；

7、第一連接管路，每條所述分支管路上設(shè)有安全分支管路，所述安全分支管路的一端與對應(yīng)所述分支管路連接，另一端與所述第一連接管路連接；所述安全分支管路上間隔設(shè)有安全分支控制裝置和安全排壓裝置；所述第一連接管路的一端與外界相通；

8、每條所述安全分支管路上還設(shè)有排廢氣管路，所述排廢氣管路的入口連接在對應(yīng)所述安全分支管路上，且所述排廢氣管路的入口位于對應(yīng)所述安全分支管路上的所述安全分支控制裝置和所述安全排壓裝置之間，所述排廢氣管路上設(shè)有排廢氣裝置。

9、在其中一個(gè)實(shí)施例中，每條所述分支管路上間隔設(shè)有兩條所述安全分支管路，所述第一連接管路設(shè)有兩條，每條所述第一連接管路連接對應(yīng)設(shè)置的所述安全分支管路。

10、在其中一個(gè)實(shí)施例中，每條所述分支管路上設(shè)有分支管路控制裝置。

11、在其中一個(gè)實(shí)施例中，所述分支管路上還設(shè)有變徑管，所述變徑管設(shè)于所述起源開關(guān)裝置與所述分支管路控制裝置之間；

12、其中，所述變徑管靠近所述起源開關(guān)裝置的一端的內(nèi)徑大于所述變徑管靠近所述分支管路控制裝置的一端的內(nèi)徑。

13、在其中一個(gè)實(shí)施例中，沿所述變徑管靠近所述起源開關(guān)裝置的一端指向所述變徑管遠(yuǎn)離所述起源開關(guān)裝置的一端的方向，所述變徑管的內(nèi)徑逐漸減小。

14、在其中一個(gè)實(shí)施例中，所述分支管路控制裝置為球閥。

15、在其中一個(gè)實(shí)施例中，所述安全分支管路位于對應(yīng)所述分支管路的上方。

16、在其中一個(gè)實(shí)施例中，所述液氮安全分流裝置還包括第二連接管路，每條所述分支管路上設(shè)有排廢液管路，所述排廢液管路的一端與對應(yīng)所述分支管路連接，另一端與所述第二連接管路連接，所述第二連接管路的一端與外界相通；所述排廢液管路上設(shè)有排廢液裝置。

17、在其中一個(gè)實(shí)施例中，所述起源開關(guān)裝置為球閥；和/或，所述安全分支控制裝置為隔膜閥；和/或，所述安全排壓裝置為球閥；和/或，所述排廢氣裝置為球閥。

18、在其中一個(gè)實(shí)施例中，所述液氮安全分流裝置還包括固定支架，所述固定支架用于安裝所述主管路和全部所述分支管路。

19、本實(shí)用新型的有益效果：

20、本實(shí)用新型提供了一種液氮安全分流裝置，包括儲(chǔ)液罐、主管路、至少兩條分支管路和第一連接管路。主管路與儲(chǔ)液罐連接；主管路上設(shè)置有起源開關(guān)裝置；每條分支管路均與主管路的出口連接，全部分支管路并聯(lián)設(shè)置；每條分支管路上設(shè)有安全分支管路，安全分支管路的一端與對應(yīng)分支管路連接，另一端與第一連接管路連接；安全分支管路上間隔設(shè)有安全分支控制裝置和安全排壓裝置；第一連接管路的一端與外界相通；每條安全分支管路上還設(shè)有排廢氣管路，排廢氣管路的入口連接在對應(yīng)安全分支管路上，且排廢氣管路的入口位于對應(yīng)安全分支管路上的安全分支控制裝置和安全排壓裝置之間，排廢氣管路上設(shè)有排廢氣裝置。

21、如此，本實(shí)用新型的液氮安全分流裝置，能夠根據(jù)工藝設(shè)備的數(shù)量同時(shí)設(shè)置多條并列的分支管路，從而將原料分流給多臺(tái)工藝設(shè)備，實(shí)現(xiàn)安全分流且高效供給，同時(shí)也能夠滿足多臺(tái)工藝設(shè)備的使用需求；通過在每條分支管路上設(shè)置安全分支管路，并在安全分支管路上設(shè)置安全分支控制裝置和安全排壓裝置，在分支管路內(nèi)的壓力超過0.4mpa時(shí)，安全排壓裝置被分支管路內(nèi)的氣體沖開，從而實(shí)現(xiàn)排壓，以使分支管路內(nèi)的壓力保持在0.4mpa以內(nèi)，從而提高輸送原料的安全性，節(jié)省原料；通過設(shè)置排廢氣管路和排廢氣裝置，以便在安全排壓裝置出現(xiàn)故障或者需要檢修時(shí)，通過排廢氣管路和排廢氣裝置排出分支管路內(nèi)的氣體，以便拆卸安全排壓裝置并進(jìn)行檢修維護(hù)，進(jìn)一步提高了液氮安全分流裝置的安全性；通過在分支管路上設(shè)置分支管路控制裝置，以便在終端的工藝設(shè)備出現(xiàn)故障或者需要檢修時(shí)，通過排廢液管路和排廢液裝置排出支路內(nèi)的原料，以便拆卸終端的工藝設(shè)備，進(jìn)一步提高了液氮安全分流裝置的安全性與實(shí)用性。

技術(shù)特征：

1.一種液氮安全分流裝置，其特征在于，包括：

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的液氮安全分流裝置，其特征在于，每條所述分支管路(4)上間隔設(shè)有兩條所述安全分支管路(6)，所述第一連接管路(5)設(shè)有兩條，每條所述第一連接管路(5)連接對應(yīng)設(shè)置的所述安全分支管路(6)。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的液氮安全分流裝置，其特征在于，每條所述分支管路(4)上設(shè)有分支管路控制裝置(11)。

4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的液氮安全分流裝置，其特征在于，所述分支管路(4)上還設(shè)有變徑管(12)，所述變徑管(12)設(shè)于所述起源開關(guān)裝置(3)與所述分支管路控制裝置(11)之間；

5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的液氮安全分流裝置，其特征在于，沿所述變徑管(12)靠近所述起源開關(guān)裝置(3)的一端指向所述變徑管(12)遠(yuǎn)離所述起源開關(guān)裝置(3)的一端的方向，所述變徑管(12)的內(nèi)徑逐漸減小。

6.根據(jù)權(quán)利要求3所述的液氮安全分流裝置，其特征在于，所述分支管路控制裝置(11)為球閥。

7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的液氮安全分流裝置，其特征在于，所述安全分支管路(6)位于對應(yīng)所述分支管路(4)的上方。

8.根據(jù)權(quán)利要求1所述的液氮安全分流裝置，其特征在于，所述液氮安全分流裝置還包括第二連接管路(13)，每條所述分支管路(4)上設(shè)有排廢液管路(14)，所述排廢液管路(14)的一端與對應(yīng)所述分支管路(4)連接，另一端與所述第二連接管路(13)連接，所述第二連接管路(13)的一端與外界相通；所述排廢液管路(14)上設(shè)有排廢液裝置(15)。

9.根據(jù)權(quán)利要求1所述的液氮安全分流裝置，其特征在于，所述起源開關(guān)裝置(3)為球閥；和/或，所述安全分支控制裝置(7)為隔膜閥；和/或，所述安全排壓裝置(8)為球閥；和/或，所述排廢氣裝置(10)為球閥。

10.根據(jù)權(quán)利要求1所述的液氮安全分流裝置，其特征在于，所述液氮安全分流裝置還包括固定支架，所述固定支架用于安裝所述主管路(2)和全部所述分支管路(4)。

技術(shù)總結(jié)
本技術(shù)公開了一種液氮安全分流裝置，包括儲(chǔ)液罐、主管路、至少兩條分支管路和第一連接管路。全部分支管路并聯(lián)設(shè)置；每條分支管路上設(shè)有安全分支管路，安全分支管路上間隔設(shè)有安全分支控制裝置和安全排壓裝置；每條安全分支管路上還設(shè)有排廢氣管路，排廢氣管路上設(shè)有排廢氣裝置。如此，通過設(shè)置多條分支管路，實(shí)現(xiàn)安全分流和高效供給；通過在安全分支管路上設(shè)置安全分支控制裝置和安全排壓裝置，在分支管路內(nèi)的壓力超過0.4MPa時(shí)，安全排壓裝置被分支管路內(nèi)的氣體沖開，實(shí)現(xiàn)排壓，提高安全性，節(jié)省原料；通過設(shè)置排廢氣管路和排廢氣裝置，以便在安全排壓裝置出現(xiàn)故障或檢修時(shí)，通過排廢氣管路和排廢氣裝置排出分支管路內(nèi)的氣體，進(jìn)一步提高安全性。

技術(shù)研發(fā)人員：任華坤,舒城,郭文強(qiáng)
受保護(hù)的技術(shù)使用者：正帆科技（湖州）有限公司
技術(shù)研發(fā)日：20240409
技術(shù)公布日：2024/11/28