本技術(shù)屬于液態(tài)氣體儲存,具體涉及一種液態(tài)硅烷儲液罐。
背景技術(shù):
1、硅烷的使用和利用在工業(yè)領(lǐng)域是很常見的一項(xiàng)技術(shù),但是對于液體硅烷的儲存和取用技術(shù)目前還依然在持續(xù)改進(jìn)。
2、現(xiàn)有技術(shù)中,存放液態(tài)硅烷的儲液罐尺寸很厚,液態(tài)硅烷在運(yùn)輸和存放過程中由于受到顛簸、溫度等影響有部分液態(tài)硅烷逐漸氣體又形成硅烷氣體,隨著硅烷氣體的增多,儲液罐中的氣體壓力增大,增大了安全隱患。
3、再者,液態(tài)硅烷的取用也是目前的技術(shù)難題之一。一般的,液體硅烷儲液罐上只設(shè)置有一個(gè)液態(tài)硅烷輸送開口,這是因?yàn)樵O(shè)置的輸送開口越多會增加氣體泄露的風(fēng)險(xiǎn),以及對于儲液罐和輸送開口之間的密封性提出了更高要求。但是,一個(gè)輸送開口滿足不了實(shí)際需求,在實(shí)際需求中,經(jīng)常有多處需要用到硅烷的場景,這在一定程度上降低了工作效率。
技術(shù)實(shí)現(xiàn)思路
1、本實(shí)用新型的目的是為了解決現(xiàn)有技術(shù)中存在的缺點(diǎn),而提出的一種液態(tài)硅烷儲液罐。
2、為了實(shí)現(xiàn)上述目的,本實(shí)用新型采用了如下技術(shù)方案:一種液態(tài)硅烷儲液罐,包括罐體內(nèi)層、真空層和罐體外層,所述真空層包裹在所述罐體內(nèi)層之外,所述罐體外層包裹在所述真空層之外,以此將所述罐體內(nèi)層密封包裹?。凰龉摅w內(nèi)層具有積液室,所述積液室用以存放液態(tài)硅烷,在所述積液室的上部形成一氣體容置腔,所述氣體容置腔和所述積液室連通,所述氣體容置腔用以收集所述積液室中的液態(tài)硅烷氣化后形成的硅烷氣體;所述儲液罐還包括液體輸送裝置,所述液體輸送裝置和所述積液室連通,所述積液室中的液體經(jīng)所述液體輸送裝置輸送到所述儲液罐的外界。
3、在本申請中,還包括壓力傳感器,所述壓力傳感器伸入到所述氣體容置腔中,用以測量所述氣體容置腔中的氣壓。
4、在本申請中,還包括硅烷氣體回收裝置,所述氣體回收裝置的一端伸入到所述氣體容置腔中,另一端伸入到所述積液室中,所述氣體回收裝置將所述氣體容置腔中的硅烷氣體壓縮形成液態(tài)的硅烷液體后注入到所述積液室中,從而動態(tài)保證所述儲液罐1中的壓力保持在預(yù)設(shè)范圍。
5、在本申請中,所述硅烷氣體回收裝置包括回收管道和壓縮泵,所述回收管道的一端伸入到所述氣體容置腔中,所述回收管道的另一端和所述壓縮泵連通,所述壓縮泵通過所述回收管道將所述氣體容置腔中的硅烷氣體抽送到所述壓縮泵中,并且將硅烷氣體壓縮成液體硅烷后輸入到所述積液室中。
6、在本申請中,還包括控制器,所述壓力傳感器和所述壓縮泵均和所述控制器連接,所述壓力傳感器將測量到的氣體壓力值傳輸?shù)剿隹刂破?,所述控制器判斷該氣體壓力值,如果該氣體壓力值超過了預(yù)設(shè)值,則所述控制器氣動所述壓縮泵開始工作,將所述氣體容置腔中的氣體壓縮成液體氣體,從而保證所述儲液罐中的壓力保持在預(yù)設(shè)范圍。
7、在本申請中,所述液體輸送裝置包括總連通管道、第一支路管道、第二支路管道、第三支路管道,所述總連通管道、所述第一支路管道、所述第三支路管道和所述第三支路管道連接在一起并且兩兩連通,所述總連通管道還和所述積液室連通,所述積液室中的液體經(jīng)所述總連通管道流入到所述第一支路管道、所述第二支路管道和所述第三支路管道中。
8、在本申請中,所述液體輸送裝置還包括第一驅(qū)動電機(jī)、第一驅(qū)動桿、第一密封板、第二驅(qū)動電機(jī)、第二驅(qū)動桿和第二密封板,所述第一密封板的一端鉸接在所述第一支路管道的內(nèi)壁上,所述第一密封板的另一端相對于所述第一支路管道樞轉(zhuǎn);所述第二密封板的一端鉸接于所述第二支路管道的內(nèi)壁上,所述第二密封板的另一端相對于所述第二支路管道樞轉(zhuǎn)。
9、在本申請中,所述第一驅(qū)動桿的一端和所述第一密封板固定連接,所述第一驅(qū)動桿的另一端和所述第一驅(qū)動電機(jī)連接,在所述第一驅(qū)動電機(jī)的驅(qū)動下所述第一密封板相對于所述第一支路管道樞轉(zhuǎn),以此使得所述總連通管道和所述第一支路管道在連通和中斷連通之間切換;所述第二驅(qū)動桿的一端和所述第二密封板固定連接,所述第二驅(qū)動桿的另一端和所述第二驅(qū)動電機(jī)連接,在所述第二驅(qū)動電機(jī)的驅(qū)動下所述第二密封板相對于所述第二支路管道樞轉(zhuǎn),以此使得所述總連通管道和所述第二支路管道在連通和中斷連通之間切換。
10、本申請的有益效果是:本申請?zhí)峁┑囊簯B(tài)硅烷儲液罐結(jié)構(gòu)簡單,能動態(tài)調(diào)節(jié)儲液罐中的壓力,使得儲液罐內(nèi)的壓力保持在預(yù)設(shè)范圍,大大提高儲液罐的安全性,儲液罐上增加了若干個(gè)輸送開口,使得輸送效率提高,并且輸送開口的打開和關(guān)閉結(jié)構(gòu)自動化設(shè)備完成,節(jié)省了人力和時(shí)間。
1.一種液態(tài)硅烷儲液罐,其特征在于,包括罐體內(nèi)層、真空層和罐體外層,所述真空層包裹在所述罐體內(nèi)層之外,所述罐體外層包裹在所述真空層之外,以此將所述罐體內(nèi)層密封包裹?。凰龉摅w內(nèi)層具有積液室,所述積液室用以存放液態(tài)硅烷,在所述積液室的上部形成一氣體容置腔,所述氣體容置腔和所述積液室連通,所述氣體容置腔用以收集所述積液室中的液態(tài)硅烷氣化后形成的硅烷氣體;所述儲液罐還包括液體輸送裝置,所述液體輸送裝置和所述積液室連通,所述積液室中的液體經(jīng)所述液體輸送裝置輸送到所述儲液罐的外界。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的液態(tài)硅烷儲液罐,其特征在于,還包括壓力傳感器,所述壓力傳感器伸入到所述氣體容置腔中,用以測量所述氣體容置腔中的氣壓。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的液態(tài)硅烷儲液罐,其特征在于,還包括硅烷氣體回收裝置,所述氣體回收裝置的一端伸入到所述氣體容置腔中,另一端伸入到所述積液室中,所述氣體回收裝置將所述氣體容置腔中的硅烷氣體壓縮形成液態(tài)的硅烷液體后注入到所述積液室中,從而動態(tài)保證所述儲液罐中的壓力保持在預(yù)設(shè)范圍。
4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的液態(tài)硅烷儲液罐,其特征在于,所述硅烷氣體回收裝置包括回收管道和壓縮泵,所述回收管道的一端伸入到所述氣體容置腔中,所述回收管道的另一端和所述壓縮泵連通,所述壓縮泵通過所述回收管道將所述氣體容置腔中的硅烷氣體抽送到所述壓縮泵中,并且將硅烷氣體壓縮成液體硅烷后輸入到所述積液室中。
5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的液態(tài)硅烷儲液罐,其特征在于,還包括控制器,所述壓力傳感器和所述壓縮泵均和所述控制器連接,所述壓力傳感器將測量到的氣體壓力值傳輸?shù)剿隹刂破?,所述控制器判斷該氣體壓力值,如果該氣體壓力值超過了預(yù)設(shè)值,則所述控制器氣動所述壓縮泵開始工作,將所述氣體容置腔中的氣體壓縮成液體氣體,從而保證所述儲液罐中的壓力保持在預(yù)設(shè)范圍。
6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的液態(tài)硅烷儲液罐,其特征在于,所述液體輸送裝置包括總連通管道、第一支路管道、第二支路管道、第三支路管道,所述總連通管道、所述第一支路管道、所述第三支路管道和所述第三支路管道連接在一起并且兩兩連通,所述總連通管道還和所述積液室連通,所述積液室中的液體經(jīng)所述總連通管道流入到所述第一支路管道、所述第二支路管道和所述第三支路管道中。
7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的液態(tài)硅烷儲液罐,其特征在于,所述液體輸送裝置還包括第一驅(qū)動電機(jī)、第一驅(qū)動桿、第一密封板、第二驅(qū)動電機(jī)、第二驅(qū)動桿和第二密封板,所述第一密封板的一端鉸接在所述第一支路管道的內(nèi)壁上,所述第一密封板的另一端相對于所述第一支路管道樞轉(zhuǎn);所述第二密封板的一端鉸接于所述第二支路管道的內(nèi)壁上,所述第二密封板的另一端相對于所述第二支路管道樞轉(zhuǎn)。
8.根據(jù)權(quán)利要求7所述的液態(tài)硅烷儲液罐,其特征在于,所述第一驅(qū)動桿的一端和所述第一密封板固定連接,所述第一驅(qū)動桿的另一端和所述第一驅(qū)動電機(jī)連接,在所述第一驅(qū)動電機(jī)的驅(qū)動下所述第一密封板相對于所述第一支路管道樞轉(zhuǎn),以此使得所述總連通管道和所述第一支路管道在連通和中斷連通之間切換;所述第二驅(qū)動桿的一端和所述第二密封板固定連接,所述第二驅(qū)動桿的另一端和所述第二驅(qū)動電機(jī)連接,在所述第二驅(qū)動電機(jī)的驅(qū)動下所述第二密封板相對于所述第二支路管道樞轉(zhuǎn),以此使得所述總連通管道和所述第二支路管道在連通和中斷連通之間切換。