一種放置在真空環(huán)境中的玻璃隔板的防爆破裝置的制造方法
【專(zhuān)利摘要】本發(fā)明提供了一種放置在真空環(huán)境中的玻璃隔板的防爆破裝置。該防爆破裝置利用真空規(guī)管、真空開(kāi)關(guān)、高真空電磁閥、安全爆破片的特點(diǎn)，結(jié)合PLC控制系統(tǒng)軟硬件，充分考慮到各種潛在的安全隱患，在整個(gè)真空度范圍5×102Pa ~1×105 Pa內(nèi)，組成了具有四級(jí)防護(hù)功能的防爆破裝置，該防爆破裝置具有安全性好、響應(yīng)快、可靠性高的優(yōu)點(diǎn)，對(duì)處于復(fù)雜而特殊的真空環(huán)境中的玻璃隔板起到了很好的安全保護(hù)作用。
【專(zhuān)利說(shuō)明】
-種放置在真空環(huán)境中的玻璃隔板的防爆破裝置
技術(shù)領(lǐng)域
[0001] 本發(fā)明屬于壓力容器防爆泄壓領(lǐng)域，具體設(shè)及一種放置在真空環(huán)境中的玻璃隔板 的防爆破裝置。
【背景技術(shù)】
[0002] 目前，壓力容器中防止超壓或過(guò)度真空的裝置主要是安裝安全爆破片和泄壓閥， 對(duì)于安全爆破片和泄壓閥，已經(jīng)有相關(guān)的國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)和若干專(zhuān)利。眾所周知，安全爆破片主要 是由爆破片和夾持器等組成的壓力泄放裝置，爆破片兩側(cè)壓力差達(dá)到預(yù)設(shè)定值時(shí)，爆破片 即刻動(dòng)作(破裂或脫落），并泄放流體介質(zhì)，屬于一次性的泄壓裝置，爆破片破裂后不可恢復(fù) 和再投入使用。泄壓閥，又名安全閥，可W根據(jù)系統(tǒng)的工作壓力自動(dòng)啟閉，當(dāng)達(dá)到安全壓力 的上限時(shí)能夠自動(dòng)開(kāi)啟，把壓力釋放一部分，當(dāng)壓力下降到安全壓力W下時(shí)，泄壓閥自動(dòng)關(guān) 閉，所W泄壓閥屬于可重復(fù)使用型安全裝置。
[0003] 當(dāng)前，在大型高功率激光裝置中，在大口徑光束傳輸路徑中有一塊真空玻璃隔板， 尺寸是400mm(長(zhǎng)）X400mm(寬）X IOmm(厚），放置在兩個(gè)真空容器之間，由于大口徑激光要 通過(guò)該玻璃，所W不能采用不誘鋼板或者侶板，必須采用玻璃板，玻璃作為透射光學(xué)元件， 必須能透過(guò)高能、高密度、大口徑的光束，且對(duì)光束能量損耗和光路指向性的影響要盡量 小，運(yùn)就要求玻璃隔板盡量薄，實(shí)際試驗(yàn)選擇厚度為IOcm的石英玻璃作為真空隔離板，但 是，作為隔離真空的玻璃隔板，兩側(cè)安全壓差必須控制在1000 OPaW內(nèi)（玻璃隔板兩側(cè)額定 工作壓力分別是在1 X IO-4Pa(高真空）和1000化(低真空）），當(dāng)隔板兩側(cè)壓差大于1000 OPa 時(shí)，玻璃隔板就有破碎的危險(xiǎn)，會(huì)損害真空容器中的其他貴重光學(xué)元件，甚至損壞真空機(jī) 組。為了對(duì)復(fù)雜真空環(huán)境中的玻璃隔板進(jìn)行有效保護(hù)，必須研制一套專(zhuān)用的功能完備的防 爆破安全泄壓裝置，來(lái)達(dá)到此項(xiàng)苛刻的安全要求。
[0004] 目前，國(guó)內(nèi)和國(guó)外尚無(wú)此類(lèi)特殊用途的防爆破泄壓裝置，通常采用安裝安全爆破 片和泄壓閥保護(hù)，而大型高功率激光裝置對(duì)安全性、可靠性、氣密性、快速性要求較高，并且 要有一定的自恢復(fù)能力。爆破片屬于一次性耗材器件，爆破后不能恢復(fù)，功能單一，不能單 獨(dú)使用來(lái)完成本特殊真空系統(tǒng)中的安全防護(hù)，只能作為其中機(jī)械泄壓級(jí)安全防護(hù)的組成器 件。泄壓閥的氣密性低，無(wú)法對(duì)兩側(cè)都是真空的環(huán)境進(jìn)行可靠真空隔離和密封;尤其在兩側(cè) 1000化運(yùn)樣的小壓差下，更無(wú)法實(shí)現(xiàn)快速開(kāi)閥泄壓(對(duì)于泄壓閥，壓差越大，泄壓越快）。W 上兩種安全防護(hù)裝置均不滿(mǎn)足要求。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0005] 本發(fā)明要解決的技術(shù)問(wèn)題是提供一種放置在真空環(huán)境中的玻璃隔板的防爆破裝 置。
[0006] 本發(fā)明的放置在真空環(huán)境中的玻璃隔板的防爆破裝置，其特點(diǎn)是，包括高真空容 器、低真空容器、高真空管道、低真空管道、高真空規(guī)管、低真空規(guī)管、真空開(kāi)關(guān)I、真空開(kāi)關(guān) n、高真空電磁閥I、高真空電磁閥n、安全爆破片I、安全爆破片n、電氣控制線(xiàn)路、PLC (Programmable Logic Controller可編程邏輯控制器，簡(jiǎn)稱(chēng)化C)控制系統(tǒng)； 所述的高真空容器和低真空容器之間放置玻璃隔板;所述的高真空管道與高真空容器 連通，高真空管道上安裝有高真空規(guī)管和真空開(kāi)關(guān)I;所述的低真空管道與低真空容器連 通，低真空管道上有安裝低真空規(guī)管和真空開(kāi)關(guān)n;所述的高真空管道和低真空管道之間 并聯(lián)高真空電磁閥I、高真空電磁閥n、安全爆破片I和安全爆破片n; 所述的高真空規(guī)管和低真空規(guī)管的真空讀數(shù)通過(guò)電氣控制線(xiàn)路傳輸至化C控制系統(tǒng)， PLC控制系統(tǒng)的控制命令通過(guò)電氣控制線(xiàn)路傳輸至高真空電磁閥I和高真空電磁閥n; 所述的真空開(kāi)關(guān)I或真空開(kāi)關(guān)n的設(shè)定值控制高真空電磁閥I或高真空電磁閥n打開(kāi) 或關(guān)閉； 所述的高真空容器和低真空容器之間的壓差值控制安全爆破片I和安全爆破片n的爆 破，安全爆破片I和安全爆破片n的爆破方向相反。
[0007] 所述的玻璃隔板的尺寸范圍為:矩形范圍為200mmX200mm~400mmX400mm，厚度 范圍為2.5 mm~IOmm;圓形直徑范圍為巫200mm~400mm，厚度范圍為2.5 mm~10mm。
[000引所述的高真空規(guī)管為復(fù)合真空計(jì)，壓力測(cè)量范圍為5 X 10-8化~1.5 X IO5 Pa;低真 空規(guī)管的壓力測(cè)量范圍為5 X 10-2化~1.5 X IO5化。
[0009] 所述的真空開(kāi)關(guān)I或真空開(kāi)關(guān)n的設(shè)定值A(chǔ)為5000化，精度為±100 Pa。
[0010] 所述的高真空電磁閥1(10)和高真空電磁閥E(Il)為內(nèi)置不誘鋼波紋管密封結(jié)構(gòu) 的角閥，漏率為5Xl〇-iVa .mVs，開(kāi)方向和關(guān)方向的壓差均《1.3X105化，工作最小壓強(qiáng) 為1X10-6 化。
[0011] 所述的安全爆破片I和安全爆破片n的爆破壓力設(shè)定值B為10000Pa(B=2A)，精度 為 ±5%。
[0012 ]本發(fā)明的的防爆破裝置基于W下設(shè)計(jì)思路： 需要保護(hù)的玻璃隔板放置在高真空容器和低真空容器之間，起真空隔離的作用。為了 確保玻璃隔板的安全，必須嚴(yán)格控制玻璃隔板兩側(cè)的壓強(qiáng)差，本發(fā)明的防爆破裝置首先是 通過(guò)化C電氣軟件程序根據(jù)真空規(guī)管的讀數(shù)自動(dòng)控制聲光報(bào)警和電磁閥自動(dòng)的打開(kāi)和關(guān) 閉、其次是機(jī)械真空開(kāi)關(guān)直接電氣硬件控制電磁閥自動(dòng)打開(kāi)和關(guān)閉、W及完全由兩個(gè)機(jī)械 式爆破片雙向超壓爆破的方式，多種防爆破方式按照壓強(qiáng)逐漸增大的順序有機(jī)結(jié)合，實(shí)現(xiàn) 了對(duì)玻璃隔板的四級(jí)有效保護(hù)。
[0013] 第一級(jí)保護(hù)是將化C控制系統(tǒng)通過(guò)電氣控制線(xiàn)路與高真空規(guī)管和低真空規(guī)管連接 在一起，PLC控制軟件自動(dòng)對(duì)真空規(guī)管進(jìn)行實(shí)時(shí)監(jiān)測(cè)，當(dāng)任意一個(gè)真空規(guī)管的讀數(shù)超過(guò)設(shè)定 值時(shí)，PLC的自動(dòng)控制程序會(huì)發(fā)出"漏氣報(bào)警"命令給蜂鳴器發(fā)出聲光報(bào)警，實(shí)現(xiàn)第一級(jí)聲光 報(bào)警。
[0014] 第二級(jí)保護(hù)是將化C控制系統(tǒng)通過(guò)電氣控制線(xiàn)路與高真空規(guī)管和低真空規(guī)管，W 及兩個(gè)并聯(lián)的高真空電磁閥I和高真空電磁閥n連接在一起。當(dāng)?shù)谝患?jí)的"漏氣報(bào)警"沒(méi)有 得到有效處理，真空規(guī)管的讀數(shù)繼續(xù)上升到"自動(dòng)開(kāi)閥"的闊值時(shí)，PLC程序軟件根據(jù)真空規(guī) 管的讀數(shù)自動(dòng)控制高真空電磁閥I和高真空電磁閥n開(kāi)閥泄壓，實(shí)現(xiàn)化C軟件自動(dòng)控制開(kāi)閥 泄壓保護(hù)。
[0015] 第=級(jí)保護(hù)是將真空開(kāi)關(guān)I或真空開(kāi)關(guān)n的通過(guò)電氣控制線(xiàn)路與高真空電磁閥I 或高真空電磁閥n相連。當(dāng)?shù)谝患?jí)和第二級(jí)保護(hù)失效，玻璃隔板兩側(cè)的壓強(qiáng)繼續(xù)增大，達(dá)到 真空開(kāi)關(guān)I或真空開(kāi)關(guān)n的設(shè)定值時(shí)，真空開(kāi)關(guān)I或真空開(kāi)關(guān)n出觸點(diǎn)信號(hào)控制高真空電磁 閥I或高真空電磁閥n打開(kāi)，實(shí)現(xiàn)電氣硬件開(kāi)閥泄壓保護(hù)； 第四級(jí)保護(hù)是由高真空容器和低真空容器之間并聯(lián)的安全爆破片I和安全爆破片n組 成，爆破方向相反。當(dāng)前=級(jí)保護(hù)均失效，玻璃隔板兩側(cè)的壓強(qiáng)繼續(xù)增大，達(dá)到安全爆破片 的設(shè)定爆破闊值時(shí)，爆破片自動(dòng)爆破泄壓，實(shí)現(xiàn)機(jī)械級(jí)硬件保護(hù)。
[0016] 本發(fā)明的放置在真空環(huán)境中的玻璃隔板的防爆破裝置利用真空規(guī)管、真空開(kāi)關(guān)、 高真空電磁閥、安全爆破片的特點(diǎn)，結(jié)合化C控制系統(tǒng)軟硬件，充分考慮到各種潛在的安全 隱患，在整個(gè)真空度范圍5X IO2Pa~1 X IO5化內(nèi)，組成了具有四級(jí)防護(hù)功能的防爆破裝置， 該防爆破裝置具有安全性好、響應(yīng)快、可靠性高的優(yōu)點(diǎn)，對(duì)處于復(fù)雜而特殊的真空環(huán)境中的 玻璃隔板起到了很好的安全保護(hù)作用。
【附圖說(shuō)明】
[0017] 圖1為本發(fā)明的放置在真空環(huán)境中的玻璃隔板的防爆破裝置的結(jié)構(gòu)圖。
[0018] 圖中，1.玻璃隔板，2.高真空容器，3.低真空容器，4.高真空管道，5.低真空管道， 6.高真空規(guī)管，7.低真空規(guī)管，8.真空開(kāi)關(guān)1,9.真空開(kāi)關(guān)n ,10.高真空電磁閥1,11.高真 空電磁閥n ,12.安全爆破片1,13.安全爆破片n ,14.電氣控制線(xiàn)路，15.化C控制系統(tǒng)。
【具體實(shí)施方式】
[0019 ]下面結(jié)合附圖具體說(shuō)明本發(fā)明。
[0020] W下實(shí)施方式僅用于說(shuō)明本發(fā)明，而并非對(duì)本發(fā)明的限制。有關(guān)技術(shù)領(lǐng)域的人員 在不脫離本發(fā)明的精神和范圍的情況下，還可W做出各種變化、替換和變型，因此同等的技 術(shù)方案也屬于本發(fā)明的范疇。
[0021] 如圖1所示，本發(fā)明的放置在真空環(huán)境中的玻璃隔板的防爆破裝置，包括高真空容 器2、低真空容器3、高真空管道4、低真空管道5、高真空規(guī)管6、低真空規(guī)管7、真空開(kāi)關(guān)18、真 空開(kāi)關(guān)119、高真空電磁閥110、高真空電磁閥nil、安全爆破片112、安全爆破片n 13、電氣 控制線(xiàn)路14、PLC控制系統(tǒng)15; 所述的高真空容器2和低真空容器3之間放置玻璃隔板1;所述的高真空管道4與高真空 容器2連通，高真空管道4上安裝有高真空規(guī)管6和真空開(kāi)關(guān)18;所述的低真空管道5與低真 空容器3連通，低真空管道5上有安裝低真空規(guī)管7和真空開(kāi)關(guān)n 9;所述的高真空管道4和低 真空管道5之間并聯(lián)高真空電磁閥110、高真空電磁閥nil、安全爆破片112和安全爆破片n 13; 所述的高真空規(guī)管6和低真空規(guī)管7的真空讀數(shù)通過(guò)電氣控制線(xiàn)路14傳輸至化C控制系 統(tǒng)15，PLC控制系統(tǒng)15的控制命令通過(guò)電氣控制線(xiàn)路14傳輸至高真空電磁閥IlO和高真空電 磁閥nil; 所述的真空開(kāi)關(guān)18或真空開(kāi)關(guān)n 9的設(shè)定值控制高真空電磁閥Iio或高真空電磁閥n 11打開(kāi)或關(guān)閉； 所述的高真空容器2和低真空容器3之間的壓差值控制安全爆破片112和安全爆破片n 13的爆破，安全爆破片112、安全爆破片n 13的爆破方向相反。
[0022] 所述的玻璃隔板的尺寸范圍為:矩形范圍為200mmX200mm~400mmX400mm，厚度 范圍為2.5 mm~10mm;圓形直徑范圍為巫200mm~400mm，厚度范圍為2.5 mm~10mm。
[0023] 所述的高真空規(guī)管為復(fù)合真空計(jì)，壓力測(cè)量范圍為5X10-S化~1.SXlO5Pa;低真 空規(guī)管的壓力測(cè)量范圍為5 X 1〇-2化~1.5 X IO5化。
[0024] 所述的真空開(kāi)關(guān)I或真空開(kāi)關(guān)n的設(shè)定值A(chǔ)為5000化，精度為±100 Pa。
[0025] 所述的高真空電磁閥1(10)和高真空電磁閥E(Il)為內(nèi)置不誘鋼波紋管密封結(jié)構(gòu) 的角閥，漏率為5Xl〇-iVa .mVs，開(kāi)方向和關(guān)方向的壓差均《1.3X105化，工作最小壓強(qiáng) 為1X10-6 化。
[00%]所述的安全爆破片I和安全爆破片n的爆破壓力設(shè)定值B為10000Pa(B=2A)，精度 為 ±5%。
[0027] W被保護(hù)的玻璃隔板1的尺寸為400mm(長(zhǎng)）X400mm(寬）X IOmm(厚）為例加W說(shuō) 明，該玻璃隔板1的理論爆破壓力，即極限壓強(qiáng)為門(mén)=50000化，安全系數(shù)取：丫 =(極限壓力 門(mén)/許用壓力Px)>5,許用壓力為Px《極限壓力門(mén)/5=10000化。因此，選用復(fù)合型高真空規(guī) 管6,即將兩種真空計(jì)集成在一個(gè)小型的單元內(nèi)，壓力測(cè)量范圍為5X 1〇-8化~1 X IO5 Pa;低 真空規(guī)管7的壓力測(cè)量范圍為5X10-2化~1.5X105 Pa;真空開(kāi)關(guān)18或真空開(kāi)關(guān)E9的設(shè)定 值A(chǔ)為5000化，精度為± 100 Pa;高真空電磁閥110和高真空電磁閥n 11為內(nèi)置不誘鋼波紋 管密封結(jié)構(gòu)的角閥，漏率為5Xl(TiVa.m3/s，開(kāi)方向和關(guān)方向的壓差均《1.3X105Pa，工 作最小壓強(qiáng)為1 X 1(T6 Pa。安全爆破片112和安全爆破片n 13的的爆破壓力設(shè)定值B為 10000I^(B=2A=許用壓力為Px),精度為±5%。
[0028] 本發(fā)明的放置在真空環(huán)境中的玻璃隔板的防爆破裝置，對(duì)玻璃隔板1進(jìn)行基于化C 軟件、電氣硬件和純機(jī)械有機(jī)結(jié)合的四級(jí)保護(hù)。每一級(jí)保護(hù)的具體工作過(guò)程如下所述： 第一級(jí)保護(hù)是化C控制系統(tǒng)15通過(guò)電氣控制線(xiàn)路14與高真空規(guī)管6和低真空規(guī)管7連接 在一起，實(shí)現(xiàn)化C程序軟件自動(dòng)控制聲光報(bào)警保護(hù)。具體工作過(guò)程為:高真空規(guī)管6通過(guò)高真 空管道4實(shí)時(shí)監(jiān)測(cè)高真空容器2的真空度Pl，低真空規(guī)管7通過(guò)低真空管道5實(shí)時(shí)監(jiān)測(cè)低真空 容器3的真空度P2,兩個(gè)真空規(guī)管的真空讀數(shù)通過(guò)電氣控制線(xiàn)路14傳輸?shù)交疌控制系統(tǒng)15， PLC控制軟件自動(dòng)進(jìn)行實(shí)時(shí)監(jiān)測(cè)，當(dāng)任意一個(gè)真空規(guī)管的讀數(shù)超過(guò)設(shè)定值時(shí)，即Pl > 1500化 或者P2>1500化，PLC的自動(dòng)控制程序會(huì)發(fā)出"漏氣報(bào)警"命令給蜂鳴器發(fā)出聲光報(bào)警，實(shí) 現(xiàn)第一級(jí)聲光報(bào)警，可W將玻璃隔板1兩側(cè)的壓強(qiáng)差控制在0~1500化之間。
[0029] 第二級(jí)保護(hù)為化C控制系統(tǒng)15通過(guò)電氣控制線(xiàn)路14與高真空規(guī)管6和低真空規(guī)管 7, W及兩個(gè)并聯(lián)的高真空電磁閥IlO和高真空電磁閥nil連接在一起，實(shí)現(xiàn)化C程序軟件根 據(jù)高真空規(guī)管6和低真空規(guī)管7的讀數(shù)自動(dòng)控制高真空電磁閥IlO和高真空電磁閥nil，實(shí) 現(xiàn)化C軟件自動(dòng)控制開(kāi)閥泄壓保護(hù)。具體工作過(guò)程為:高真空規(guī)管6通過(guò)高真空管道4實(shí)時(shí)監(jiān) 測(cè)高真空容器2的真空度Pl，低真空規(guī)管7通過(guò)低真空管道5實(shí)時(shí)監(jiān)測(cè)低真空容器3的真空度 P2,高真空規(guī)管6和低真空規(guī)管7的真空讀數(shù)通過(guò)電氣控制線(xiàn)路14傳輸?shù)交疌控制系統(tǒng)15， PLC控制軟件自動(dòng)進(jìn)行實(shí)時(shí)監(jiān)測(cè)，當(dāng)?shù)谝患?jí)的"漏氣報(bào)警"沒(méi)有得到及時(shí)有效處理，高真空規(guī) 管6和低真空規(guī)管7的讀數(shù)繼續(xù)上升，當(dāng)任意一個(gè)高真空規(guī)管6或低真空規(guī)管7的讀數(shù)超過(guò)設(shè) 定值時(shí)，即Pl >3000化或P2>3000化，PLC的自動(dòng)控制程序會(huì)發(fā)出"開(kāi)閥泄壓"命令，高真空 電磁閥IlO和高真空電磁閥nil自動(dòng)強(qiáng)制開(kāi)閥泄壓，玻璃隔板1兩側(cè)之間的壓強(qiáng)迅速減小直 至平衡，實(shí)現(xiàn)第二級(jí)開(kāi)閥泄壓保護(hù)，可W將玻璃隔板1兩側(cè)的壓強(qiáng)差控制在1500~3000Pa之 間。
[0030] 第S級(jí)保護(hù)是由真空開(kāi)關(guān)18或真空開(kāi)關(guān)n 9的通過(guò)電氣控制線(xiàn)路14與高真空電磁 閥IiO或高真空電磁閥nil相連。當(dāng)出現(xiàn)化C軟件死機(jī)或者沒(méi)有上電開(kāi)機(jī)等故障，第一級(jí)和 第二級(jí)化C控制軟件保護(hù)失效，高真空電磁閥Iio或高真空電磁閥nil未能及時(shí)打開(kāi)泄壓， 玻璃隔板1兩側(cè)的壓強(qiáng)繼續(xù)增大，達(dá)到真空開(kāi)關(guān)18或真空開(kāi)關(guān)n 9的設(shè)定值A(chǔ)為5000化時(shí)，不 通過(guò)化C軟件，真空開(kāi)關(guān)18或真空開(kāi)關(guān)E9輸出觸點(diǎn)控制信號(hào)，直接觸發(fā)控制繼電器打開(kāi)高 真空電磁閥Iio或高真空電磁閥nil,實(shí)現(xiàn)電氣硬件開(kāi)閥泄壓保護(hù)； 第四級(jí)保護(hù)是由高真空容器2和低真空容器3之間并聯(lián)的安全爆破片112和安全爆破片 n 13組成，爆破方向相反。當(dāng)果整個(gè)電氣系統(tǒng)出現(xiàn)停電等特殊情況，無(wú)法發(fā)揮電磁閥聯(lián)通泄 壓功能，前=級(jí)保護(hù)均失效時(shí)，玻璃隔板1兩側(cè)的壓強(qiáng)繼續(xù)增大，達(dá)到安全爆破片112和安全 爆破片n 13的設(shè)定爆破闊值B為1 OOOOPa (B=2A=許用壓力為Px )時(shí)，完全獨(dú)立于電氣系統(tǒng)，安 全爆破片112和安全爆破片n 13自動(dòng)爆破泄壓，實(shí)現(xiàn)純機(jī)械級(jí)硬件保護(hù)。
[0031] 下表1為矩形、表2為圓形的玻璃隔板1的相關(guān)技術(shù)數(shù)據(jù)。
[0032] 表 1
【主權(quán)項(xiàng)】
1. 一種放置在真空環(huán)境中的玻璃隔板的防爆破裝置，其特征在于，包括高真空容器 (2)、低真空容器(3)、高真空管道(4)、低真空管道(5)、高真空規(guī)管(6)、低真空規(guī)管(7)、真 空開(kāi)關(guān)1(8)、真空開(kāi)關(guān)Π (9)、高真空電磁閥1(10)、高真空電磁閥Π (11)、安全爆破片I (12)、安全爆破片Π ( 13)、電氣控制線(xiàn)路(14)、PLC控制系統(tǒng)（15); 所述的高真空容器(2)和低真空容器(3)之間放置玻璃隔板（1);所述的高真空管道(4) 與高真空容器(2)連通，高真空管道(4)上安裝有高真空規(guī)管(6)和真空開(kāi)關(guān)1(8);所述的低 真空管道(5)與低真空容器(3)連通，低真空管道(5)上有安裝低真空規(guī)管(7)和真空開(kāi)關(guān)Π (9) ;所述的高真空管道(4)和低真空管道(5)之間并聯(lián)高真空電磁閥1(10)、高真空電磁閥 Π (11)、安全爆破片1(12)和安全爆破片Π (13); 所述的高真空規(guī)管(6)和低真空規(guī)管(7)的真空讀數(shù)通過(guò)電氣控制線(xiàn)路（14)傳輸至PLC 控制系統(tǒng)（15)，PLC控制系統(tǒng)（15)的控制命令通過(guò)電氣控制線(xiàn)路(14)傳輸至高真空電磁閥I (10) 和高真空電磁閥Π ( 11); 所述的真空開(kāi)關(guān)I(8)或真空開(kāi)關(guān)Π (9)的設(shè)定值控制尚真空電磁閥I(10)或尚真空電 磁閥Π ( 11)打開(kāi)或關(guān)閉； 所述的高真空容器(2)和低真空容器(3)之間的壓差值控制安全爆破片I (12)和安全爆 破片Π (13)的爆破，安全爆破片I (12)、安全爆破片Π (13)的爆破方向相反。2. 根據(jù)權(quán)利要求1所述的放置在真空環(huán)境中的玻璃隔板的防爆破裝置，其特征在于，所 述的玻璃隔板（1)的尺寸范圍為：矩形范圍為200mm X 200mm~400mmX 400mm，厚度范圍為 2.5 mm~10mm;圓形直徑范圍為Φ200mm~400mm，厚度范圍為2· 5 mm~10mm。3. 根據(jù)權(quán)利要求1所述的放置在真空環(huán)境中的玻璃隔板（1)的防爆破裝置，其特征在 于，所述的高真空規(guī)管(6)為復(fù)合真空計(jì)，壓力測(cè)量范圍為5X HT8 Pa ~1.5X IO5 Pa;低真空 規(guī)管(7)的壓力測(cè)量范圍為5X10_2 Pa~1.5X105 Pa。4. 根據(jù)權(quán)利要求1所述的放置在真空環(huán)境中的玻璃隔板（1)的防爆破裝置，其特征在 于，所述的真空開(kāi)關(guān)1(8)或真空開(kāi)關(guān)Π (9)的設(shè)定值A(chǔ)為5000Pa，精度為±100 Pa。5. 根據(jù)權(quán)利要求1所述的放置在真空環(huán)境中的玻璃隔板（1)的防爆破裝置，其特征在 于，所述的高真空電磁閥1(10)和高真空電磁閥Π (11)為內(nèi)置不銹鋼波紋管密封結(jié)構(gòu)的角 閥，漏率為5X10_1() Pa · m3/s，開(kāi)方向和關(guān)方向的壓差均S1.3X105 Pa，工作最小壓強(qiáng)為1 X10-6 Pa06. 根據(jù)權(quán)利要求1所述的放置在真空環(huán)境中的玻璃隔板（1)的防爆破裝置，其特征在 于，所述的安全爆破片1(12)和安全爆破片Π (13)的爆破壓力設(shè)定值B為10000Pa(B=2A)，精 度為±5%。
【文檔編號(hào)】F17C1/00GK105909973SQ201610306549
【公開(kāi)日】2016年8月31日
【申請(qǐng)日】2016年5月11日
【發(fā)明人】王禮權(quán), 敬域堃, 馮斌, 李富全, 向勇, 韓偉, 王芳, 李恪宇, 柴向旭, 賈懷庭, 鐘偉, 張帆, 陳旭
【申請(qǐng)人】中國(guó)工程物理研究院激光聚變研究中心