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      一種水循環(huán)冷卻設(shè)備的制造方法

      文檔序號(hào):8850447閱讀:145來源:國(guó)知局
      一種水循環(huán)冷卻設(shè)備的制造方法
      【技術(shù)領(lǐng)域】
      [0001]本實(shí)用新型涉及氣體輸送設(shè)備中鋼瓶氣體冷卻領(lǐng)域,尤其涉及一種水循環(huán)冷卻設(shè)備。
      【背景技術(shù)】
      [0002]由于全球電子、光伏產(chǎn)業(yè)的蓬勃發(fā)展,國(guó)內(nèi)半導(dǎo)體和光伏制造業(yè)也得到了迅速的發(fā)展。據(jù)2006年中國(guó)半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)研宄報(bào)告指出:“2006年底,中國(guó)國(guó)內(nèi)有近50家晶圓制造廠,112家IC封裝和IC裝配廠,450家IC設(shè)計(jì)公司。2006年中國(guó)國(guó)內(nèi)半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)產(chǎn)值807億元人民幣,大約為100億美元,其中封測(cè)350億元,晶圓制造242億元,IC設(shè)計(jì)215億元。中國(guó)國(guó)內(nèi)半導(dǎo)體市場(chǎng)的規(guī)模在2006年超過600億美元。其中前20大廠家就占有300億美元以上?!惫夥a(chǎn)業(yè)在近兩年快速發(fā)展,是未來新能源產(chǎn)業(yè)的主力軍。
      [0003]同時(shí),在半導(dǎo)體和光伏相關(guān)產(chǎn)業(yè)常用的制程中,往往需要使用各種各樣的氣體,尤其是液化氣體,這時(shí)就需要保持液化氣體的溫度,以此來避免溫度升高使之汽化,從而影響工藝過程。
      [0004]其中,水循環(huán)冷卻設(shè)備是一種主要用于半導(dǎo)體和光伏產(chǎn)業(yè)中的設(shè)備,主要用于工藝機(jī)臺(tái)連續(xù)配送工藝氣體的氣體鋼瓶上。
      [0005]然而,現(xiàn)有的氣體輸送設(shè)備的氣體鋼瓶一般是通過保溫棉進(jìn)行控溫,但是由于外界環(huán)境因素、保溫棉材質(zhì)以及使用年限等影響,使得利用保溫棉保持的溫度無法恒定,且控溫效果并不理想。
      【實(shí)用新型內(nèi)容】
      [0006]為了解決上述的控溫效果問題,本實(shí)用新型提供一種水循環(huán)冷卻設(shè)備,可以有效的防止液化氣體溫度升高進(jìn)而汽化,從而確保工廠生產(chǎn)的穩(wěn)定進(jìn)行。
      [0007]上述的一種水循環(huán)冷卻設(shè)備,包括主體,所述主體為柱形結(jié)構(gòu)且包括左主體和右主體,所述左主體的一端通過排絞與右主體相互固定,所述左主體的另一端通過鎖扣與右主體相連;
      [0008]所述左主體的側(cè)壁設(shè)置有第一水循環(huán)通道和進(jìn)水口,所述進(jìn)水口與第一水循環(huán)通道相互連通;所述右主體的側(cè)壁設(shè)置有第二水循環(huán)通道和出水口,所述出水口與第二水循環(huán)通道相互連通;所述第一水循環(huán)通道和第二水循環(huán)通道通過水管相互連通。
      [0009]上述設(shè)備中,所述水管為U型結(jié)構(gòu)。
      [0010]上述設(shè)備中,所述鎖扣的數(shù)量為3個(gè)。
      [0011]上述設(shè)備中,所述左主體上的進(jìn)水口位于第一水循環(huán)通道的頂部。
      [0012]上述設(shè)備中,所述右主體上的出水口位于第二水循環(huán)通道的頂部。
      [0013]本實(shí)用新型的優(yōu)點(diǎn)和有益效果在于:本實(shí)用新型提供了一種水循環(huán)冷卻設(shè)備,通過將柱體設(shè)計(jì)為對(duì)稱式雙半結(jié)構(gòu),并在主體的外側(cè)壁設(shè)置了水循環(huán)通道和使之連通的水管,從而利用水流來控制內(nèi)部氣體的溫度,可有效的解決以前鋼瓶接頭拆卸的各種弊端,進(jìn)而達(dá)到穩(wěn)定控溫和確保生產(chǎn)穩(wěn)定等目的。
      【附圖說明】
      [0014]為了更清楚地說明本實(shí)用新型實(shí)施例或現(xiàn)有技術(shù)中的技術(shù)方案,下面將對(duì)實(shí)施例或現(xiàn)有技術(shù)描述中所需要使用的附圖作簡(jiǎn)單地介紹,顯而易見地,下面描述中的附圖僅僅是本實(shí)用新型的一些實(shí)施例,對(duì)于本領(lǐng)域普通技術(shù)人員來講,在不付出創(chuàng)造性勞動(dòng)性的前提下,還可以根據(jù)這些附圖獲得其他的附圖。
      [0015]圖1是本實(shí)用新型中水循環(huán)冷卻設(shè)備的第一結(jié)構(gòu)示意圖;
      [0016]圖2是本實(shí)用新型中水循環(huán)冷卻設(shè)備的第二結(jié)構(gòu)示意圖。
      【具體實(shí)施方式】
      [0017]下面結(jié)合附圖和實(shí)施例,對(duì)本實(shí)用新型的【具體實(shí)施方式】作進(jìn)一步描述。以下實(shí)施例僅用于更加清楚地說明本實(shí)用新型的技術(shù)方案,而不能以此來限制本實(shí)用新型的保護(hù)范圍。
      [0018]如圖1和圖2所示,本實(shí)用新型記載了一種水循環(huán)冷卻設(shè)備,包括主體,該主體為柱形結(jié)構(gòu)且包括左主體51和右主體52。
      [0019]其中,左主體51的一端通過排絞I與右主體52相互固定,而其另一端則通過鎖扣3與右主體52相連,從而通過開啟或閉合該鎖扣3,即可使主體處于張開或閉合狀態(tài),以便于水循環(huán)冷卻設(shè)備的安裝或拆卸。
      [0020]優(yōu)選的,為了保證左主體51和右主體52之間閉合的穩(wěn)定性,本實(shí)用新型中的水循環(huán)冷卻設(shè)備共采用了 3個(gè)鎖扣3。
      [0021]進(jìn)一步的,在左主體51的側(cè)壁設(shè)置有第一水循環(huán)通道41和進(jìn)水口 6,該進(jìn)水口 6與第一水循環(huán)通道41相互連通;
      [0022]同時(shí),在右主體52的側(cè)壁同樣設(shè)置有第二水循環(huán)通道42和出水口 7,且出水口 7與第二水循環(huán)通道42相互連通;
      [0023]最后,再利用U型機(jī)構(gòu)的水管2將第一水循環(huán)通道41和第二水循環(huán)通道42相互連通,從而形成了完整的水循環(huán)體系。
      [0024]優(yōu)選的,考慮到進(jìn)水和出水的便利性以及設(shè)備結(jié)構(gòu)的合理性,將上述的進(jìn)水口 6設(shè)置在了第一水循環(huán)通道41的頂部,而出水口 7位于第二水循環(huán)通道42的頂部。
      [0025]在實(shí)際工作中,本實(shí)用新型中水循環(huán)冷卻設(shè)備可以根據(jù)氣體鋼瓶外徑的不同,而選擇不同尺寸的規(guī)格。
      [0026]以上所述僅為本實(shí)用新型的較佳實(shí)施例而已,并不用以限制本實(shí)用新型,凡在本實(shí)用新型的精神和原則之內(nèi),所作的任何修改、等同替換、改進(jìn)等,均應(yīng)包含在本實(shí)用新型的保護(hù)范圍之內(nèi)。
      【主權(quán)項(xiàng)】
      1.一種水循環(huán)冷卻設(shè)備,包括主體,其特征在于,所述主體為柱形結(jié)構(gòu)且包括左主體和右主體,所述左主體的一端通過排絞與右主體相互固定,所述左主體的另一端通過鎖扣與右主體相連; 所述左主體的側(cè)壁設(shè)置有第一水循環(huán)通道和進(jìn)水口,所述進(jìn)水口與第一水循環(huán)通道相互連通;所述右主體的側(cè)壁設(shè)置有第二水循環(huán)通道和出水口,所述出水口與第二水循環(huán)通道相互連通;所述第一水循環(huán)通道和第二水循環(huán)通道通過水管相互連通。
      2.如權(quán)利要求1所述的一種水循環(huán)冷卻設(shè)備,其特征在于,所述水管為U型結(jié)構(gòu)。
      3.如權(quán)利要求1所述的一種水循環(huán)冷卻設(shè)備,其特征在于,所述鎖扣的數(shù)量為3個(gè)。
      4.如權(quán)利要求1所述的一種水循環(huán)冷卻設(shè)備,其特征在于,所述左主體上的進(jìn)水口位于第一水循環(huán)通道的頂部。
      5.如權(quán)利要求1所述的一種水循環(huán)冷卻設(shè)備,其特征在于,所述右主體上的出水口位于第二水循環(huán)通道的頂部。
      【專利摘要】本實(shí)用新型記載了一種水循環(huán)冷卻設(shè)備,包括主體,該主體為柱形結(jié)構(gòu)且包括左主體和右主體,左主體的一端通過排絞與右主體相互固定,而左主體的另一端通過鎖扣與右主體相連;其中,左主體的側(cè)壁設(shè)置有第一水循環(huán)通道和進(jìn)水口,該進(jìn)水口與第一水循環(huán)通道相互連通;而右主體的側(cè)壁設(shè)置有第二水循環(huán)通道和出水口,該出水口與第二水循環(huán)通道相互連通;同時(shí),第一水循環(huán)通道和第二水循環(huán)通道通過水管相互連通。由于采用了上述技術(shù),本實(shí)用新型通過將柱體設(shè)計(jì)為對(duì)稱式雙半結(jié)構(gòu),并在主體的外側(cè)壁設(shè)置了水循環(huán)通道和使之連通的水管,從而利用水流來控制內(nèi)部氣體的溫度,可有效的解決以前鋼瓶接頭拆卸的各種弊端,進(jìn)而達(dá)到穩(wěn)定控溫和確保生產(chǎn)穩(wěn)定等目的。
      【IPC分類】F17C13-02
      【公開號(hào)】CN204573581
      【申請(qǐng)?zhí)枴緾N201520253664
      【發(fā)明人】甘萬
      【申請(qǐng)人】上海盛韜半導(dǎo)體科技有限公司
      【公開日】2015年8月19日
      【申請(qǐng)日】2015年4月23日
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