專利名稱：半導(dǎo)體測(cè)試儀的程序執(zhí)行系統(tǒng)的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及對(duì)諸如半導(dǎo)體存儲(chǔ)器之類的半導(dǎo)體器件進(jìn)行各種操作測(cè)試的半導(dǎo)體測(cè)試儀的一種程序執(zhí)行系統(tǒng)。
按慣例，大家都知道對(duì)各種半導(dǎo)體器件進(jìn)行預(yù)定操作測(cè)試的半導(dǎo)體測(cè)試儀。舉例說(shuō)，象DUT(受測(cè) 器件)的這類半導(dǎo)體器件包括半導(dǎo)體存儲(chǔ)器、邏輯IC(集成電路)、線性IC等，各半導(dǎo)體器和適當(dāng)?shù)陌雽?dǎo)體測(cè)試儀測(cè)試。這些各式各樣的半導(dǎo)體測(cè)試儀是為執(zhí)行用戶編程的預(yù)定器件測(cè)試程序進(jìn)行預(yù)定的功能測(cè)試、直流測(cè)試(直流參數(shù)測(cè)試)等而設(shè)計(jì)的。器件測(cè)試程序大致由三部分組成測(cè)試控制語(yǔ)句，數(shù)據(jù)處理語(yǔ)句和算法語(yǔ)句。測(cè)試控制語(yǔ)句包括各種控制體測(cè)試儀硬件的各種指令，例如供設(shè)置執(zhí)行測(cè)試的測(cè)試條件和指令的指令。數(shù)據(jù)處理語(yǔ)句與半導(dǎo)體測(cè)試儀的硬件沒(méi)有直接關(guān)系，這種語(yǔ)句包括處理半導(dǎo)體測(cè)試得出的數(shù)據(jù)的指令。算法語(yǔ)句包括指導(dǎo)如何執(zhí)行整個(gè)器件測(cè)試程序的指令。
上述一般器件測(cè)試程序歷來(lái)是以半導(dǎo)體測(cè)試儀的制造廠家制定的特有編程語(yǔ)言編寫的。在這類器件測(cè)試程序中，通過(guò)編輯產(chǎn)生中間語(yǔ)言并加以執(zhí)行。然而，在此執(zhí)行過(guò)程中由于目的語(yǔ)句是逐行解釋的，因而有這樣的問(wèn)題，即執(zhí)行速度比采用象C語(yǔ)言之類的通用編程語(yǔ)言的場(chǎng)合慢。
此外，對(duì)器件測(cè)試程序的程序設(shè)計(jì)員來(lái)說(shuō)還有這樣的問(wèn)題他們熟悉編程工作的目的不外是對(duì)他們的器件測(cè)試程序編程，因而不能使他們?nèi)嬲莆胀ㄓ玫某绦蛟O(shè)計(jì)語(yǔ)言。
還有這樣的問(wèn)題由于器件測(cè)試程序的算法語(yǔ)句是以獨(dú)特的非和程序設(shè)計(jì)語(yǔ)言編寫的，因而要以諸如C語(yǔ)言之類的通用程序設(shè)計(jì)語(yǔ)言重新編寫該程序不容易，從而使其移植到通用程序設(shè)計(jì)語(yǔ)言的移植性差。
此外，由于器件測(cè)試程序中通常采用用途有限的程序設(shè)計(jì)語(yǔ)言，因而可利用的功能度比起采用象C語(yǔ)言之類的通用程序語(yǔ)言的情況有限。舉例說(shuō)，若既沒(méi)有結(jié)構(gòu)也沒(méi)有聯(lián)合，則不能采用結(jié)構(gòu)程序設(shè)計(jì)法。
本發(fā)明是鑒于上述情況提出的。本發(fā)明的目的是提供半導(dǎo)體測(cè)試儀的一種能提高執(zhí)行速度、協(xié)助掌握通用程序設(shè)計(jì)語(yǔ)言且能提高程序移植性的程序執(zhí)行系統(tǒng)。
在本發(fā)明的半導(dǎo)體測(cè)試儀程序執(zhí)行系統(tǒng)中，器件測(cè)試程序包括第一語(yǔ)句和第二語(yǔ)句。第一語(yǔ)句與半導(dǎo)體測(cè)試儀有關(guān)，且以非通用設(shè)計(jì)語(yǔ)言編寫。第二語(yǔ)句與半導(dǎo)體測(cè)試儀無(wú)關(guān)，且以通用程序設(shè)計(jì)語(yǔ)言編寫。系統(tǒng)通過(guò)用第一程序執(zhí)行部分執(zhí)行上述第一語(yǔ)句和用第二程序執(zhí)行部分執(zhí)行上述第二語(yǔ)句用半導(dǎo)體測(cè)試儀對(duì)半導(dǎo)體器件進(jìn)行各種測(cè)試。鑒于作為器件測(cè)試程序的一部分且與半導(dǎo)體測(cè)試儀無(wú)關(guān)的第二語(yǔ)句可以通用程序設(shè)計(jì)語(yǔ)言編寫，因而不難以通用程序設(shè)計(jì)語(yǔ)言重新編寫器件測(cè)試程序，從而可以提高程序的移植性。此外，一個(gè)人只要熟悉對(duì)器件測(cè)試程序的程序設(shè)計(jì)等就可以掌握通用程序語(yǔ)言的程序設(shè)計(jì)技巧，從而可以獲得多方面的知識(shí)，提高自己的技能。另外，以諸如C語(yǔ)言之類的通用程序設(shè)計(jì)語(yǔ)言編寫的語(yǔ)句執(zhí)行起來(lái)比以與半導(dǎo)體測(cè)試儀有關(guān)和半導(dǎo)體測(cè)試儀特有的程序設(shè)計(jì)語(yǔ)言編寫語(yǔ)句通常較快，因而還可以提高整個(gè)器件測(cè)試程序的執(zhí)行速度。
此外，最好是上述第一語(yǔ)句包括控制半導(dǎo)體測(cè)試儀操作的指令、第二語(yǔ)句包括處理執(zhí)行第一語(yǔ)句得出的數(shù)據(jù)和規(guī)定整個(gè)器件測(cè)試程序各步驟的指令。鑒于以通用程序設(shè)計(jì)語(yǔ)言編寫控制半導(dǎo)體測(cè)試儀操作的指令得出的說(shuō)明內(nèi)容既浪費(fèi)又冗長(zhǎng)，非通用程序設(shè)計(jì)語(yǔ)言的指令既簡(jiǎn)化器件測(cè)試程序的內(nèi)容又使人更容易理解。此外，由于任何程序設(shè)計(jì)語(yǔ)言可用以說(shuō)明表明表示其它執(zhí)行步驟的算法的部分和表明數(shù)據(jù)處理的內(nèi)容，因而既可以提高程序的移植性又可以如上所述通過(guò)以通用程序設(shè)計(jì)語(yǔ)言編寫該部而獲得多方面的知識(shí)。
此外，最好是上述半導(dǎo)體測(cè)試儀有測(cè)試執(zhí)行部分供產(chǎn)生半導(dǎo)體器件的各種測(cè)試信號(hào)和供獲取從半導(dǎo)體器件根據(jù)測(cè)試信號(hào)輸出的輸出信號(hào)，且半導(dǎo)體測(cè)試儀在通過(guò)第一程序執(zhí)行部分執(zhí)行第一語(yǔ)句時(shí)執(zhí)行測(cè)試信號(hào)的輸入/輸出操作并通過(guò)測(cè)試執(zhí)行部分輸出信號(hào)。對(duì)半導(dǎo)體器件進(jìn)行各種測(cè)試需要在半導(dǎo)體測(cè)試儀與作為DUT的半導(dǎo)體器件之間輸入/輸出各種信號(hào)，而且通過(guò)促使半導(dǎo)體測(cè)試儀專用的測(cè)試執(zhí)行部分進(jìn)行特定操作進(jìn)行這種輸入/輸出操作。因此，通過(guò)采用包括非通用程序設(shè)計(jì)語(yǔ)言的獨(dú)特指令在內(nèi)的第一語(yǔ)句使這種特定操作進(jìn)行，可以編制有效的器件測(cè)試程序。
另外，最好也使上述半導(dǎo)體測(cè)試儀有一個(gè)測(cè)試儀處理器解釋和執(zhí)行由第一語(yǔ)句構(gòu)成帶預(yù)定的仿真程序的第一程序，同時(shí)執(zhí)行由第二語(yǔ)句組成的第二程序。通常，直接執(zhí)行通用程序設(shè)計(jì)語(yǔ)言編寫的第一程序的處理速度是比執(zhí)行非通用程序設(shè)計(jì)語(yǔ)言編寫的第一程序同時(shí)用預(yù)定的仿真程序加以解釋較快。這樣，執(zhí)行速度可以比用全以非通用特有程序設(shè)計(jì)語(yǔ)言編寫的一般器件測(cè)試程序的情況快。
另外，最好是上述通用程序設(shè)計(jì)語(yǔ)言為C語(yǔ)言。以C語(yǔ)言編寫的第二語(yǔ)句在編輯時(shí)可以匯編語(yǔ)言即刻編譯成那些語(yǔ)句，從而可以加快執(zhí)行速度，因?yàn)椴徊捎弥虚g語(yǔ)言，即執(zhí)行第二語(yǔ)句相應(yīng)的器件測(cè)試程序(目標(biāo)程序)時(shí)無(wú)需進(jìn)行象解釋中間語(yǔ)言之類的處理。
圖1示出了一個(gè)實(shí)施例半導(dǎo)體測(cè)試儀的整個(gè)結(jié)構(gòu)。
圖2是器件測(cè)試程序一個(gè)例子的示意圖。
現(xiàn)在參看


本發(fā)明一個(gè)實(shí)施例的半導(dǎo)體測(cè)試儀。
圖1示出了該實(shí)施例半導(dǎo)體測(cè)試儀的整個(gè)結(jié)構(gòu)。中所示的半導(dǎo)體測(cè)試儀100由測(cè)試儀處理器10、測(cè)試儀20和測(cè)試頭30組成。半導(dǎo)體測(cè)試儀100配置得使其能對(duì)待測(cè)試的半導(dǎo)體器件DUT32用測(cè)試頭30進(jìn)行測(cè)試。
測(cè)試儀處理器10由核心11、程序12和13、執(zhí)行仿真程序14、I/O(輸入/輸出)控制仿真程序15和測(cè)試儀總線仿真程序16組成，設(shè)計(jì)得使其控制測(cè)試儀20的操作。其中一個(gè)程序，程序12，以通用程序設(shè)計(jì)語(yǔ)言的C語(yǔ)言編寫。另一個(gè)程序，程序13，以這些半導(dǎo)體測(cè)度編制的非通用程序設(shè)計(jì)語(yǔ)言編寫。兩程序12和13構(gòu)成規(guī)定對(duì)DUT32進(jìn)行諸如功能測(cè)試或直流參數(shù)測(cè)試之類的各種測(cè)試的步驟和細(xì)節(jié)的器件測(cè)試程序。
核心11是個(gè)能分別執(zhí)行程序12、執(zhí)行仿真程序14和I/O控制仿真程序15的實(shí)時(shí)操作系統(tǒng)。
器件測(cè)試程序包括三個(gè)功能部分(1)測(cè)試儀控制部分，(2)數(shù)據(jù)處理部分和(3)算法說(shuō)明部分。這些部分中，測(cè)試儀控制部分(1)由多個(gè)包括控制半導(dǎo)體測(cè)試儀100硬件的指令的語(yǔ)句組成。數(shù)據(jù)處理部分(2)與半導(dǎo)體測(cè)試儀100的硬件沒(méi)有直接關(guān)系，由多個(gè)包括處理作為測(cè)試結(jié)果得出的各種數(shù)據(jù)的指令的語(yǔ)句組成。算法說(shuō)明部分(3)由多個(gè)包括表示如何執(zhí)行整個(gè)器件測(cè)試程序的指令的語(yǔ)句組成。
其中一個(gè)程序，即以C語(yǔ)言編寫的程序12對(duì)應(yīng)于包含在器件測(cè)試程序中三個(gè)功能部分中的數(shù)據(jù)處理部分和算法說(shuō)明部分。核心11直接執(zhí)行程序12以控制包含在各語(yǔ)句中的各種數(shù)據(jù)處理和執(zhí)行步驟。
另一個(gè)程序，即以非通用程序設(shè)計(jì)語(yǔ)言編寫的程序13，對(duì)應(yīng)于包含在器件測(cè)試程序中三個(gè)功能部分中的測(cè)試儀控制部分。
執(zhí)行仿真程序14設(shè)計(jì)得使其執(zhí)行程序13并逐行執(zhí)行多行包含在程序13中的語(yǔ)句。舉例說(shuō)，程序13是編輯源程序得出的中間語(yǔ)言目標(biāo)，目標(biāo)的各語(yǔ)句由執(zhí)行仿真程序14解釋和執(zhí)行。
I/O控制仿真程序15解釋和執(zhí)行控制執(zhí)行仿真程序14與工作站200之間數(shù)據(jù)等的輸入/輸出控制的輸入/輸出指令。程序13中的這些指令也包括含進(jìn)行盤存取、鍵輸入或給工作站200顯示所需要的輸入/輸出指令，I/O控制仿真程序15執(zhí)行這些輸入/輸出指令給工作站200提供了操作指示。測(cè)試儀總線驅(qū)動(dòng)器16設(shè)計(jì)得使其通過(guò)測(cè)試儀部線17發(fā)送/接收各種數(shù)據(jù)并控制給測(cè)試儀20發(fā)送功能測(cè)試或直流參數(shù)測(cè)試所需要的各種數(shù)據(jù)或接收測(cè)試儀20輸出的測(cè)試結(jié)果的過(guò)程。
測(cè)試儀20設(shè)計(jì)得使其在測(cè)試儀處理器10的控制下對(duì)裝在測(cè)試頭30上的DUT32進(jìn)行諸如功能經(jīng)測(cè)試、直流參數(shù)測(cè)試或RF(射頻)測(cè)試之類的各種測(cè)試。測(cè)試儀20由寄存器21、存儲(chǔ)器22和測(cè)試執(zhí)行部分23組成。寄存器21存儲(chǔ)各種發(fā)送給測(cè)試儀處理器10的測(cè)試儀總線驅(qū)動(dòng)器16或從驅(qū)動(dòng)器16收到的數(shù)據(jù)。存儲(chǔ)在寄存器21中的數(shù)據(jù)直接或通過(guò)存儲(chǔ)器22發(fā)送給測(cè)試執(zhí)行部分23。從測(cè)試執(zhí)行部分23輸出的數(shù)據(jù)先是存入寄存器21或存儲(chǔ)器22中，然后再通過(guò)寄存器21發(fā)送給測(cè)試儀處理器10中的測(cè)試儀總線驅(qū)動(dòng)器16。測(cè)試執(zhí)行部分23包括給DUT32進(jìn)行功能測(cè)試所需要的各種設(shè)施(例如圖形發(fā)生器、定時(shí)發(fā)生器、直流部分等)，產(chǎn)生各種輸入DUT32中的信號(hào)，同時(shí)測(cè)定出現(xiàn)在DUT32輸出端的數(shù)據(jù)。
上述核心11相當(dāng)于第二程序執(zhí)行部分，核心11、執(zhí)行仿真程序14和I/O控制仿真程序15相當(dāng)于第一程序執(zhí)行部分，測(cè)試執(zhí)行部分23則相當(dāng)于測(cè)試執(zhí)行部分。
此實(shí)施例的半導(dǎo)體測(cè)試儀100如上述那樣配置，現(xiàn)在說(shuō)明其工作過(guò)程。圖2示出了構(gòu)成器件測(cè)試程序的兩個(gè)程序12和13的具體內(nèi)容。箭頭表示程序流程，附在圖2中所示各箭頭用括號(hào)括起來(lái)的數(shù)字表示流程順序。下面說(shuō)明按括弧中數(shù)字的順序執(zhí)行相應(yīng)各語(yǔ)句時(shí)進(jìn)行的各項(xiàng)操作。
(1)器件測(cè)試程序要用例如工作站200的鍵盤直接執(zhí)行時(shí)，核心11首先讀出程序12從其第一語(yǔ)句“main C)”順次執(zhí)行。這個(gè)主函數(shù)是包含在以C語(yǔ)言編寫的程序12中各種C語(yǔ)言函數(shù)中首先加以執(zhí)行的一個(gè)。
(2)核心11執(zhí)行語(yǔ)句“execute ATL(“PROSAM PLE”，“initial”)”時(shí)，程序12調(diào)用以程序名“PROSAM PLE”表示的程序3指引程序的初始化步驟。根據(jù)這個(gè)指示，執(zhí)行仿真程序14執(zhí)行以程序名“PROSAMPLE”表示的程序13。
(3)初始化步驟完畢之后，執(zhí)行仿真程序14執(zhí)行程序13中的語(yǔ)句“RETURN C”，執(zhí)行位置返回到程序12其原先中斷的位置。
(4)，(5)核心11執(zhí)行語(yǔ)句“executeATL(“PRO SAMPLE，“TEST2”)”時(shí)，執(zhí)行仿真程序14執(zhí)行程序13用“TEST2”表示的語(yǔ)句。例如，執(zhí)行各語(yǔ)句“RATE＝IONS”和“MEASMPATPAT2”。“RATE”是設(shè)置數(shù)據(jù)輸入/輸出時(shí)間基本周期的指令?！癕EASMPAT”是指示功能測(cè)試開(kāi)始測(cè)定的指令。鑒于執(zhí)行這些指令涉及給測(cè)試儀20輸入預(yù)定數(shù)據(jù)的輸入操作，因而控制傳給測(cè)試儀部線驅(qū)動(dòng)器16，由驅(qū)動(dòng)器16執(zhí)行這些指令。
(6)這之后，執(zhí)行仿真程序14執(zhí)行程序13中的語(yǔ)句“RETURNC”，于是執(zhí)行位置返回程序12其原先中斷的位置。
(7)，(8)核心11執(zhí)行語(yǔ)句“executeATL(“PRO SAMPLE”，“TEST3”)”時(shí)，執(zhí)行仿真程序14執(zhí)行程序13中以“TEST3”表示的語(yǔ)句。例如，執(zhí)行仿真程序14執(zhí)行語(yǔ)句“STOP”以執(zhí)行預(yù)定功能性測(cè)試的終止步驟。
綜上所述，在此實(shí)施例的半導(dǎo)體測(cè)試儀100中，整個(gè)器件測(cè)試程序由程序12和程序13組成，程序12以通用程序設(shè)計(jì)語(yǔ)言的C語(yǔ)言編寫，程序13以半導(dǎo)體測(cè)試編制的非通用程序設(shè)計(jì)語(yǔ)言編寫。給測(cè)試儀20指引各程操作等以外的部分用通用程序設(shè)計(jì)語(yǔ)言編寫便于以通用程序設(shè)計(jì)語(yǔ)言重新編寫器件測(cè)試程序，從而提高程序的移植性。
此外，通過(guò)熟悉器件測(cè)試程序的程序設(shè)計(jì)等可以通過(guò)對(duì)以通用程序設(shè)計(jì)語(yǔ)言編寫作為程序一部分的程序12進(jìn)行程序設(shè)計(jì)可以掌握通用程序設(shè)計(jì)語(yǔ)言，從而可以獲得多方面的知識(shí)，提高技能。
此外，由于執(zhí)行以象C語(yǔ)言之類的通用程序設(shè)計(jì)語(yǔ)言編寫的程序12通常比執(zhí)行以與硬件有關(guān)且是硬件特有的程序設(shè)計(jì)語(yǔ)言編寫的程序13快，因而執(zhí)行速度比一般全部以非通用程序設(shè)計(jì)語(yǔ)言編寫的器件測(cè)試程序快。
另外，以C語(yǔ)言編寫程序12使我們可以采用C語(yǔ)言的結(jié)構(gòu)和聯(lián)合，從而采用結(jié)構(gòu)化程序設(shè)計(jì)的方法。
本發(fā)明并不局限于上述實(shí)施例，在不脫離本發(fā)明范圍的前提下是可以進(jìn)行種種修改的。例如，在上面的實(shí)施例中，程序12是以C語(yǔ)言編寫的，但C語(yǔ)言以外的其它通用程序設(shè)計(jì)語(yǔ)言也可以采用?？梢杂肑ava(注冊(cè)商標(biāo))程序設(shè)計(jì)語(yǔ)言編寫程序12。
權(quán)利要求
1.半導(dǎo)體測(cè)試儀的一種程序執(zhí)行系統(tǒng)，通過(guò)執(zhí)行器件測(cè)試程序用半導(dǎo)體測(cè)試儀對(duì)半導(dǎo)體器件進(jìn)行各種測(cè)試，其特征在于，它包括第一程序執(zhí)行部分，供執(zhí)行與所述半導(dǎo)體測(cè)試儀有關(guān)的一些第一語(yǔ)句，第一語(yǔ)句包含在所述器件測(cè)試程序中，以非通用程序設(shè)計(jì)語(yǔ)言編寫；和第二程序執(zhí)行部分，供執(zhí)行與所述半導(dǎo)體測(cè)試儀無(wú)關(guān)的一些第二語(yǔ)句，第二語(yǔ)句包含在所述器件測(cè)試程序中，以通用程序設(shè)計(jì)語(yǔ)言編寫。
2.如權(quán)利要求1所述的半導(dǎo)體測(cè)試儀的程序執(zhí)行系統(tǒng)，其特征在于所述第一語(yǔ)句包含控制所述半導(dǎo)體測(cè)試儀操作過(guò)程的指令；所述第二語(yǔ)句包括處理執(zhí)行所述第一語(yǔ)句得出的數(shù)據(jù)的指令和規(guī)定整個(gè)器件測(cè)試程序步驟的指令。
3.如權(quán)利要求1所述的半導(dǎo)體測(cè)試儀的程序執(zhí)行系統(tǒng)，其特征在于所述半導(dǎo)體測(cè)試儀有一個(gè)測(cè)試執(zhí)行部分供產(chǎn)生各種測(cè)試所述半導(dǎo)體器件的信號(hào)和獲取根據(jù)所述測(cè)試信號(hào)從所述半導(dǎo)體器件輸出的輸出信號(hào)；和所述測(cè)試執(zhí)行部分輸入/輸出所述測(cè)試信號(hào)和所述輸出信號(hào)的操作是在所述第一程序執(zhí)行部分執(zhí)行所述第一語(yǔ)句時(shí)執(zhí)行的。
4.如權(quán)利要求1所述的半導(dǎo)體測(cè)試儀的程序執(zhí)行系統(tǒng)，其特征在于，所述半導(dǎo)體測(cè)試儀有一個(gè)測(cè)試儀處理器解釋和執(zhí)行用預(yù)定的仿真程序由所述第一語(yǔ)句構(gòu)成的第一程序同時(shí)直接執(zhí)行由所述第二語(yǔ)句構(gòu)成的第二程序。
5.如權(quán)利要求1所述的半導(dǎo)體測(cè)試儀的程序執(zhí)行系統(tǒng)，其特征在于，所述通用程序設(shè)計(jì)語(yǔ)言為C語(yǔ)言。
全文摘要
公開(kāi)了半導(dǎo)體測(cè)試儀的一種程序執(zhí)行系統(tǒng)。在這種系統(tǒng)中,器件測(cè)試程序包含以通用程序設(shè)計(jì)語(yǔ)言編寫的第一語(yǔ)句和以與半導(dǎo)體測(cè)試儀有關(guān)的非通用程序設(shè)計(jì)語(yǔ)言編寫的第二語(yǔ)句,各語(yǔ)句在分開(kāi)的程序執(zhí)行部分執(zhí)行。
文檔編號(hào)G01R31/28GK1374532SQ01111259
公開(kāi)日2002年10月16日 申請(qǐng)日期2001年3月9日 優(yōu)先權(quán)日2001年3月9日
發(fā)明者山下安吉 申請(qǐng)人:株式會(huì)社艾德溫特斯特