專利名稱：外觀檢查用投光裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及用于液晶玻璃基板等大型基板的外觀檢查的外觀檢查用投光裝置。
圖7是表示披露于特開(kāi)平5-232032號(hào)公報(bào)中的外觀檢查用投光裝置的概略結(jié)構(gòu)的圖。在圖7所示的外觀檢查用投光裝置中，進(jìn)行玻璃基板上的抗蝕劑等膜厚的不勻或ITO膜上的針孔等外觀檢查。
在光源101的背部中配置橢圓旋轉(zhuǎn)鏡102。來(lái)自光源101的照明光由橢圓旋轉(zhuǎn)鏡102反射，通過(guò)紅外線吸收濾光器103聚集在閘門104上。進(jìn)而，照明光通過(guò)濾光器105入射到聚光用菲涅耳透鏡106上，被限制為平行光束。在由該聚光用菲涅耳透鏡106限制的平行光束中，將作為被檢查部件的玻璃基板107相對(duì)于光軸具有規(guī)定的角度來(lái)配置。
在構(gòu)成這樣的結(jié)構(gòu)的外觀檢查用投光裝置中，均勻地照明玻璃基板107的表面，觀察者108可以通過(guò)目視來(lái)觀察從玻璃基板107的表面產(chǎn)生的微小的散射光。由此，檢測(cè)出玻璃基板107上的抗蝕劑等膜厚的不勻、ITO膜上的針孔等缺陷部109。
圖8是表示披露于特開(kāi)平5-232032號(hào)公報(bào)中的外觀檢查用投光裝置的概略結(jié)構(gòu)的圖。在圖8中，對(duì)于與圖7相同的部分附以相同標(biāo)號(hào)。在圖8所示的外觀檢查用投光裝置中，可進(jìn)行在玻璃基板上印刷的圖形的不齊或不勻、或者基板表面上附著的灰塵或損傷等的外觀檢查。
在圖8中，除了圖7的結(jié)構(gòu)以外，在由聚光用菲涅耳透鏡106限制的平行光束中，還配置投光用菲涅耳透鏡110。在該投光用菲涅耳透鏡110產(chǎn)生的光束的聚束位置A前面的光路中，將被檢查部件的玻璃基板107相對(duì)于光軸具有規(guī)定的角度來(lái)配置。
在構(gòu)成這樣的結(jié)構(gòu)的外觀檢查用投光裝置中，均勻地照明玻璃基板107的表面，觀察者108在從玻璃基板107的反射光的聚束位置S附近可以通過(guò)目視來(lái)觀察從玻璃基板107的表面產(chǎn)生的微小的散射光。由此，可檢測(cè)出在玻璃基板107上印刷的圖形不齊或不勻、或者玻璃基板107表面上附著的灰塵或損傷等缺陷部111。
但是，目前，液晶顯示器有日益大型化的趨勢(shì)。隨著這種趨勢(shì)，用于液晶顯示器的玻璃基板也被大型化，達(dá)到1000mm×1200mm的尺寸。
然而，即使構(gòu)成上述結(jié)構(gòu)的任何一個(gè)外觀檢查用投光裝置，在玻璃基板大型化時(shí)，也需要與該玻璃基板的尺寸同等以上的聚光用菲涅耳透鏡106或投光用菲涅耳透鏡110。因此，這些聚光用菲涅耳透鏡106或投光用菲涅耳透鏡110有日益大型化的趨勢(shì)。
在現(xiàn)有技術(shù)中，透鏡直徑增大到必要以上，制作上難以將透鏡性能保持一定，因此也難以均勻地照明在玻璃基板107上。因此，存在使大型基板的外觀檢查的可靠性下降的問(wèn)題。而且，如果使用大型的聚光用菲涅耳透鏡106或投光用菲涅耳透鏡110，那么要不產(chǎn)生因自重造成的透鏡的撓曲變位，則難以安裝在裝置上，而且還產(chǎn)生避免不了裝置大型化這樣的問(wèn)題。
本發(fā)明的目的在于提供一種小型的外觀檢查用投光裝置，對(duì)于大型的被檢查部件可以均勻地照明整體。
(2)本發(fā)明的外觀檢查用投光裝置是上述(1)所述的裝置，并且來(lái)自所述各聚光光學(xué)系統(tǒng)的照明光束分別照射所述被檢查部件的部分區(qū)域。
(3)本發(fā)明的外觀檢查用投光裝置是上述(1)所述的裝置，并且將所述照明光源和所述反射光學(xué)系統(tǒng)設(shè)置在所述各聚光光學(xué)系統(tǒng)中。
(4)本發(fā)明的外觀檢查用投光裝置是上述(1)所述的裝置，并且使所述各聚光光學(xué)系統(tǒng)的光軸在焦點(diǎn)附近交叉或集中。
(5)本發(fā)明的外觀檢查用投光裝置是上述(1)所述的裝置，并且將所述照明光源對(duì)每個(gè)多組的所述聚光光學(xué)系統(tǒng)公用設(shè)置。
(6)本發(fā)明的外觀檢查用投光裝置是上述(1)所述的裝置，并且所述反射光學(xué)系統(tǒng)由第1反射部件和第2反射部件組成，所述第1反射部件將來(lái)自所述照明光源的光向所述第2反射部件反射，所述第2反射部件將來(lái)自所述第1反射部件的光向所述被檢查部件反射。
(7)本發(fā)明的外觀檢查用投光裝置是上述(6)所述的裝置，并且所述第2反射部件可擺動(dòng)。
(8)本發(fā)明的外觀檢查用投光裝置是上述(7)所述的裝置，并且通過(guò)所述照明光源和所述第1反射部件進(jìn)行連動(dòng)，能夠變更所述被檢查部件的照射區(qū)域。
(9)本發(fā)明的外觀檢查用投光裝置是上述(1)至(8)任何一項(xiàng)所述的裝置，并且使所述照明光源和所述聚光光學(xué)系統(tǒng)能夠向光軸方向相對(duì)地移動(dòng)。
圖2是表示本發(fā)明第1實(shí)施例的外觀檢查用投光裝置的概略結(jié)構(gòu)的正面圖。
圖3是表示本發(fā)明第2實(shí)施例的外觀檢查用投光裝置的概略結(jié)構(gòu)的側(cè)面圖。
圖4是表示本發(fā)明第2實(shí)施例的外觀檢查用投光裝置的概略結(jié)構(gòu)的正面圖。
圖5是表示本發(fā)明第3實(shí)施例的外觀檢查用投光裝置的概略結(jié)構(gòu)的側(cè)面圖。
圖6是表示本發(fā)明第3實(shí)施例的外觀檢查用投光裝置的概略結(jié)構(gòu)的俯視圖。
圖7是表示現(xiàn)有例的外觀檢查用投光裝置的概略結(jié)構(gòu)的圖。
圖8是表示現(xiàn)有例的另一外觀檢查用投光裝置的概略結(jié)構(gòu)的圖。


圖1是表示本發(fā)明第1實(shí)施例的外觀檢查用投光裝置的概略結(jié)構(gòu)的側(cè)面圖。在圖1中，在裝置本體1的內(nèi)部配置支架2。該支架2保持作為被檢查部件、例如LCD等平板顯示器中使用的大型玻璃基板3。支架2的其中心部被可自由旋轉(zhuǎn)地支撐，以該支撐部為中心按規(guī)定的角度范圍沿前后方向起倒(擺動(dòng))或反轉(zhuǎn)。而且，還可以在左右方向或在前后及左右方向上擺動(dòng)支架2。
在裝置本體1內(nèi)部的上方，設(shè)置多個(gè)第1照明光源4。照明光源4例如由金屬鹵化物燈構(gòu)成。照明光源4朝向裝置本體1的正面?zhèn)炔⒃谇昂笞笥曳较蛏吓渲霉灿?jì)4個(gè)。在圖1中，為了簡(jiǎn)明，僅圖示左側(cè)前后的兩個(gè)照明光源4、4。
在裝置本體1內(nèi)部的上方，將作為反射光學(xué)系統(tǒng)的多個(gè)反射鏡分別與各照明光源4對(duì)應(yīng)設(shè)置。反射鏡5朝向正面并在前后左右方向配置共計(jì)4個(gè)。各反射鏡5相對(duì)于水平方向傾斜規(guī)定的角度來(lái)配置。前側(cè)的兩個(gè)反射鏡5將表面朝向前側(cè)下方，以便分別將來(lái)自前側(cè)的各照明光源4的光向后述的玻璃基板方向反射。后側(cè)的兩個(gè)反射鏡5將表面朝向后側(cè)下方，以便將來(lái)自后側(cè)的各照明光源4的光向后述的玻璃基板方向反射。
在這些反射鏡5的各反射光路中，配置4分割的聚光光學(xué)系統(tǒng)6。各聚光光學(xué)系統(tǒng)6包括有矩形狀形成的第1菲涅耳透鏡61和第2菲涅耳透鏡62。第1菲涅耳透鏡61從反射鏡5入射照明光并射出平行光束。第2菲涅耳透鏡62使從第1菲涅耳透鏡61入射的平行光束聚束并作為照明光束照射到玻璃基板3上。
這四個(gè)聚光光學(xué)系統(tǒng)6(6FL、6FR、6RL、6RR)在裝置本體1的前后方向和左右方向上各并排配置兩個(gè)。在圖1中，為了簡(jiǎn)明，僅圖示左側(cè)前后的兩個(gè)聚光光學(xué)系統(tǒng)6(6FL、6RL)。在裝置本體1的前側(cè)左右對(duì)稱位置的兩個(gè)聚光光學(xué)系統(tǒng)6(6FL、6FR)對(duì)于后側(cè)左右對(duì)稱位置的兩個(gè)聚光光學(xué)系統(tǒng)6(6RL、6RR)有相同的寬度尺寸(左右尺寸)，進(jìn)深尺寸(前后尺寸)稍短地形成。在裝置本體1的后側(cè)左右對(duì)稱位置的兩個(gè)聚光光學(xué)系統(tǒng)6(6RL、6RR)對(duì)于前側(cè)的兩個(gè)聚光光學(xué)系統(tǒng)6(6FL、6FR)有相同的寬度尺寸，進(jìn)深尺寸稍長(zhǎng)地形成。
在裝置本體1內(nèi)部的上方，設(shè)置多個(gè)第2照明光源8。照明光源8例如由鈉蒸氣燈構(gòu)成。照明光源8朝向裝置本體1的正面?zhèn)?，在前后左右方向上配置共?jì)4個(gè)。這些照明光源8將波長(zhǎng)與照明光源4的金屬鹵化物燈不同的光通過(guò)分別對(duì)應(yīng)的反射鏡5、聚光光學(xué)系統(tǒng)6照射到玻璃基板3上。
圖2是表示上述外觀檢查用投光裝置的概略結(jié)構(gòu)的正面圖。在圖2中，對(duì)于與圖1相同的部分附以相同標(biāo)號(hào)。如圖2所示，裝置本體1前側(cè)的兩個(gè)聚光光學(xué)系統(tǒng)6(6FL、6FR)的各一側(cè)緣在裝置本體1的寬度方向的中心附近相互連接。而且，前側(cè)排列的各聚光光學(xué)系統(tǒng)6(6FL、6FR)以連接的各側(cè)緣為中心，向下方傾斜規(guī)定的角度θ1。此時(shí)，使各聚光光學(xué)系統(tǒng)6的光軸在焦點(diǎn)附近交叉或集中，以便來(lái)自各聚光光學(xué)系統(tǒng)6(6FL、6FR)的照明光束7、7在玻璃基板3上相互重疊一部分。由此，玻璃基板3上的前半側(cè)部分的區(qū)域被部分照明。
裝置本體1后側(cè)的兩個(gè)聚光光學(xué)系統(tǒng)6(6RL、6RR)的各一側(cè)源與上述同樣在裝置本體1的寬度方向的中心附近相互連接。而且，后側(cè)排列的各聚光光學(xué)系統(tǒng)6(6FL、6FR)以連接的各側(cè)緣為中心，向下方傾斜規(guī)定的角度θ1。此時(shí)，使各聚光光學(xué)系統(tǒng)6的光軸在焦點(diǎn)附近交叉或集中，以便來(lái)自各聚光光學(xué)系統(tǒng)6(6RL、6RR)的照明光束7、7在玻璃基板3上相互重疊一部分。由此，玻璃基板3上的前半側(cè)部分的區(qū)域被部分照明。
而且，位于裝置本體1后側(cè)的兩個(gè)聚光光學(xué)系統(tǒng)6(6RL、6RR)相對(duì)于位于裝置本體1前側(cè)的兩個(gè)聚光光學(xué)系統(tǒng)6(6FL、6FR)向下方傾斜規(guī)定的角度。由此，前后排列的各聚光光學(xué)系統(tǒng)6FR和6FL、或6RR和6RL的各聚束光在焦點(diǎn)附近，聚束在各自不同的位置A、A′、B、B′。
由此，前后左右排列的4個(gè)聚光光學(xué)系統(tǒng)6(6FL、6FR、6RL、6RR)的聚束光在玻璃基板3上重疊所有的聚束光的一部分。
這些聚光光學(xué)系統(tǒng)6的前后和左右的傾斜角度被設(shè)定為任意的角度，以便在使支架2和玻璃基板3同時(shí)旋轉(zhuǎn)時(shí)，通過(guò)透過(guò)各聚光光學(xué)系統(tǒng)6的照明光束7可以均勻地照明玻璃基板3的整個(gè)表面。此外，位于裝置本體1前側(cè)的兩個(gè)聚光光學(xué)系統(tǒng)6(6FL、6FR)和位于裝置本體1后側(cè)的兩個(gè)聚光光學(xué)系統(tǒng)6(6RL、6RR)使用各焦距大致相等的焦距。然而，也可以將例如位于裝置本體1前側(cè)的兩個(gè)聚光光學(xué)系統(tǒng)6(6FL、6FR)的焦距設(shè)定得短，而將位于裝置本體1后側(cè)的兩個(gè)聚光光學(xué)系統(tǒng)6(6RL、6RR)的焦距設(shè)定得長(zhǎng)。
下面，說(shuō)明如上構(gòu)成的外觀檢查用投光裝置的工作情況。首先，觀察者將作為被檢查部件的玻璃基板3放置在支架2上。接著，如圖1所示，觀察者使支架2上升至對(duì)應(yīng)于視線的高度，并傾斜至規(guī)定角度。
在該狀態(tài)下，來(lái)自各照明光源4的光由各個(gè)反射鏡5反射，入射到4個(gè)聚光光學(xué)系統(tǒng)上。于是，在這些聚光光學(xué)系統(tǒng)6中，從各自第1菲涅耳透鏡61射出平行光束，從第2菲涅耳透鏡62射出照明光束7，均勻地照射支架2上的玻璃基板3的部分區(qū)域。由此，觀察者可以對(duì)于各照明光束7照明的玻璃基板3的整個(gè)表面通過(guò)目視來(lái)進(jìn)行損傷或污跡等微細(xì)檢查。
根據(jù)本第1實(shí)施例，將來(lái)自各照明光源4的光由各個(gè)反射鏡5向玻璃基板3反射，并且將聚光光學(xué)系統(tǒng)6配置在其反射光路上。通過(guò)設(shè)置4個(gè)這樣的聚光光學(xué)系統(tǒng)6，將來(lái)自這些聚光光學(xué)系統(tǒng)6的照明光束7照射到玻璃基板3的部分區(qū)域，使玻璃基板3的整個(gè)表面被照明。因此，即使是玻璃基板3是大型的，也可以均勻地照明整個(gè)基板表面，可以高精度地進(jìn)行檢查損傷或污跡的微細(xì)觀察。
圖3是表示本發(fā)明第2實(shí)施例的外觀檢查用投光裝置的概略結(jié)構(gòu)的側(cè)面圖。在圖3中，對(duì)于與圖1相同的部分附以相同標(biāo)號(hào)。
在圖3中，在裝置本體1的前后方向上各并列配置兩個(gè)、即四個(gè)聚光光學(xué)系統(tǒng)6的上方，設(shè)置兩個(gè)照明光源10。照明光源10例如由金屬鹵化物燈組成。照明光源10朝向裝置本體1的正面?zhèn)?，在左右方向上并排配置。各聚光光學(xué)系統(tǒng)6(6FL、6FR、6RL、6RR)與第1實(shí)施例同樣，向玻璃基板3的中心傾斜，各聚光光束在聚束點(diǎn)附近、聚束在各自不同的位置A、A′、B、B′，所有的聚束光的一部分重疊在玻璃基板3上。
在圖3中，為了簡(jiǎn)明，僅示出左側(cè)一個(gè)照明光源10。這些照明光源10通過(guò)未圖示的驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)，相對(duì)于垂直方向向圖中箭頭方向180°的范圍內(nèi)可轉(zhuǎn)動(dòng)。
圖4是表示上述外觀檢查用投光裝置的概略結(jié)構(gòu)的正面圖。在圖4中，對(duì)于與圖3相同的部分附以相同標(biāo)號(hào)。在該結(jié)構(gòu)中，使各照明光源10沿相同一方向進(jìn)行180°旋轉(zhuǎn)，在各自裝置本體1朝向前側(cè)的各反射鏡5的狀態(tài)下，來(lái)自各照明光源10的光通過(guò)各反射鏡5及各聚光光學(xué)系統(tǒng)6照射到玻璃基板3上的前半側(cè)區(qū)域31。
使各照明光源10同樣沿另一方向180°旋轉(zhuǎn)，在各自裝置本體1朝向后側(cè)的各反射鏡5的狀態(tài)下，來(lái)自各照明光源10的光通過(guò)各反射鏡5及各聚光光學(xué)系統(tǒng)6照射到玻璃基板3上的后半側(cè)區(qū)域32。
即，通過(guò)使各照明光源10旋轉(zhuǎn)180°來(lái)切換照射方向，可以交替照明玻璃基板3的前半側(cè)和后半側(cè)的各區(qū)域。由此，可以高精度地進(jìn)行檢查玻璃基板3的損傷或污跡等的微細(xì)觀察。
根據(jù)本第2實(shí)施例，可以由兩個(gè)照明光源10來(lái)構(gòu)成，與第1實(shí)施例相比，部件數(shù)目減少，可以使裝置小型化，并且可以價(jià)格便宜地制作。
圖5是表示本發(fā)明實(shí)施例3的外觀檢查用投光裝置的概略結(jié)構(gòu)的側(cè)面圖。在圖5中，對(duì)于與圖1相同的部分附以相同標(biāo)號(hào)。在圖5中，在裝置本體1內(nèi)部的上方，設(shè)置多組(在圖示例中為兩組)照明光源21和反射鏡組成的驅(qū)動(dòng)式的照明光學(xué)系統(tǒng)20。照明光源21例如由金屬鹵化物燈組成。照明光學(xué)系統(tǒng)20朝向裝置本體1的正面?zhèn)龋诤髠?cè)的左右方向上合計(jì)配置兩組。在圖5中，為了簡(jiǎn)明，僅示出左側(cè)的照明光學(xué)系統(tǒng)20(20L)。
而且，在裝置本體1內(nèi)部的上方，將作為反射光學(xué)系統(tǒng)的多個(gè)反射鏡51分別與各照明光學(xué)系統(tǒng)20(20L、20R)對(duì)應(yīng)設(shè)置。反射鏡51朝向正面?zhèn)炔⒃诤髠?cè)的左右方向上合計(jì)配置兩個(gè)。各反射鏡51以支撐部52為中心，在規(guī)定的角度范圍內(nèi)沿前后方向可擺動(dòng)，將來(lái)自各照明光學(xué)系統(tǒng)20(20L、20R)的光向后述的玻璃基板方向反射。
在這些反射鏡51的各反射光路中，配置二分割的聚光光學(xué)系統(tǒng)6。這兩個(gè)聚光光學(xué)系統(tǒng)6(6L、6R)向下方傾斜規(guī)定的角度并并排配置在裝置本體1的左右方向上。此時(shí)，各聚光光學(xué)系統(tǒng)6L、6R的各聚束光在聚束點(diǎn)附近分別聚束在不同的位置A、A，所有聚束光的一部分重疊在玻璃基板3上。在圖5中，為了簡(jiǎn)明，僅圖示左側(cè)的一個(gè)聚光光學(xué)系統(tǒng)6(6L)。
圖6是表示上述外觀檢查用投光裝置的概略結(jié)構(gòu)的俯視圖。在圖6中，對(duì)于與圖5相同的部分附以相同標(biāo)號(hào)。在各照明光學(xué)系統(tǒng)20(20L、20R)中，照明光源21和反射鏡22進(jìn)行連動(dòng)并被向左右方向驅(qū)動(dòng)，同時(shí)反射鏡22由未圖示的凸輪機(jī)構(gòu)來(lái)轉(zhuǎn)動(dòng)。照明光學(xué)系統(tǒng)20(20L、20R)的各照明光源21分別向左方向、右方向照射光。在各照明光源21的光路上，分別配置反射鏡22。各反射鏡22將來(lái)自各照明光源21的光分別傾斜朝向反射鏡51向上方向反射。
在各照明光學(xué)系統(tǒng)20(20L、20R)從A狀態(tài)向B狀態(tài)驅(qū)動(dòng)的情況下，各照明光源21分別向裝置本體1的外側(cè)方向(左方向、右方向)移動(dòng)。與各照明光源21連動(dòng)的各反射鏡22向該外側(cè)方向移動(dòng)，同時(shí)通過(guò)上述凸輪機(jī)構(gòu)稍稍向外側(cè)方向轉(zhuǎn)動(dòng)。來(lái)自各照明光源21的光通過(guò)各個(gè)反射鏡22向斜上方向照射。由此，來(lái)自各照明光學(xué)系統(tǒng)20(20L、20R)的光通過(guò)各自反射鏡51及各聚光光學(xué)系統(tǒng)6照射到玻璃基板3上的外側(cè)(左側(cè)、右側(cè))的區(qū)域上。各照明光學(xué)系統(tǒng)20L、20R進(jìn)行獨(dú)立驅(qū)動(dòng)，或者也可以在同一方向上連動(dòng)驅(qū)動(dòng)。
在各照明光學(xué)系統(tǒng)20(20L、20R)從B的狀態(tài)被驅(qū)動(dòng)到A的狀態(tài)的情況下，各照明光源21分別向裝置本體1的內(nèi)側(cè)方向(左方向、右方向)移動(dòng)。與各照明光源21連動(dòng)的各反射鏡22向該內(nèi)側(cè)方向移動(dòng)，同時(shí)通過(guò)上述凸輪機(jī)構(gòu)稍稍向內(nèi)側(cè)方向轉(zhuǎn)動(dòng)。來(lái)自各照明光源21的光分別通過(guò)反射鏡22向斜上方照射。由此，來(lái)自各照明光學(xué)系統(tǒng)20(20L、20R)的光分別通過(guò)各反射鏡51和各聚光光學(xué)系統(tǒng)6照射到玻璃基板3上的內(nèi)側(cè)(右側(cè)、左側(cè))的區(qū)域。
即，可向左右方向移動(dòng)照明光源21和反射鏡22組成的左右對(duì)稱配置的各照明光學(xué)系統(tǒng)20(20L、20R)，而且通過(guò)將各反射鏡51可向前后方向移動(dòng)，使照射光前后左右地掃描，可以任意地照明玻璃基板3上的各區(qū)域。由此，可以通過(guò)各反射鏡22和51對(duì)玻璃基板3的整個(gè)表面掃描照明光，可以高精度地進(jìn)行檢查玻璃基板3的損傷或污跡的微細(xì)觀察。
根據(jù)第3實(shí)施例，由兩個(gè)照明光源21和兩個(gè)反射鏡51來(lái)構(gòu)成，所以與第1、第2實(shí)施例相比，部件數(shù)目減少，可以使裝置小型化，并且可以價(jià)格便宜地制作。
在上述第1～第3實(shí)施例中，使用四個(gè)或兩個(gè)聚光光學(xué)系統(tǒng)6，均勻地照明玻璃基板3上的整個(gè)表面。本發(fā)明并不限于此，也可以使用三個(gè)以上聚光光學(xué)系統(tǒng)6，將玻璃基板3上的局部照明的區(qū)域進(jìn)一步細(xì)分。此外，如果通過(guò)照明區(qū)域的細(xì)分割可以減小聚光光學(xué)系統(tǒng)6的光束直徑，那么可以用凸透鏡取代菲涅耳透鏡來(lái)構(gòu)成聚光光學(xué)系統(tǒng)6。
在上述第2實(shí)施例中，僅轉(zhuǎn)動(dòng)照明光源10，但也可以將一個(gè)照明光源10和一個(gè)反射鏡5連動(dòng)驅(qū)動(dòng)，交替照明玻璃基板3上的前半側(cè)和后半側(cè)的各區(qū)域。根據(jù)這樣的結(jié)構(gòu)，進(jìn)一步減少部件數(shù)目，可以使裝置小型化，并且價(jià)格便宜地制作。
也可以將上述第1～第3實(shí)施例的照明光源4、10、21通過(guò)未圖示的驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)可分別相對(duì)于反射鏡5、5、22(光軸方向)移動(dòng)。這種情況下，隨著使照明光源4、10、21靠近反射鏡5、5、22，從反射鏡5、5、22反射的光束擴(kuò)大，因而玻璃基板3上的照射范圍增大。隨著照明光源4、10、21遠(yuǎn)離反射鏡5、5、22，從反射鏡5、5、22反射的光束變窄，因而玻璃基板3上的照射范圍減小。
同樣，也可以通過(guò)未圖示的驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)使聚光光學(xué)系統(tǒng)6可相對(duì)于反射鏡5、5、21(光軸方向)移動(dòng)。這種情況下，隨著使聚光光學(xué)系統(tǒng)6靠近反射鏡5、5、51，從反射鏡5、5、51反射的光束擴(kuò)大，因而玻璃基板3上的照射范圍增大。隨著聚光光學(xué)系統(tǒng)6遠(yuǎn)離反射鏡5、5、51，從反射鏡5、5、51反射的光束變窄，因而玻璃基板3上的照射范圍減小。再有，能夠分別驅(qū)動(dòng)各照明光源和各聚光光學(xué)系統(tǒng)，并且可以單獨(dú)調(diào)整各聚光光學(xué)系統(tǒng)的傾斜角度。
于是，通過(guò)使照明光源和聚光光學(xué)系統(tǒng)相對(duì)地移動(dòng)，對(duì)于聚光光學(xué)系統(tǒng)的焦點(diǎn)位置來(lái)說(shuō)，使照明光源的位置偏離光軸方向，能夠進(jìn)行適合玻璃基板3尺寸的照射范圍的調(diào)整。
按照對(duì)從聚光光學(xué)系統(tǒng)導(dǎo)光的聚束光束賦予規(guī)定的光學(xué)特性的目的，也可以設(shè)置能夠切換為不透明或透明的液晶散射板(透射型液晶板)。通過(guò)使用了該液晶散射板的切變(シャ-カス)照明，可以無(wú)斑紋地照明大型基板的整個(gè)表面，良好地檢測(cè)膜厚不勻或透明導(dǎo)電膜上的針孔等的缺陷。
根據(jù)如上的本發(fā)明，可以均勻地照明大型的被檢查部件的整個(gè)表面，可以高精度地進(jìn)行損傷和污跡等的微細(xì)檢查。此外，通過(guò)用反射鏡返回來(lái)自照明系統(tǒng)的光，將聚光光學(xué)系統(tǒng)分割為多個(gè)來(lái)縮短照明系統(tǒng)的焦點(diǎn)距離，抑制裝置的高度，可以實(shí)現(xiàn)裝置的小型化。
本發(fā)明不限定于上述各實(shí)施例，可以在不變更主要精神的范圍內(nèi)適時(shí)變形實(shí)施。
產(chǎn)業(yè)上的可使用性根據(jù)本發(fā)明，可以提供對(duì)大型的被檢查部件均勻地照明整體的小型的外觀檢查用投光裝置。
權(quán)利要求
1.一種外觀檢查用投光裝置，包括照明光源；反射光學(xué)系統(tǒng)，使來(lái)自該照明光源的光向被檢查部件反射；以及聚光光學(xué)系統(tǒng)，配置在該反射光學(xué)系統(tǒng)的反射光路上；其特征在于，所述聚光光學(xué)系統(tǒng)至少被分割成2個(gè)部分，通過(guò)來(lái)自這些被分割的各聚光光學(xué)系統(tǒng)的照明光束，能夠照射所述被檢查部件的整個(gè)表面。
2.如權(quán)利要求1所述的外觀檢查用投光裝置，其特征在于，來(lái)自所述各聚光光學(xué)系統(tǒng)的照明光束分別照射所述被檢查部件的部分區(qū)域。
3.如權(quán)利要求1所述的外觀檢查用投光裝置，其特征在于，將所述照明光源和所述反射光學(xué)系統(tǒng)設(shè)置在所述各聚光光學(xué)系統(tǒng)中。
4.如權(quán)利要求1所述的外觀檢查用投光裝置，其特征在于，使所述各聚光光學(xué)系統(tǒng)的光軸在焦點(diǎn)附近交叉或集中。
5.如權(quán)利要求1所述的外觀檢查用投光裝置，其特征在于，所述照明光源被設(shè)置成對(duì)每個(gè)多組的所述聚光光學(xué)系統(tǒng)是公用的。
6.如權(quán)利要求1所述的外觀檢查用投光裝置，其特征在于，所述反射光學(xué)系統(tǒng)由第1反射部件和第2反射部件組成，所述第1反射部件將來(lái)自所述照明光源的光向所述第2反射部件反射，所述第2反射部件將來(lái)自所述第1反射部件的光向所述被檢查部件反射。
7.如權(quán)利要求6所述的外觀檢查用投光裝置，其特征在于，所述第2反射部件可擺動(dòng)。
8.如權(quán)利要求7所述的外觀檢查用投光裝置，其特征在于，通過(guò)所述照明光源和所述第1反射部件進(jìn)行連動(dòng)，能夠變更所述被檢查部件的照射區(qū)域。
9.如權(quán)利要求1至8所述的外觀檢查用投光裝置，其特征在于，使所述照明光源和所述聚光光學(xué)系統(tǒng)能夠向光軸方向相對(duì)地移動(dòng)。
全文摘要
本發(fā)明的外觀檢查用投光裝置,其包括:照明光源;將來(lái)自該照明光源的光向被檢查部件反射的反射光學(xué)系統(tǒng);以及配置在該反射光學(xué)系統(tǒng)的反射光路上的聚光光學(xué)系統(tǒng);所述聚光光學(xué)系統(tǒng)至少被分成2個(gè)部分,通過(guò)來(lái)自這些被分割的各聚光光學(xué)系統(tǒng)的照明光束能夠照射所述被檢查部件的整個(gè)表面。
文檔編號(hào)G01N21/88GK1388897SQ01802520
公開(kāi)日2003年1月1日 申請(qǐng)日期2001年8月23日 優(yōu)先權(quán)日2000年8月24日
發(fā)明者今井伸明, 西澤誠(chéng) 申請(qǐng)人:奧林巴斯光學(xué)工業(yè)株式會(huì)社