專利名稱：負(fù)載板進(jìn)給器的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及用于測試集成電路的負(fù)載板，尤其涉及附接在一個測試頭之上的負(fù)載板。
負(fù)載板是用于測試集成電路機(jī)能的電氣機(jī)械式印刷電路板。負(fù)載板閂接在一個測試頭之上，因此，必定得適當(dāng)?shù)貙R該測試頭，以便使單彈簧蹺針320正確地接觸該負(fù)載板。適切的排列對齊可確保于測試頭信道卡315和負(fù)載板325間的電氣連接，以致測試頭在集成電路的測試中得以完全地導(dǎo)電。對于負(fù)載板325，于

圖13提供一個概要的描寫，該負(fù)載板以電氣連通那些接到測試頭310的測試卡315的單彈簧蹺針320。一個槽縫326在負(fù)載板325的底側(cè)，作為單彈簧蹺針320和負(fù)載板325間的接觸點(diǎn)。
負(fù)載板一般是用手工置放在測試頭之上，導(dǎo)致某些顧慮。用手工置放一個負(fù)載板在一個測試頭之上，將造成負(fù)載板不易適當(dāng)?shù)貙R測試頭，可導(dǎo)致單彈簧蹺針320與負(fù)載板325發(fā)生接觸不良。以致，在初步手工置放之后，負(fù)載板經(jīng)常須移位或調(diào)整，以便將負(fù)載板與測試頭對齊。然而，已經(jīng)與負(fù)載板呈電氣接觸的單彈簧蹺針320裝載有彈簧，因此，那些彈簧容易發(fā)生彎曲或損壞。單彈簧蹺針320屬信道卡315的部份，單彈簧蹺針320損壞即須要更換信道卡315，但是信道卡一般很昂貴。更換信道卡315同時也導(dǎo)致測試頭作業(yè)時間中斷，作業(yè)時間中斷將遲延生產(chǎn)和引起額外支出。
因此，本發(fā)明的一個觀點(diǎn)是關(guān)于一個負(fù)載板進(jìn)給器，該負(fù)載板進(jìn)給器用于置放一個負(fù)載板在一個測試頭之上，該測試頭有一個開口穿過測試頭的中央。這負(fù)載板進(jìn)給器包含一個基部，和一個連接到該基部的主體。一個附接裝置連接到主體，并用于附接負(fù)載板進(jìn)給器至測試頭。一個抬起機(jī)構(gòu)連接于基部，并垂直地移動附接于抬起機(jī)構(gòu)的一件塊體。這塊體包含負(fù)載板定位裝置，并在置放負(fù)載板于測試頭上以前，使用作為負(fù)載板的憩所。
于某些特定實施例中，負(fù)載板進(jìn)給器呈圓柱形，并在一個圓形塊件上包含一個負(fù)載板定位裝置。這負(fù)載板定位裝置包含一個附在這塊件上的圓盤，和一個接合塊件和圓盤的圓碟。這圓形塊件有一個圓腔，該圓腔的中心與塊件的中心呈非同中心狀布設(shè)。同樣地，這圓盤有一個非同中心的圓孔，該圓孔與塊件的圓腔對齊。圓碟的外徑小到恰足夠允許圓碟密合在圓孔和圓腔之內(nèi)。圓碟的頂端突伸于這板件的頂端，因此為一個負(fù)載板供應(yīng)一個接合元件。
因此，本發(fā)明的另外一個觀點(diǎn)是關(guān)于裝置一個負(fù)載板在一個測試頭之上的一種方法，該測試頭具有一個開口穿過測試頭的中央。一個負(fù)載板進(jìn)給器，包含一個抬起機(jī)構(gòu)和一個定位裝置，用來使一個負(fù)載板與一個測試頭排列對齊，該負(fù)載板進(jìn)給器附接于一個測試頭的中央開口內(nèi)。這負(fù)載板進(jìn)給器被引至升高位置，并使一個負(fù)載板放置在負(fù)載板進(jìn)給器之上。調(diào)整好負(fù)載板，以致接合負(fù)載板定位裝置。當(dāng)負(fù)載板接合負(fù)載板定位裝置時，這負(fù)載板與測試頭對齊。激活抬起機(jī)構(gòu)來降低負(fù)載板使就定位于測試頭，并且閂接負(fù)載板于測試頭。
本發(fā)明的執(zhí)行只需經(jīng)由仔細(xì)考慮的最佳模式說明，本發(fā)明的其它優(yōu)點(diǎn)從以下的詳細(xì)描述將更加明顯。本發(fā)明能夠用于其它的和不同的實施例，而它的一些細(xì)節(jié)得由多樣而明顯的方面修正亦均未偏離本發(fā)明范圍。因此，附圖和描述是對性質(zhì)上作說明，但不受限于所描述內(nèi)容。
圖1根據(jù)本發(fā)明描述一個負(fù)載板進(jìn)給器的一個實施例。負(fù)載板置放在測試頭上之前，這負(fù)載板進(jìn)給器使得負(fù)載板適當(dāng)?shù)貙R測試頭。這負(fù)載板進(jìn)給器同時也機(jī)械地降低這負(fù)載板至測試頭之上。經(jīng)由排列對齊和機(jī)械式降下置放負(fù)載板到測試頭之上，這負(fù)載板進(jìn)給器可防止信道卡的這些精致的單彈簧蹺針免于彎曲或破裂，因為當(dāng)以手工置放負(fù)載板至測試頭上時，常發(fā)生前述單彈簧蹺針彎曲或破裂。本發(fā)明實施例的零件參考圖1和圖2，說明本發(fā)明實施例的零部件和裝配。一個頂環(huán)10，用于附接負(fù)載板進(jìn)給器200到一個測試頭，具有系孔11和柱系孔13，可穿過那些開孔完成系接。系孔11和柱系孔13鉚入臺面以便使平頭螺釘?shù)捻敹伺c頂環(huán)10的表面平整對齊。
針件15插在針孔12之內(nèi)，例如于頂環(huán)10的底側(cè)經(jīng)由使用壓合而插入。當(dāng)負(fù)載板進(jìn)給器200附接于測試頭310[詳見圖3]，這些針件15與針孔對齊[未顯示于圖3]，在中央環(huán)件300內(nèi)中心開口312的周圍。針件15并非等間距布設(shè)于頂環(huán)10的周緣，當(dāng)這些針件15對齊這些針孔時，如此可確保負(fù)載板進(jìn)給器適當(dāng)對齊測試頭310。
基板柱20當(dāng)作負(fù)載板進(jìn)給器的主體。本發(fā)明不限用那些柱件作為主體，其它連接基板70和頂環(huán)10，提供同樣功能的機(jī)械式元件均可作為主體。例如，具備一個排氣閥當(dāng)作空氣管109的圓柱體，在某些特定實施例用于代替柱件20。例如，基板柱20經(jīng)由螺紋釘72附接到基板70。一個基板柱的各個端部包含一個螺紋釘孔71，各孔接應(yīng)一個螺紋釘72，以致將基板柱20與基板70連結(jié)。基板柱20的相對端置靠在這頂環(huán)10的底側(cè)。經(jīng)過頂環(huán)10的柱系孔13可讓一個螺絲將頂環(huán)10，經(jīng)由一個螺紋釘孔71緊系于基板柱20。柱系孔13鉚入臺面以便使平頭螺釘?shù)捻敹伺c頂環(huán)10的表面平整對齊。
負(fù)載板進(jìn)給器基板70設(shè)有一個平臺用來附接基板柱20，和一個氣抖圓柱件45?；瑒虞S襯65和引塊軸60也附接于基板70。例如，氣抖圓柱件45經(jīng)由螺釘74被系緊，并于基板70穿過開口73伸出。再經(jīng)由例示，滑動軸襯65在一端具有凸緣66。滑動軸襯65穿過開口64而伸出，以致這些凸緣66接觸基板70的底側(cè)，而使滑動軸襯65通過基板70。螺釘[未顯示]經(jīng)過凸緣66將滑動軸襯65系緊于基板70。
導(dǎo)引軸60通過滑動軸襯65。每個導(dǎo)引軸60具有一個止移件80附接于導(dǎo)引軸端，以防止導(dǎo)引軸60從基板70移開而脫接。例如，止移件80被焊接或者由螺釘系緊于導(dǎo)引軸60的端部。
一個負(fù)載板設(shè)置塊件40附接于氣抖圓柱件45。例如，設(shè)置塊件40可焊接于氣抖圓柱件45，或氣抖圓柱件45的端部可車制螺紋線，并經(jīng)由在設(shè)置塊件40底部的一個螺紋孔接應(yīng)。負(fù)載板設(shè)置塊件40的上表面至少有一個圓腔41。在負(fù)載板設(shè)置塊件40的上表面，配置定位盤片50使塞入圓腔41之內(nèi)。
一個負(fù)載板設(shè)置板件30系緊于負(fù)載板設(shè)置塊件40的上表面，并包含一個開口31，穿過該開孔，使得放置于圓腔41內(nèi)的定位盤片50，穿過負(fù)載板設(shè)置板件30。于定位盤片50和開口31及/或圓腔41之間可施予壓合，但本發(fā)明不需要施作壓合。例如，設(shè)置板件30經(jīng)由鉚入臺面的螺釘系緊，并使平頭螺釘?shù)捻敹伺c設(shè)置板件30的表面對齊平整。設(shè)置板件30可保護(hù)設(shè)置塊件40使免于磨損。
負(fù)載板設(shè)置器引塊軸60經(jīng)由滑動軸襯65自由地滑動，并經(jīng)由焊接、車制螺紋線或其它的附件附接于負(fù)載板設(shè)置塊件40的底側(cè)。當(dāng)氣抖圓柱件45移動設(shè)置塊件40時，設(shè)置器引塊軸60與滑動軸襯65同工而使得設(shè)置塊件40平順移滑。導(dǎo)引軸止移件80，附接于負(fù)載板設(shè)置器引塊軸60端部，以防止氣抖圓柱件45舉升負(fù)載板設(shè)置塊件40至高過負(fù)載板進(jìn)給器基板70太遠(yuǎn)處。
較有利的是，以上零部件為鋁制品，以致負(fù)載板進(jìn)給器的重量保持于最小值，并且由測試頭所產(chǎn)生的熱度將不會不利地影響負(fù)載板進(jìn)給器。然而，本發(fā)明不限以鋁制品為建構(gòu)材料。
控制箱90容納一個機(jī)械式空氣控制開關(guān)95?？諝饪刂崎y100附接于機(jī)械式空氣開關(guān)95，并提供壓縮空氣的控制，用來操作氣抖圓柱件45。一個管接頭配件105操縱供給到機(jī)械式空氣開關(guān)95的壓縮空氣。二個管接頭配件110可提供壓縮空氣進(jìn)出氣抖圓柱件45。這管接頭配件110經(jīng)由空氣供給管109連接到空氣控制器100。測試頭配置此處所敘述的測試頭是一種型號為M973的四蕊式(teradyne)測試器測試頭，該類測試頭擁有一個挖空的中心部位，然而，任何具有挖空的中心部位的測試頭均可用于本發(fā)明。于圖3中所描述的測試頭310，有一個圓形開口312經(jīng)過這測試頭中心。開口312的上表面形成一個環(huán)件300。如圖3所示，中心環(huán)300的內(nèi)部已被移除，亦即，經(jīng)由輾磨，剩下一個唇件306。當(dāng)負(fù)載板進(jìn)給器200設(shè)置在測試頭310之上時，唇件306經(jīng)由圍繞頂環(huán)10協(xié)助使負(fù)載板進(jìn)給器200能對準(zhǔn)中心，然而，唇件306則不用。鉆入中心環(huán)件300的開口305被車制螺紋線，以提供一個系結(jié)之處，例如，以螺釘經(jīng)由頂環(huán)10系緊負(fù)載板進(jìn)給器200于測試頭310。其它方法，例如，鉚接或者焊接，也能用于經(jīng)由頂環(huán)10附接負(fù)載板進(jìn)給器200至測試頭310。
測試頭310同時也包含信道卡315，該信道卡用于控制負(fù)載板的測試。信道卡315上面的單彈簧蹺針320對于信道卡間提供電氣連接，并因此電氣連接測試頭和一個負(fù)載板325[詳圖9]。支持件302確保測試頭310堅固穩(wěn)定。裝設(shè)并拴牢一個負(fù)載板進(jìn)給器于一個測試頭配置內(nèi)的一個實施例圖4描述于圖1和圖2中所裝置負(fù)載板進(jìn)給器200，進(jìn)入一個顯示于圖3的測試頭310配置的初期階段。在連接到氣抖圓柱件45之前，空氣管109經(jīng)過中央開口312，從測試頭310的底側(cè)灌入。如圖4所示，負(fù)載板進(jìn)給器200從測試頭310的上面裝設(shè)入測試頭310。
圖5描繪于測試頭310內(nèi)將負(fù)載板進(jìn)給器200與中央開口312排列對齊景象。如圖5所示，基板70的周緣小得足以由測試頭310的中央開口312穿過，因此允許負(fù)載板進(jìn)給器200的主體，亦即，基板柱20、氣抖圓柱件45和引塊軸60，由中央開口312穿過。然而，頂環(huán)10的周緣緊密嵌合于唇件306內(nèi)[詳圖3]，并置于測試頭310的中心環(huán)件300之上。因此，頂環(huán)10阻止負(fù)載板進(jìn)給器200完全通過測試頭310內(nèi)的中央開口312。
圖6描述負(fù)載板進(jìn)給器200的頂環(huán)10，該進(jìn)給器設(shè)置在測試頭310的中心環(huán)件300上。當(dāng)這載板進(jìn)給器200適當(dāng)?shù)貙R測試頭310時，于頂環(huán)10的底側(cè)的針件15與于中心環(huán)件300頂端的針孔配合[未顯示]。螺釘于頂環(huán)10由系孔11穿過，并進(jìn)入中央環(huán)件300內(nèi)的螺紋孔305，旋緊負(fù)載板進(jìn)給器200于測試頭310。負(fù)載板進(jìn)給器200的頂端大體而言是平行于這些信道卡315的頂端。當(dāng)處于上升位置時，如圖6所描述，負(fù)載板進(jìn)給器200的頂端，亦即，設(shè)置板件30是在這些信道卡315的頂端上，并且這些單彈簧蹺針320從該處伸出。使負(fù)載板進(jìn)給器200在單彈簧蹺針320的頂端上，以保證當(dāng)一個負(fù)載板325[詳圖9]被裝置在負(fù)載板進(jìn)給器200之上時，如圖12所描述，負(fù)載板325和單彈簧蹺針320不接觸。架設(shè)一個負(fù)載板在一個負(fù)載板進(jìn)給器上的實施例為簡明故，圖7描述一個負(fù)載板強(qiáng)化件400，而未將負(fù)載板325裝置在負(fù)載板進(jìn)給器200之上。在接上負(fù)載板強(qiáng)化件400于負(fù)載板進(jìn)給器200上之前，一個強(qiáng)化物插件410被附接到負(fù)載板強(qiáng)化件400的中央部位。例如，于強(qiáng)化物插件410和負(fù)載板強(qiáng)化件400的內(nèi)部開口的公差產(chǎn)生一個壓合；或者這強(qiáng)化物插件410經(jīng)由螺釘或者系結(jié)物固著；或者經(jīng)由焊接等等方式固著。只要負(fù)載板強(qiáng)化件400和強(qiáng)化物插件410的頂端大體而言是平行的，不論強(qiáng)化物插件410是否放置于與負(fù)載板強(qiáng)化件400的頂端平面相同，或是在負(fù)載板強(qiáng)化件400的頂端的下與共面，是相對地不重要的。一個實際上平行于負(fù)載板強(qiáng)化件400和強(qiáng)化物插件410的關(guān)系，保證當(dāng)這強(qiáng)化物插件410平坦地[亦即非傾斜地]接觸設(shè)置板件30的情況下，負(fù)載板強(qiáng)化件400的頂端[而負(fù)載板325是附接于負(fù)載板強(qiáng)化件400的頂端]大體而言是平行于負(fù)載板進(jìn)給器200的頂端。當(dāng)負(fù)載板強(qiáng)化件400被裝置在負(fù)載板進(jìn)給器200之上時，設(shè)置負(fù)載板強(qiáng)化件400，以致強(qiáng)化物插件410裝置于負(fù)載板設(shè)置板件30之上。然后，負(fù)載板強(qiáng)化件400輕緩地旋轉(zhuǎn)直到定位盤片50接合于強(qiáng)化物插件410的一個定位開口420。強(qiáng)化物插件410平坦地接觸設(shè)置板件30，并適當(dāng)?shù)貙R測試頭310。
如圖8所示，一個負(fù)載板強(qiáng)化件400的底側(cè)與一個負(fù)載板325附接于負(fù)載板強(qiáng)化件400的頂側(cè)。由負(fù)載板強(qiáng)化件400的硬式支柱402之間觀看負(fù)載板325，并展示負(fù)載板325的底側(cè)包含多個槽縫326，各槽縫用于接應(yīng)一個信道卡315和伴同的單彈簧蹺針320。如前所述，一個插件410附接于負(fù)載板強(qiáng)化件400的中心。插件410允許負(fù)載板強(qiáng)化物裝置于設(shè)置板件30[詳圖6]。設(shè)定插件410內(nèi)的一個開口420的尺寸以接應(yīng)定位磁盤片50。以一個預(yù)設(shè)的方法使負(fù)載板325被系緊于負(fù)載板強(qiáng)化件400，以致當(dāng)定位磁盤片50接合這開口420時，負(fù)載板325可適當(dāng)?shù)嘏c測試頭310對齊。負(fù)載板325系緊于負(fù)載板強(qiáng)化件400，例如，經(jīng)由螺釘或者類似的系結(jié)物。如圖8所示，當(dāng)負(fù)載板強(qiáng)化件400與所附接上的一個負(fù)載板325，裝置在負(fù)載板進(jìn)給器200上時，如圖7所展示的同樣方法，負(fù)載板325自動而適當(dāng)?shù)貙R測試頭310。
一個負(fù)載板強(qiáng)化件400與所附接上的一個負(fù)載板325的一個例子，裝置在附接于一個測試頭310的一個負(fù)載板進(jìn)給器200[未顯示]，于圖9中有描述。于圖9中，負(fù)載板進(jìn)給器200是在上升位置，如圖10中所示者；而負(fù)載板325不接觸單彈簧蹺針320，如同圖12所示。當(dāng)負(fù)載板進(jìn)給器200被移動到下降位置，如圖11所示，負(fù)載板325接觸單彈簧蹺針320，如同圖13所示，并且大約是與測試頭310的頂端齊平。操作一個負(fù)載板進(jìn)給器的實施例如上所述，一個負(fù)載板325附接于負(fù)載板強(qiáng)化件400。如上所述，一個負(fù)載板進(jìn)給器200附接于一個測試頭310。然后裝置負(fù)載板325在負(fù)載板進(jìn)給器200之上，并且如上所述，與測試頭310自動地對齊。
機(jī)械式空氣開關(guān)95移轉(zhuǎn)到下降位置而使氣抖圓柱件45動起來，該氣抖圓柱件降低負(fù)載板325使落在測試頭310之上。引塊軸60讓負(fù)載板325平順移位，以致當(dāng)在負(fù)載板325底側(cè)的這些槽縫326接合那些在信道卡315上面的那些單彈簧蹺針320時，不會發(fā)生不良的沖擊。經(jīng)由負(fù)載板325的適當(dāng)?shù)呐帕袑R測試頭310，結(jié)合平順地控制設(shè)置塊件40的移位，負(fù)載板進(jìn)給器200可確保單彈簧蹺針320正確地接觸負(fù)載板325，而不致?lián)p害單彈簧蹺針320。
圖11描述負(fù)載板進(jìn)給器200于降至最低下降位置。應(yīng)注意于該下降位置，設(shè)置板件30位置稍低于頂環(huán)10，而保證負(fù)載板325接合單彈簧蹺針320[詳圖13]，并且不致因負(fù)載板進(jìn)給器200而無法接觸任何單彈簧蹺針320。當(dāng)負(fù)載板325接合這些信道卡315，各個信道卡315的單彈簧蹺針320接觸一個槽縫326，該槽縫在負(fù)載板325的底側(cè)并具有接應(yīng)器327[詳圖12]以接合單彈簧蹺針部份322。當(dāng)負(fù)載板325被安置入座時，每個單彈簧蹺針320于單彈簧蹺針部份324的彈簧受壓縮。在單彈簧蹺針部份324內(nèi)的彈簧被壓縮，而保證負(fù)載板325接觸在測試頭310內(nèi)的各個不同信道卡315的所有單彈簧蹺針320，即使當(dāng)這些信道卡315有微小的高度差異情況下。一旦負(fù)載板325被安置入座在測試頭310之上，負(fù)載板325被連接到測試頭310。例如，按壓一個在測試頭310上的閂鈕[未顯示]來完成此連接動作。
從測試頭310移除負(fù)載板325，使負(fù)載板325與測試頭310的連接切斷。例如，按壓一個在測試頭310上的切斷閂鈕[未顯示]來完成此一終止連接動作。機(jī)械式空氣開關(guān)95移轉(zhuǎn)到上升位置而使氣抖圓柱件45動起來，該氣抖圓柱件升高設(shè)置塊件40。如前所敘，這引塊軸60提供設(shè)置塊件40的平順移位。此平順移位狀況可確保當(dāng)從單彈簧蹺針320分離時，單彈簧蹺針320不因負(fù)載板325不穩(wěn)定的移動而損壞。
如此，附接負(fù)載板325的負(fù)載板強(qiáng)化件400被提升到負(fù)載板325不再接觸單彈簧蹺針320的位置[詳圖12]。一旦負(fù)載板進(jìn)給器200已經(jīng)提升到最高位置[詳圖10]，將從負(fù)載板進(jìn)給器200移除附接負(fù)載板325的負(fù)載板強(qiáng)化件400。
在負(fù)載板安置入座在測試頭上之前，本發(fā)明讓負(fù)載板與測試頭預(yù)先排列。本發(fā)明同時也以平順和受控制的方式于垂直方向移動負(fù)載板。經(jīng)由對齊這負(fù)載板于測試頭，以及平順地接合負(fù)載板與測試頭，本發(fā)明對于精致的單彈簧蹺針消除不利的沖擊，該單彈簧蹺針是測試頭中信道卡的一部份，并為測試頭與負(fù)載板之間提供電氣連接。本發(fā)明顯著地減少因使用手工置放負(fù)載板在測試頭上，以及當(dāng)負(fù)載板置放在測試頭上時，為了適當(dāng)?shù)卣{(diào)整負(fù)載板使對齊測試頭，而發(fā)生于單彈簧蹺針的損壞。經(jīng)由減少單彈簧蹺針的損壞，本發(fā)明增加測試頭測試集成電路的時間，并且大幅減少更換昂貴的信道卡的頻率。
雖然而本發(fā)明已敘述有關(guān)于現(xiàn)今認(rèn)為何者為最實用而較有利的實施例，但本發(fā)明并不限于所附的實施例，而是打算涵蓋包含在本發(fā)明所附的權(quán)利要求書的精神和范圍內(nèi)各樣的修正及等效的安排。
權(quán)利要求
1.一種負(fù)載板進(jìn)給器裝置，該負(fù)載板進(jìn)給器用于裝置一個負(fù)載板在一個具有挖空的中心部位的測試頭，該負(fù)載板進(jìn)給器裝置包含一個基座[70]；一個主體[20]，該主體與該基座[70]連接；一個附接裝置[10]，該附接裝置連接到該主體[20]，而該主體[20]配置來附接該裝置至該測試頭[310]；一個抬起機(jī)構(gòu)[45]，該抬起機(jī)構(gòu)[45]附接于該基座[70]的頂側(cè)；一個塊件[40]，該塊件[40]附接到該抬起機(jī)構(gòu)[45]的底面；以及一個負(fù)載板定位裝置[50]，該負(fù)載板定位裝置[50]在該塊件[40]之上，配置來接應(yīng)一個負(fù)載板[325]；其中該塊件[40]由該抬起機(jī)構(gòu)[45]垂直地移動，使得可在一個測試頭[310]上安裝以及移除一個負(fù)載板[325]。
2.如權(quán)利要求1所述的裝置，其中該裝置配置嵌合入測試頭[310]的挖空的中心部位之內(nèi)；以及該主體[20]進(jìn)一步至少包含一個軸件[20]，該軸件[20]有一個第一端部附接于該基座[70]的頂側(cè)，并從該基座[70]垂直地延伸，離基座[70]較遠(yuǎn)處具有一個第二端部。
3.如權(quán)利要求2所述的裝置，其中該裝置是圓柱形的；該附接裝置[10]是一個平坦的環(huán)件，該環(huán)件附接于多個軸件[20]的第二端部；以及該附接裝置[10]的周緣大于該基座[70]的周緣。
4.如權(quán)利要求3所述的裝置，其中該附接裝置[10]具有多個孔洞[11]，穿過那些孔洞[11]對齊在該測試頭[310]上的多個孔洞[305]，而可系緊這些附接裝置至該測試頭[310]。
5.如權(quán)利要求1所述的裝置，還進(jìn)一步包含至少一個導(dǎo)引桿[60]，該導(dǎo)引桿[60]具有第一端部附接于該塊件[40]的底側(cè)，和第二端部延伸穿過該基座[70]；對于每個導(dǎo)引桿[60]，于該基座[70]中的一個開口[64]允許該導(dǎo)引桿[60]經(jīng)由該基座[70]；和對于每個導(dǎo)引桿[60]，一個線型軸承[65]附接于該基座[70]并接收該導(dǎo)引桿[60]穿過；其中每個導(dǎo)引桿[60]和線型軸承[65]組合，當(dāng)該抬起機(jī)構(gòu)[45]移動這塊件[40]時，為該塊件[40]提供平順的垂直移位。
6.如權(quán)利要求5所述的裝置，其中至少一個線型軸承[65]包含軸襯[65]，該軸襯在一個端部具有凸緣[66]；以及至少一個凸緣[66]附接于該基座[70]的底側(cè)，以致這軸襯[65]延伸穿過于該基座[70]內(nèi)的一個開口[64]。
7.如權(quán)利要求1所述的裝置，其中該抬起機(jī)構(gòu)[45]包含一個氣抖圓柱件[45]；而該裝置還進(jìn)一步包含一個遙控開關(guān)[95]，該遙控開關(guān)[95]用于操作該抬起機(jī)構(gòu)[45]；以及空氣管[109]連接該開關(guān)[45]至該氣抖圓柱件[45]。
8.如權(quán)利要求3所述的裝置，其中該負(fù)載板定位裝置包含至少一個非同中心的圓腔[41]，該圓腔[41]位于該塊件[40]的頂部表面；一個圓盤[30]，附接于該塊件[40]的頂部表面，該塊件[40]具有至少一個非同中心的圓孔[31]，穿過該圓孔[31]對齊至少在該塊件[40]的頂部表面的該非同中心的圓腔[41]，并具有如在該塊件[40]的頂表面上的該非同中心圓腔[41]大約同樣直徑；以及一個圓碟[50]，該圓碟[50]嵌合入該圓腔[41]和該圓孔[31]之內(nèi)；其中該圓碟[50]的第一表面接觸該圓腔[41]的底部，而該圓碟[50]的第二表面上升到該圓盤[30]之上；并且其中當(dāng)該負(fù)載板[325]對齊該測試頭[310]時，該圓碟[50]與圓腔[420]接合。
9.如權(quán)利要求8所述的裝置，還進(jìn)一步包括一個插件，該插件用于負(fù)載板強(qiáng)化物的中心，包含一個圓形主體[410]；以及一個非同中心的孔洞[420]；其中該主體[410]壓合進(jìn)入一個負(fù)載板強(qiáng)化物[400]的中心的開口；以及該非同中心的孔洞[420]配置以接收圓碟[50]上升在該圓盤[30]之上的部份。
10.一種在具有挖空中心部位的測試頭上安裝負(fù)載板的方法，該方法包含步驟附接一個負(fù)載板進(jìn)給器在一個測試頭的中心；其中該負(fù)載板進(jìn)給器包含抬起機(jī)構(gòu)和定位裝置，用來排列對齊一個測試頭與一個負(fù)載板；升起這負(fù)載板進(jìn)給器到它的上升位置；放置一個負(fù)載板在這負(fù)載板進(jìn)給器之上；利用這定位裝置排列對齊這負(fù)載板與這測試頭；激活這抬起機(jī)構(gòu)使這負(fù)載板降下到這測試頭之上；以及固定該負(fù)載板達(dá)到該測試頭。
全文摘要
一種負(fù)載板進(jìn)給器[200]固定到一個測試頭[310]的中心部位。這負(fù)載板進(jìn)給器[200]使用一個抬起機(jī)構(gòu)[45]控制一個設(shè)置塊件[40]于垂直方向的移位。一個負(fù)載板[325]置放在這設(shè)置塊件[40]之上，以及一個定位裝置[50]置放在這設(shè)置塊件[40]之上，以確保負(fù)載板[325]與一個測試頭[310]的排列對齊。當(dāng)這負(fù)載板進(jìn)給器[200]降下這負(fù)載板[325]時，這負(fù)載板[235]可適當(dāng)?shù)匮b置在這測試頭[310]之上，而不會損害到精致的單彈簧蹺針[320]。
文檔編號G01R31/28GK1440508SQ01812418
公開日2003年9月3日 申請日期2001年6月29日 優(yōu)先權(quán)日2000年7月7日
發(fā)明者王漢本, 唐秀盈, 歐欽凱 申請人:先進(jìn)微裝置公司