專利名稱：閃爍器面板、放射線圖象傳感器和它們的制造方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及醫(yī)療用的放射線攝影等中使用的閃爍器面板、使用它的放射線圖象傳感器和它們的制造方法。
背景技術(shù)：
把放射線變換為電信號，使信號的電處理成為可能的放射線圖象傳感器廣泛應(yīng)用于醫(yī)療和工業(yè)中。能對獲得的電信號進(jìn)行電處理，并在顯示器上顯示。作為這樣的放射線圖象傳感器的代表，有使用了把放射線變換為光的閃爍器材料的放射線圖象傳感器。在該放射線圖象傳感器中，組合了用于再把所變換的光變換為電信號的攝像元件。對攝像元件，例如使用了MOS型的圖象傳感器等。在醫(yī)療領(lǐng)域或非破壞性檢查中(其中，特別是使用微聚焦X射線源等的檢查)，限制放射線的照射線量，所以需要即使用所限制的照射線量也能進(jìn)行高的光輸出的靈敏度高的放射線圖象傳感器。
圖9是WO99/66345號公報(以下，稱作現(xiàn)有技術(shù)1。)中描述的放射線圖象傳感器的縱剖視圖。該放射線圖象傳感器4是對由襯底50、形成在襯底50上的光反射膜60、形成在光反射膜60上的閃爍器10所構(gòu)成的閃爍器面板8，以與閃爍器10相對配置的狀態(tài)組合形成攝像元件20。放射線30從襯底50一側(cè)入射，通過光反射膜60，用閃爍器10變換為光。所變換的光由攝像元件20感光，變換為電信號。光反射膜60具有反射由閃爍器10產(chǎn)生的光，向閃爍器10一側(cè)返回，增加入射到攝像元件20的感光部的光量的功能。在光反射膜60中主要使用了鋁等的金屬膜。
圖10是特開平5-196742號公報(以下，稱作現(xiàn)有技術(shù)2。)中描述的放射線成象裝置的縱剖視圖。該放射線成象裝置3具有襯底51、配置在襯底51上的作為攝像元件的光檢測器21、形成在光檢測器21上的閃爍器10、設(shè)置在閃爍器10上的薄膜41、形成在薄膜41上的光反射膜70、形成在光反射膜70上的水分密封層42。放射線30從水分密封層42一側(cè)入射。作為固定支撐閃爍器10的基體，使用光檢測器21，光反射膜70隔著薄膜41而形成在閃爍器10上，在這一點(diǎn)上，其配置結(jié)構(gòu)與現(xiàn)有技術(shù)1大不相同。薄膜41由有機(jī)材料或無機(jī)材料構(gòu)成，吸收閃爍器10上的凹凸，使光反射膜70的反射率均勻。其中記載了可以使用由光折射率彼此不同的TiO2和SiO2等構(gòu)成的電介質(zhì)多層膜作為光反射膜70。
在這種現(xiàn)有的放射線圖象傳感器中，存在著以下問題。在現(xiàn)有技術(shù)1中，使用金屬膜作為光反射膜60，但該金屬膜60常常與閃爍器10反應(yīng)而腐蝕。特別是當(dāng)使用CsI(T1)作為閃爍器10時，該腐蝕是顯著的。
在現(xiàn)有技術(shù)2中，使用電介質(zhì)多層膜作為光反射膜70，但是閃爍器10是一根的直徑為數(shù)μm～數(shù)十μm左右的微小柱狀結(jié)晶多根林立的結(jié)構(gòu)，所以表面上存在微小的凹凸，很難在這樣的凹凸面上直接形成電介質(zhì)多層膜70，所以使其間存在用于使該凹凸平坦化的薄膜41。在具有高反射率的狀態(tài)下形成電介質(zhì)多層膜70時，有必要把形成它的基體加熱到300℃左右來進(jìn)行蒸鍍，但是當(dāng)該薄膜41是有機(jī)膜時，施以高溫本身很困難。雖然也能以300℃以下的溫度形成多層膜，但是可以說很難控制所形成的膜厚，產(chǎn)生以著色的狀態(tài)形成了電介質(zhì)多層膜70這一問題，從而導(dǎo)致反射率下降，光輸出下降。另外，即使要用無機(jī)膜形成薄膜41，用無機(jī)膜也很難形成用來在閃爍器上形成多層膜的平坦面，其結(jié)果，在電介質(zhì)多層膜的表面(反射面)上產(chǎn)生凹凸，無法使其具有較高的反射率。

發(fā)明內(nèi)容
鑒于以上所述問題的存在，本發(fā)明的目的在于提供一種耐腐蝕性優(yōu)異，并且能有較高的光輸出的閃爍器面板和放射線圖象傳感器、以及它們的制造方法。
為了解決所述問題，本發(fā)明的閃爍器面板其特征在于包括耐熱性襯底；堆積在該耐熱性襯底上的電介質(zhì)多層膜鏡；在電介質(zhì)多層膜鏡上形成柱狀結(jié)構(gòu)，來排列堆積多個、把入射的放射線變換為光而放射的閃爍器；至少覆蓋該閃爍器的保護(hù)膜；電介質(zhì)多層膜鏡反射從閃爍器放射的光，使其向閃爍器一側(cè)返回。
因為電介質(zhì)多層膜鏡形成在耐熱性襯底上，所以形成在閃爍器上時所需要的、用來使反射率均勻的薄膜等(吸收閃爍器上的凹凸的膜)不再必要。而且，因為襯底具有耐熱性，所以能進(jìn)行高溫下的蒸鍍，能形成反射率高的電介質(zhì)多層膜鏡。
而且，襯底是放射線透射襯底，閃爍器可以把通過電介質(zhì)多層膜鏡的放射線變換為光來產(chǎn)生。此時，例如放射線最好以CsI或NaI為主要成分。另外，閃爍器也可以由輝盡性熒光體來構(gòu)成。
保護(hù)膜最好是有機(jī)膜。此時，因為沒必要以高溫來形成保護(hù)膜，所以該形成變得比較容易。
電介質(zhì)多層膜鏡最好是把TiO2或Ta2O5和SiO2反復(fù)交替多次層疊而成的多層膜。這是因為當(dāng)為TiO2或Ta2O5和SiO2時，不會象金屬反射膜那樣與閃爍器反應(yīng)而腐蝕，能在很寬的波長區(qū)域獲得良好的反射特性。
在電介質(zhì)多層膜鏡和閃爍器之間最好形成防止閃爍器從電介質(zhì)多層膜鏡剝離的剝離防止層。剝離防止層可以是聚酰亞胺層。
另外，本發(fā)明的放射線圖象傳感器的特征在于具有所述閃爍器面板；把與閃爍器面板相對配置，并且把由閃爍器產(chǎn)生的光變換為電信號的攝像元件。據(jù)此，實現(xiàn)包含耐腐蝕性優(yōu)異，并且具有高反射率的閃爍器面板的放射線圖象傳感器，對由該閃爍器面板生成的光進(jìn)行電處理，能用顯示器等顯示。
而且，通過具有覆蓋閃爍器面板的光吸收性的罩子，能抑制通過電介質(zhì)多層膜鏡的光散射而導(dǎo)致的散射光的發(fā)生和干擾光的入射導(dǎo)致的噪聲的發(fā)生，能實現(xiàn)高S/N比、高析像度。該罩子最好是聚碳酸酯制的，可以在內(nèi)表面進(jìn)行消光處理。
而且，如果用固定夾具使閃爍器面板緊貼在攝像元件上，就能防止串?dāng)_的發(fā)生，就會更好。
本發(fā)明的閃爍器面板的制造方法具有以下各步驟準(zhǔn)備耐熱性襯底，在該襯底上反復(fù)堆積所需厚度的電介質(zhì)膜，形成具有給定反射特性的電介質(zhì)多層膜鏡，在電介質(zhì)多層膜鏡堆積柱狀結(jié)構(gòu)的閃爍器，用保護(hù)膜來覆蓋閃爍器。
而且，本發(fā)明的放射線圖象傳感器的制造方法還包括與用所述步驟制造的閃爍器相對來配置攝像元件的步驟。還可以包括用光吸收性的罩子覆蓋閃爍器面板的步驟。
通過這些制造方法，就能恰當(dāng)?shù)刂圃焐鲜龅谋景l(fā)明的閃爍器面板和放射線圖象傳感器。


下面簡要說明附圖。
圖1是本發(fā)明的閃爍器面板的實施例1的縱剖視圖。
圖2A～圖2F是說明圖1的閃爍器面板的制造步驟的圖。
圖3是表示本發(fā)明的放射線圖象傳感器的實施例1的縱剖視圖。
圖4是說明圖3的放射線圖象傳感器的動作的放大剖視圖。
圖5、圖6是說明本發(fā)明的閃爍器面板的實施例2的縱剖視圖。
圖7、圖8是表示本發(fā)明的放射線圖象傳感器的實施例2、實施例3的縱剖視圖。
圖9、圖10是現(xiàn)有的放射線圖象傳感器的縱剖視圖。
具體實施例方式
下面，參照附圖，詳細(xì)說明本發(fā)明的優(yōu)選實施例。為了容易理解，在各附圖中，對于相同的構(gòu)成要素，盡可能采用相同的參照編號，并省略了重復(fù)說明。
圖1是表示本發(fā)明的閃爍器面板1的實施例的縱剖視圖。閃爍器面板1包括作為具有耐熱性的放射線透射襯底的派熱克斯玻璃襯底5；形成在派熱克斯玻璃襯底5上的電介質(zhì)多層膜鏡6；形成在電介質(zhì)多層膜鏡6上的作為剝離防止層的聚酰亞胺層7；形成在聚酰亞胺層7上，把入射到派熱克斯玻璃襯底5上，并且通過電介質(zhì)多層膜鏡6和聚酰亞胺層7的反射線30變換為光并發(fā)光的閃爍器10。閃爍器10具有一根的直徑為數(shù)μm～數(shù)十μm左右的微小柱狀結(jié)晶多根林立的結(jié)構(gòu)。它們整體由作為保護(hù)膜的聚對二甲苯膜12覆蓋。在派熱克斯玻璃襯底5和電介質(zhì)多層膜鏡6之間可以設(shè)置象SiN那樣的薄層。該薄層有助于使玻璃襯底表面成為均勻的清靜表面。在電介質(zhì)多層膜鏡6中，使用了由光的折射率彼此不同的TiO2和SiO2交替重復(fù)多次而層疊成的多層膜，作為把在閃爍器10發(fā)出的光反射、放大的光反射膜起作用。在閃爍器10中使用例如摻雜了T1的CsI。
當(dāng)形成具有多個柱狀結(jié)晶林立的結(jié)構(gòu)的閃爍器時，固定支撐閃爍器的基體成為必要，但是在本實施例中，使用了派熱克斯玻璃襯底5作為固定支撐閃爍器的基體。雖然，能把攝像元件作為基體而形成閃爍器10，但是此時，攝像元件在形成閃爍器10時，再在形成電介質(zhì)多層膜鏡6時反復(fù)受到熱，結(jié)果受到了損害。在本實施例中，因為對于派熱克斯玻璃襯底5形成了閃爍器10，所以解決了這樣的問題。另外，因為該派熱克斯玻璃襯底5具有耐熱性，所以能進(jìn)行近300℃高溫的蒸鍍，據(jù)此，電介質(zhì)多層膜鏡6能形成反射率高的狀態(tài)。
另外，因為電介質(zhì)多層膜的耐腐蝕性優(yōu)異，所以不會象金屬膜那樣，與閃爍器10反應(yīng)而腐蝕。認(rèn)為金屬膜時的腐蝕是通過侵入閃爍器面板內(nèi)部的水分，CsI中的T1侵入金屬膜，有必要對結(jié)構(gòu)下功夫，使水分不進(jìn)入閃爍器面板內(nèi)部，但是在本實施例中，因為使用了具有強(qiáng)耐腐蝕性的電介質(zhì)多層膜鏡6，所以該必要性不再存在。
而且，因為在電介質(zhì)多層膜鏡6和閃爍器10之間，設(shè)置有作為剝離防止層的聚酰亞胺層7，所以防止了閃爍器10的厚度一增加(特別是400μm以上)，就有可能發(fā)生的閃爍器10從電介質(zhì)多層膜鏡6的剝離。
下面，就該閃爍器面板1的制造步驟加以描述。首先，準(zhǔn)備邊長20cm、厚度0.5mm的派熱克斯玻璃襯底5(參照圖2A)。在該派熱克斯玻璃襯底5上用真空蒸鍍法交替重復(fù)層疊TiO261、63、…641和、SiO262、64、…642(參照圖2B、圖2C)，形成由合計42層(合計約4μm)構(gòu)成的電介質(zhì)多層膜鏡6(參照圖2D)。通過控制各膜厚，作為電介質(zhì)多層膜鏡6整體，能對給定的波長區(qū)域確保給定的反射率。
作為放射線透射襯底5，除了派熱克斯玻璃襯底之外，也可以是無定形碳板或鋁板。當(dāng)為鋁板時，使用玻璃珠(#1500)進(jìn)行噴沙處理，去掉鋁表面的軋制線后，形成電介質(zhì)多層膜鏡6。在電介質(zhì)多層膜鏡6上，作為剝離防止層7，用旋轉(zhuǎn)鍍膜法使透明度高的聚酰亞胺層(例如，日產(chǎn)化學(xué)制類型名RN-812)硬化后，以膜厚涂敷1μm(參照圖2E)。然后，在聚酰亞胺層7上通過蒸鍍法形成厚度300μm的CsI的柱狀結(jié)晶作為閃爍器10(參照圖2F)。然后，為了使CsI表面的異物、異常成長部平坦，把玻璃板安放在CsI表面上，以一個大氣壓的力加壓。最后，通過CVD法，形成厚度10μm的聚對二甲苯膜12作為保護(hù)膜來覆蓋整體，形成圖1所示的閃爍器面板1。
須指出的是，當(dāng)形成具有邊長30cm以上的大面積的閃爍器面板1時，形成的聚酰亞胺層7的厚度為1μm，采用絲網(wǎng)印刷法作為涂敷的方法。另外，為了伴隨著大型化而提高亮度，使閃爍器10的厚度為500μm。
圖3是本發(fā)明的放射線圖象傳感器2的縱剖視圖。該放射線圖象傳感器2的結(jié)構(gòu)為對于圖1所示的閃爍器面板1的閃爍器10，以相對配置的狀態(tài)組合了攝像元件20。攝像元件20把由閃爍器10產(chǎn)生的光變換為電信號。作為攝像元件20，例如使用了具有2維排列的Si光電二極管的MOS形的圖象傳感器。
圖4是說明該放射線圖象傳感器2的動作的放大剖視圖。沒有被被拍攝物32遮光或進(jìn)行了透射的放射線30通過聚對二甲苯膜12、派熱克斯玻璃襯底5、電介質(zhì)多層膜鏡6、聚酰亞胺層7，向閃爍器10入射。閃爍器10把入射的放射線30變換為光并進(jìn)行放射。從閃爍器10放射的光中，也有向著電介質(zhì)多層膜鏡6一側(cè)的光，該光由電介質(zhì)多層膜鏡6反射，返回到閃爍器10。因此，發(fā)出的光幾乎都向著攝像元件20，由其感光。攝像元件20把感光的光圖象信息變換為電信號后輸出。把這樣輸出的電信號向顯示器等發(fā)送，并顯示，但是該圖象是把入射到放射線圖象傳感器2的放射線圖象用閃爍器10變換為光圖象，在攝像元件20變換為電信號，所以相當(dāng)于入射的被拍攝物32的放射線圖象。
如上所述，本實施例的電介質(zhì)多層膜鏡6具有高反射率，所以使用了該電介質(zhì)多層膜鏡6的閃爍器面板1和放射線圖象傳感器2具有高的光輸出。
為了評價具有這樣生成的閃爍器面板1的放射線圖象傳感器2對于放射線30的靈敏度和耐腐蝕性，分別改變結(jié)構(gòu)，制作了作為本發(fā)明的實施例的三個樣品(分別稱作實施例1～3)和作為現(xiàn)有的放射線圖象傳感器的兩個樣品(分別稱作以往例1、2)。表1表示這些樣品的結(jié)構(gòu)。
表1進(jìn)行比較的樣品結(jié)構(gòu) 須指出的是，對任意一種的樣品，都使用了CsI作為閃爍器，使用了聚對二甲苯膜作為保護(hù)膜，使用了C-MOS作為攝像元件。
作為用于評價對放射線30的靈敏度的實驗，對這些樣品照射一定量的放射線30，測量了據(jù)此而產(chǎn)生的光輸出值。作為用于評價耐腐蝕性的實驗，在各樣品中，以去掉了攝像元件20后的閃爍器面板單體的狀態(tài)，進(jìn)行了數(shù)日的放置實驗。表2表示了它們的實驗結(jié)果。光輸出值表示當(dāng)以往例1為100％時的相對值。
表2樣品的實驗結(jié)果 實施例1～3的輸出值都比使用鋁膜作為光反射膜的以往例1高，是與使用了銀膜的以往例2相同的光輸出值。關(guān)于耐腐蝕性實驗，與在使用了金屬膜的以往例1、2中，經(jīng)過1～2日就腐蝕了的相比，在使用了電介質(zhì)多層膜鏡6的實施例1～3中，沒有發(fā)現(xiàn)變化。
另外，為了確認(rèn)剝離防止層7的效果，進(jìn)行了以下的實驗。作為樣品，首先，生成10個在派熱克斯玻璃制(PX)的邊長50mm、厚度1mm的襯底上形成了27層的電介質(zhì)多層膜鏡。接著，對于各樣品，生成在電介質(zhì)多層膜鏡6上涂敷了聚酰亞胺層7作為剝離防止層的5個樣品和不涂敷聚酰亞胺層7的5個樣品，對于所有這些樣品，堆積閃爍器CsI。CsI分5個階段改變厚度，各堆積了10塊。然后，對最后發(fā)生了CsI剝離的樣品數(shù)量進(jìn)行了調(diào)查。
表3由CsI的厚度和是否具有聚酰亞胺層而決定的CsI的剝離產(chǎn)生

如表3所示，當(dāng)是在電介質(zhì)多層膜鏡6上不使用聚酰亞胺層7的結(jié)構(gòu)的樣品時，在CsI的厚度超過400μm的時刻開始發(fā)生剝離，而當(dāng)是使用的聚酰亞胺層7的樣品時，沒有發(fā)現(xiàn)CsI的剝離。根據(jù)該實驗，確認(rèn)了該聚酰亞胺層7能同時防止當(dāng)閃爍器10象CaI(T1)或NaI(T1)那樣摻雜有T1時，在蒸鍍形成閃爍器時，T1擴(kuò)散到電介質(zhì)多層膜鏡6中少許且著色這一問題。
這樣，根據(jù)所述實驗結(jié)果，確認(rèn)了本實施例的閃爍器面板1和放射線圖象傳感器2具有較高的光輸出，耐腐蝕性優(yōu)異，另外，還具有防止閃爍器剝離的效果。
下面，詳細(xì)說明本發(fā)明的閃爍器面板和放射線圖象傳感器的其他圖5是表示本發(fā)明的閃爍器面板的實施例2的縱剖視圖。該閃爍器面板1a具有與圖1所示的實施例1的閃爍器面板1幾乎同樣的結(jié)構(gòu)。但不同之處在于使用了層疊了對于從可見光到紫外線區(qū)域的光具有高反射率的Ta2O5/SiO2的電介質(zhì)多層膜鏡6a；和使用CsBrEu等所謂的輝盡性熒光體作為閃爍器10a。
該閃爍器面板1a與圖1所示的閃爍器面板1不同，從閃爍器10a一側(cè)使用放射線30照射。通過這樣入射的放射線，激勵了閃爍器10a。然后，如圖6所示，通過向閃爍器10a掃描照射He-Ne激光束34，從閃爍器10a放射出與照射的放射線30的劑量對應(yīng)的光。通過光檢測器22檢測該放射的光，通過變換為電信號，就能取出相當(dāng)于放射線圖象的圖象信號。
這樣，通過使用輝盡性熒光體作為閃爍器6a，暫時存儲放射線圖象，通過激光束掃描而將其讀出，從而沒必要準(zhǔn)備大面積的攝像元件，使胸部透視等的大面積的放射線圖象的獲得變得容易。
作為輝盡性熒光體，除了所述的CsBrEu，還能使用日本專利第3130633號公報中描述的各種熒光體。另外，作為電介質(zhì)多層膜鏡，能使用實施例1中使用的TiO2/SiO2層疊體和HFO2/SiO2層疊體等。
圖7是表示本發(fā)明的放射線圖象傳感器2的實施例2的縱剖視圖。該放射線圖象傳感器2a在圖3所示的放射線圖象傳感器2上再設(shè)置有覆蓋閃爍器面板1整體的罩子25。罩子25是放射線透過性，保護(hù)整體，并且遮蔽來自外部的光的材料，例如黑色的聚碳酸酯制。據(jù)此，在閃爍器10產(chǎn)生，并且透過電介質(zhì)多層膜鏡6和派熱克斯玻璃襯底5的光由罩子25吸收，能抑制再返回與閃爍器10一側(cè)的發(fā)光場所不同的位置，能抑制這樣的散亂光導(dǎo)致的析像度的下降。另外，也能抑制成為來外部的噪聲的干擾光，能維持高的S/N比。
另外，該罩子25設(shè)置為壓焊在閃爍器面板1的派熱克斯玻璃襯底5上的狀態(tài)，通過該壓焊作用，使閃爍器面板1更加緊貼攝像元件20。據(jù)此，當(dāng)用攝像元件20識別由閃爍器10產(chǎn)生的光時，能防止光泄漏和串?dāng)_等的發(fā)生。為了提高該緊貼性，可以在派熱克斯玻璃襯底5和罩子25之間加入海綿等的彈性體。
如上所述，如果使用玻璃作為閃爍器面板1的襯底，就具有能形成薄且不撓曲的閃爍器面板這一優(yōu)點(diǎn)。另外，如果使用電介質(zhì)多層膜作為光反射膜，就具有能形成耐腐蝕性優(yōu)異并且具有高反射率的光反射膜的優(yōu)點(diǎn)。當(dāng)形成采取了這兩方面的閃爍器面板時，雖然會產(chǎn)生成為使對比度下降的原因的透射光，但是在本實施例中，通過還設(shè)置具有光吸收性的罩子25，就能吸收該透射光，充分利用這兩方面的優(yōu)點(diǎn)，并問題得到解決。
圖8是表示本發(fā)明的放射線圖象傳感器的實施例3的縱剖視圖。在本實施例(放射線圖象傳感器2b)中，攝像元件20固定在搭載了驅(qū)動/讀出電路的傳感器襯底22上，通過由固定夾具23把閃爍器面板1固定在傳感器襯底22上，緊貼固定在攝像元件20上，由黑色聚碳酸酯制的罩子25a覆蓋了整體。通過固定夾具23和罩子25a的協(xié)同作用，閃爍器面板1緊貼在攝像元件20上，所以當(dāng)用攝像元件20識別閃爍器10產(chǎn)生的光時，能抑制光的泄漏、串?dāng)_等的發(fā)生。并且，在圖中，雖然在玻璃襯底5和罩子25之間具有空間，但是它們也可以緊貼。根據(jù)該結(jié)構(gòu)，能抑制通過派熱克斯玻璃襯底5后，在罩子25內(nèi)反射，再度向派熱克斯玻璃襯底5入射，造成對比度下降等對光的輸出產(chǎn)生不良影響的光的產(chǎn)生。
作為罩子25、25a，除了使罩子自身為光吸收性構(gòu)件，還可以是對接觸派熱克斯玻璃襯底5的內(nèi)側(cè)的面進(jìn)行了消光處理的構(gòu)件，或涂敷了光吸收性涂料的構(gòu)件，或粘貼了光吸收構(gòu)件的構(gòu)件。
為了評價具有這種罩子的放射線圖象傳感器的對比度比，分別改變結(jié)構(gòu)制作了作為本發(fā)明實施例的樣品(稱作實施例A)、作為現(xiàn)有的放射線圖象傳感器的樣品(稱作比較例B)。實施例A與比較例B都是除了罩子的有無之外結(jié)構(gòu)相同，在派熱克斯玻璃上形成電介質(zhì)多層膜鏡，在其上配置由CsI構(gòu)成的閃爍器，把聚對二甲苯膜作為保護(hù)膜，使用C-MOS型的攝像元件作為攝像元件，這些方面是相同的。
作為用于測定對比度比的實驗，在罩子上配置直徑3cm、厚度0.5mm的鉛制被拍攝物，進(jìn)行放射線照射，對于用鉛隱蔽的部分和呈現(xiàn)在放射線中的部分，分別測定放射線圖象傳感器獲得的信號值，作為比率算出。結(jié)果，與比較例B相比，在實施例A中，對比度提高了10％，能獲得更清晰的像。
這樣，根據(jù)所述實驗結(jié)果，確認(rèn)了本實施例的放射線圖象傳感器能獲得具有清晰對比度的像。
從以上對本發(fā)明所作的說明可知，本發(fā)明可以有各種各樣的變形。而這樣的變形并未脫離本發(fā)明的構(gòu)思和范圍，所有對本領(lǐng)域技術(shù)人員來說是顯而易見的改變都應(yīng)包含在本發(fā)明的保護(hù)范圍之內(nèi)。
本發(fā)明的閃爍器面板、放射線圖象傳感器能適用于胸部透視等醫(yī)療用途或非破壞性檢查等工業(yè)用途。
權(quán)利要求
1.一種閃爍器面板，其特征在于包括耐熱性襯底；堆積在所述耐熱性襯底上的電介質(zhì)多層膜鏡；在所述電介質(zhì)多層膜鏡上以柱狀結(jié)構(gòu)排列堆積多個、把入射的放射線變換為光來進(jìn)行放射的閃爍器；至少覆蓋所述閃爍器的保護(hù)膜；所述電介質(zhì)多層膜鏡反射由所述閃爍器放射的光，使其向所述閃爍器一側(cè)返回。
2.一種閃爍器面板，其特征在于包括具有耐熱性的放射線透射襯底；形成在所述放射線透射襯底上的電介質(zhì)多層膜鏡；在所述電介質(zhì)多層膜鏡上以柱狀結(jié)構(gòu)排列堆積多個、把入射所述放射線透射襯底并且通過所述電介質(zhì)多層膜鏡的放射線變換為光而放射的閃爍器；至少覆蓋所述閃爍器的保護(hù)膜；所述電介質(zhì)多層膜鏡反射從所述閃爍器放射的光，使其向所述閃爍器一側(cè)返回。
3.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的閃爍器面板，其特征在于所述閃爍器把CsI或NaI作為主要成分。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的閃爍器面板，其特征在于所述閃爍器由輝盡性熒光體構(gòu)成。
5.根據(jù)權(quán)利要求1～4中任意一項所述的閃爍器面板，其特征在于所述保護(hù)膜是有機(jī)膜。
6.根據(jù)權(quán)利要求1～5中任意一項所述的閃爍器面板，其特征在于所述電介質(zhì)多層膜鏡是TiO2或Ta2O5和SiO2反復(fù)交替多次層疊而成的多層膜。
7.根據(jù)權(quán)利要求1～6中任意一項所述的閃爍器面板，其特征在于在所述電介質(zhì)多層膜鏡和所述閃爍器之間還具有防止所述閃爍器從所述電介質(zhì)多層膜鏡上剝離的剝離防止層。
8.根據(jù)權(quán)利要求7所述的閃爍器面板，其特征在于所述剝離防止層是聚酰亞胺層。
9.一種放射線圖象傳感器，其特征在于包括權(quán)利要求1～8中任意一項所述的閃爍器面板；與所述閃爍器面板相對配置，把從所述閃爍器放射的光變換為電信號的攝像元件。
10.根據(jù)權(quán)利要求9所述的放射線圖象傳感器，其特征在于還包括遮蓋所述閃爍器面板的光吸收性的罩子。
11.根據(jù)權(quán)利要求10所述的放射線圖象傳感器，其特征在于所述罩子為聚碳酸酯制。
12.根據(jù)權(quán)利要求10或11所述的放射線圖象傳感器，其特征在于對所述罩子的內(nèi)表面進(jìn)行了消光處理。
13.根據(jù)權(quán)利要求10～12中任意一項所述的放射線圖象傳感器，其特征在于還包括把所述閃爍器面板緊貼固定在所述攝像元件上的固定夾具。
14.一種閃爍器面板的制造方法，其特征在于包括以下各步驟準(zhǔn)備耐熱性襯底；在所述襯底上反復(fù)堆積所需厚度的電介質(zhì)膜，形成具有給定反射特性的電介質(zhì)多層膜鏡；在所述電介質(zhì)多層膜鏡上堆積柱狀結(jié)構(gòu)的閃爍器；用保護(hù)膜覆蓋所述閃爍器。
15.一種放射線圖象傳感器的制造方法，其特征在于在權(quán)利要求14所述的步驟之后還包括與閃爍器相對而配置攝像元件的步驟。
16.一種放射線圖象傳感器的制造方法，其特征在于在權(quán)利要求15所述的步驟之后還包括用光吸收性的罩子覆蓋閃爍器面板的步驟。
全文摘要
本發(fā)明提供一種閃爍器面板(1)，它包括具有耐熱性的放射線透射襯底(5)；形成在放射線透射襯底(5)上的作為光反射膜的電介質(zhì)多層膜鏡(6)；形成在電介質(zhì)多層膜鏡(6)上，把入射到放射線透射襯底(5)且通過電介質(zhì)多層膜鏡(6)的放射線變換為光而發(fā)出的閃爍器(10)。因為放射線透射襯底(5)具有耐熱性，所以電介質(zhì)多層膜鏡(6)能進(jìn)行高溫蒸鍍，其結(jié)果，能以光反射率高的狀態(tài)形成。另外，電介質(zhì)多層膜鏡(6)不會象金屬膜那樣與閃爍器(10)反應(yīng)而腐蝕。
文檔編號G01T1/20GK1455877SQ01815482
公開日2003年11月12日 申請日期2001年9月11日 優(yōu)先權(quán)日2000年9月11日
發(fā)明者本目卓也 申請人:浜松光子學(xué)株式會社