專利名稱：改進(jìn)探針臺(tái)的方法
在半導(dǎo)體領(lǐng)域中，所制造的各組晶片在被切割成為個(gè)別的集成電路之前通常進(jìn)行性能測(cè)試。圖1到4示出用在這種測(cè)試中的設(shè)備。雖然這些附圖示出本發(fā)明的一個(gè)實(shí)施例，但是它們也示出了與在先技術(shù)系統(tǒng)所共有的某些特征。這些特征引用到該部分以助于說(shuō)明本發(fā)明的內(nèi)容。
欲執(zhí)行晶片測(cè)試，習(xí)稱為探針臺(tái)10的設(shè)備具有一頂板12(圖3)，其確定一原始頂板孔隙14。該孔隙支撐習(xí)稱為探針板盤16的圓形裝置，它轉(zhuǎn)而支撐探針板17。具有對(duì)接單元20的習(xí)稱為測(cè)試器18的一單獨(dú)件下降至關(guān)于探針臺(tái)、探針板盤與探針板的配接位置。有時(shí)，探針臺(tái)10包括諸如晶片裝載器蓋子19的障礙物，它非?？拷撛柬敯蹇紫?4從而不允許一特定測(cè)試器18的對(duì)接。
一般而言，需要多個(gè)導(dǎo)引裝置與關(guān)連的對(duì)接裝置件來(lái)將測(cè)試器順序?qū)佑谔结樑_(tái)、探針板盤與該探針板盤所支撐的晶片。一般而言，銷售給半導(dǎo)體制造廠家的探針臺(tái)已經(jīng)安裝了這種對(duì)接裝置。因此，當(dāng)購(gòu)買新的測(cè)試器時(shí)，通常需要購(gòu)置裝配有對(duì)接裝置的新的探針臺(tái)以助于和該新的測(cè)試器對(duì)接。不幸的是，通常由探針臺(tái)賣主或代理商所裝設(shè)的對(duì)接裝置一般允許對(duì)接至單一型式的測(cè)試器。允許將不同測(cè)試器運(yùn)用于探針臺(tái)的對(duì)接裝置的裝設(shè)在業(yè)內(nèi)被稱為“硬件換出(hardwareswap-out)”，并且造成技術(shù)人員時(shí)間與設(shè)備停機(jī)時(shí)間的大量占用。
已經(jīng)公知，將單一檢測(cè)器加工為接受單一工具板，其允許對(duì)接至一期望的測(cè)試器。然而，在先前技術(shù)中沒能制造一組標(biāo)準(zhǔn)化的工具板，使得各個(gè)標(biāo)準(zhǔn)化的工具板可以運(yùn)用于任何一組不同探針臺(tái)上。結(jié)果為，僅有極為受限的適應(yīng)性可由此方法得到。
半導(dǎo)體制造商面對(duì)的另一問(wèn)題是缺乏探針臺(tái)的各種商業(yè)生產(chǎn)線之間的頂板孔隙的一致性。不幸的結(jié)果在于，目前并未有公知的技術(shù)以將具有第一頂板孔隙尺寸的探針臺(tái)配接于設(shè)計(jì)為配接具有第二頂板孔隙尺寸的檢測(cè)器的一種測(cè)試器。
在第二方面，本發(fā)明是一種供裝設(shè)至探針臺(tái)的工具板。該工具板包含確定一主孔隙與一組周邊孔隙的一剛性板，周邊孔隙裝配于彈簧負(fù)載的固定螺釘，適于幫助固定至配接螺紋孔。
在第三方面，本發(fā)明是一種供裝設(shè)至探針臺(tái)的工具板，該工具板包含確定一主孔隙與一組銷釘設(shè)定孔的一剛性板，銷釘設(shè)定孔相對(duì)于主孔隙的位置精確設(shè)定。
在第四方面，本發(fā)明是一種改進(jìn)探針臺(tái)的方法，該探針臺(tái)具有確定一原始頂板主孔隙的一頂板，從而該探針臺(tái)適于配接一預(yù)定探針板盤與一預(yù)定測(cè)試器，而在改進(jìn)之前該探針臺(tái)無(wú)法與之配接。該種方法包含以下步驟在該頂板內(nèi)加工一凹陷部，以形成頂板-工具板附接區(qū)域。此外，該頂板主孔隙被加大，且頂板-工具板附接區(qū)域內(nèi)提供有固定和對(duì)齊元件。還提供工具板，其具有適于配接至該頂板-工具板附接區(qū)域的固定和對(duì)齊元件的固定和對(duì)齊元件，并確定設(shè)計(jì)為接合該預(yù)定探針板盤的工具板主孔隙，并旦其中該工具板主孔隙相對(duì)于工具板固定和對(duì)齊元件定位，使得一旦安裝該工具板時(shí)，該工具板主孔隙將和該原始頂板主孔隙不一致。最后，運(yùn)用固定和對(duì)齊元件將該工具板配接并固定至該頂板-工具板附接區(qū)域。
在第五方面，本發(fā)明是一種改進(jìn)探針臺(tái)的方法，該探針臺(tái)具有一頂板，從而其可配接一測(cè)試器，該測(cè)試器包括水平延伸超過(guò)該探針臺(tái)的水平長(zhǎng)度的對(duì)接裝置。該種方法包含在該頂板內(nèi)加工至少一個(gè)附接區(qū)域，并將固定和對(duì)齊元件裝配于該附接區(qū)域，并且提供至少一對(duì)接裝置附接板，其包括一件對(duì)接裝置以配接至該附接區(qū)域。之后，將該對(duì)接裝置附接板配接至對(duì)應(yīng)附接區(qū)域，使得該對(duì)接裝置附接板從頂板水平朝外突出，并且向著頂板外部地支撐該件對(duì)接裝置。
在第六方面，本發(fā)明是一種探針臺(tái)，它能夠配接至一測(cè)試器，該測(cè)試器具有比該探針臺(tái)大的軌跡面積。該探針臺(tái)包括一頂板以及至少一個(gè)對(duì)接裝置支撐板，其中該對(duì)接裝置支撐板從該頂板向外延伸并在離開該頂板的一位置處支撐至少一件對(duì)接裝置。
在第七方面，本發(fā)明是一種改進(jìn)探針臺(tái)的方法，該探針臺(tái)具有一頂板，從而該探針臺(tái)適于配接一預(yù)定探針板盤與一組測(cè)試器中的任一測(cè)試器。固定和對(duì)齊元件提供并裝設(shè)于該頂板上。再者，提供一組工具板，各個(gè)工具板均具有適于配接至該頂板上的固定和對(duì)齊元件的固定和對(duì)齊元件，并確定設(shè)計(jì)為接合該預(yù)定探針板盤的孔隙。之后，使用者可選擇這些工具板中的所希望的一個(gè)，并且運(yùn)用固定和對(duì)齊元件將所選擇的工具板配接及固定至該頂板。
通過(guò)以下參照附圖的優(yōu)選實(shí)施例的說(shuō)明可以更加容易地理解本發(fā)明的上述與其他目的、特點(diǎn)及優(yōu)點(diǎn)。


圖1是探針臺(tái)-測(cè)試器的配對(duì)的側(cè)視圖，其中該探針臺(tái)根據(jù)本發(fā)明的方法改進(jìn)。
圖2是圖1的探針臺(tái)的俯視圖。
圖3是圖1的探針臺(tái)的一部分的分解立體圖，顯示本發(fā)明的改進(jìn)的某些細(xì)節(jié)。
圖4是探針臺(tái)的一部分的分解立體圖，該探針臺(tái)以類似于圖1的方法的方式改進(jìn)，但具有附接至工具板的對(duì)接裝置。
此外，一系列的螺紋孔44加工在附接區(qū)域34的周邊內(nèi)側(cè)。本發(fā)明主題的改進(jìn)探針臺(tái)的方法運(yùn)用如圖1與圖2所示的工具板110完成。彈簧負(fù)載的螺釘設(shè)定于一組孔隙114中，以允許板110快速附接至改進(jìn)后的探針臺(tái)。板110的底側(cè)確定銷釘設(shè)定孔120，它構(gòu)造為配接銷釘38并因而有助于板110的精確定位。在一個(gè)優(yōu)選實(shí)施例中，銷釘38相對(duì)于孔隙14的中心高精度定位，以確保工具板110的正確對(duì)齊與定位。
工具板110確定用于支撐探針板盤的工具板主孔隙120。適用于探針板盤附接的環(huán)緣122確定于孔隙120的周圍。一組突起部124易于探針板盤的附接，其中每個(gè)突起部124有一螺紋孔126。參考圖4，在某些實(shí)例中，包含一組對(duì)接裝置130作為板110的一部分，從而板110的裝設(shè)可使得探針臺(tái)10隨時(shí)對(duì)接于所選擇的測(cè)試器18。
理想而言，可提供多個(gè)工具板110，每個(gè)均裝配有適于對(duì)接特定測(cè)試器的一個(gè)不同組的對(duì)接裝置130。以此方式，擁有多個(gè)測(cè)試器與多個(gè)探針臺(tái)的半導(dǎo)體制造設(shè)施可以將多個(gè)探針臺(tái)的任一個(gè)和多個(gè)測(cè)試器的任一個(gè)對(duì)接。再者，若多于一個(gè)探針臺(tái)被改進(jìn)以接受多個(gè)工具板110中的任一個(gè)，則這些測(cè)試器的任一個(gè)可以在其中可配接的板110可用的任何探針臺(tái)中使用。
應(yīng)特別注意的是，通過(guò)制造每個(gè)均具有一標(biāo)準(zhǔn)化組的定位及附接元件的一組工具板，并且通過(guò)修改一組探針臺(tái)以使得每個(gè)均具有設(shè)計(jì)為配接至工具板定位及附接元件的一標(biāo)準(zhǔn)化組的定位及附接元件，可以實(shí)現(xiàn)極大的適應(yīng)性，這意味著這些探針臺(tái)中的任一個(gè)均可配接至這些工具板中的任一個(gè)，并且因而可配接至工具板可用的任一測(cè)試器。此技術(shù)在先前技術(shù)中仍為未知，且可應(yīng)用于甚至不同型式的探針臺(tái)，諸如流行的品牌TSK、TEL與EG。
在另一個(gè)優(yōu)選實(shí)施例中，在頂板12中沒有加工凹陷部。銷釘38與螺紋孔44設(shè)置于頂板12的頂表面上，且工具板110附接于頂板12的頂部上。
在一個(gè)優(yōu)選實(shí)施例中，第二組螺紋孔44’設(shè)于頂板附接區(qū)域34，以供較小的工具板110附接。該種較小的工具板110將典型地作成為裝配于具有較小頂板的探針臺(tái)10。通過(guò)提供第二組螺紋孔44’，探針臺(tái)10可以用于改進(jìn)最初為了具有較小的頂板12的不同生產(chǎn)線的探針臺(tái)10而制作的工具板110。
再次參考圖1至圖2，在某些實(shí)例中，探針臺(tái)將具有相當(dāng)小的一個(gè)頂板，并且還將具有一障礙物208，諸如將晶片載入探針板盤的裝置的蓋子(“裝載器蓋子”)。如果并未將該探針板盤位置移動(dòng)離開該障礙物，將可能無(wú)法把此型式探針臺(tái)對(duì)接至測(cè)試器。為此目的，原始頂板孔隙14被加大，并且提供一個(gè)工具板210，它具有一個(gè)主孔隙212，該主孔隙212相對(duì)于工具板210的其余部分不居中。當(dāng)安裝工具板210時(shí)，主孔隙212位于和原始頂板主孔隙14不同的位置處，并且還遠(yuǎn)離該障礙物，從而允許選擇的測(cè)試器對(duì)接至工具板210而未遇到該障礙物。
在此實(shí)施例中，對(duì)接裝置220包含于一組對(duì)接裝置板222。為了有助于板222正確附接至頂板30，頂板30以類似于附接區(qū)域34的加工的方式但是在更接近其邊緣處加工，以形成對(duì)接裝置板附接區(qū)域(未顯示)，它將包括諸如螺紋孔與銷釘?shù)亩ㄎ患案浇釉?br> 應(yīng)注意的是，為了成功實(shí)施圖1與圖2所示的實(shí)施例，驅(qū)動(dòng)測(cè)試器與探針臺(tái)的軟件必須調(diào)整以考慮工具板主孔隙212與頂板原始主孔隙14之間的位置差異。
已于以上說(shuō)明中所運(yùn)用的術(shù)語(yǔ)與措辭是以說(shuō)明的角度所使用而并非限制，這些術(shù)語(yǔ)與措辭的使用無(wú)意排除所顯示及說(shuō)明的特征或其部分的等同體，可認(rèn)知的是，本發(fā)明的范圍僅由所附權(quán)利要求確定和限制。
權(quán)利要求
1.一種改進(jìn)探針臺(tái)的方法，該探針臺(tái)具有一頂板，從而所述探針臺(tái)適于配接一預(yù)定探針板盤與一組測(cè)試器中的任一測(cè)試器，所述方法包含以下步驟(a)在所述頂板內(nèi)加工一凹陷部，以形成頂板-工具板附接區(qū)域；(b)提供頂板-工具板附接區(qū)域固定和對(duì)齊元件；(c)提供一組工具板，每個(gè)均具有適于配接至所述頂板-工具板附接區(qū)域固定和對(duì)齊元件的固定和對(duì)齊元件，并且確定設(shè)計(jì)為接合所述預(yù)定探針板盤的孔隙，并包括用于幫助對(duì)接至所述組的測(cè)試器中的一特定測(cè)試器的對(duì)接裝置；(d)選擇所述工具板中的一個(gè)所需要的；及(e)運(yùn)用所述固定和對(duì)齊元件將所述所選擇的工具板配接并固定至所述頂板-工具板附接區(qū)域。
2.如權(quán)利要求1所述的方法，其特征在于，所述工具板進(jìn)一步包括對(duì)接裝置，用于幫助所述預(yù)定測(cè)試器的對(duì)接。
3.如權(quán)利要求1所述的方法，其特征在于，所述頂板-工具板附接區(qū)域固定和對(duì)齊元件包括第一組螺紋孔與第二組螺紋孔，第一組螺紋孔定位為允許具有第一尺寸的第一工具板的附接，第二組螺紋孔定位為允許具有第二尺寸的第二工具板的附接。
4.一種用于裝設(shè)至探針臺(tái)內(nèi)的工具板，所述板包含確定一主孔隙與一組周邊孔隙的一剛性板，主孔隙具有一環(huán)緣，周邊孔隙裝配于彈簧負(fù)載的固定螺釘，適于幫助固定至配接螺紋孔。
5.一種用于裝設(shè)至探針臺(tái)內(nèi)的工具板，所述板包含具有一頂部與一底部且確定一主孔隙與一組銷釘設(shè)定孔的一剛性板，主孔隙具有一環(huán)緣，銷釘設(shè)定孔由所述底部表面確定并且相對(duì)于主孔隙的位置精確定位。
6.一種改進(jìn)探針臺(tái)的方法，該探針臺(tái)具有確定一原始頂板主孔隙的一頂板，從而所述探針臺(tái)適于配接一預(yù)定探針板盤與一預(yù)定測(cè)試器，而在改進(jìn)之前所述探針臺(tái)無(wú)法與之配接，所述方法包含以下步驟(a)在所述頂板內(nèi)加工一凹陷部，以形成頂板-工具板附接區(qū)域；(b)加大所述頂板主孔隙；(c)提供頂板-工具板附接區(qū)域固定和對(duì)齊元件；(d)提供一組工具板，它具有適于配接至所述頂板-工具板附接區(qū)域固定和對(duì)齊元件的固定和對(duì)齊元件，并確定設(shè)計(jì)為接合所述預(yù)定探針板盤的工具板主孔隙，且其中所述工具板主孔隙相對(duì)于所述工具板固定和對(duì)齊元件定位，使得一旦安裝所述工具板時(shí)，所述工具板主孔隙將和所述原始頂板主孔隙不一致；及(e)運(yùn)用所述固定和對(duì)齊元件將所述工具板配接并固定至所述頂板-工具板附接區(qū)域。
7.如權(quán)利要求6所述的方法，其特征在于，所述探針臺(tái)具有一種結(jié)構(gòu)，其中一障礙物定位為非?？拷鲈柬敯逯骺紫稄亩辉试S所需要的測(cè)試器的對(duì)接，但是其中所述工具板主孔隙一旦裝設(shè)時(shí)足夠遠(yuǎn)地離開所述障礙物以允許對(duì)接。
8.一種改進(jìn)探針臺(tái)的方法，該探針臺(tái)具有一頂板，從而它可配接于測(cè)試器，該測(cè)試器包括水平延伸超過(guò)所述探針臺(tái)的水平長(zhǎng)度的對(duì)接裝置，所述方法包含以下步驟(a)在所述頂板內(nèi)加工至少一個(gè)附接區(qū)域，并將固定和對(duì)齊元件裝配于所述附接區(qū)域；(b)提供至少一個(gè)對(duì)接裝置附接板，它適于配接至所述附接區(qū)域，并包括一件對(duì)接裝置；及(c)將所述對(duì)接裝置附接板的每一個(gè)附接至所述對(duì)應(yīng)附接區(qū)域，從而所述板從所述頂板水平朝外突出，并且向著所述頂板外部地支撐所述一件對(duì)接裝置。
9.一種探針臺(tái)，它能夠配接至一個(gè)選定的測(cè)試器，所述測(cè)試器具有比所述探針臺(tái)大的軌跡面積，所述探針臺(tái)包括一頂板并且進(jìn)一步包括至少一個(gè)對(duì)接裝置支撐板，該對(duì)接裝置支撐板從所述頂板向外延伸并在離開所述頂板的一位置處支撐至少一件對(duì)接裝置。
10.一種改進(jìn)探針臺(tái)的方法，該探針臺(tái)具有一頂板，從而所述探針臺(tái)適于配接一預(yù)定探針板盤與一組測(cè)試器中的任一個(gè)測(cè)試器，所述方法包含以下步驟(a)在所述頂板上提供頂板-工具板固定和對(duì)齊元件；(b)提供一組工具板，每個(gè)均具有適于配接至所述頂板-工具板固定和對(duì)齊元件的固定和對(duì)齊元件，并且確定設(shè)計(jì)為接合所述預(yù)定探針板盤的孔隙，并包括用于幫助對(duì)接至所述組的測(cè)試器中的一個(gè)測(cè)試器的對(duì)接裝置；(c)選擇所述工具板中的一個(gè)所需要的；及(d)運(yùn)用所述固定和對(duì)齊元件將所述所選擇的工具板配接并固定至所述頂板。
全文摘要
一種改進(jìn)探針臺(tái)的方法，該探針臺(tái)具有一頂板(12)，從而該探針臺(tái)(10)適于配接于一預(yù)定探針板盤(16)與一組測(cè)試器中的任一個(gè)測(cè)試器(18)。隨后在該頂板內(nèi)加工一個(gè)凹陷部以形成頂板－工具板附接區(qū)域。接著，在此區(qū)域內(nèi)提供并安裝固定和對(duì)齊元件。再者，提供一組工具板(110)，每個(gè)均具有適于配接至該附接區(qū)域上的固定和對(duì)齊元件的固定和對(duì)齊元件，并確定設(shè)計(jì)為接合該預(yù)定探針板盤的孔隙。之后，使用者可選擇這些工具板中所需要的一個(gè)，并且運(yùn)用固定和對(duì)齊元件將所選擇的工具板配接并固定至該頂板－工具板附接區(qū)域。
文檔編號(hào)G01R1/06GK1457282SQ01815633
公開日2003年11月19日 申請(qǐng)日期2001年9月14日 優(yōu)先權(quán)日2000年9月15日
發(fā)明者詹姆斯·奧爾西洛 申請(qǐng)人:詹姆斯·奧爾西洛