專利名稱：一種立式大口徑非球面鏡檢驗裝置的制作方法
技術領域：
本發(fā)明屬于光學檢驗技術領域中涉及的一種立式大口徑非球面鏡檢驗裝置。
二、技術背景在光學冷加工中，對加工的光學鏡片進行質(zhì)量檢驗，是常規(guī)的光學檢驗工作。光學鏡片有大有小，在光學界通常把口徑為φ300mm以上的光學鏡片視為大口徑鏡片，φ500mm、φ800mm、φ1000mm以上的大口徑光學鏡片是經(jīng)常碰到的，檢驗大口徑光學鏡片需要的設備往往是很龐大的，占有很大的空間和刻刻的環(huán)境條件。例如，為了防振，要求隔離地基，為了保證檢驗精度，要求檢驗環(huán)境恒溫等等。
與本發(fā)明最為接近的已有技術是各國普遍應用的臥式大口徑非球面檢驗設備，中國科學院長春光機所和四川成都光電技術研究所研制應用的臥式大口徑非球面鏡檢驗裝置如圖1所示是由隔離地基1、拋光機工作臺2、被檢驗非球面鏡3、補償器4、干涉儀5、計算機6、工作臺面7組成的。
這種臥式大口徑非球面鏡檢驗裝置，占用隔離地基的面積很大，工作臺面的面積也很大，需要很高的資金投入才能辦到，更嚴重的問題是檢驗時，需要將被檢驗非球面鏡搬動起來翻轉(zhuǎn)90°立起來，不能在線檢驗，被檢件翻轉(zhuǎn)、立隱過程需要很長時間，同時這種大口徑光學鏡片重量較重，少則幾十公斤，多則幾百公斤，甚至成噸，鏡片的自重會引起鏡面產(chǎn)生變形，檢驗完畢恢復原位后，鏡面的光軸可能要偏離位置或傾斜，因而檢驗結果數(shù)據(jù)并不可信，這是令光學設計人員和光學檢驗人員頭痛的事。

發(fā)明內(nèi)容
為了克服已有技術缺點，本發(fā)明的目的在于對正在光學冷加工中的大口徑非球面鏡，可以在線檢驗，在節(jié)省時間和提高工作效率的同時，又能保證檢驗數(shù)據(jù)的真實可信。立式檢驗設備能大大縮小隔離地基和工作臺面的面積，減少資金投入，節(jié)省開支，為此特設計一種立式大口徑非球面鏡檢驗裝置。
本發(fā)明要解決的技術問題是提供一種立式大口徑非球面鏡檢驗裝置，以保證檢驗數(shù)據(jù)的真實可靠。解決技術問題的技術方案如圖2所示包括隔離地基8、拋光機工作臺9、被檢驗非球面鏡10、檢驗支撐架11、上平臺12、上平臺開口13、補償器14、反射鏡15、干涉儀16、計算機17、工作臺面18。
幾乎籠罩整個隔離地基的檢驗支撐架11牢固座落在隔離地基8上，拋光機工作臺9和被檢驗非球面鏡10都在檢驗支撐架11的包圍之內(nèi)，被檢驗非球面鏡10可在線保持原來位置狀態(tài)進行檢驗，被檢驗面形朝上，上平臺12的工作面水平的固定在檢驗支撐架11的頂端，上平臺12上有一個上平臺開口13，被檢驗非球面鏡10的光軸通過上平臺開口13的中心，位于上平臺12上方的被檢驗非球面鏡10的光軸上，依次置有補償器14和反射鏡15，反射鏡15的反射面與光軸成45°角放置，反射鏡15的高度要高于工作臺面18的位置，在反射鏡15的反射光路上置有干涉儀16，干涉儀16和計算機17平穩(wěn)地置于工作臺面18上，兩者之間用導線連接。
工作原理說明，被檢驗非球面鏡10的面形反射光線，通過平行光補償器14補償后射向到反射鏡15，經(jīng)反射鏡15反射后進入干涉儀16，產(chǎn)生干涉信號，經(jīng)計算機17處理后顯示，這個顯示結果就是被檢驗非球面鏡的面形數(shù)據(jù)。
本發(fā)明的積極效果該裝置可以在線檢驗，被檢件不產(chǎn)生變形，數(shù)據(jù)真實準確，可信，提高了工作效率，同時由于大大減小隔離地基面積和工作臺面面積，而大幅度減少資金投入。
四

圖1是已有技術臥式大口徑非球面鏡檢驗裝置結構示意圖，圖2是本發(fā)明的立式大口徑非球面鏡檢驗裝置結構示意圖，摘要附圖亦采用圖2。
五具體實施例方式本發(fā)明按圖2所示的結構實施，隔離地基8的面積采用3.0×3.0M2，地基深度1.5M；檢驗支撐架11的材質(zhì)采用鋼管和角鋼，高度4～4.5M，上平臺12采用3cm厚的鋼板，上平臺開口13的直徑采用φ500mm，補償器14采用口徑為φ100mm的平行光補償器，補償器14到被檢驗非球面鏡10的距離采用4～4.5M，干涉儀16采用美國產(chǎn)ZYGO干涉儀，反射鏡15采用口徑為φ500mm的鍍鋁反射鏡。計算機17采用戴爾計算機，工作臺面18的面積采用1.8M×1.8M。
權利要求
1.一種立式大口徑非球面鏡檢驗裝置，包括隔離地基(8)、拋光機工作臺(9)、被檢驗非球面鏡(10)、補償器(14)、干涉儀(16)、計算機(17)、工作臺面(18)，其特征在于本發(fā)明還包括檢驗支撐架(11)、上平臺(12)、上平臺開口(13)、反射鏡(15)；檢驗支撐架(11)牢固座落在隔離地基(8)上，拋光機工作臺(9)和被檢驗非球面鏡(10)都在檢驗支撐架(11)的包圍之內(nèi)，被檢驗非球面鏡(10)可在線保持原來位置狀態(tài)進行檢驗，被檢驗面形朝上，上平臺(12)的工作面水平的固定在檢驗支撐架(11)的頂端，上平臺(12)上有一個上平臺開口(13)，被檢驗非球面鏡(10)的光軸通過上平臺開口(13)的中心，位于上平臺(12)上方的被檢驗非球面鏡(10)的光軸上，依次置有補償器(14)和反射鏡(15)，反射鏡(15)的反射面與光軸成45°角放置，反射鏡(15)的高度要高于工作臺面(18)的位置，在反射鏡(15)的反射光路上置有干涉儀(16)，干涉儀(16)和計算機(17)平穩(wěn)地置于工作臺面(18)上，兩者之間用導線連接。
全文摘要
一種立式大口徑非球面鏡檢驗裝置，屬于光學檢驗技術領域中涉及的一種立式大口徑非球面鏡檢驗裝置。本發(fā)明要解決的技術問題是提供一種立式大口徑非球面鏡檢驗裝置，以保證檢驗數(shù)據(jù)的真實可靠。解決技術問題的技術方案是檢驗支撐架固定在隔離地基上，上平臺的工作面水平的固定在檢驗支撐架的頂端，上平臺上有一個開口，在檢驗支撐架內(nèi)的被檢驗非球面鏡的光軸通過上平臺開口的中心，位于上平臺上方的被被檢驗非球面鏡的光軸上，依次置有補償器和反射鏡，反射鏡的反射面與光軸成45。角放置，在反射的光路上置有干涉儀，干涉儀和計算機之間用導線連接。該裝置可以在線檢驗，數(shù)據(jù)真實可靠。
文檔編號G01B11/30GK1504722SQ0214469
公開日2004年6月16日 申請日期2002年12月3日 優(yōu)先權日2002年12月3日
發(fā)明者趙文才, 孟祥春, 劉磊, 任建岳 申請人:中國科學院長春光學精密機械與物理研究所, 中國科學院長春光學精密機械與物理研