專利名稱：Lsi檢查方法及裝置、lsi檢測器的制作方法
技術領域：
本發(fā)明涉及一種對安裝了高速接口的LSI的檢查。
背景技術：
到目前為止，在檢查安裝有IEEE1394、USB等高速接口的LSI時，是這樣進行檢查的，即輸給LSI的高速信號直接從LSI檢測器供來，從LSI輸出的高速信號又直接讀入LSI檢測器中(例如參考專利第3058130號公報)。
圖9為示出了現有的LSI檢查系統的結構的圖。圖9中，對放在檢測板52上的檢查對象LSI20內的具有高速接口功能的物理層部21進行檢查。
檢查物理層部21的信號接收情況的時候，將高速信號直接從LSI檢測器53發(fā)送給物理層部21。物理層部21利用解串行等手法將所接收的高速信號變換成低速信號，再通過低速地連接(interface)的邏輯層部22供到LSI檢測器53中。由LSI檢測器53根據所接收的低速信號進行良否判斷。在檢查物理層部21的信號發(fā)送情況的時候，從LSI檢測器53通過邏輯層部22將低速信號提供給物理層部21。物理層部21利用串行等手法將所接收的低速信號變換成高速信號，再將它發(fā)送給LSI檢測器53。LSI檢測器53根據所接收的高速信號進行良否判斷。
然而，根據上述現有技術，為檢查高速接口LSI，需要的就是能用高速信號進行連接的高速LSI檢測器。一般情況下，和用低速信號進行連接的低速LSI檢測器相比，高速LSI檢測器價格昂貴，也就會出現使檢查成本上升的問題。
為實現用低速LSI檢測器進行檢查，在檢查對象LSI本身內裝上高速信號產生電路、期待值比較電路及檢查控制電路等，也是一種方法。然而在這種情況下，首先是很難對安裝在檢查對象LSI內的高速工作的電路本身進行檢查。因此，在電路檢查不夠充分的時候，有可能將良品誤判斷為次品。還會因LSI面積的增大而導致成本上升。
發(fā)明內容
本發(fā)明正是為解決上述問題而研究出來的，其目的在于對高速接口LSI進行檢查成本低、且檢查水平很高的檢查。
本發(fā)明是這樣的，在現有的結構下，在LSI檢測器和檢查對象LSI高速地進行連接的那一段時間內，布置具有物理層部和邏輯層部的參考裝置而進行檢查。這樣以來，LSI檢測器就不需要高速地連接的接口，因此而可由低速檢測器檢查安裝有高速接口的LSI。從而可防止檢查成本上升。還有，利用高頻計測器、高速LSI檢測器至少確認一次參考裝置的良否就行了，沒有必要每檢查一次就去確認一次參考裝置的良否。故很簡單地、很容易地就能實現檢查水平很高的檢查。
具體而言，本發(fā)明提供了一種LSI檢查方法，用這一方法來對包括具有高速連接功能的物理層部的檢查對象LSI進行檢查。安裝具有其功能與所述高速連接功能一樣的物理層部、及接在該物理層部上且具有低速連接功能的邏輯層部的第1參考裝置，且將所述檢查對象LSI安裝在能與LSI檢測器進行連接的檢測板上，將所述第1參考裝置的物理層部和所述檢查對象LSI的物理層部電連接起來，由所述LSI檢測器對所述第1參考裝置及檢查對象LSI進行信號接收、發(fā)送設定，由此而在所述第1參考裝置的物理層部及所述檢查對象LSI的物理層部之間進行高速通信，所述LSI檢測器從所述第1參考裝置或者是檢查對象LSI讀出接收信號。
在本發(fā)明所涉及的LSI檢查方法中，最好是，所述檢查對象LSI，包括與該檢查對象LSI的物理層部相連且具有低速連接功能的邏輯層部。最好是，所述LSI檢測器，經由所述第1參考裝置的邏輯層部及所述檢查對象LSI的邏輯層部進行所述信號接收、發(fā)送設定，讀出所述接收信號。
在本發(fā)明所涉及的LSI檢查方法中，最好是，所述檢測板上安裝了與所述檢查對象LSI的物理層相連，具有低速連接功能的邏輯層部的第2參考裝置。最好是，所述LSI檢測器，經由所述第1參考裝置的邏輯層部及所述第2參考裝置的邏輯層部進行所述信號接收、發(fā)送設定，讀出所述接收信號。
在本發(fā)明所涉及的LSI檢查方法中，最好是，向所述第1參考裝置和所述檢查對象LSI提供互異的電源電壓。
在本發(fā)明所涉及的LSI檢查方法中，最好是，在進行所述信號接收、發(fā)送設定之前，由所述LSI檢測器確認所述第1參考裝置及檢查對象LSI的內部狀態(tài)。而且，最好是，所述內部狀態(tài)的確認是通過讀出所述第1參考裝置及檢查對象LSI的內部存儲部分的數據來實現的?；蛘呤牵詈檬?，當內部狀態(tài)在規(guī)定的時間內沒達到規(guī)定的狀態(tài)的時候，所述LSI檢測器就做出所述檢查對象LSI為次品的判斷。
在本發(fā)明所涉及的LSI檢查方法中，最好是，在讀出所述接收信號之前，由所述LSI檢測器確認所述第1參考裝置或者檢查對象LSI是否已經結束了通信。而且，最好是，是通過讀出所述第1參考裝置及或者檢查對象LSI的內部存儲部分的數據來確認所述通信結束與否。
本發(fā)明提供了一種LSI檢查裝置，它用來對至少含有具有高速連接功能之物理層部的檢查對象LSI進行檢查，該LSI檢查裝置可與LSI檢測器進行連接且能夠被安裝到安裝有所述檢查對象LSI的檢測板上。該LSI檢查裝置，擁有具有其功能與所述高速連接功能一樣的物理層部及接在該物理層部上且具有低速連接功能的邏輯層部的第1參考裝置，及將所述第1參考裝置的物理層部及所述檢查對象LSI的物理層部電連接起來的連接部件。
本發(fā)明所涉及的所述LSI檢查裝置，最好是，擁有介于所述檢查對象LSI的物理層部及所述LSI檢測器之間且具有低速連接功能之邏輯層部的第2參考裝置。
在本發(fā)明所涉及的LSI檢查裝置中，最好是，第1參考裝置，包括擁有所述物理層部的第1參考LSI及擁有所述邏輯層部的第2參考LSI。
在本發(fā)明所涉及的LSI檢查裝置中，最好是，連接部件，包括使在所述第1參考裝置和所述檢查對象LSI之間所形成的信號經路分支的分支元件。
最好是，本發(fā)明所涉及的LSI檢查裝置，擁有獨立于所述LSI檢測器之操作，向所述檢查對象LSI及第1參考裝置提供時鐘的時鐘產生器。
在本發(fā)明所涉及的所述LSI檢查裝置中，最好是，第1參考裝置為已經被判斷為良品的參考裝置。
最好是，在本發(fā)明所涉及的LSI檢查裝置中，第1參考裝置，為在滿足保證規(guī)格的范圍內性能水平最低的參考裝置。
本發(fā)明提供一種LSI檢測器，用它來對至少含有具有高速連接功能之物理層部的檢查對象LSI進行檢查。該LSI檢測器可與安裝了所述檢查對象LSI的檢測板進行連接，且擁有擁有第1參考裝置及高速連接出入口，第1參考裝置，具有其功能與所述高速連接功能一樣的物理層部、接在該物理層部上且具有低速連接功能的邏輯層部；高速連接出入口與所述第1參考裝置的物理層部電連接，且在它和所述檢測板之間進行高速通信。
本發(fā)明所述的LSI檢測器，最好是，擁有在它和所述檢測板之間進行低速通信的低速連接出入口，及接在所述低速連接出入口上且擁有具有低速連接功能的邏輯層部的第2參考裝置。
圖1示出了本發(fā)明的第1個實施例所涉及的LSI檢查系統的結構。
圖2為顯示LSI檢測器的工作情況的流程圖。
圖3為本發(fā)明所涉及的LSI檢查系統的一個具體結構。
圖4示出了本發(fā)明的第2個實施例所涉及的LSI檢查系統的結構。
圖5示出了本發(fā)明的第3個實施例所涉及的LSI檢查系統的結構。
圖6示出了本發(fā)明的第4個實施例所涉及的LSI檢查系統的結構。
圖7為顯示本發(fā)明的第5個實施例中的LSI檢測器的操作的流程圖。
圖8示出了本發(fā)明的第6個實施例所涉及的LSI檢查系統的結構。
圖9示出了現有的LSI檢查系統的結構。
具體實施例方式
下面，參考附圖，說明本發(fā)明的實施例。需提一下，在該說明書中，高速接口，具體指IEEE 1394、USB等，通信速度在幾百Mbps左右以上的接口；而低速接口，具體指通信速度在幾十Mbps左右以下的接口。
(第1個實施例)圖1示出了本發(fā)明的第1個實施例所涉及的LSI檢查系統的結構。在圖1中，檢查對象LSI20，擁有具有與LSI外部高速地進行連接之功能的物理層部21、接在物理層部21上且具有與LSI外部低速地進行連接之功能的邏輯層部22。例如安裝有IEEE 1394a-2000的LSI，其中的物理層部，擁有高速信號的驅動器、接收器、串行器、解串行器、調停電路，其中的邏輯層部，擁有鏈路層、存儲器及微接口(microinterface)等。
檢查對象LSI20裝在可與LSI檢測器3進行連接的檢測板2上。LSI檢測器3和檢查對象LSI20通過訪問邏輯層部22所需的針(pin)電連接。LSI檢查裝置1裝在檢測板2上。LSI檢測裝置1擁有作為第1參考裝置的參考LSI10。參考LSI10擁有與LSI外部高速地進行連接的物理層部11、接在物理層部11上且具有與LSI外部低速地進行連接之功能的邏輯層部12。該物理層部11所具有的高速連接功能和檢查對象LSI20的物理層部21所具有的高速連接功能一樣。
檢查對象LSI20和參考LSI10的高速地進行連接的高速針之間接線。該接線既可為檢測板2上的圖案布線，又可為電纜布線。還有，LSI檢測器3和參考LSI10通過訪問邏輯層部12時所需的針電連接。這里，本發(fā)明所涉及的第1參考裝置由一個參考LSI10構成。
這里，假設參考LSI10為用能測量高速接口的LSI檢測器、高頻計測器等事先確認好的良品。還有，檢查對象LSI20和參考LSI10的結構可以一樣。而且，由LSI檢測器3向檢查對象LSI20及參考LSI10提供電源。
圖2為示出了LSI檢測器3的操作的流程圖。根據圖2來說明本實施例中的對檢查對象LSI20的檢查方法。
首先，說明對物理層部2 1的信號發(fā)送情況的檢查。LSI檢測器3將規(guī)定的檢查電壓提供給檢查對象LSI20及參考LSI10(S11)，將時鐘信號提供給檢查對象LSI20及參考LSI10(S12)，將重新設定(reset)信號輸入到檢查對象LSI20及參考LSI10中(S13)。之后，通過低速信號從LSI檢測器3去訪問檢查對象LSI20的邏輯層部22及參考LSI10的邏輯層部12，分別進行信號發(fā)送設定和信號接收設定(S14)。通過該信號接收、發(fā)送設定，而將高速信號從檢查對象LSI20的物理層部21發(fā)送到參考LSI10的物理層部11。
參考LSI10的物理層部11，利用解串行等處理將所接收的高速信號變換成低速信號，并將它作為接收數據輸出給邏輯層部12。LSI檢測器3訪問邏輯層部12，將參考LSI10所接收的數據讀出來(S21)。然后，對所讀出的數據和期待值加以比較，根據那一比較結果來判斷檢查對象LSI20的良否(S22)。
其次，說明對物理層部21的信號接收情況的檢查。LSI檢測器3的操作如圖2所示，不同的是控制對象與檢查信號發(fā)送時的不同。LSI檢測器3將規(guī)定的檢查電壓提供給參考LSI10及檢查對象LSI20，將時鐘信號提供給參考LSI10及檢查對象LSI20，將重新設定信號輸入到參考LSI10及檢查對象LSI20中(S11，S12，S13)。之后，用低速信號從LSI檢測器3去訪問邏輯層部22及邏輯層部12，分別進行信號接收設定和信號發(fā)送設定(S14)。通過該信號接收、發(fā)送設定而將高速信號從參考LSI10的物理層部11發(fā)送到檢查對象LSI20的物理層部21。
檢查對象LSI20的物理層部21，利用解串行等處理將所接收的高速信號變換成低速信號，并將它作為接收數據輸出給邏輯層部22。LSI檢測器3訪問邏輯層部22，將檢查對象LSI20所接收的數據讀出來(S21)。然后，對所讀出的數據和期待值加以比較，根據那一比較結果來判斷檢查對象LSI20的良否(S22)。
如上所述，根據本實施例，可利用LSI檢測器3和檢測板2之間的低速信號的通信來實現檢查對象LSI20的用高速信號進行連接的物理層部21的信號接收、發(fā)送情況檢查。這時還可以同時檢查邏輯層部22。換句話說，僅用低速接口的廉價LSI檢測器和布置在檢測板上的結構簡單的LSI檢測裝置就能實現對高速接口LSI的批量檢查，故能防止檢查成本上升。
本發(fā)明適用于檢查IEEE1394、USB的物理層。例如在安裝了IEEE1394a-2000的LSI中，高速接口的通信速度在400Mbps左右，低速接口的通信速度在25Mbps左右。因此，根據本發(fā)明，可不使用能在400Mbps下進行連接的高價LSI檢測器，而使用能在25Mbps下進行連接的低價LSI檢測器實現批量檢查。
圖3為本實施例所涉及的LSI檢查系統的一個具體結構。在圖3中，安裝有參考LSI10的LSI檢測裝置1是利用支柱47固定在檢查板2上的。參考LSI10的物理層部11和檢查對象LSI20的物理層部21通過作為連接部件的電纜41及連接器42、43連接在一起。參考LSI10的邏輯層部12通過電纜44及連接器45、46與LSI檢測器3連接。
(第2個實施例)圖4示出了本發(fā)明的第2個實施例所涉及的LSI檢查系統的結構。需提一下，圖4中和圖1相同的構成要素用相同的符號來表示。圖4中，檢查對象LSI25中沒裝邏輯層部，僅裝了物理層部26。LSI檢測裝置1A，除了擁有在第1個實施例中所說明的參考LSI10以外，還擁有作為第2參考裝置的參考LSI15，該參考LSI15擁有具有低速連接之功能的邏輯層部16。
與第1個實施例一樣，檢查對象LSI25和參考LSI10通過高速地進行連接的高速針和針接線。該結線既可為在檢測板2上的圖案布線，又可為電纜布線。LSI檢測器3和參考LSI10通過訪問邏輯層部12所需的針連接著。
參考LSI15和與檢查對象LSI25的物理層部21連接的針接線。LSI檢測器3和參考LSI15通過訪問邏輯層部16所需的針電連接著。換句話說，參考LSI15介于檢查對象LSI25的物理層部26和LSI檢測器3之間。
這里，假設參考LSI10為用能測量高速接口的LSI檢測器、高頻計測器等事先確認好的良品；參考LSI15為用能檢查邏輯層的LSI檢測器、計測器等事先確認好的良品；由LSI檢測器3向檢查對象LSI25及參考LSI10、LSI15供電。
首先，說明對物理層部26的信號發(fā)送情況的檢查。LSI檢測器3的工作情況如圖2所示。LSI檢測器3將規(guī)定的檢查電壓提供給檢查對象LSI25及參考LSI10、15(S11)，將時鐘信號提供給檢查對象LSI25及參考LSI10、15(S12)，將重新設定信號輸入到檢查對象LSI25及參考LSI10、15中(S13)。之后，借助低速信號從LSI檢測器3去訪問參考LSI15的邏輯層部16及參考LSI10的邏輯層部12，并分別進行信號發(fā)送設定和信號接收設定(S14)。通過該信號接收、發(fā)送設定，而將高速信號從檢查對象LSI25的物理層部26送到參考LSI10的物理層部11。
參考LSI10的物理層部11，利用解串行等處理將所接收的高速信號變換成低速信號，并將它作為接收數據輸出給邏輯層部12。LSI檢測器3訪問邏輯層部12，將參考LSI10所接收的數據讀出來(S21)。然后，對所讀出的數據和期待值加以比較，根據那一比較結果來判斷檢查對象LSI25的良否(S22)。
其次，說明對物理層部26的信號接收情況的檢查。LSI檢測器3將規(guī)定的檢查電壓提供給參考LSI10、15及檢查對象LSI25，將時鐘信號提供給參考LSI10、15及檢查對象LSI25，將重新設定信號輸入到參考LSI10、15及檢查對象LSI25(S11，S12，S13)。之后，由低速信號從LSI檢測器3去訪問邏輯層部16及邏輯層部12，并分別進行信號接收設定和信號發(fā)送設定(S14)。通過該信號接收、發(fā)送設定，而將高速信號從參考LSI10的物理層部11發(fā)送到檢查對象LSI25的物理層部26。
檢查對象LSI25的物理層部26，利用解串行等處理將所接收的高速信號變換成低速信號，并將它作為接收數據輸出給參考LSI15的邏輯層部16。LSI檢測器3訪問邏輯層部16，將檢查對象LSI25所接收的數據讀出來(S21)。然后，對所讀出的數據和期待值加以比較，根據那一比較結果來判斷檢查對象LSI25的良否(S22)。
如上所述，根據本實施例，在邏輯層不在同一個LSI上的情況下，也可利用LSI檢測器3和檢測板2之間的低速信號的通信來實現對檢查對象LSI25的用高速信號進行連接的物理層部26的信號接收、發(fā)送情況的檢查。這樣以來，僅用低速接口的廉價LSI檢測器和布置在檢測板上的結構簡單的LSI檢測裝置，就能實現對僅擁有物理層的高速接口LSI的批量檢查，故能防止檢查成本上升。
需提一下，在第1個實施例及第2個實施例中，用一個參考LSI10作本發(fā)明的第1參考裝置用，不僅如此，還可用擁有物理層部11的第1參考LSI和擁有邏輯層部12的第2參考LSI來構成第1參考裝置。
需提一下，和現有技術下的LSI檢查相比，第1個實施例及第2個實施例中所述的LSI檢查的檢查時間有些增加。然而，很多情況是，可使用廉價的LSI檢測器這一有利之處大于檢查時間增加了這一不利之處。
采用利用安裝在檢測板上的其他裝置來實現LSI檢測器所擁有的控制功能、良否判斷功能這一做法，也是一種可使用低功能、低成本的簡易LSI檢測器之法。但在這種情況下，會導致檢測板的成本、保養(yǎng)維修成本上升。因此，在不使用這一簡易LSI檢測器進行高速接口LSI以外的檢查的時候，本實施例的檢查方法就能使檢查成本下降。
還有，在第1個實施例及第2個實施例中，說明的是對物理層部的信號接收、發(fā)送情況的檢查。而實際上量產LSI時，還要對其他電路的功能進行檢查、象檢查漏電流等這樣的DC檢查。在這種情況下，在圖1或圖4所示的結構下，采用將檢查對象LSI20的高速針以外的針和LSI檢測器3連接起來的做法，就能進行上述檢查。
(第3個實施例)第3個實施例，除了能檢查第1個實施例及第2個實施例中所示的物理層部的信號接收、發(fā)送情況以外，還能對物理層部的驅動器及接收器進行DC檢查。驅動器的DC檢查例如有輸出電壓檢查、輸出電流檢查等；接收器的DC檢查例如有閾值電壓檢查等。這些是為保證驅動器、接收器的能力的必要檢查。圖5示出了本實施例所涉及的LSI檢查系統的結構。需提一下，圖5中和圖1相同的構成要素用相同的符號來表示。圖5所示的結構和圖1所示的結構相比，不同之處，在于在圖5中，在LSI檢測裝置1B中，在檢查對象LSI20及參考LSI10的高速針之間的布線上設置了作為分支部件用的中繼器(relay)61，從檢查對象LSI20的物理層部21到LSI檢測器3通過中繼器61有分支布線。在圖5所示的結構下，當讓中繼器61斷開時，對物理層部21的信號接收、發(fā)送情況進行檢查；而當讓中繼器61接通時，則對物理層部21的驅動器及接收器進行DC檢查。
對物理層部21的信號接收、發(fā)送情況的檢查，除了檢查開始前讓中繼器61斷開以外，其他地方都和第1個實施例一樣。如果讓中繼器61處于導通的狀態(tài)，通向LSI檢測器3的分支布線就很長。這正是高速地接收、發(fā)送的信號波形中出現偏斜的主要原因。結果是將導致不能正確地進行信號接收、發(fā)送檢查。需提一下，有必要將中繼器61布置成當它斷開時分支布線最短的樣子。
說明對物理層部21的驅動器、接收器進行DC檢查的檢查方法。LSI檢測器3將規(guī)定的檢查電壓提供給檢查對象LSI20及參考LSI10，將時鐘信號提供給檢查對象LSI20及參考LSI10，將重新設定信號輸入到檢查對象LSI20及參考LSI10中。之后，將檢查對象LSI20設定為可從LSI檢測器3對它的物理層部2 1的驅動器、接收器進行DC檢查這樣的模式。另一方面，對參考LSI10而言，將它的物理層部11的驅動器、接收器設定為高阻抗狀態(tài)。在該狀態(tài)下讓中繼器61接通，并通過中繼器61將LSI檢測器3和檢查對象LSI20的高速針電連接起來，然后再用LSI檢測器3的電流計和電壓計進行DC檢查。
如上所述，根據本實施例，不僅可對靠高速信號進行連接的物理層部21的信號接收、發(fā)送情況進行檢查，還可對物理層部21的驅動器、接收器進行DC檢查。故可使檢查水平提高。當然，也可取代檢測板在其他工序對物理層部21的驅動器、接收器進行DC檢查，但這樣會導致檢查成本上升。與此相對，根據本實施例能控制住檢查成本。
(第4個實施例)圖6示出了本發(fā)明的第4個實施例所涉及的LSI檢查系統的結構。需提一下，圖6中和圖1相同的構成要素用相同的符號來表示。圖6和圖1中的LSI檢查系統的不同之處，在于在圖6的LSI檢測裝置1C中，設了將時鐘提供給檢查對象LSI20的時鐘產生器62和將時鐘提供給參考LSI10的時鐘產生器63，而圖1中沒有。換句話說，當在本實施例中進行在第1個實施例中所示的對物理層部的信號接收、發(fā)送情況檢查的時候，能夠向檢查對象LSI20及參考LSI10提供和LSI檢測器3的操作獨立的時鐘。
例如，在在多個檢查條件下檢查物理層的信號接收、發(fā)送情況的時候，每逢改變檢查條件時，不讓供向每一個LSI的時鐘停止可使檢查時間縮短。特別是，在IEEE1394a-2000中，每逢讓時鐘停止的時候，都會發(fā)生總線的重新設定，進行總線調停，所以時鐘的停止對檢查時間會造成很大的影響。另一方面，很多LSI檢測器在檢查條件有了變化、功能檢測方式切換了的時候，是不能繼續(xù)提供時鐘的。
這里，如本實施例所述，能向檢查對象LSI20及參考LSI10提供與LSI檢測器3獨立的時鐘，故在檢查條件改變了的時候，也能繼續(xù)不停地向檢查對象LSI20和參考LSI10提供時鐘。因此，控制了檢查時間的增加，防止了檢查成本上升。
(第5個實施例)在第5個實施例中，在進行第1個實施例所示的檢查物理層部的信號接收、發(fā)送情況的時候，根據檢查對象LSI及參考LSI的狀態(tài)適當地控制LSI檢測器的操作。本實施例適用于自動進行總線調停這種類型的高速接口。
圖7為顯示本實施例中的LSI檢測器3的操作的流程圖。在圖7中的流程圖中，在信號接收、發(fā)送設定S14之前及讀出接收數據的S21之前，確認檢查對象LSI及參考LSI的內部狀態(tài)，并根據其內部狀態(tài)決定以后的控制。這是它和第1個實施例中的圖2所示的流程圖的不同之處。需提一下，LSI檢查系統的結構和圖1所示的一樣。
在接口為自動進行總線調停這種類型的高速接口的情況下，重新設定輸入后，才開始調停。調停的時候，確認接在總線上的節(jié)點數、分配節(jié)點ID等，調停不結束就不能發(fā)送、接收信號。因為在某種程度上能預測出調停所需的時間，故到下一個信號接收、發(fā)送設定為止，設上充分的等待時間，這也是一種方法，但調停所需的時間有可能隨著檢查對象LSI本身之差別、周圍條件而發(fā)生很大的變化。因此，從檢查時間、檢查的穩(wěn)定性這一方面來看，等確認好了調停是否已經結束以后再進行信號接收、發(fā)送設定，是有效的。
同樣，接收、發(fā)送信號時，也有信號接收、發(fā)送的結束時間隨著檢查對象LSI本身之差別、周圍條件而多少發(fā)生一些變化的時候。因此，從檢查時間、檢查的穩(wěn)定性這一方面來看，等確認好了信號的接收、發(fā)送是否已經結束了以后再讀出接收信號，是有效的。
首先，說明對物理層部21的信號發(fā)送情況的檢查。和第1個實施例一樣，LSI檢測器3將規(guī)定的檢查電壓提供給檢查對象LSI20及參考LSI10，將時鐘信號提供給檢查對象LSI20及參考LSI10，將重新設定信號輸入到檢查對象LSI20及參考LSI10中(S11，S12，S13)。
這里，LSI檢測器3確認檢查對象LSI20及參考LSI10的內部狀態(tài)，換句話說，確認調停操作是否已經結束(S31)。這一確認，可通過觀測能夠監(jiān)視內部狀態(tài)的外部端子來進行，或者是，通過讀出存儲有節(jié)點數、節(jié)點ID的內部寄存器或者是內部存儲器等的內部記憶部的數據來進行。當調停操作未結束的時候(S32為“否”)，就再次進行確認操作(S33，S31)。當然，再次重新設定也是可以的。當調停在規(guī)定的限制時間內還沒有結束的時候(在S33為“是”)的時候，就判斷檢查對象LSI20為次品(S37)。
當已經確認出調停已經結束的時候(在S32為“是”)，用低速信號從LSI檢測器3去訪問檢查對象LSI20的邏輯層部22及參考LSI10的邏輯層部12，并分別進行信號發(fā)送設定和信號接收設定(S14)。通過該信號接收、發(fā)送設定而將高速信號從檢查對象LSI20的物理層部21發(fā)送到參考LSI10的物理層部11。參考LSI10的物理層部11，利用解串行等處理將所接收的高速信號變換成低速信號，并將它作為接收數據輸出給邏輯層部12。
這時，LSI檢測器3再次確認參考LSI10的內部狀態(tài)，換句話說，確認接收操作是否已經結束(S34)。這一確認，也是可通過觀測能夠監(jiān)視內部狀態(tài)的外部端子來進行，或者是，通過讀出存儲有節(jié)點數、節(jié)點ID的內部寄存器或者是內部存儲器等的內部記憶部的數據來進行。當信號接收操作尚未結束的時候(S35為“否”)，就再次進行確認操作(S36，S34)。當然，再次發(fā)送信號也是可以的。當信號接收在規(guī)定的限制時間內還沒有結束的時候(在S36為“是”)，就判斷檢查對象LSI20為次品(S37)。
當已經確認出信號接收已經結束的時候(在S35為“是”)，從LSI檢測器3去訪問參考LSI10的邏輯層部12，讀出參考LSI10所接收的數據(S21)。然后，對所讀出的數據和期待值加以比較，根據那一比較結果來判斷檢查對象LSI20的良否(S22)。
其次，說明對物理層部21的信號接收情況的檢查。。LSI檢測器3的操作如圖7所示，不同的是控制對象與檢查信號發(fā)送情況時不同。LSI檢測器3將規(guī)定的檢查電壓提供給檢查對象LSI20及參考LSI10，將時鐘信號提供給檢查對象LSI20及參考LSI10，將重新設定信號輸入到參考檢查對象LSI20及參考LSI10中(S11，S12，S13)。
這時，和檢查信號發(fā)送情況時一樣，LSI檢測器3確認檢查對象LSI20及參考LSI10的內部狀態(tài)，換句話說，確認調停操作是否已經結束(S31)。當調停在規(guī)定的限制時間內還沒有結束的時候(在S33為“是”)，就判斷檢查對象LSI20為次品(S37)。
當已經確認出調停已經結束的時候(在S32為“是”)，用低速信號從LSI檢測器3去訪問參考LSI10的邏輯層部12及檢查對象LSI20的邏輯層部22，并分別進行信號發(fā)送設定和信號接收設定(S14)。通過該信號接收、發(fā)送設定而將高速信號從參考LSI10的物理層部11發(fā)送到檢查對象LSI20的物理層部21。參考LSI10的物理層部21，利用解串行等處理將所接收的高速信號變換成低速信號，并將它作為接收數據輸出給邏輯層部22。
這時，LSI檢測器3再次確認檢查對象LSI20的內部狀態(tài)，換句話說，確認接收操作是否已經結束(S34)。該確認和檢查信號發(fā)送情況時是一樣的。當信號接收在規(guī)定的限制時間內還沒有結束的時候(在S36為“是”)，就判斷檢查對象LSI20為次品。
當已經確認出信號接收已經結束的時候(在S35為“是”)，就從LSI檢測器3去訪問檢查對象LSI20的邏輯層部22，讀出由檢查對象LSI20接收的數據。然后，對所讀出的數據和期待值加以比較，根據那一比較結果來判斷檢查對象LSI20的良否(S22)。
如上所述，根據本實施例所涉及的LSI檢查，能夠縮短檢查時間，降低檢查成本，同時還能實現檢查的穩(wěn)定化，事先防止出現將良品錯誤地判斷為次品這樣的錯誤判斷。
(第6個實施例)在第6個實施例中，參考LSI不是裝在檢測板上的LSI檢測裝置，而是設在LSI檢測器內的LSI。
圖8示出了本實施例所涉及的LSI檢查系統的結構。需提一下，和圖1相同的構成要素用相同的符號來表示。圖8中，LSI檢測器3A擁有有物理層部31及邏輯層部32且作為第1參考裝置的參考LSI30。參考LSI30的物理層部31，電連接在在它和檢測板2之間進行高速通信的高速連接出入口(interface port)38。還設有在它和檢測板2之間進行低速通信的低速連接出入口39。
首先，說明對物理層部21的信號發(fā)送情況的檢查。LSI檢測器3A將規(guī)定的檢查電壓提供給檢查對象LSI20及LSI檢測器3A內的參考LSI30，將時鐘信號提供給檢查對象LSI20及LSI檢測器3A內的參考LSI30，將重新設定信號輸入到檢查對象LSI20及LSI檢測器3A內的參考LSI30中。之后，LSI檢測器3A通過低速連接出入口39去訪問檢查對象LSI20的邏輯層部22并進行信號發(fā)送設定，同時，還從檢測處理器35去訪問參考LSI30的邏輯層部32并進行信號接收設定。通過該信號接收、發(fā)送設定，而將高速信號從檢查對象LSI20的物理層部21發(fā)送到參考LSI30的物理層部31。
參考LSI30的物理層部31，利用解串行等處理將所接收的高速信號變換成低速信號，并將它作為接收數據輸出給邏輯層部32。LSI檢測器3A從檢測處理器35去訪問邏輯層部32，并將參考LSI30所接收的數據讀出來。然后，由檢測處理器35對所讀出的數據和期待值加以比較，根據那一比較結果來判斷檢查對象LSI20的良否。
其次，說明對物理層部21的信號接收情況的檢查。LSI檢測器3A將規(guī)定的檢查電壓提供給檢查對象LSI20及LSI檢測器3A內的參考LSI30，將時鐘信號提供給檢查對象LSI20及LSI檢測器3A內的參考LSI30，將重新設定信號輸入到檢查對象LSI20及LSI檢測器3A內的參考LSI30中。之后，LSI檢測器3A從檢測處理器35去訪問邏輯層部32并進行信號發(fā)送設定，同時通過低速連接出入口39去訪問邏輯層部22并進行信號接收設定。通過該信號接收、發(fā)送設定而將信號從參考LSI30的物理層部31通過高速連接出入口38發(fā)送到檢查對象LSI20的物理層部21。
檢查對象LSI20的物理層部21，利用解串行等處理將所接收的高速信號變換成低速信號，并將它作為接收數據輸出給邏輯層部22。LSI檢測器3A通過低速連接出入口39去訪問邏輯層部22，并將檢查對象LSI20所接收的數據讀出來。然后，在檢測處理器35中對所讀出的數據和期待值加以比較，根據那一此較結果來判斷檢查對象LSI20的良否。
根據本實施例，因為將參考LSI設在檢測器內，所以參考裝置由于灰塵、沖擊等而出故障的可能性就會減少。還有，雖然LSI檢測器3A的成本高了，但這時卻不需要安裝在前幾個實施例中所示的LSI檢查裝置了，故可控制檢測板的成本。
需提一下，在本實施例中，將第1個實施例中所示的參考LSI設在了LSI檢測器中，除此以外，既可用僅擁有物理層部的第1參考LSI和僅擁有邏輯層部的第2參考LSI作為第1參考裝置設置在LSI檢測器中；又可將第2個實施例中所示的僅擁有邏輯層部的第2參考裝置設在LSI檢測器中。
在上述第1個實施例～第6個實施例中，對檢查對象LSI和參考LSI而言，檢查時的電源電壓可以是相同的，也可以是不相同的。為保證操作電壓范圍，多數情況檢查對象LSI是用多個電壓來進行檢查的。另一方面，有參考LSI的驅動器、接收器的特性在低電壓一側變壞的時候。此時，將參考LSI固定在低電壓上，在將檢查對象LSI的電壓設為高電壓、低電壓這兩個電壓的條件下進行檢查。這樣做的話，檢查條件就更加嚴格，而可提高檢查水平。
在上述第1個實施例到第6個實施例中，可使用相對保證規(guī)格而言沒有容限的LSI作參考LSI。換句話說，可使用在能滿足保證規(guī)格的范圍內，性能處于最低水平的LSI。這樣以來，對檢查對象LSI而言，就實現了非常嚴格的檢查，而可將檢查水平提高。這里所說的保證規(guī)格，例如有發(fā)送信號時的信號電壓振幅、接收信號時的接收器的靈敏度、工作頻率的范圍等。
綜上所述，根據本發(fā)明，利用廉價的低速檢測器和事先已經確認好為良品的參考裝置，就能實現對安裝有高速接口的LSI的檢查。由此而可抑制檢查成本。
權利要求
1.一種LSI檢查方法，用該方法對包括具有高速連接功能的物理層部的檢查對象LSI進行檢查，其特征是安裝有具有其功能與所述高速連接功能一樣的物理層部及接在該物理層部上且具有低速連接功能的邏輯層部的第1參考裝置，且將所述檢查對象LSI安裝在能與LSI檢測器進行連接的檢測板上；將所述第1參考裝置的物理層部和所述檢查對象LSI的物理層部電連接起來；由所述LSI檢測器對所述第1參考裝置及檢查對象LSI進行信號接收、發(fā)送設定，由此而在所述第1參考裝置的物理層部及所述檢查對象LSI的物理層部之間進行高速通信；所述LSI檢測器從所述第1參考裝置或者檢查對象LSI讀出接收信號。
2.根據權利要求1所述的LSI檢查方法，其特征是所述檢查對象LSI，包括與該檢查對象LSI的物理層部相連且具有低速連接功能的邏輯層部；所述LSI檢測器，經由所述第1參考裝置的邏輯層部及所述檢查對象LSI的邏輯層部進行所述信號接收、發(fā)送設定，讀出所述接收信號。
3.根據權利要求1所述的LSI檢查方法，其特征是所述檢測板上安裝了與所述檢查對象LSI的物理層相連，具有低速連接功能的邏輯層部的第2參考裝置；所述LSI檢測器，經由所述第1參考裝置的邏輯層部及所述第2參考裝置的邏輯層部進行所述信號接收、發(fā)送設定，讀出所述接收信號。
4.根據權利要求1所述的LSI檢查方法，其特征是向所述第1參考裝置和所述檢查對象LSI提供互異的電源電壓。
5.根據權利要求1所述的LSI檢查方法，其特征是在進行所述信號接收、發(fā)送設定之前，由所述LSI檢測器確認所述第1參考裝置及檢查對象LSI的內部狀態(tài)。
6.根據權利要求5所述的LSI檢查方法，其特征是所述內部狀態(tài)的確認是通過讀出所述第1參考裝置及檢查對象LSI的內部存儲部分的數據來進行的。
7.根據權利要求5所述的LSI檢查方法，其特征是當內部狀態(tài)在規(guī)定的時間內沒達到規(guī)定的狀態(tài)的時候，所述LSI檢測器就做出所述檢查對象LSI為次品的判斷。
8.根據權利要求1所述的LSI檢查方法，其特征是在讀出所述接收信號之前，所述LSI檢測器去確認所述第1參考裝置或者檢查對象LSI是否已經結束了通信。
9.根據權利要求8所述的LSI檢查方法，其特征是通過讀出所述第1參考裝置及或者檢查對象LSI的內部存儲部分的數據來確認所述通信結束與否。
10.一種LSI檢查裝置，用它來對至少擁有具有高速連接功能之物理層部的檢查對象LSI進行檢查，其特征是可與LSI檢測器進行連接，且能夠被安裝到安裝有所述檢查對象LSI的檢測板上；所述LSI檢查裝置，擁有具有其功能與所述高速連接功能一樣的物理層部及接在該物理層部上且具有低速連接功能的邏輯層部的第1參考裝置，及將所述第1參考裝置的物理層部及所述檢查對象LSI的物理層部電連接起來的連接部件。
11.根據權利要求10所述的LSI檢查裝置，其特征是擁有介于所述檢查對象LSI的物理層部及所述LSI檢測器之間且具有低速連接功能之邏輯層部的第2參考裝置。
12.根據權利要求10所述的LSI檢查裝置，其特征是所述第1參考裝置，包括擁有所述物理層部的第1參考LSI及擁有所述邏輯層部的第2參考LSI。
13.根據權利要求10所述的LSI檢查裝置，其特征是所述連接部件，包括使在所述第1參考裝置和所述檢查對象LSI之間所形成的信號路徑分支的分支元件。
14.根據權利要求10所述的LSI檢查裝置，其特征是擁有與所述LSI檢測器之操作相獨立，向所述檢查對象LSI及第1參考裝置提供時鐘的時鐘產生器。
15.根據權利要求10所述的LSI檢查裝置，其特征是所述第1參考裝置為已經被判斷為良品的參考裝置。
16.根據權利要求15所述的LSI檢查裝置，其特征是所述第1參考裝置，為在滿足保證規(guī)格的范圍內性能水平最低的參考裝置。
17.一種LSI檢測器，用它來對至少擁有具有高速連接功能之物理層部的檢查對象LSI進行檢查，其特征是可與安裝了所述檢查對象LSI的檢測板進行連接，且擁有具有其功能與所述高速連接功能一樣的物理層部和接在該物理層部上且具有低速連接功能的邏輯層部的第1參考裝置；及與所述第1參考裝置的物理層部電連接，且在它和所述檢測板之間進行高速通信的高速連接出入口。
18.根據權利要求17所述的LSI檢測器，其特征是擁有在它和所述檢測板之間進行低速通信的低速連接出入口，及接在所述低速連接出入口上且擁有具有低速連接功能的邏輯層部的第2參考裝置。
全文摘要
對具有高速連接功能的物理層部(21)的檢查對象LSI(20)進行檢查。在檢測板(2)上布置上包括事先確定好了為良品的參考LSI(10)的檢查裝置(1)，將LSI(10)及(20)的高速針和針連接起來。LSI檢測器(3)低速地訪問邏輯層部(12，22)，控制物理層部(11，21)間的高速通信，讀出接收數據，判斷檢查對象LSI(20)的良否。
文檔編號G01R31/3193GK1503911SQ02808609
公開日2004年6月9日 申請日期2002年10月4日 優(yōu)先權日2001年10月5日
發(fā)明者金光明彥, 伊藤亙, 渡邊昭彥, 野崎史郎, 增田智充, 充, 彥, 郎 申請人:松下電器產業(yè)株式會社