專利名稱：檢查裝置和檢查方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及檢查電路基板圖形的短路的檢查裝置和檢查方法。
背景技術(shù)：
在制造電路基板時，在電路基板上形成導(dǎo)電圖形，有必要檢查在所形成的導(dǎo)電圖形中有沒有斷線或短路。
以前，作為導(dǎo)電圖形的檢查方法，已知有接觸式的檢查方法，即通過使引線與導(dǎo)電圖形的兩端接觸，從一端的引線將電信號輸送給導(dǎo)電圖形，而從另一端的引線接收該電信號，從而進行導(dǎo)電圖形的導(dǎo)通測試。電信號的供電是通過將金屬探針立在全部端子上，由此使電流流過導(dǎo)電圖形來進行的。
然而，近年來，由于導(dǎo)電圖形的高密度化，使連接用的線路間距很細(xì)密，該間距可低于50微米。由窄間距的多個探針構(gòu)成的探針板制造成本高。
同時，對于每一個不同的線路圖形(每一個檢查對象)，必需根據(jù)線路圖形來制造探針板。因此，成本高，這成為降低電子部件成本的大的障礙。
另外，微細(xì)結(jié)構(gòu)的探針板脆弱，實際使用時常常需要考慮破損的危險性。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明是為了解決先前技術(shù)的上述問題而提出的，其目的是要提供能以簡單的結(jié)構(gòu)檢測精細(xì)的線路圖形，而且可與線路圖形的變更對應(yīng)的檢查裝置和檢查方法。為了達到這個目的，本發(fā)明的檢查裝置的第一個特征具有下列結(jié)構(gòu)。
即其特征為，具有大小至少是電路基板的檢查對象導(dǎo)電圖形的配置間距寬度以下的檢查信號供給端子；使上述檢查信號供給端子橫切檢查對象導(dǎo)電圖形的檢查位置而順序地掃描的掃描裝置；大小至少是上述檢查對象導(dǎo)電圖形的配置間距的三個間距寬度以上的檢測器部；信號處理裝置，在將上述檢測器部配置在上述電路基板的上述檢查對象導(dǎo)電圖形的背面位置的至少是上述檢查信號供給端子位置背面處的狀態(tài)下，將檢查信號送至上述掃描裝置掃描的上述檢查信號供給端子，同時檢測由上述檢測器發(fā)出的信號；和根據(jù)上述信號處理裝置檢測的信號電平與正常狀態(tài)時的信號電平是否不同而判斷送入檢查信號的導(dǎo)電圖形是否短路的判斷裝置。
另外，在本發(fā)明的檢查裝置的第二個特征中，特征為，上述檢測器部為具有檢查對象導(dǎo)電圖形的檢查對象位置相反面的整個表面大小的電極，在將上述檢查對象導(dǎo)電圖形作為對應(yīng)電極，而固定地配置在電容耦合位置處的狀態(tài)下，檢測來自上述檢查對象導(dǎo)電圖形的信號。
本發(fā)明的檢查裝置的第三個特征中，特征為，上述判斷裝置，與上述檢查對象導(dǎo)電圖形單個時的上述檢測器部的檢測信號電平比較，在檢測信號電平高時，判斷該檢查對象導(dǎo)電圖形與相鄰的線路圖形短路。
另外，作為本發(fā)明的第四個特征，是檢查方法，一種檢查裝置的檢查方法，該檢查裝置具有大小至少是電路基板的檢查對象導(dǎo)電圖形的配置間距寬度以下的檢查信號供給端子；大小至少是上述檢查對象的導(dǎo)電圖形的配置間距的三個間距寬度以上的檢測器部；其特征為，上述檢測器部配置在上述電路基板的上述檢查對象導(dǎo)電圖形的背面位置的至少是上述檢查信號供給端子的位置背面處，使上述檢查信號供給端子橫切檢查對象導(dǎo)電圖形的檢查位置，依次進行掃描，將檢查信號送至上述檢查信號供給端子，檢測上述檢測器發(fā)出的信號，根據(jù)檢測信號電平與正常狀態(tài)時的信號電平是否不同，判斷上述送入檢查信號的導(dǎo)電圖形是否短路。
作為本發(fā)明的第五個特征，是檢查方法，特征為，上述檢測器部為具有檢查對象導(dǎo)電圖形的檢查對象位置相反面的整個表面大小的電極，在將上述檢查對象導(dǎo)電圖形作為對應(yīng)電極，而固定地配置在電容耦合位置處的狀態(tài)下，檢測來自上述檢查對象導(dǎo)電圖形的信號。
另外，作為本發(fā)明的第六個特征，是檢查方法，特征為，上述送入檢查信號的導(dǎo)電圖形是否短路的判斷是如下的判斷與上述檢查對象導(dǎo)電圖形單個時的上述檢測器部的檢測信號電平比較，在檢測信號電平高時，判斷該檢查對象導(dǎo)電圖形與相鄰的線路圖形短路。


圖1為說明本發(fā)明的檢查裝置的優(yōu)選實施例的檢查原理的圖。
圖2為用于說明本發(fā)明的檢查裝置的優(yōu)選實施例的檢查結(jié)果例子的圖。
圖3為本發(fā)明的檢查裝置的優(yōu)選實施例的檢查裝置的等價電路圖。
圖4為說明本發(fā)明的檢查裝置的具體結(jié)構(gòu)的方框圖。
圖5為用于說明本發(fā)明的檢查裝置的檢查方法的優(yōu)選實施例的步驟的流程圖。
圖6為表示本發(fā)明的檢查裝置中左側(cè)連接端子部處有短路時的檢查例子的圖。
圖7為表示本發(fā)明的檢查裝置的中央部連接端子部處有短路時的檢查例子的圖。
具體實施例方式
以下，參照附圖，來詳細(xì)說明本發(fā)明的檢查裝置和檢查方法的優(yōu)選實施例的結(jié)構(gòu)和步驟。
另外，本發(fā)明并不限于以下說明的結(jié)構(gòu)元件的相對配置、數(shù)值等，特別是，如果沒有特定的說明，將不構(gòu)成對本發(fā)明范圍的限定。
作為本發(fā)明的檢查裝置的優(yōu)選實施例，對檢查液晶顯示板的線路圖形的短路的檢查裝置進行說明。
首先，參照圖1-圖3，來說明本發(fā)明的導(dǎo)電圖形的檢查方法的原理。圖1為說明檢查原理的圖，圖2為說明檢查結(jié)果例子的圖，圖3為用于說明檢查裝置原理的等價電路圖。
在圖1中，參考標(biāo)號10表示檢查對象基板，在該優(yōu)選實施例中，以各個線路圖形具有大致相同的圖形形狀的液晶顯示板作為對象。在以下的說明中，以檢查移動電話的顯示器用的顯示板的情況作為具體例子來進行說明。標(biāo)號11表示下側(cè)玻璃基板，12表示上側(cè)玻璃基板，在各自接合面上形成有線路圖形。通過將上側(cè)玻璃基板12和下側(cè)玻璃基板11貼合，形成液晶板10。
另外，圖1的下部表示在將上側(cè)玻璃基板12和下側(cè)玻璃基板11貼合后的狀態(tài)下的液晶板10。這里，為了說明簡單，下部的液晶板10上只表示了少數(shù)的線路圖形15，實際上以微細(xì)的間距配置了幾十個或其以上的連接端子。
標(biāo)號20表示作為覆蓋顯示板的線路圖形端部連接端子部背面的近似整個表面大小的、例如長方形的電極板的檢測器部。該檢測器部在線路圖形不在背面露出的情況下，保持與檢查對象基板10的背面密切相接的狀態(tài)。因此，在將電力供給任何一個線路圖形15的情況下，在與供給電力的線路圖形15之間，通過玻璃，成為電容耦合狀態(tài)。標(biāo)號25為放大檢測器部20的檢測信號的放大部(放大器)，標(biāo)號26為顯示檢測結(jié)果的裝置。
標(biāo)號30表示直徑比線路圖形的間距充分小的檢查信號供給端子(探針)，該端子按照前端部例如有撓性、前端部只與任何一個線路圖形接觸的方式構(gòu)成。因此，可從接觸部將檢查用信號送至線路圖形。在這個優(yōu)選實施例中，從檢查對象圖形的連接端子的一端至另一端，按照依次橫切連接端子部的方式，例如按箭頭A的方向掃描，依次將來自供給檢查信號的供給部(交流信號發(fā)生部)35的檢查信號供給連接端子。
這樣，將來自交流電源35的交流檢查信號送至檢查信號供給端子(探針)30，通過以供給檢查信號的導(dǎo)電圖形15作為一個電極和檢測器部20作為另一個電極，形成電容耦合。再利用放大器25放大從檢測器部20發(fā)出的檢測信號，調(diào)查檢查信號。
現(xiàn)參照圖2來說明檢查信號的檢測器部20的檢測例。
當(dāng)將檢查信號送至線路圖形時，通過由檢查信號供給線路圖形的一個的寬度、相隔基板10、和位于基板10背面的檢測器部20的與檢查信號供給線路圖形15相對的部分所構(gòu)成的靜電電容，將交流電流送至放大器25。因此，從放大器25的輸出端，輸出給定的交流電壓。該電壓主要由檢查信號供給線路圖形的與檢測器部20相對部位的面積確定。
例如，如液晶板等那樣，當(dāng)相鄰的線路圖形全部以相同的間距配置時，和檢測器部20的與檢查信號供給線路圖形15相對的部分所形成的靜電電容大致相同。結(jié)果，在沒有短路等情況下，如(A)所示，作為檢測結(jié)果，對各個線路圖形得到大致相同電平的信號。
另一方面，如圖2所示，在線路圖形的一部分有短路的情況下，變成如下的狀態(tài)交流檢查信號不但送至供給了交流檢查信號的檢查信號供給端子(探針)30所接觸的線路圖形，而且送至短路的線路圖形部分。
圖3表示該優(yōu)選實施例的檢查裝置的大概的等價電路。如圖3所示，在形成電容器部的檢測器部20的所有的一端處于連接的狀態(tài)，探針30在電容器的另一側(cè)端子處移動的情況下，與放大器25處于電連接狀態(tài)的只是探針?biāo)佑|的線路圖形。
因此，與檢測器部20相對的線路圖形面積，為正常情況下的一個線路圖形的大致兩倍的面積。這樣，與沒有短路的情況比較，放大器25的輸出大幅度增大，這種情況下的檢測裝置如圖(B)所示。
如(B)所示，由于檢測信號的電平大幅增加，因此，在監(jiān)視放大器25的輸出、與正常情況比較而檢測信號大幅度增大的情況下，可以判斷該位置短路。這樣，利用簡單的結(jié)構(gòu)，即使沒有探針的特別定位，也可以可靠地檢測出次品。
如本實施方式的例子那樣，在各個線路圖形為大致相同的圖形的情況下，由于對于線路圖形中的每一個圖形，放大器25的輸出大致相同，因此可以設(shè)定一定的閾值。當(dāng)超過該閾值時，可判斷該位置處短路。
另外，線路圖形的連接處的圖形，雖在比較鄰近的圖形之間是均勻的，但是即使在每一個圖形的圖形形狀有很大的不同的情況下，利用本實施例的檢查方法，也可以通過簡單的控制，非常容易地判斷圖形是否良好。
即在這種情況下，在這種情況下，預(yù)先在正常的檢查基板上進行探針的掃描，將對于檢查信號的檢測結(jié)果作為標(biāo)準(zhǔn)檢查結(jié)果存儲起來；再將實際的檢測結(jié)果與該存儲的檢查基板檢測結(jié)果進行比較，例如當(dāng)誤差在一定范圍內(nèi)時，判斷為優(yōu)良品；而當(dāng)檢查對象圖形的檢查結(jié)果超過一定范圍時，判斷為次品。
即使在這種情況下，也不需要將檢查探針定位在各個圖形中的每一個圖形的固有位置上，只需簡單地橫切各個檢查圖形，進行掃描，即可得到可靠的短路結(jié)果。
以下參照圖4來說明實現(xiàn)上述檢查方法的具體的檢查裝置的結(jié)構(gòu)例子。圖4說明實現(xiàn)本實施例的檢查方法的檢查裝置的結(jié)構(gòu)例子。
圖4中，與圖1相同的結(jié)構(gòu)用相同的標(biāo)號表示。在圖4中，將作為檢查對象的液晶板10放置在檢查位置上，將檢測器部20放置和固定在與液晶板10的檢查對象線路圖形的連接端子部配置位置對應(yīng)的液晶板10的背面位置處。
在這個優(yōu)選實施例的檢測器部20至少在表面配置有金屬電極例如鋁電極(AL)，例如按照與使用半導(dǎo)體作為電極的情況比較，與導(dǎo)電圖形之間的靜電電容大的方式構(gòu)成。
將從檢測器部20發(fā)出的檢測信號，送至模擬信號處理電路50。將由模擬信號處理電路50進行了模擬信號處理的模擬信號送至控制部60，可以判斷液晶板10的與檢查信號供給端子30接觸的線路圖形是否良好?？刂撇?0也對將檢查信號送至檢查信號供給端子30進行控制。
檢查信號供給端子30按照橫切液晶板10等的線路圖形供給端子部的方式，邊掃描邊移動，依次將檢查信號送至各個線路圖形，其前端部使用例如由具有可撓性的鎢合金制成的、檢查對象圖形的圖形間距以下(檢查圖形的圖形寬度和圖形間距以下的大小)的部件。例如，基部的導(dǎo)線直徑為150微米，前端(掃描部分)的直徑取為15微米，可以對檢查對象圖形寬度為30微米的線路圖形、圖形間距為20微米左右的基板線路圖形進行檢查。
機械手控制器70，利用控制部60的控制，控制定標(biāo)器機械手80。定標(biāo)器機械手80在將液晶板10放置在檢查位置并夾緊的同時，根據(jù)機械手控制器70的控制，檢查信號供給端子30的前端部以與液晶板10的所有連接端子接觸的狀態(tài)保持著，前端按照依次橫切所有的連接端子的方式進行掃描。
模擬信號處理電路50具有放大從檢測器部20發(fā)出的檢測信號的放大器51，用于除去經(jīng)放大器51放大的檢測信號中的雜音成分并使檢查信號通過的帶通濾波器52，對從帶通濾波器52發(fā)出的信號進行全波整流的整流電路53，使經(jīng)整流電路53全波整流后的檢測信號平滑的平滑電路54。
控制部60控制本實施例的整個檢查裝置，它具有計算機(CPU)61，存儲CPU61的控制步驟等的ROM62，暫時存儲CPU61的經(jīng)過處理的信息等的RAM63，將模擬信號處理電路50的模擬信號變換為對應(yīng)的數(shù)字信號的A/D轉(zhuǎn)換器64，將應(yīng)送出的檢查信號供給檢查信號供給端子30的信號供給部65，和顯示檢查結(jié)果或操作指示指南等的顯示部66。
信號供給部65例如生成信號電平為10Vp-p、100KHZ的正弦波信號作為檢查信號，并送給檢查信號供給端子30。在這種情況下，帶通濾波器52是使該檢查信號的100KHZ通過的帶通濾波器。
以下參照圖5的流程圖來說明具有上述結(jié)構(gòu)的優(yōu)選實施例的檢查方法。圖5表示用于說明優(yōu)選實施例的檢查方法的流程圖。
首先，在步驟S1中，將作為檢查對象的液晶板10安裝在檢查裝置的檢查位置上。接著，在步驟S2中，將表示檢查對象圖形中有不良位置的NG標(biāo)志復(fù)位，將表示檢查對象線路圖形的不定數(shù)標(biāo)志n置為“1”，從而按照進行最初的線路圖形是否良好的判斷進行設(shè)置。這樣，檢查開始準(zhǔn)備工作結(jié)束，接著在步驟S3中，控制部60等待表示檢查開始的開始指令的輸入。
在步驟S3中，當(dāng)有開始指示時，進入步驟S4，指示機械手控制器70，控制定標(biāo)器機械手80，使檢查信號供給端子(探針)30，向檢查對象線路圖形的連接端子的檢查開始位置(一端的連接端子位置)移動。
其次，在步驟S5中，起動信號供給部65，將檢查信號輸出至檢查信號供給端子(探針)30。在前端部與檢查對象線路圖形接觸的情況下，維持來自信號供給部65的檢查信號向該圖形傳送、供給的狀態(tài)。同時，起動模擬信號處理電路50，開始讀入由檢測器部20發(fā)出的信號。以后，直至掃描結(jié)束，每隔一定時間，依次取出檢測數(shù)據(jù)，再順序地存儲在RAM63中。
當(dāng)使檢查信號供給端子(探針)30在檢查對象基板的要檢查的所有線路圖形上的掃描結(jié)束時，進入步驟S7，使信號供給部65停止工作。另外，轉(zhuǎn)至從步驟S8至步驟S16為止的進行線路圖形是否良好的判斷處理。
首先，在步驟S8中，讀出將檢查信號供給第n個線路圖形時的檢測器部20的檢測電壓值。若是最初，讀出將檢查信號供給在掃描開始位置的線路圖形的情況下的檢測器部20的檢測電壓值。
接著，在步驟S9中，考查讀出的檢測器部20的檢測電壓(輸出電壓)是否在以正常狀態(tài)時的檢測電平為基準(zhǔn)的規(guī)定閥值以上。當(dāng)不超過規(guī)定的閥值時，該線路圖形為正常，可進入步驟S12。
另一方面，在步驟S9中，當(dāng)檢測器部20的檢測信號值在規(guī)定的閥值以上時，進入步驟S10，判定第n個(該)線路圖形與例如相鄰的線路圖形短路。接著，在步驟S11中，設(shè)定NG標(biāo)志，進入步驟S16。
在步驟S12中，考查n標(biāo)志，判斷n標(biāo)志是否表示應(yīng)檢查的線路圖形的最后的線路圖形。在對一塊液晶板10的全部檢查對象線路圖形是否良好的判斷沒有結(jié)束的情況下，進入步驟S13，按照使n＝n+1而進行下一個檢查對象線路圖形是否良好的判斷的方式而將n標(biāo)志增加一個增量，回到步驟S8。
另一方面，在步驟S12中，在最后檢查對象線路圖形是否良好的判斷結(jié)束的情況下，進入步驟S16。
在步驟S16中，顯示檢查結(jié)果。考查NG標(biāo)志，在設(shè)定有NG標(biāo)志的情況下，由顯示部66顯示表示該檢查液晶板10為產(chǎn)生短路的不良板的NG標(biāo)志；在不設(shè)定NG標(biāo)志的情況下，則顯示表示該液晶板為合格的標(biāo)志OK。
其次，在步驟S17，從裝置中取出液晶板。接著，在步驟S18中，考查液晶板的檢查是否結(jié)束。當(dāng)有下一個要檢查的液晶板時，回到步驟S1，安放下一個液晶板。
另一方面，在步驟S18中，如果檢查結(jié)束，則該處理結(jié)束。
在以上的說明中，分別以各自在步驟S1中安裝液晶板和在步驟S16中取出液晶板為例加以說明；但本實施例不是僅限于上述例子。例如，可以自動地進行液晶板的安裝和取出，根據(jù)對取出的液晶板是否良好的判斷，自動地將液晶板放置在合格品收容部分或次品收容部分中。
另外，在生產(chǎn)線的一部分中包括該檢查工序時，可以檢查以上游送來的液晶板，只將合格品輸送至下游。
如以上這樣，在檢查液晶板10時，檢測出次品液晶板時的檢查信號的檢測時間如圖6和圖7所示。圖6為表示在左側(cè)連接端子部處有短路情況的檢測例子的圖，圖7為表示在中央連接端子部處有短路情況的檢測例子的圖。
在圖6和圖7的例子中，表示在右側(cè)和左側(cè)配置了圖形間距稍大的連接端子部、在中央部配置圖形間距稍窄的連接端子部的液晶板的檢查結(jié)果。
在這個優(yōu)選實施例中，即使像這樣例如要檢查的線路圖形的間距不同，也不需要進行特別的控制，只需簡單地使檢查探針的掃描位置可靠地橫切檢查對象的圖形進行掃描，就可以可靠地檢測線路圖形的短路。另外，由于成為檢測判斷對象的正常時的檢測信號電平，和異常時的檢測信號電平的差非常明顯，因此可得到可靠性高的檢查結(jié)果。
在圖6和圖7中，(A)所示的波形表示對于檢查對象的檢查信號檢測結(jié)果的整個時間；(B)為放大表示檢測出異常的連接端子組的檢測波形；(C)為表示以短路部分為中心的檢測信號的波形例子。
例如，橫軸上的一個刻度，在(A)中為500毫秒(ms)，在(B)中為100ms，在(C)中為10ms。如圖6和圖7所示，由于短路部分的檢測波形和正常部分的檢出波形差異較大，因此，可將正常時與短路時的檢測信號之差的二分之一(1/2)的值與正常時的平均檢測電平相加后的值，設(shè)定為是否短路的閥值，可以可靠地檢測短路。
另外，在以上的說明中，是收集來自一塊檢查基板的所有檢查對象圖形的檢查結(jié)果，判定基板是否良好；這是因為全部檢測結(jié)果收集完了后開始判定作業(yè)，也不需要太長的處理時間，例如，也可以控制成每次從得出的檢查結(jié)果，逐一判斷是否短路。在這種情況下，當(dāng)在檢查過程中檢出有短路時，可以中止以后的掃描控制，直接作為不好的對象基板而移行至下面的處理，以減少檢查時間。
如上所述，采用本優(yōu)選實施例的結(jié)構(gòu)和步驟，不需要定位于檢查對象的線路圖形的連接端子的各個并使之與檢查引線接觸，只需簡單地在檢查對象圖形上進行掃描，即可以檢測線路圖形的短路，因此檢查裝置簡單，同時，檢查的可靠性高。
另外，在檢查時，由于只需順序地掃描檢查對象圖形的例如連接端子部，即使例如改變檢查對象圖形的圖形配置狀況，也不需要檢查引線的正確定位等，只需簡單地控制掃描路線，即使線路復(fù)雜，檢查對象圖形的圖形間距參差不一，也不需要復(fù)雜的定位控制，即可檢查線路圖形的短路。
例如，即使在檢查線路圖形的連接端子按コ字形配置的基板的線路圖形時，也只需簡單地使檢查信號供給端子，沿著連接端子，作コ字形移動掃描，即可以容易地檢查所有的圖形的短路。
本發(fā)明不是僅限于上述實施例的結(jié)構(gòu)和步驟，在不偏離本發(fā)明的精神的范圍內(nèi)，可以作各種改變。
例如，如上所述，以檢測器部20具有可以覆蓋檢查對象基板的所有的檢查對象線路圖形的連接端子部的寬度、例如是長方形的電極板、固定配置的例子來說明。但本發(fā)明不是僅限于上述例子，例如，也可以由檢查對象線路圖形的幾個間距大小的電極板構(gòu)成，與檢查信號供給端子的掃描同步地進行掃描。在這種情況下，優(yōu)選能覆蓋檢查對象圖形的至少相鄰的線路圖形的大小。
利用本發(fā)明，通過簡單和簡易的控制，可以可靠地檢測各種規(guī)格的導(dǎo)體圖形的短路。
另外，利用本發(fā)明，提供用簡單的結(jié)構(gòu)，檢測精細(xì)的線路圖形且也可與線路圖形的變更對應(yīng)的檢查裝置和檢查方法。
權(quán)利要求
1.一種檢查裝置，其特征為，它具有大小至少是電路基板的檢查對象導(dǎo)電圖形的配置間距寬度以下的檢查信號供給端子；使所述檢查信號供給端子橫切檢查對象導(dǎo)電圖形的檢查位置而順序地掃描的掃描裝置；大小至少是所述檢查對象導(dǎo)電圖形的配置間距的三個間距寬度以上的檢測器部；信號處理裝置，在將所述檢測器部配置在所述電路基板的所述檢查對象導(dǎo)電圖形的背面位置的至少是所述檢查信號供給端子位置背面處的狀態(tài)下，將檢查信號送至所述掃描裝置掃描的所述檢查信號供給端子；同時檢測由所述檢測器部發(fā)出的信號；和根據(jù)所述信號處理裝置檢測的信號電平與正常狀態(tài)時的信號電平是否不同而判斷送入檢查信號的導(dǎo)電圖形是否短路的判斷裝置
2.如權(quán)利要求1所述的檢查裝置，其特征為，所述檢測器部為具有檢查對象導(dǎo)電圖形的檢查對象位置相反面的整個表面大小的電極，在將所述檢查對象導(dǎo)電圖形作為對應(yīng)電極，而固定地配置在電容耦合位置處的狀態(tài)下，檢測來自所述檢查對象導(dǎo)電圖形的信號。
3.如權(quán)利要求1所述的檢查裝置，其特征為，所述判斷裝置，與所述檢查對象導(dǎo)電圖形單個時的所述檢測器部的檢測信號電平比較，在檢測信號電平高時，判斷該檢查對象導(dǎo)電圖形與相鄰的線路圖形短路。
4.如權(quán)利要求2所述的檢查裝置，其特征為，所述判斷裝置，與所述檢查對象導(dǎo)電圖形單個時的所述檢測器部的檢測信號電平比較，在檢測信號電平高時，判斷該檢查對象導(dǎo)電圖形與相鄰的線路圖形短路。
5.一種檢查裝置的檢查方法，該檢查裝置具有大小至少是電路基板的檢查對象導(dǎo)電圖形的配置間距寬度以下的檢查信號供給端子；大小至少是所述檢查對象的導(dǎo)電圖形的配置間距的三個間距寬度以上的檢測器部；其特征為，所述檢測器部配置在所述電路基板的所述檢查對象導(dǎo)電圖形的背面位置的至少是所述檢查信號供給端子的位置背面處，使所述檢查信號供給端子橫切檢查對象導(dǎo)電圖形的檢查位置，依次進行掃描，將檢查信號送至所述檢查信號供給端子，檢測所述檢測器發(fā)出的信號，根據(jù)檢測信號電平與正常狀態(tài)時的信號電平是否不同，判斷所述送入檢查信號的導(dǎo)電圖形是否短路。
6.如權(quán)利要求5所述的檢查方法，其特征為，所述檢測器部為具有檢查對象導(dǎo)電圖形的檢查對象位置相反面的整個表面大小的電極，在將所述檢查對象導(dǎo)電圖形作為對應(yīng)電極，而固定地配置在電容耦合位置處的狀態(tài)下，檢測來自所述檢查對象導(dǎo)電圖形的信號。
7.如權(quán)利要求5所述的檢查方法，其特征為，所述送入檢查信號的導(dǎo)電圖形是否短路的判斷是，與所述檢查對象導(dǎo)電圖形單個時的所述檢測器部的檢測信號電平比較，在檢測信號電平高時，判斷該檢查對象導(dǎo)電圖形與相鄰的線路圖形短路。
8.如權(quán)利要求6所述的檢查方法，其特征為，所述送入檢查信號的導(dǎo)電圖形是否短路的判斷是，與所述檢查對象導(dǎo)電圖形單個時的所述檢測器部的檢測信號電平比較，在檢測信號電平高時，判斷該檢查對象導(dǎo)電圖形與相鄰的線路圖形短路。
全文摘要
本發(fā)明的目在于提供，通過簡單和簡易的控制，可以可靠地檢測各種規(guī)格的導(dǎo)體圖形的短路的檢查裝置和檢查方法。其中，將導(dǎo)電圖形配置間距以下的大小的探針(30)橫切檢查對象導(dǎo)電圖形(15)的檢查位置，依次進行掃描；將覆蓋導(dǎo)電圖形配置區(qū)域大小的檢測器部(20)，定位配置在檢查對象導(dǎo)電圖形(15)的背面。將來自交流電源35的交流檢查信號送至探針(30)，以導(dǎo)電圖形作為一個電極，檢測器部(20)作為另一個電極，形成電容耦合，利用放大器(25)放大來自檢測器部(20)的檢測信號，考查檢查信號，根據(jù)檢測信號的電平是否與正常狀態(tài)時的信號電平不同，判斷送入檢查信號的導(dǎo)電圖形是否短路。
文檔編號G01R31/02GK1566975SQ0314770
公開日2005年1月19日 申請日期2003年6月23日 優(yōu)先權(quán)日2003年6月23日
發(fā)明者山岡秀嗣, 石岡圣悟 申請人:Oht株式會社